JP2015184209A5 - - Google Patents
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Description
通信プロトコルを用いたソフトウェアトリガー方式は、兼用される割り込み端子を他の用途に使用する機会を減少させない点で優れている。
(9)本発明の一態様では、前記信号処理部は、前記プログラマブルゲインアンプの出力をアナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器をさらに有し、前記制御回路は、前記アナログ−デジタル変換器が前記複数の検出軸の一軸の物理量信号をデジタル変換した後から、前記複数の検出軸の他の一軸の物理量信号をデジタル変換する前に、前記アナログ−デジタル変換器をディスイネーブルにすることができる。
(10)本発明の一態様では、前記物理量センサー素子は、温度センサー素子を含み、
前記信号処理部は、前記温度センサー素子からの温度信号と、前記物理量信号とを、前記処理期間中にシリアル処理し、前記制御回路は、前記温度信号をシリアル処理する分割処理期間にて、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルとした後に、前記アナログ−デジタル変換器をイネーブルにすることができる。
前記信号処理部は、前記温度センサー素子からの温度信号と、前記物理量信号とを、前記処理期間中にシリアル処理し、前記制御回路は、前記温度信号をシリアル処理する分割処理期間にて、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルとした後に、前記アナログ−デジタル変換器をイネーブルにすることができる。
物理量信号を温度補償するために温度信号が必要となる場合がある。そのために、物理量信号と共に温度信号が検出される。処理期間または間欠測定モードの当初にて温度信号をシリアル処理する分割処理期間にて、温度信号が入力されるプログラマブルゲインアンプが先ずイネーブルされ、その後にアナログ−デジタル変換器をイネーブルしている。プログラマブルゲインアンプで信号処理している間は、アナログ−デジタル変換器をイネーブルさせるタイミングを遅らせることで、消費電力を低減できる。
(11)本発明の他の態様に係るセンサーユニットでは、(1)〜(10)に記載の物理量センサーである第1物理量センサーと、前記第1物理量センサーが検出する物理量以外の物理量を検出する第2物理量センサーと、を有し、前記第1物理量センサーの前記信号処理部と、前記第2物理量センサーの信号処理部とは、前記外部トリガーに基づいて信号処理を開始するセンサーユニットに関する。
第1物理量センサーの信号処理部と、第2物理量センサーの信号処理部とが、外部トリガーに基づいて信号処理を開始することで、2つの異なる物理量検出信号の位相を一致させることができる。それにより、例えば第1物理量信号が加速度信号であり、第2物理量信号が脈波信号である時、脈波信号に含まれる体動を加速度信号に基づいて除去することができる。
(12)本発明のさらに他の態様に係るセンサーユニットでは、(1)〜(10)に記載の物理量センサーである第1物理量センサーと、前記第1物理量センサーが検出する物理量以外の物理量を検出する第2物理量センサーと、を有し、前記第1物理量センサーの前記信号処理部と、前記第2物理量センサーの信号処理部とは、同一周波数にて信号処理することができる。
ここで、可動電極31Aと固定電極21とのペアと、可動電極31Bと固定電極23とのペアとを、第1容量形成部41と称する。同様に、可動電極31Aと固定電極22とのペアと、可動電極31Bと固定電極24とのペアとを、第2容量形成部42と称する。差動容量型加速度センサー素子10は、第1容量形成部41の一端11と、第2容量形成部42の一端12と、第1,第2容量形成部41,42の共通端13とを含む。図2(B)に示す加速度aが作用したとき、第1容量形成部41の容量値は減少する一方で、第2容量形成部42の容量値は増大する。このため、共通端13に電荷を供給した状態で錘部31に加速度aが作用すると、第1,第2容量形成部41,42の一端11,12からそれぞれ出力される電荷(信号)は絶対値が等しく符号が逆の差動信号対となる。
(3)加速度センサーの回路図
図2(B)は、加速度aが作用する一軸方向の加速度を検出する例について説明した。図3に示すか速度センサー1には、検出軸をN(Nは2以上の整数)軸とし、例えばN=3とする場合の直交三軸(広義には交差N軸)であるX軸、Y軸およびZ軸をそれぞれの検出軸とする第1〜第3の差動容量型加速度センサー素子10X,10Y,10Zが設けられている。
