JP2015106662A - ダイシングフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材に粘着剤層を設けたダイシングフィルムであって、粘着剤層は、50mJ/cm2以上500mJ/cm2以下の光積算照射量により硬化性を有し、ベース樹脂及び架橋剤を含有し、架橋剤は、ベース樹脂100質量部に対して5.0質量部以下の含有量であることを特徴とするダイシングフィルムである。
【選択図】図1
Description
〔1〕基材に粘着剤層を設けたダイシングフィルムであって、粘着剤層は、50mJ/cm2以上500mJ/cm2以下の光積算照射量により硬化性を有し、粘着剤層は、ベース樹脂及び架橋剤を含有し、架橋剤は、ベース樹脂100質量部に対して5.0質量部以下の含有量であることを特徴とするダイシングフィルム。
図1に示す様に、本発明のダイシングフィルム10は、基材1及び粘着剤層2より成る。粘着剤層2は基材1の少なくとも片面に設けられ、ダイシングフィルム10に、ダイシング前の半導体用シリコンウエハやパッケージあるいはダイシング後のチップ等の被着体(以後、単に被着体と呼ぶことがある)を保持する。
ウレタンアクリレートは粘着力を向上することができるので好ましい。
5インチミラーウエハを、実施例で製造したダイシングフィルムの粘着剤層に張り付けて固定し、ダイシングソー(DISCO製 DAD3350)を用いてスピンドル回転数40,000rpm、カッティングスピード50mm/minで10mm□のチップサイズにカットした。ダイシングフィルム表面からカットラインを顕微鏡で観察し、以下の通り評価した。
◎:カットラインからの水浸入がなく、切削水侵入の抑制効果が高い。
○:カットラインからの水浸入幅が10μmより小さく、切削水侵入の抑制効果がある。
×:カットラインからの水浸入幅が10μmより大きく、切削水侵入の抑制効果は無い。
粘着剤層2のベース樹脂として、ガラス転移温度−15℃のアミド基を有するアクリル系樹脂100部、光硬化性樹脂として15官能のオリゴマーのウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名:UA−53H)100部、架橋剤としてポリイソシアネート(日本ポリウレタン工業株式会社製、商品名:コロネートL)0.2部、及び光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール(BASF Japan株式会社製、商品名:イルガキュア651)7部を酢酸エチルに溶解し樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を、乾燥後の粘着剤層の厚みが10μmになるようにベースフィルムにバーコート塗工した後、80℃で5分間乾燥させて、所望の粘着剤層となるフィルムを得た。この粘着剤層となるフィルムを、ポリエチレン(宇部興産株式会社製、商品名:F522N)を1軸混練機で混練後、押出し機で押し出して得た厚み80μmの基材1に、30℃でラミネートロールを用いてラミネートして、ダイシングフィルムを得た。このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
架橋剤を2.5部とした以外は実施例1と同様にしてダイシングフィルムを得た。
このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
架橋剤を5.0部とした以外は実施例1と同様にしてダイシングフィルムを得た。
このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
架橋剤を7.5部とした以外は実施例1と同様にしてダイシングフィルムを得た。
このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
架橋剤を11部とした以外は実施例1と同様にしてダイシングフィルムを得た。
このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
架橋剤を12.5部とした以外は実施例1と同様にしてダイシングフィルムを得た。
このダイシングフィルムの切削水侵入抑制効果の評価結果を表1に示す。
2 粘着剤層
10 ダイシングフィルム
Claims (8)
- 基材に粘着剤層を設けたダイシングフィルムであって、
前記粘着剤層は、ベース樹脂及び架橋剤を含有し、50mJ/cm2以上500mJ/cm2以下の光積算照射量により硬化性を有し、
前記架橋剤は、前記ベース樹脂100質量部に対して5.0質量部以下の含有量であることを特徴とするダイシングフィルム。 - 前記架橋剤は、前記ベース樹脂100質量部に対して0.01質量部以上0.9質量部以下の含有量であることを特徴とする請求項1に記載のダイシングフィルム。
- 前記ベース樹脂は、アミド基を有するアクリル系樹脂を含有することを特徴とする請求項1または2に記載のダイシングフィルム。
- 前記粘着剤層を半導体ウエハのバックグラインドした面に貼り付け、2時間静置した状態において、JIS Z 0237に準拠した測定法で、300cN/25mm以上の180°剥離粘着力を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のダイシングフィルム。
- 前記粘着剤層は、さらに光硬化性樹脂及び光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のダイシングフィルム。
- 前記光硬化性樹脂は、前記ベース樹脂100質量部に対して200質量部以下の含有量であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のダイシングフィルム。
- 前記光硬化性樹脂は、官能基数が2以上20以下のオリゴマーを含有することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のダイシングフィルム。
- 前記オリゴマーがウレタンアクリレートであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のダイシングフィルム。
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