JP2015057638A - レジストパターン形成方法、基板の加工方法及びフォトレジスト組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、フォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成する工程、上記レジスト膜を露光する工程、及び上記露光されたレジスト膜を現像する工程を備えるレジストパターン形成方法であって、上記フォトレジスト組成物が、重量平均分子量が1,000以上7,500以下であり、かつ酸の作用により解離する酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体及び溶媒を含有し、上記フォトレジスト組成物の固形分含量が20質量%以上60質量%以下であることを特徴とする。上記フォトレジスト組成物の25℃における粘度としては、50mPa・s以上150mPa・s以下が好ましい。
【選択図】なし
Description
当該基板の加工方法によれば、上記フォトレジスト組成物を用いるので、容易かつ良好に、基板を3次元構造に加工することができる。
当該レジストパターンの形成方法は、フォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成する工程(以下、「レジスト膜形成工程」ともいう)、上記レジスト膜を露光する工程(以下、「露光工程」ともいう)、及び上記露光されたレジスト膜を現像する工程(以下、「現像工程」ともいう)を備えるレジストパターン形成方法であって、上記フォトレジスト組成物が、重量平均分子量が1,000以上7,500以下であり、かつ酸の作用により解離する酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体及び溶媒を含有し、上記フォトレジスト組成物の固形分含量が20質量%以上60質量%以下であることを特徴とする。
以下、当該レジストパターン形成方法について説明する。
本工程では、後述するフォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成する。レジスト膜を形成する基板としては、例えば、シリコンウエハ、アルミニウム等で被覆されたウエハ等が挙げられる。塗布方法としては、例えば、回転塗布等が挙げられる。
本工程では、上記レジスト膜形成工程で形成したレジスト膜を露光する。この露光は、例えば、所定のマスクパターンを介して行う。
本工程では、上記露光工程において露光したレジスト膜を、アルカリ現像液を用いて現像し、ポジ型のレジストパターンを形成する。
アセトン、メチルエチルケトン、メチルi−ブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、3−メチルシクロペンタノン、2,6−ジメチルシクロヘキサノン等のケトン類;
メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、i−プロピルアルコール、n−ブチルアルコール、t−ブチルアルコール、シクロペンタノール、シクロヘキサノール、1,4−ヘキサンジオール、1,4−ヘキサンジメチロール等のアルコール類;
テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類;
酢酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸i−アミル等のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
フェノール、アセトニルアセトン、ジメチルホルムアミド等が挙げられる。なお、これらの有機溶媒は、1種又は2種以上を用いることができる。
当該基板の加工方法は、上記レジストパターンの形成方法により形成されたレジストパターンをマスクとし、基板をエッチングする工程(以下、「エッチング工程」ともいう)、及び上記エッチング工程後、上記レジストパターンのエッチングにより基板上面の一部を露出させる工程(以下、「露出工程」ともいう)を備え、上記露出工程の後に、上記エッチング工程と上記露出工程とをこの順に少なくとも1回以上繰り返す基板の加工方法である。
以下、上記エッチング工程及び上記露出工程について説明する。
本工程においては、レジストパターンをマスクとし、基板をエッチングする。このエッチングは、フッ素系のガスを用いたドライエッチング条件で行うとよい。ドライエッチング条件は、基板のエッチング速度が速く、上層のレジスト膜の膜減りが小さいガス及び条件を選択することが好ましい。本工程によりレジストパターンの形状を基板に転写することができる。
本工程では、上記エッチング工程の後、上記レジストパターンのエッチングにより基板上面の一部を露出させる。上記レジストパターンのエッチングには、酸素系のガスを用いたドライエッチング条件で行うとよい。ドライエッチング条件は、レジスト膜のエッチング速度が速く、下層の基板の膜減りが小さいガス及び条件を選択することが好ましい。本工程により、さらに基板をエッチング加工するために用いられるマスクとしてのレジストパターンの形状を任意の形状に加工することができる。
次に、上述したレジストパターン形成方法及び基板の加工方法において使用されるフォトレジスト組成物(以下、「フォトレジスト組成物(I)」ともいう)について説明する。フォトレジスト組成物(I)は、酸解離性基を含む構造単位(I)を有する[A]重合体、[B]酸発生体及び[C]溶媒を含有し、固形分含量が20質量%以上60質量%以下である。フォトレジスト組成物(I)は、[D]酸拡散制御体を含有してもよく、また、本発明の効果を損なわない範囲において、その他の成分を含有してもよい。
以下、各構成成分について説明する。
[A]重合体は、酸解離性基を含む構造単位(I)を有し、かつ重量平均分子量が1,000以上7,500以下である重合体である。[A]重合体としては、構造単位(I)以外に、後述する式(1−1)で表される構造単位(II)を有していることが好ましく、後述する構造単位(III)、構造単位(IV)を有していてもよく、また、構造単位(I)〜(IV)以外にも、その他の構造単位を有していてもよい。[A]重合体は、各構造単位を1種又は2種以上有していてもよい。
以下、各構造単位について説明する。
