JP2015042398A - 気泡除去装置、気泡除去方法、及び半導体製造装置の薬液供給システム - Google Patents
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Abstract
【課題】気泡の混在を効果的に抑制可能とする気泡除去装置、気泡除去方法、及び半導体製造装置の薬液供給システムを提供すること。【解決手段】実施形態によれば、気泡除去装置1は、気泡吸着手段及び気泡排出手段を有する。気泡吸着手段は、液体が充填されている容器内において、液体中の気泡を吸着させる。気泡排出手段は、気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込む。気泡排出手段は、取り込んだ気泡を容器から排出させる。気泡吸着手段は、メッシュ構造物11を備える。メッシュ構造物11は、線状部材が格子状に組み合わされている。メッシュ構造物11は、正に帯電可能な帯電部材を含む線状部材を用いて構成されている。【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、気泡除去装置、気泡除去方法及び半導体製造装置の薬液供給システムに関する。
半導体製品の製造工程で使用されるフォトレジスト液等の薬液は、品質保持などのための窒素ガス等とともに薬液タンクに充填される。薬液タンクが運搬などの過程を経て半導体製造装置に設置されるまでの間に、薬液には、窒素ガスが微小な気泡(マイクロバブル)となって溶存するようになる。かかるマイクロバブルを含む薬液を薬液タンクから送り出すと、薬液が流動する経路のうち圧力降下がある部分、あるいは圧力開放がある部分で、マイクロバブルが薬液から分離して大きな気泡を生じさせることになる。大きな気泡が混在している薬液がウェハに供給されると、薬液の塗布不良、さらには塗布不良に起因する欠陥が生じるようになることで、半導体製品の歩留まり及び信頼性に影響が及ぶこととなる。従来、ウェハへ供給される薬液から気泡を除去する技術が知られている。しかし、半導体デバイスの微細化に伴い、圧力損失が大きくなる傾向にあることから、気泡の混在を十分に抑制することが困難となっている。
本発明の一つの実施形態は、気泡の混在を効果的に抑制可能とする気泡除去装置、気泡除去方法、及び半導体製造装置の薬液供給システムを提供することを目的とする。
本発明の一つの実施形態によれば、気泡除去装置は、気泡吸着手段及び気泡排出手段を有する。気泡吸着手段は、液体が充填されている容器内において、液体中の気泡を吸着させる。気泡排出手段は、気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込む。気泡排出手段は、取り込んだ気泡を容器から排出させる。気泡吸着手段は、メッシュ構造物を備える。メッシュ構造物は、線状部材が格子状に組み合わされている。メッシュ構造物は、正に帯電可能な帯電部材を含む線状部材を用いて構成されている。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる気泡除去装置、気泡除去方法及び半導体製造装置の薬液供給システムを詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
(実施形態)
図1は、実施形態にかかる気泡除去装置を含む半導体製造装置の概略構成を示す図である。気泡除去装置1は、例えば、半導体製造装置の薬液供給システムに適用される。半導体製造装置は、例えば、薬液をウェハ9に塗布する。薬液供給システムは、薬液をウェハ9に供給する。薬液は、例えばフォトレジスト液とする。薬液は、フォトレジスト液のほか、ウェハ9に塗布されるいずれの液体であっても良い。薬液は、例えば有機溶剤であっても良い。
図1は、実施形態にかかる気泡除去装置を含む半導体製造装置の概略構成を示す図である。気泡除去装置1は、例えば、半導体製造装置の薬液供給システムに適用される。半導体製造装置は、例えば、薬液をウェハ9に塗布する。薬液供給システムは、薬液をウェハ9に供給する。薬液は、例えばフォトレジスト液とする。薬液は、フォトレジスト液のほか、ウェハ9に塗布されるいずれの液体であっても良い。薬液は、例えば有機溶剤であっても良い。
