JP2015213113A - リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態の描画装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の描画装置100を示す概略図である。描画装置100は、例えば、荷電粒子線(ビーム)を基板1に照射して基板1にパターンを形成する形成部2と、基板1を保持してベース部材3上を可動のステージ4と、制御部10とを含みうる。描画装置100では、一般に、真空中において荷電粒子線を基板1に照射する必要がある。そのため、第1実施形態の描画装置100では、少なくともベース部材3およびステージ4がチャンバ5の内部に収容されており、形成部2がチャンバ5の上壁によって支持されている。これにより、描画装置100は、チャンバ5の内部を真空状態にして、真空中において荷電粒子線を基板1に照射することができる。ここで、チャンバ5は、例えば、描画装置100が配置される床からの振動を低減するためのマウント9を介して当該床によって支持されうる。また、制御部10は、例えばCPUやメモリなどを有し、基板1への描画処理を制御する(描画装置100の各部を制御する)。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記のリソグラフィ装置(描画装置)を用いて潜像パターンを形成する工程(基板に描画を行う工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を処理(例えば現像)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。なお、リソグラフィ装置は、ビーム(荷電粒子線またはEUV光等)を用いてパターン形成(パターニング)を基板に行う装置に限られず、インプリント装置であってもよい。その場合、上記の現像工程は、形成されたレジストパターンにおける残膜を除去する周知のエッチング工程またはその他の周知の工程に置換されうる。
Claims (12)
- パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
ベース部材と、
前記基板を保持して前記ベース部材上を可動のステージと、
前記ステージに保持された基板にパターン形成を行う形成部と、
前記ベース部材および前記ステージを収容し、かつ前記形成部を支持するチャンバと、
前記形成部と前記ベース部材との相対位置を検出する検出部と、
前記ベース部材を駆動する駆動部と、
前記検出部によって検出された前記相対位置が目標相対位置になるように前記駆動部を制御する制御部と、
を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記制御部は、前記チャンバ内を大気圧から減圧した場合に前記相対位置が前記目標相対位置になるように前記駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置
- 前記チャンバ内の気圧を計測する計測部を更に含み、
前記制御部は、前記計測部によって計測された気圧に閾値以上の変化が生じた場合に、前記検出部に前記相対位置を検出させて前記駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記ステージは、前記ベース部材に対して前記相対位置を変化させる方向に可動であり、
前記駆動部による前記方向における前記ベース部材の可動量は、前記ベース部材に対する前記ステージの前記方向における可動量より大きい、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記相対位置は、相対的な並進および相対的な回転のうち少なくとも一方に関する、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記検出部は、それぞれが前記形成部と前記ベース部材との間の距離を検出する複数のセンサを含み、
前記制御部は、前記複数のセンサの出力に基づいて前記駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記駆動部は、それぞれが前記ベース部材を駆動するための複数のアクチュエータを含み、
前記制御部は、前記検出部の出力に基づいて前記複数のアクチュエータを制御する、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記形成部は、前記パターン形成のためのビームを前記基板に照射する照射部を含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記形成部は、前記照射部を複数含む、ことを特徴とする請求項8に記載のリソグラフィ装置。
- 前記検出部は、前記ベース部材上において前記ステージが移動する領域の外側の領域に設けられている、ことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記検出部は、静電容量センサおよび渦電流式変位センサのうち少なくとも1つを含む、ことを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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