構造単位(I)は、酸解離性基を含む構造単位である。[A]重合体は、酸解離性基を含む構造単位(I)を有することでパターンを形成することができる。構造単位(I)としては、下記式(1−2)で表される構造単位が好ましい。
構造単位(II)は、下記式(1−1)で表される構造単位である。[A]重合体は、このような構造単位(II)を有することにより、アルカリ現像液に対する親和性を向上させることができる。
構造単位(III)は、下記式(1−3)で表される構造単位である。
[A]重合体は、上記構造単位(I)〜(III)以外にもその他の構造単位を有していてもよい。
上記その他の構造単位としては、例えば、
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−メチルプロピル、(メタ)アクリル酸1−メチルプロピル、(メタ)アクリル酸n−ペンチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸1−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸1−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸8−メチル−8−トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸8−エチル−8−トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸3−メチル−3−テトラシクロドデセニル、(メタ)アクリル酸3−エチル−3−テトラシクロドデセニル、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、けい皮酸等の不飽和カルボン酸(無水物)類;
(メタ)アクリル酸2−カルボキシエチル、(メタ)アクリル酸2−カルボキシ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸3−カルボキシ−n−プロピル等の不飽和カルボン酸のカルボキシアルキルエステル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、クロトンニトリル、マレインニトリル、フマロニトリル等の不飽和ニトリル化合物;
(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、クロトンアミド、マレインアミド、フマルアミド等の不飽和アミド化合物;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド化合物;N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロリドン、2−ビニルピリジン、3−ビニルピリジン、4−ビニルピリジン、2−ビニルイミダゾール、4−ビニルイミダゾール等の含窒素ビニル化合物の単量体に由来する構造単位(IV)等が挙げられる。なお、構造単位(IV)は、酸解離性基を含まない。
[A]重合体を合成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。例えば、(i)置換又は非置換ヒドロキシスチレンのフェノール性水酸基を保護基で保護した単量体、例えば、ブトキシカルボニルオキシスチレン、ブトキシスチレン、アセトキスチレン、テトラヒドロピラニルオキシスチレン等と、構造単位(II)以外の所定の構造単位を与える単量体とを共に付加重合させた後、酸触媒又は塩基触媒を作用させることにより、保護基を加水分解して脱離させる方法;(ii)置換又は非置換ヒドロキシスチレンを、構造単位(II)以外の所定の構造単位に対応する単量体と共に付加重合させる方法等が挙げられる。これらの中で、[A]重合体を効率よく合成できる観点から、(i)の方法が好ましい。
[B]酸発生体は、露光により酸を発生する成分である。この発生した酸により[A]重合体等が有する酸解離性基が解離して酸性基等を生じ、[A]重合体の現像液への溶解性が変化することによりレジストパターンを形成することができる。フォトレジスト組成物(I)における[B]酸発生体の含有形態としては、後述するような低分子化合物の形態(以下、適宜「[B]酸発生剤」ともいう)でも、重合体の一部として組み込まれた形態でも、これらの両方の形態でもよい。[B]酸発生体は、1種又は2種以上を含んでいてもよい。
上記式(B4)中、R21、R22及びR23は、それぞれ独立して、置換若しくは非置換の炭素数1〜10の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基、若しくは置換若しくは非置換の炭素数6〜18のアリール基であるか、又はこれらの基のうちの2つが互いに合わせられこれらが結合する硫黄原子と共に構成される環状構造を表し、かつ残りの1つが置換若しくは非置換の炭素数1〜10の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基又は置換若しくは非置換の炭素数6〜18のアリール基を表す。
上記式(B3)及び(B4)中、X−は、R−SO3 −である。Rは、非置換若しくはフッ素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基若しくはカルボキシ基で置換されていてもよいアルキル基、フッ素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基若しくはカルボキシ基で置換されていてもよいシクロアルキル基、フッ素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基若しくはカルボキシ基で置換されていてもよいアリール基、又はフッ素原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基若しくはカルボキシ基で置換されていてもよいアラルキル基である。
上記式(B8)中、R28〜R31は、それぞれ独立して、1価の有機基である。
[C]溶媒は、少なくとも上記[A]重合体、[B]酸発生体、及び必要に応じて加えられる他の成分を溶解できれば特に限定されない。[C]溶媒は、1種又は2種以上を含んでいてもよい。