薬液供給システムは、薬液ボトル2、リキッドエンド(LE)タンク3、供給ポンプ4、フィルタ5、バルブ6及びノズル7を含む。
薬液ボトル2は、薬液の供給源である。LEタンク3は、薬液ボトル2からの薬液を一時貯留する容器である。薬液ボトル2の薬液が無くなった場合、LEタンク3に貯留されている薬液の供給を継続している間に薬液ボトル2を交換する。LEタンク3は、薬液ボトル2の交換時における予備容器としての役割を果たす。気泡除去装置1は、LEタンク3に取り付けられている。
供給ポンプ4は、LEタンク3からの薬液をノズル7へ向けて供給する。フィルタ5は、薬液から不純物及び気泡を除去する。バルブ6は、開閉により、ノズル7からの薬液の吐出を調節する。ノズル7は、スピンコータ8上のウェハ9へ薬液を吐出する。スピンコータ8は、ウェハ9を高速回転させることにより、ノズル7から吐出された薬液をウェハ9の全面に塗布する。
なお、図1には、レジストを供給する管路をLEタンク3から3つに分岐させ、3つの系統においてそれぞれウェハ9にレジストを塗布する例を示している。かかる系統の数は任意であるものとする。
図2は、気泡除去装置の構成を模式的に示す図である。気泡除去装置1は、メッシュ構造物11、中空糸膜12及び排気管13を備える。
メッシュ構造物11は、LEタンク3の側壁を貫いて設けられている。メッシュ構造物11は、液体が充填されている容器内において、液体中の気泡を吸着させる気泡吸着手段である。本実施形態では、メッシュ構造物11は、薬液が充填されているLEタンク3内において、薬液中の気泡を吸着させる。メッシュ構造物11は、線状部材が格子状に組み合わされて構成されている。
中空糸膜12は、LEタンク3の内部に設けられている。中空糸膜12は、気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込み、取り込んだ気泡を容器から排出させる気泡排出手段である。本実施形態では、中空糸膜12は、メッシュ構造物11に吸着された気泡を取り込み、織り込んだ気泡をLEタンク3から排出させる。メッシュ構造物11は、中空糸膜12の周囲に巻き付けられている。
中空糸膜12は、気体を通過させ、かつ液体を通過させない性質を持つ。中空糸膜12は、内部が負圧であるときに、液体に溶存している気体を内側へ取り込むことで、液体から気体を分離させる。
排気管13は、中空糸膜12に接続されている。排気管13は、中空糸膜12内の気体をLEタンク3外部へ排出させる。排気管13には、真空ポンプ14が接続されている。真空ポンプ14を作動させると、排気管13及び中空糸膜12の内部は負圧になる。
図3は、気泡除去装置による気泡の吸着及び排出について説明する図である。図4は、メッシュ構造物及び中空糸膜へ気泡が流動する原理を説明する断面模式図である。なお、図4では、中空糸膜12の断面構成と、メッシュ構造物11を構成する一本の線状部材20の断面構成とを模式的に示している。
線状部材20は、導電性物質22を芯として、導電性物質22をナイロン21でコーティングして構成されている。導電性物質22は、例えば、ステンレス等からなる金属部材とする。金属部材は、ステンレス以外のいずれの金属からなるものであっても良い。ナイロン21は、正に帯電しやすい帯電部材である。LEタンク3の内部では、導電性物質22である金属部材は、ナイロン21がコーティングされていることで、薬液による腐食が抑制される。メッシュ構造物11のうちLEタンク3の外側の部分では、導電性物質22を露出させている。
帯電ガン15は、コロナ放電により対象物を帯電させる帯電装置である。帯電ガン15は、導電性物質22に静電気を生じさせて、導電性物質22を強制的に負に帯電させる。導電性物質22が負に帯電することで、ナイロン21は正に帯電する。気泡除去装置1は、帯電ガン15を用いて、例えば定期的に導電性物質22を帯電させることが望ましい。
