JP2016000434A - ドレッシングボードの保持治具 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態1に係る切削装置を図1に基づいて説明する。図1は、切削装置の構成例を示す斜視図である。図1に示す切削装置1は、環状フレーム51の開口にテープ52を介してウェーハWを支持するウェーハユニット50のウェーハWを吸引保持するチャックテーブル3と、チャックテーブル3をX軸方向に移動させるテーブル移動手段4と、テーブル移動手段4を跨ぐように装置本体2に立設された門型形状の第1の支持部材5とを備える。ウェーハユニット50は被加工物ユニットであり、ウェーハWは被加工物である。
次に、実施形態2に係るドレッシングボードの保持治具の構成例について説明する。図5は、実施形態2に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す斜視図である。図6は、実施形態2に係るドレッシングボードの保持治具の構成例を示す断面図である。実施形態1と同じ構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
3 チャックテーブル
3a 保持面
3b,3c フレームクランプ
8 カセット
8a カセット載置台
11 第1の切削手段
11a 切削ブレード
12 第2の切削手段
12a 切削ブレード
15 ドレッシングボード
30A,30B 保持治具
31a,31b 治具本体
32 載置領域
320 滑止部材
33 位置ずれ規制部
34 貫通穴
35 凸部
36 縁部
50 ウェーハユニット
51 環状フレーム
52 テープ
W ウェーハ
Claims (3)
- 環状フレームの開口にテープを介して被加工物を支持する被加工物ユニットの被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、を備えた切削装置で使用されるドレッシングボードの保持治具であって、
前記チャックテーブルからの吸引力を作用させる貫通穴が形成されドレッシングボードが載置される載置領域を備え、前記環状フレームに対応した外径に形成されたプレート状の治具本体と、
前記治具本体の前記載置領域の周囲に形成され、ドレッシングボードの位置ずれを防ぐ位置ずれ規制部と、を備えることを特徴とするドレッシングボードの保持治具。 - 前記位置ずれ規制部は、前記ドレッシングボードの厚さより薄い厚さで前記治具本体に配設されることを特徴とする請求項1に記載のドレッシングボードの保持治具。
- 前記切削装置は、複数の前記被加工物ユニットを収容するカセットを載置するカセット載置台と、前記カセット載置台に載置された前記カセットと前記チャックテーブルとの間で前記環状フレームを支持して前記被加工物ユニットを搬送する搬送手段と、を備え、
前記載置領域に前記ドレッシングボードが載置された前記治具本体は、前記カセットに収容可能であり、前記搬送手段に支持されて搬送されることを特徴とする請求項1又は2に記載のドレッシングボードの保持治具。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019000965A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボード及び切削装置 |
JP2021088015A (ja) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | 株式会社ディスコ | ドレス方法、及び、ドレスユニット |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6239968U (ja) * | 1985-05-16 | 1987-03-10 | ||
JP2000049120A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2005251909A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ドレッシング方法 |
JP2010264575A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の保持ユニット |
JP2011183501A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Disco Corp | 切削ブレードのドレッシング方法 |
JP2013202740A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2014091206A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置のチャックテーブル |
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2014
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6239968U (ja) * | 1985-05-16 | 1987-03-10 | ||
JP2000049120A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2005251909A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ドレッシング方法 |
JP2010264575A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の保持ユニット |
JP2011183501A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Disco Corp | 切削ブレードのドレッシング方法 |
JP2013202740A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2014091206A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置のチャックテーブル |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019000965A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボード及び切削装置 |
JP2021088015A (ja) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | 株式会社ディスコ | ドレス方法、及び、ドレスユニット |
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