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートなどのアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、酢酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸n−ブチル、プロピオン酸i−アミル等の脂肪族カルボン酸エステル;
メトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、アセト酢酸メチル等のその他のエステル等が挙げられる。
これらの中で、
アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートとしては、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートがより好ましい。
脂肪族カルボン酸エステルとしては、酢酸エステルが好ましく、酢酸n−ブチルがより好ましい。
その他のエステルとしては、メトキシプロピオン酸エステルが好ましく、メトキシプロピオン酸メチルがより好ましい。
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素;
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールジ−n−ブチルエーテル等のプロピレングリコールジアルキルエーテル;
N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド;
γ−ブチロラクン等のラクトンなどが挙げられる。
フォトレジスト組成物(I)は、[D]酸拡散制御体を含有することが好ましい。[D]酸拡散制御体は、露光により[B]酸発生体等から発生した酸のレジスト膜中における拡散現象を制御し、非露光領域での好ましくない化学反応を抑制する作用を有する。フォトレジスト組成物(I)における[D]酸拡散制御体の含有形態としては、後述するような低分子化合物の形態(以下、適宜「[D]酸拡散制御剤」ともいう)でも、重合体の一部として組み込まれた形態でも、これらの両方の形態でもよい。[D]酸拡散制御体は、1種又は2種以上を含んでいてもよい。
フォトレジスト組成物(I)は、その他の任意成分として必要に応じ、界面活性剤、増感剤、染料、顔料、接着助剤、4−ヒドロキシ−4’−メチルカルコン等のハレーション防止剤、形状改良剤、保存安定剤、消泡剤等を含有していてもよい。
フォトレジスト組成物(I)は、例えば、[A]重合体、[B]酸発生体、必要に応じて含有する他の成分及び[C]溶媒を所定の割合で混合した後、フィルターで濾過することによって調製される。
重合体のMw及びMnは、東ソー社のGPCカラム(G2000HXL 2本、G3000HXL 1本、G4000HXL 1本)を用い、流量1.0mL/分、溶出溶媒:テトラヒドロフラン、カラム温度:40℃の分析条件で、単分散ポリスチレンを標準とするゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した。
重合体の13C−NMR分析は、核磁気共鳴装置(日本電子社の「JNM−ECX400」)を使用し、測定した。
[合成例1]
下記式(L−1)で表される化合物910g、下記式(L−2)で表される化合物358g、下記式(L−3)で表される化合物37g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)105g及びt−ドデシルメルカプタン55gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル160gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合した。重合後、反応溶液を大量のn−ヘキサン中に滴下して、生成した重合体を凝固精製した。次いで、精製して得られた重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル1,500gを加えた後、さらにメタノール3,000g、トリエチルアミン800g及び水150gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶媒及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた重合体をアセトンに溶解したのち、大量の水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥し、重合体(A−1)を得た。得られた重合体(A−1)は、Mwが4,500、Mw/Mnが1.8であった。また、13C−NMR分析の結果、下記式(A−1)で表される各構造単位を有し、それぞれの構造単位の含有割合(モル%)はa/b/c=70.1/25.4/4.5であった。
上記式(L−1)で表される化合物920g、上記式(L−2)で表される化合物345g、上記式(L−3)で表される化合物40g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)105g及びt−ドデシルメルカプタン30gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル1,600gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合した。重合後、反応溶液を大量のn−ヘキサン中に滴下して、生成した重合体を凝固精製した。次いで、精製して得られた重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル1,500gを加えたのち、さらにメタノール3,000g、トリエチルアミン800g及び水150gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶媒及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた重合体をアセトンに溶解したのち、大量の水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥し、重合体(A−2)を得た。得られた重合体(A−2)は、Mwが6,700、Mw/Mnが1.7であった。また13C−NMR分析の結果、上記式(A−1)で表される各構造単位を有し、それぞれの構造単位の含有割合(モル%)は、a/b/c=70.8/24.5/4.7であった。
