JP2016029344A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る検査装置100の概略側面図である。検査装置100は、フォトデバイスである検査対象物である太陽電池9に対して、パルス光を照射し、該パルス光の照射に応じて太陽電池9から放射される電磁波(主に、周波数が0.1THz〜30THzのテラヘルツ波)を検出することによって、検査対象物の検査を行う。
図5は、検査装置100を用いた検査例の流れ図である。以下の各工程における検査装置100の動作は、特に断らない限り、制御部7の制御の下に行われるものとする。
1 装置架台
2 テラヘルツ波測定系(第二検査部)
22 プローブ光照射部
221 フェムト秒レーザ
231 テラヘルツ波検出器
23 テラヘルツ波検出部
24 遅延部
241 遅延ステージ
242 遅延ステージ駆動機構
3 移動ステージ
31 ステージ駆動機構(移動機構)
4 試料台
41 電圧印加テーブル
43 電極ピンユニット
431 電極ピン
432 電極バー
45 指標部
451 太陽電池本体
452 表面電極
5 ルミネッセンス測定系(第一検査部)
53 イメージセンサ
55 PLプローブ光源
6 カメラ(撮影部)
7 制御部
71 CPU
711 画像加工部
712 検査対象箇所設定部
713 位置特定部
74 記憶部
9 太陽電池
91 受光面
93 バスバー電極
95 フィンガー電極
LP11 パルス光(プローブ光)
LP12 検出光
LT1 テラヘルツ波パルス
i1〜i4 EL画像
Claims (6)
- 太陽電池を検査する検査装置であって、
太陽電池を保持する保持部と、
前記保持部に保持されている前記太陽電池に対して固定された位置に設けられており、ルミネッセンス発光する指標部と、
前記指標部のルミネッセンス発光、および、前記太陽電池のルミネッセンス発光を撮影することによって、ルミネッセンス画像を取得する第一検査部と、
プローブ光の照射に応じて前記太陽電池から放射されるテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部、および、前記指標部の像を取得する像取得部を有する第二検査部と、
前記第一検査部と前記第二検査部との間で、前記保持部を移動させる移動機構と、
前記第二検査部において検査される前記太陽電池の検査対象箇所を設定する検査対象箇所設定部と、
前記第一検査部において取得される前記ルミネッセンス画像における前記指標部の像、および、前記第二検査部において前記像取得部によって取得される前記指標部の像に基づき、前記太陽電池における前記検査対象箇所の位置を特定する位置特定部と、
を備える、検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記指標部が、前記保持部に設けられている、検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置であって、
前記指標部を前記保持部に対して取り外し可能に取り付ける取付機構、をさらに備えている、検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査装置であって、
前記第二検査部の前記像取得部が、前記指標部の可視画像を撮影する撮影部を含む、検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査装置であって、
前記第二検査部の前記像取得部が、前記指標部に対する前記プローブ光の照射に応じて前記指標部から発生するテラヘルツ波に基づく像を取得する、検査装置。 - 太陽電池を検査する検査方法であって、
(a) 太陽電池を保持部にて保持する工程と、
(b) 前記保持部に保持された前記太陽電池のルミネッセンス発光、および、前記保持部に保持された前記太陽電池に対して固定された位置に設けられている指標部のルミネッセンス発光を撮影してルミネッセンス画像を取得する工程と、
(c) 前記(b)工程の後、前記太陽電池から放射されるテラヘルツ波を検出することによって、前記太陽電池を検査する第二検査部において検査される前記太陽電池の検査対象箇所を設定する工程と、
(d) 前記(b)工程の後、前記第二検査部へ移動させる工程と、
(e) 前記(d)工程の後、前記第二検査部にて前記指標部の像を取得する工程と、
(f) 前記(b)工程で取得された前記ルミネッセンス画像における前記指標部の像、および、前記(e)工程で取得された前記指標部の像に基づき、前記太陽電池における前記検査対象箇所の位置を特定する工程と、
(g) 前記(f)工程で特定した前記検査対象箇所を前記第二検査部で検査する工程と、
を含む、検査方法。
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