図2(B)は、加速度aが作用する一軸方向の加速度を検出する例について説明した。図3に示すか速度センサー1には、検出軸をN(Nは2以上の整数)軸とし、例えばN=3とする場合の直交三軸(広義には交差N軸)であるX軸、Y軸およびZ軸をそれぞれの検出軸とする第1〜第3の差動容量型加速度センサー素子10X,10Y,10Zが設けられている。
第1〜第3の差動容量型加速度センサー素子10X,10Y,10Zの各々は、図2(A)に示す第1,第2容量形成部41,42を有し、第1,第2容量形成部41,42の固定容量間には軸毎に異なるオフセットがある。オフセットがあるまま加速度を検出すると、加速度が作用しない時でも加速度が存在する値が出力されてしまう。そこで、オフセット調整(キャリブレーション)が必要となる。
マルチプレクサー110の後段には、アナログ回路である容量検出回路(広義には信号処理部)130として、例えば電荷−電圧変換(QV)アンプ131、プログラマブルゲインアンプ(PGA)132及びアナログ−デジタル変換器(ADC)133等を有する。QVアンプ131は、時分割入力される差動容量型加速度センサー素子10X,10Y,10Zからの電荷を電圧に変換する。差動容量型加速度センサー素子10X,10Y,10Zからの出力は差動信号であるから、QVアンプ131は差動増幅回路として機能する。PGA132は、QVアンプ131の出力を、各軸毎に設定されたゲインで増幅する。ADC133は、PGA132の出力をアナログ−デジタル変換する。
IC100には、外部から電源電圧VDD,GNDが入力される。IC100には、電源電圧VDD(例えば3V)を降圧してロジック電源電圧VDDL(例えば1.8V)を生成する第1レギュレータREG1と、電源電圧VDDを降圧してアナログ電源電圧VDDA(例えば1.8V)を生成する第2レギュレータREG2とが設けられている。なお、第1レギュレータREG1は、加速度センサー1の起動によりイネーブルとなり、加速度センサー1が稼働している間(スタンバイ、休止期間等を含む)に亘ってロジック電源電圧VDDLを生成するロジック電源回路である。一方、第2レギュレータREG2は、イネーブルまたはディスイネーブルに切り替えられるアナログ電源回路であり、イネーブル期間のみアナログ電源電圧VDDAを生成する。
また、PGA132のイネーブル期間は、サンプルA期間とサンプルB期間とに二分される。同様に、ADC133の動作期間は、サンプリング期間と比較期間とに二分される。PGA132のサンプルB期間は、ADC133のサンプリング期間と時間軸上で重複して設定できる。また、ADC133の比較期間は、PGA132のサンプルA期間と時間軸上で重複して設定できる。それにより、温度計測、X軸加速度計測、Y軸加速度計測及びZ軸加速度計測の各期間を短縮でき、トータルの1回計測期間も短縮される。
(7)第1レギュレータREG1
図12に、第1レギュレータREG1の一例を示す。第1レギュレータREG1は、非反転入力端子と反転入力端子の間に、仕事関数差電圧によるオフセット電圧VOFFを有する差動型の増幅回路AMと、増幅回路AMの出力ノードNQ1と第1の電源ノードVSSとの間に直列に設けられる第1の抵抗RB1及び第2の抵抗RB2と、第1の抵抗RB1と第2の抵抗RB2の接続ノードNQ2に一端が接続される位相補償用キャパシターC0を含む。第1、第2の抵抗RB1、RB2の接続ノードNQ2の信号が、増幅回路AMの非反転入力端子に帰還され、増幅回路AMの出力ノードNQ1の信号が、増幅回路AMの反転入力端子に帰還される。
図12に、第1レギュレータREG1の一例を示す。第1レギュレータREG1は、非反転入力端子と反転入力端子の間に、仕事関数差電圧によるオフセット電圧VOFFを有する差動型の増幅回路AMと、増幅回路AMの出力ノードNQ1と第1の電源ノードVSSとの間に直列に設けられる第1の抵抗RB1及び第2の抵抗RB2と、第1の抵抗RB1と第2の抵抗RB2の接続ノードNQ2に一端が接続される位相補償用キャパシターC0を含む。第1、第2の抵抗RB1、RB2の接続ノードNQ2の信号が、増幅回路AMの非反転入力端子に帰還され、増幅回路AMの出力ノードNQ1の信号が、増幅回路AMの反転入力端子に帰還される。