上記式(L−1)で表される化合物940g、上記式(L−2)で表される化合物325g、上記式(L−3)で表される化合物40g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)79g及びt−ドデシルメルカプタン10gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル1,600gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合した。重合後、反応溶液を大量のn−ヘキサン中に滴下して、生成した重合体を凝固精製した。次いで、精製して得られた重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル1,500gを加えたのち、さらにメタノール3,000g、トリエチルアミン800g及び水150gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶媒及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた重合体をアセトンに溶解したのち、大量の水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥し、重合体(A−3)を得た。得られた重合体(A−3)は、Mwが12,000、Mw/Mnが1.7であった。また、13C−NMR分析の結果、上記式(A−1)で表される各構造単位を有し、それぞれの構造単位の含有割合(モル%)は、a/b/c=72.2/23.1/4.7であった。
ポリ(p−ヒドロキシスチレン)(Mw4,500)480gをジオキサン2,000gに溶解したのち、窒素で30分間バブリングを行った。この溶液にエチルビニルエーテル160g、触媒としてp−トルエンスルホン酸ピリジニウム塩20gを添加し、12時間反応させた。この反応溶液を1質量%アンモニア水溶液に滴下して、重合体を沈澱させた。この重合体を50℃の真空乾燥器内で一晩乾燥し、重合体(A−4)を得た。得られた重合体(A−4)は、Mwが4,500、Mw/Mnが1.6であった。また、13C−NMR分析の結果、下記式(A−4)で表される各構造単位を有し、それぞれの構造単位の含有割合(モル%)は、a/d=54.5/45.5であった。
下記式(L−1)で表される化合物940g、下記式(L−4)で表される化合物608g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)130g及びt−ドデシルメルカプタン13gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル1,550gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して3時間、その後75℃に保持して3時間、さらに95℃に保持して1時間の工程で重合した。重合後、反応溶液を大量のn−ヘキサン中に滴下して、生成した重合体を凝固精製した。次いで、精製して得られた重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル1,200gを加えたのち、さらにメタノール1,200g、トリエチルアミン230g及び水40gを加えて、70℃にて7時間加水分解反応を行なった。反応後、溶媒及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた重合体をアセトンに溶解したのち、大量の水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥し、重合体(A−5)を得た。得られた重合体(A−5)は、Mwが13,500、Mw/Mnが2.4であった。また、13C−NMR分析の結果、下記式(A−5)で表される各構造単位を有し、それぞれの構造単位の含有割合(モル%)は、a/e=55.3/44.7であった。
フォトレジスト組成物の調製に用いた[A]重合体以外の各成分を以下に示す。
B−1:N−(トリフルオロメタンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド
B−2:トリフェニルスルオニウム-トリフルオロメタンスルホネート
B−3:N−(5−メチル−5−カルボキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2−イル)スルホニルオキシスクシンイミド
([C1]溶媒)
C1−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(20℃における粘度:1.3mPa・s)
C1−2:3−メトキシプロピオン酸メチル(20℃における粘度:1.1mPa・s)
C1−3:2−ヘプタノン(20℃における粘度:0.77mPa・s)
C1−4:酢酸n−ブチル(20℃における粘度:0.74mPa・s)
([C2]溶媒)
C2−1:乳酸エチル(20℃における粘度:2.6mPa・s)
D−1:2−フェニルベンズイミダゾール
[A]重合体としての(A−1)100質量部、[B]酸発生剤としての(B−1)6質量部、[C]溶媒としての[C1]溶媒である(C1−1)178質量部及び[D]酸拡散制御剤としての(D−1)0.4質量部を混合して均一溶液としたのち、テフロン(登録商標)製メンブレンフィルター(SUN−SRi社の「Titan3」、孔径1.0μm)でろ過して、フォトレジスト組成物(J−1)を調製した。
下記表1に示す種類及び含有量の各成分を用いた以外は実施例1と同様にしてフォトレジスト組成物(J−2)〜(J−12)及び(CJ−1)〜(CJ−2)を調製した。
上記調製した各フォトレジスト組成物をシリコンウエハ上に1,100rpmで回転塗布したのち、110℃で60秒間PBを行い、レジスト膜を形成した。
上記調製したフォトレジスト組成物、及び上記形成したレジスト膜について、下記方法に従い評価を行った。評価結果を表2に示す。
光干渉式膜厚測定装置(大日本スクリーン製造社の「VM−2010」)を用いて測定した(膜厚の単位はμm)。
