JP2015230326A - 光スキャナ及び光偏向器の制御方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 31
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 22
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
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- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
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- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
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- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
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Abstract
Description
Wa=(Wb+Wc)/2・・・(1)
ここで、Waは出力W34であり、Wbは出力W41であり、Wcは出力W46である。なお、図7(a)の出力W34は、後述のSTEP8,11の判定が共に正となるときの出力W34、すなわち適宜、補正した後の出力W34であり、STEP7の1回目の実行において生成される出力W34は、図7(a)に図示したものに対して小さな揺らぎ振動をなお含んだものになる。
Wa=(Wb+K・Wc)/2・・・(2)
Wa,Wb,Wcは、式(1)のときと同様に、それぞれ出力W34,W41,W4である。また、Kは、0<K<1の定数とする。理由は、インプットシェーピング法における先行のインパルスに相当する出力W41よる振動は、半周期後にK・出力W41に減衰しており、これに適合させるためである。また、Kは、固定でなく、半周期の関数とすることもできる。
Claims (5)
- 光を反射して出射するミラー部と、駆動電圧に応じて変形して、前記ミラー部を所定の軸線の回りに往復回動させる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータの変形量に応じた検知信号を出力する検知器とを有する光偏向器と、制御装置とを備え、
前記制御装置は、
鋸波形状の電圧を生成する鋸波電圧生成部と、
前記鋸波形状の電圧の周波数より高い遮断周波数を有し、前記検知器の検知信号から前記遮断周波数以下の信号部分を出力するローパスフィルタと、
前記信号部分としてのローパスフィルタ出力の微分値に基づいて前記ローパスフィルタ出力に含まれる揺らぎ振動及びその出現タイミングの検知と該揺らぎ振動の半周期の算出とを行う揺らぎ振動処理部と、
前記揺らぎ振動の出現タイミングにおける前記ローパスフィルタ出力を該出現タイミングにおける揺らぎ振動の半周期遅らせた遅れ出力を生成する遅れ出力生成部と、
前記鋸波電圧生成部が生成した鋸波形状の電圧を駆動電圧として前記圧電アクチュエータに供給している期間の前記ローパスフィルタ出力と前記遅れ出力との合成出力を生成する合成出力生成部と、
前記光偏向器のミラー部からの反射光を前記軸線の回りの前記ミラー部の往復回動方向に対応する走査方向の走査光として使用するときの前記圧電アクチュエータの駆動電圧を、前記合成出力に基づいて生成する走査光用駆動電圧生成部とを有することを特徴とする光スキャナ。 - 請求項1記載の光スキャナにおいて、
前記制御装置は、
周波数が所定周波数範囲で掃引される共振探索用電圧を生成する共振探索用電圧生成部と、
前記鋸波電圧生成部が生成した鋸波形状の電圧を駆動電圧として前記圧電アクチュエータに供給するのに先立ち、前記共振探索用電圧生成部が生成した共振探索用電圧を駆動電圧として前記圧電アクチュエータに供給し、前記共振探索用電圧の供給期間における前記検知器の検知信号が所定レベル以上となる共振探索用電圧の最小周波数を探索し、前記遮断周波数を該最小周波数未満に設定する遮断周波数設定部とを有することを特徴とする光スキャナ。 - 請求項1又は2記載の光スキャナにおいて、
前記制御装置は、第1判定部を有し、
前記第1判定部は、
前記鋸波電圧生成部が生成する鋸波形状の電圧の傾斜直線変化に対応する傾斜直線変化出力に対する前記合成出力生成部が生成した合成出力の差分が第1閾値以上となることが有るか無いかを判定する第1判定処理を実施し、
無いとの判定結果であれば、前記走査光用駆動電圧生成部が前記圧電アクチュエータの走査光用駆動電圧を前記合成出力に基づいて生成することを許容し、
有るとの判定結果であれば、無いとの判定結果になるまで、前記ローパスフィルタの遮断周波数を所定量下げて、前記合成出力が更新されてから、更新後の合成出力に基づいて前記第1判定処理を再実行することを繰り返すことを特徴とする光スキャナ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光スキャナにおいて、
前記制御装置は、第2判定部を有し、
前記第2判定部は、
前記合成出力生成部が生成した合成出力に基づいて生成した試験電圧を前記圧電アクチュエータに駆動電圧として供給する試験期間を設け、該試験期間において、前記鋸波電圧生成部が生成する鋸波形状の電圧の傾斜直線変化に対応する傾斜直線変化のレベルに対する前記検知器の検知信号のレベルの差分が第2閾値以上となることが有るか無いかを判定する第2判定処理を実施し、
無いとの判定結果であれば、前記走査光用駆動電圧生成部が前記圧電アクチュエータの走査光用駆動電圧を前記合成出力に基づいて生成することを許容し、
有るとの判定結果であれば、無いとの判定結果になるまで、前記試験電圧を、前記試験期間に前記合成出力生成部が再生成した合成出力に基づいて再生成した更新後の試験電圧に更新してから、前記第2判定処理を再実行することを繰り返すことを特徴とする光スキャナ。 - 光を反射して出射するミラー部と、駆動電圧に応じて変形して、前記ミラー部を所定の軸線の回りに往復回動させる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータの変形量に応じた検知信号を出力する検知器とを有する光偏向器の制御方法において、
鋸波形状の電圧を前記圧電アクチュエータに供給する工程と、
前記鋸波形状の電圧の周波数より高い遮断周波数を有するローパスフィルタから、該検知信号の前記遮断周波数以下の信号部分を出力させる工程と、
前記信号部分としてのローパスフィルタ出力の微分値に基づいて前記ローパスフィルタ出力に含まれる揺らぎ振動及びその出現タイミングの検知と該揺らぎ振動の半周期の算出とを行う工程と、
前記揺らぎ振動の出現タイミングにおける前記ローパスフィルタ出力を該出現タイミングにおける揺らぎ振動の半周期遅らせた遅れ出力を生成する工程と、
前記ローパスフィルタ出力と前記遅れ出力との合成出力を生成する工程と、
前記光偏向器のミラー部からの反射光を前記軸線の回りの前記ミラー部の往復回動方向に対応する走査方向の走査光として使用するときの前記圧電アクチュエータの駆動電圧を、前記合成出力に基づいて生成する工程とを備えることを特徴とする光偏向器の制御方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014114759A JP6324817B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 光スキャナ及び光偏向器の制御方法 |
US14/724,344 US9893263B2 (en) | 2014-06-03 | 2015-05-28 | Driver for optical deflector using combined saw-tooth drive voltage and method for controlling the same |
EP15170301.4A EP2953125B1 (en) | 2014-06-03 | 2015-06-02 | Driver for optical deflector using combined saw-tooth drive voltage and method for controlling the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014114759A JP6324817B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 光スキャナ及び光偏向器の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015230326A true JP2015230326A (ja) | 2015-12-21 |
JP6324817B2 JP6324817B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=53385490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014114759A Active JP6324817B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 光スキャナ及び光偏向器の制御方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9893263B2 (ja) |
EP (1) | EP2953125B1 (ja) |
JP (1) | JP6324817B2 (ja) |
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EP2953125A1 (en) | 2015-12-09 |
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EP2953125B1 (en) | 2017-11-01 |
US9893263B2 (en) | 2018-02-13 |
JP6324817B2 (ja) | 2018-05-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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