図13に示す第1レギュレータREG1では、図12の増幅回路AMの破線で囲まれた個所に素子または回路を増設し、起動時とアクティブ時に増幅回路AMに流れる動作電流IOPを増大させ、能力を増大させている。図13に示すように、増幅回路AMの出力部QBの接地端側に設けられた出力トランジスタT1と並列にトランジスタT2を追加した。増幅回路AMの差動部DFに増設したトランジスタT3と、トランジスタT3と同一ゲート電圧が印加されるトランジスタT4とで、カレントミラー回路CMを構成している。カレントミラー回路CMの電流源として、起動時に動作する第1電流源IS1と、アクティブ時に動作する第2電流源IS2とが追加されている。起動時に動作する第1電流源IS1では、起動によりスタートスイッチSTSTRがオンされて、カレントミラー回路CMに電流を流す。
スタンバイ時ではカレントミラーCMに電流が流れず、増幅回路AMは弱反転領域で動作して、差動部DFに例えば150nAが流れ、出力部QBに例えば550nAが流れ、動作電流IOPとして700nAが流れる。起動時にスタートスイッチSTSTRがオンすると、カレントミラー回路CMの動作によって、増設されたトランジスタT2及びT3に破線の矢印で示すように20μAが流れ、動作電流IOPを50μAまで増大させることができる。なお、スタートスイッチSTSTRはパワーオンリセット信号を用いて、起動後の所定定時間経過後にオフされる。第2レギュレータRGE2がイネーブルとなったアクティブ時には、第1電流源IS1に代わって第2電流源IS2がオンされ、動作電流IOPを例えば30μAまで増大させることができる。こうして、第1レギュレータREG1の起動時及びアクティブ時(過負荷時)の能力を高めることができる。
本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、アナログ電源回路REG2、信号処理部(アナログ回路)130、制御回路170等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。また、本発明が適用される物理量検出回路は、デジタル出力するものに限らず、ADC133を有しないアナログ出力にも適用することができる。物理量センサーとしては、加速度センサーに限らず、例えば、角速度センサー、圧力センサーなど、物理量を検出する各種センサーに適用できる。
1 加速度センサー、10 加速度センサー素子、100 IC、130 信号処理部、131 QVアンプ(差動増幅回路)、132 プログラマブルゲインアンプ(PGA)、133 アナログ−デジタル変換器(ADC)、150 レジスタ(第2レジスタ)、150D 第1レジスタ(ビジーフラグレジスタ)、200 CPU、300 他の物理量検出センサー(脈波センサー)、310 信号処理部、320 センサーユニット、REG1 ロジック電源回路(第1レギュレータ)、REG2 アナログ電源回路(第2レギュレータ)
Claims (15)
- 物理量センサー素子と、前記物理量センサー素子に接続されたICと、を有し、
前記ICは、
アナログ電源回路と、
前記アナログ電源回路から電圧が供給され、前記物理量センサー素子からの信号を処理する信号処理部と、
外部トリガーに基づく処理期間において前記アナログ電源回路をイネーブルに設定し、前記物理量センサー素子からの物理量信号を前記信号処理部にて処理させ、前記処理期間以外において前記アナログ電源回路をディスイネーブルに設定する制御回路と、
を有することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1において、
前記制御回路は、
前記外部トリガーが設定される毎に前記処理期間において前記アナログ電源回路をイネーブルに設定する間欠計測モードと、
前記アナログ電源回路をイネーブルに設定し、前記物理量センサー素子からの物理量信号を前記信号処理部が連続的に処理する連続計測モードと、
を切り替え可能であることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1または2において、
前記ICは、前記外部トリガーが入力される外部端子を有することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1または2において、
前記ICは、インターフェイス回路を有し、
前記制御回路には、前記インターフェイス回路を介して前記外部トリガーが入力されることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、
前記ICは、前記外部トリガーに基づいて生成されるビジーフラグを格納する第1レジスタをさらに有し、
前記制御回路は、前記第1レジスタのビジーフラグに基づいて、前記処理期間中に入力される外部トリガーを無視することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記物理量センサー素子は、第1容量形成部と第2容量形成部とを含み、前記第1容量形成部および前記第2容量形成部からの差動信号を出力し、