上記レジスト膜厚測定で用いたフォトレジスト組成物と同一の組成物をE型粘度計(東機産業社の「RE-80L」)を用いて25℃、4rpmの条件で測定した(粘度の単位はmPa・s)。
フォトレジスト組成物1kgを、濾過圧力0.12MPa、23℃の温度で、孔径0.5μmのポリエチレン製フィルター(日本インテグリス社の「CWUH0S1S3」)を用いて6時間循環濾過した後、同一のフィルターから同一の濾過圧力で1分間に吐出されるフォトレジスト組成物の溶液量を測定し濾過流量(mL/min)とした。なお、加圧ポンプとしてはケミカルポンプ(ヤマダコーポレーション社の「DP−5F」)を用いた。
上記濾過流量の測定で得られたフォトレジスト組成物を、パーティクルセンサ(RION社の「KS−40B」)を用いて測定した。
フォトレジスト組成物中に含まれる0.2μm以上の異物が1mLあたり100個未満の場合は「良好」と、100個以上の場合は「不良」と判定した。
Claims (23)
- フォトレジスト組成物によりレジスト膜を形成する工程、
上記レジスト膜を露光する工程、及び
上記露光されたレジスト膜を現像する工程
を備えるレジストパターン形成方法であって、
上記フォトレジスト組成物が、重量平均分子量が1,000以上7,500以下であり、かつ酸の作用により解離する酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体及び溶媒を含有し、
上記フォトレジスト組成物の固形分含量が20質量%以上60質量%以下であることを特徴とするレジストパターン形成方法。 - 上記フォトレジスト組成物の25℃における粘度が50mPa・s以上150mPa・s以下である請求項1に記載のレジストパターン形成方法。
- 上記式(1−1)で表される構造単位の含有割合が、上記重合体を構成する全構造単位に対して、20モル%以上90モル%以下である請求項3に記載のレジストパターン形成方法。
- 上記レジスト膜形成工程におけるレジスト膜の膜厚が2μm以上20μm以下である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のレジストパターン形成方法。
- 上記露光工程で用いられる放射線がKrFエキシマレーザー光である請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のレジストパターン形成方法。
- 上記溶媒が、20℃における粘度が1.5mPa・s以下である第1溶媒を含み、
上記第1溶媒の全溶媒中の含有量が60質量%以上である請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のレジストパターン形成方法。 - フォトレジスト組成物により基板上にレジスト膜を形成する工程、
上記レジスト膜を露光する工程、
上記露光されたレジスト膜の現像によりレジストパターンを形成する工程、
上記レジストパターンをマスクとし、上記基板をエッチングする工程、及び
上記エッチング工程後、上記レジストパターンのエッチングにより上記基板上面の一部を露出させる工程
を備え、
上記露出工程の後に、上記エッチング工程と上記露出工程とをこの順に少なくとも1回以上繰り返す基板の加工方法であって、
上記フォトレジスト組成物が、重量平均分子量が1,000以上7,500以下であり、かつ酸の作用により解離する酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体及び溶媒を含有し、
上記フォトレジスト組成物の固形分含量が20質量%以上60質量%以下であることを特徴とする基板の加工方法。 - 上記フォトレジスト組成物の25℃における粘度が50mPa・s以上150mPa・s以下である請求項8に記載の基板の加工方法。
- 上記式(1−1)で表される構造単位の含有割合が、上記重合体を構成する全構造単位に対して、20モル%以上90モル%以下である請求項10に記載の基板の加工方法。
- 上記レジスト膜形成工程におけるレジスト膜の膜厚が2μm以上20μm以下である請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 上記露光工程で用いられる放射線がKrFエキシマレーザー光である請求項8から請求項12のいずれか1項に記載の基板の加工方法。
- 酸の作用により解離する酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、
感放射線性酸発生体、及び
溶媒
を含有するフォトレジスト組成物であって、
上記重合体の重量平均分子量が1,000以上7,500以下であり、
上記構造単位が、下記式(1−2)又は下記式(1−4)で表され、
固形分含量が20質量%以上60質量%以下であることを特徴とするフォトレジスト組成物。
- 25℃における粘度が50mPa・s以上150mPa・s以下である請求項14に記載のフォトレジスト組成物。
- 上記溶媒が、20℃における粘度が1.5mPa・s以下である第1溶媒を含み、
上記第1溶媒の全溶媒中の含有量が60質量%以上である請求項14又は請求項15に記載のフォトレジスト組成物。 - 上記第1溶媒が、エステル化合物、鎖状ケトン化合物又はこれらの組み合わせを含む請求項16に記載のフォトレジスト組成物。
- 上記第1溶媒が、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートを含む請求項16又は請求項17に記載のフォトレジスト組成物。
- 上記溶媒が、ヒドロキシ基を有する化合物、環状ケトン化合物又はこれらの組み合わせである第2溶媒をさらに含む請求項16から請求項18のいずれか1項に記載のフォトレジスト組成物。
- 上記式(1−1)で表される構造単位の含有割合が、上記重合体を構成する全構造単位に対して、20モル%以上90モル%以下である請求項20に記載のフォトレジスト組成物。
- 上記重合体を構成する全構造単位中、芳香環を含む構造単位の含有割合が、50モル%以上である請求項14から請求項21のいずれか1項に記載のフォトレジスト組成物。
- KrF露光用である請求項14から請求項22のいずれか1項に記載のフォトレジスト組成物。
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