JP2015219516A - 光偏向器及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
h1<h3・・・(1)
h2>h3+h4・・・(2)
w1>8・h1・・・(3)
w2<2・h3・・・(4)
Claims (7)
- 光を反射するミラー部と、
前記ミラー部の回転軸線となる第1軸線に沿って前記ミラー部の両側から突出するトーションバーと、
前記ミラー部及び前記トーションバーを包囲する可動枠部と、
前記可動枠部と前記トーションバーとの間に介在し、前記ミラー部と前記トーションバーとを前記第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータと、
前記可動枠部を包囲する支持枠部と、
前記可動枠部と前記支持枠部との間に介在し、前記ミラー部が前記第1軸線に対して直交する回転軸線となる第2軸線の回りに往復回動するように、前記可動枠部を、前記第2軸線に対応する軸線の回りに往復回動させる第2圧電アクチュエータとを備える光偏向器であって、
前記第1圧電アクチュエータ、前記可動枠部、前記第2圧電アクチュエータ及び前記支持枠部は、第1SOIウェハの活性層を含み、
前記第1圧電アクチュエータ及び前記第2圧電アクチュエータは、前記第1SOIウェハの活性層の上に形成された圧電膜層を含み、
前記ミラー部、前記トーションバー、前記第1圧電アクチュエータ及び前記可動枠部は、第2SOIウェハの活性層を含み、
前記第1SOIウェハの活性層と前記第2SOIウェハの活性層とは、前記第1圧電アクチュエータ及び前記可動枠部において、前記第1SOIウェハの前記活性層が前記第2SOIウェハの前記活性層に対して上側となるように接合され、
前記ミラー部は、前記第1SOIウェハに形成された貫通孔を介して上方に開放され、かつ、前記第2SOIウェハの活性層の上に形成された金属膜をミラー面として有することを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記第2圧電アクチュエータは、ミアンダパターン配列で直列に結合された複数の圧電カンチレバーから構成され、
前記第1SOIウェハの活性層は、前記第2SOIウェハの活性層より薄いことを特徴とする光偏向器。 - 請求項1又は2に記載の光偏向器において、
前記支持枠部は、前記第1SOIウェハの活性層の下側に前記第1SOIウェハの埋め込み酸化膜層及び支持層を含み、
前記ミラー部は、前記第2SOIウェハの活性層の下側に前記第2SOIウェハの埋め込み酸化膜層及び支持層を含み、
前記支持枠部の内周側には、前記第1SOIウェハの前記埋め込み酸化膜層及び前記支持層が除去されて下方に開口する内側空間が形成されており、
前記第2SOIウェハは前記内側空間に配設され、
前記ミラー部における前記第2SOIウェハの前記支持層は、補強リブとして加工されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項3に記載の光偏向器において、
前記可動枠部は前記第2SOIウェハの埋め込み酸化膜層及び支持層を含み、
前記支持枠部の下端は前記第2SOIウェハの前記支持層の下端より下に位置することを特徴とする光偏向器。 - 請求項2に記載の光偏向器において、
前記圧電カンチレバーの幅は、前記第1SOIウェハの前記活性層の厚みの8倍より大きく、
前記トーションバーの幅は、前記第2SOIウェハの前記活性層の厚みの2倍未満であることを特徴とする光偏向器。 - 光を反射するミラー部と、前記ミラー部の回転軸線となる第1軸線に沿って前記ミラー部の両側から突出するトーションバーと、前記ミラー部及び前記トーションバーを包囲する可動枠部と、前記可動枠部と前記トーションバーとの間に介在し、前記ミラー部と前記トーションバーとを前記第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータと、前記可動枠部を包囲する支持枠部と、前記可動枠部と前記支持枠部との間に介在し、前記ミラー部が前記第1軸線に対して直交する回転軸線となる第2軸線の回りに往復回動するように、前記可動枠部を、前記第2軸線に対応する軸線の回りに往復回動させる第2圧電アクチュエータとを備える光偏向器の製造方法であって、
第1SOIウェハに対し、その活性層の上に圧電膜層を形成した後、前記活性層より上の前記第1圧電アクチュエータ及び前記第2圧電アクチュエータの上側部分を作製する工程と、
前記第1SOIウェハに対し、下からのエッチングにより、前記活性層の下面より下でかつ前記支持枠部が包囲する内側空間を形成する工程と、
前記ミラー部と前記トーションバーと前記第1圧電アクチュエータの下側部分と前記可動枠部の下側部分とが形成された第2SOIウェハと、第1SOIウェハとを前記第1圧電アクチュエータ及び前記可動枠部において接合する工程と、
前記第1SOIウェハの活性層に対し、前記第2SOIウェハの前記ミラー部の上方範囲において貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔を介して前記ミラー部の上面に金属膜を成膜して前記ミラー部のミラー面を形成する工程とを備えることを特徴とする製造方法。 - 請求項6記載の製造方法において、
前記第1SOIウェハの活性層は、前記第2SOIウェハの活性層より薄いことを特徴とする製造方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016224363A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
WO2019097772A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイスの製造方法 |
JP2020086316A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
JP2020204695A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | スタンレー電気株式会社 | 製造方法及び光偏向器 |
US20210132368A1 (en) | 2017-07-06 | 2021-05-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11635615B2 (en) * | 2017-12-21 | 2023-04-25 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Actuator, optical scanning device, and manufacturing methods |
DE102018112809A1 (de) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | Blickfeld GmbH | Betätigung eines Scanspiegels mit einer elastischen Kopplung |
US11221478B2 (en) * | 2019-04-15 | 2022-01-11 | Microsoft Technology Licensing, Llc | MEMS scanner |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002056554A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Fujitsu Ltd | ガルバノマイクロミラーとこれを用いた光ディスク装置 |
JP2006081320A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
JP2009169290A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
US20100068697A1 (en) * | 2006-11-28 | 2010-03-18 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
JP2014059527A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4926596B2 (ja) | 2006-08-08 | 2012-05-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
JP5172364B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2013-03-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
US7605966B2 (en) | 2008-01-21 | 2009-10-20 | Stanley Electric Co., Ltd. | Optical deflector |
NO336140B1 (no) | 2009-09-18 | 2015-05-26 | Sintef | Aktuator for mikro optisk enhet |
JP5775340B2 (ja) | 2011-03-25 | 2015-09-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP5775409B2 (ja) | 2011-09-29 | 2015-09-09 | スタンレー電気株式会社 | 光スキャナの製造方法 |
-
2014
- 2014-05-21 JP JP2014105720A patent/JP6284427B2/ja active Active
-
2015
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- 2015-05-13 EP EP15167660.8A patent/EP2947497B1/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002056554A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Fujitsu Ltd | ガルバノマイクロミラーとこれを用いた光ディスク装置 |
JP2006081320A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ |
US20100068697A1 (en) * | 2006-11-28 | 2010-03-18 | Drexel University | Piezoelectric microcantilever sensors for biosensing |
JP2009169290A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2014059527A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器の製造方法 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016224363A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
US11733509B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-08-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11740452B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-08-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US20210132368A1 (en) | 2017-07-06 | 2021-05-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11187872B2 (en) | 2017-07-06 | 2021-11-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11635613B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-04-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11681121B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
WO2019097772A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイスの製造方法 |
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