前記信号処理部は、
前記差動信号の差分を増幅する差動増幅回路と、
前記差動増幅回路の出力を、異なるゲインで増幅できるプログラマブルゲインアンプと、
を有し、
前記制御回路は、前記処理期間中に、前記差動増幅回路をイネーブルに設定した後に、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルに設定することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項6において、
前記信号処理部は、
前記差動信号が入力される第1の差動信号線および第2の差動信号線と、
前記第1容量形成部と前記第2容量形成部との間のオフセット量を格納する第2レジスタと、
前記オフセット量に基づいて容量が設定され、前記第1の差動信号線および前記第2の差動信号線の少なくとも一方に接続される可変容量と、
をさらに有し、
前記制御回路は、前記差動増幅回路をイネーブルに設定した後であって、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルに設定する前に、前記可変容量をリセットすることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項7において、
前記物理量センサーは、複数の検出軸の各々に対して、前記第1容量形成部と前記第2容量形成部とを備え、
前記第2レジスタは、前記複数の検出軸毎に前記オフセット量を格納し、
前記信号処理部は、前記複数の検出軸の物理量信号を、前記処理期間中にシリアル処理し、
前記制御回路は、前記処理期間を前記複数の検出軸毎に分割した分割処理期間の各々にて、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルに設定する前に、前記可変容量をリセットすることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項8において、
前記信号処理部は、前記プログラマブルゲインアンプの出力をアナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器をさらに有し、
前記制御回路は、前記アナログ−デジタル変換器が前記複数の検出軸のうちの第一の軸の物理量信号をデジタル変換した後であって、前記複数の検出軸のうちの第二の軸の物理量信号をデジタル変換する前に、前記アナログ−デジタル変換器をディスイネーブルに設定することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項9において、
前記物理量センサー素子は、温度センサー素子を含み、
前記信号処理部は、前記温度センサー素子からの温度信号と、前記物理量信号とを、前記処理期間中にシリアル処理し、
前記制御回路は、前記温度信号をシリアル処理する分割処理期間にて、前記プログラマブルゲインアンプをイネーブルに設定した後に、前記アナログ−デジタル変換器をイネーブルに設定することを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1乃至10のいずれか一項記載の物理量センサーである第1物理量センサーと、
前記第1物理量センサーが検出する物理量以外の物理量を検出する第2物理量センサーと、
を有し、
前記第1物理量センサーの前記信号処理部と、前記第2物理量センサーの信号処理部とは、前記外部トリガーに基づいて信号処理を開始することを特徴とするセンサーユニット。 - 請求項1乃至10のいずれか一項記載の物理量センサーである第1物理量センサーと、
前記第1物理量センサーが検出する物理量以外の物理量を検出する第2物理量センサーと、
を有し、
前記第1物理量センサーの前記信号処理部と、前記第2物理量センサーの信号処理部とは、同一周波数にて信号処理することを特徴とするセンサーユニット。 - 請求項1乃至10のいずれか一項記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至10のいずれか一項記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。
- 外部トリガーに基づいて処理期間を設定し、
前記処理期間に亘ってアナログ電源回路をイネーブルに設定し、
イネーブルに設定された前記アナログ電源回路から信号処理部に電圧を供給し、
物理量センサー素子から入力される信号を前記処理期間毎に間欠的に処理することを特徴とする物理量検出方法。
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