マイクロバブルである気泡16は、薬液中に溶存する窒素ガスである。マイクロバブルは、コロイド粒子としての側面を持ち、表面が負に帯電していることが知られている。気泡16は、正に帯電しているナイロン21に引き寄せられる。ナイロン21との間に静電力が作用することで、気泡16は、薬液の流動があってもメッシュ構造物11から流されず、メッシュ構造物11の表面に留められる。
このようにして、メッシュ構造物11は、薬液中の気泡16を吸着させる。メッシュ構造物11は、静電力を利用することで、線状部材20による格子のサイズに対する気泡16の径の大小を問わず、効率良く気泡16を吸着させることができる。なお、格子のサイズは、適宜設計可能であるものとする。
気泡16は、メッシュ構造物11へ吸着されることで、中空糸膜12の近くにまで流動する。気泡16は、内部が負圧とされている中空糸膜12に引き寄せられて、中空糸膜12の内部に取り込まれる。気泡16は、中空糸膜12から排気管13へと排出される。これにより、気泡除去装置1は、薬液から気泡16を除去する。
気泡除去装置1は、フィルタ5で除去が困難なマイクロバブルを効果的に除去可能とする。薬液供給システムは、薬液がLEタンク3を通過する段階にて気泡16を除去しておくことで、LEタンク3以降における、圧力降下あるいは圧力開放がある部分での気泡の発生を抑制できる。
気泡除去装置は、薬液の塗布に影響を及ぼすような気泡の基となるマイクロバブルを除去可能とすることで、薬液供給システムから供給される薬液への気泡の混入を効果的に抑制することができる。気泡除去装置は、気泡をマイクロバブルの段階で除去するため、半導体デバイスの微細化に伴い圧力損失が大きくなる状況下においても、気泡の混在を十分に抑制することができる。半導体製造装置は、薬液への気泡の混在を抑制可能とすることで、薬液の塗布不良を低減できる。半導体製造装置は、薬液の塗布不良に起因する欠陥を低減でき、歩留まり及び信頼性を向上できる。
図5は、メッシュ構造物の構成例を示す図である。メッシュ構造物11は、線状部材20を二次元方向において縦横の格子状に組まれている。さらに、メッシュ構造物11は、かかる二次元方向に垂直な方向において凹凸をなすように、線状部材20を組み合わせて構成されている。かかる凹凸のうちの突起部分23は、線状部材20が鋭角をなしている先端部分とする。
突起部分23は、中空糸膜12側とは逆の方向へ向けて形成されている。このように、メッシュ構造物11は、中空糸膜12とは反対側を凸とする突起部分23を含む。メッシュ構造物11は、突起部分23の先端へ気泡16を誘引させて、気泡16を付着させる。また、メッシュ構造物11は、突起部分23を設けることで、薬液と接触する表面積を大きくすることができる。これにより、メッシュ構造物11は、突起部分23を設けることで、気泡16を効率良く吸着させることができる。
なお、メッシュ構造物11における突起部分23の形状及び構成は、本実施形態で説明するものに限られない。突起部分23は、液体中にて気泡16を誘引可能であれば、いずれの形状及び構成によるものとしても良い。
メッシュ構造物11は、ナイロン21をコーティングした線状部材20からなるものに限られない。線状部材20は、マイクロバブルを電気的に吸着可能であれば良く、ナイロン21以外の帯電部材を備えるものであっても良い。かかる帯電部材として、正に帯電し易い帯電部材を用いることで、メッシュ構造物11は、効率良く気泡16を吸着させることができる。
線状部材20の芯とする導電性物質22は、金属部材以外に、導電性を備えるいずれの物質としても良い。線状部材20は、導電性物質22として、例えば、炭素繊維を用いることとしても良い。なお、メッシュ構造物11は、帯電部材によって気泡16を十分吸着可能であれば、芯とする導電性物質22を省略しても良い。気泡排出手段は、液体から気泡を取り込み可能であれば良く、中空糸膜12以外の部材を備えたものとしても良い。
図6は、気泡除去装置の変形例を示す図である。本変形例にかかる気泡除去装置30は、複数の中空糸膜12を備える。各中空糸膜12には、それぞれメッシュ構造物11が巻き付けられている。気泡除去装置30に設けられる中空糸膜12の数は、中空糸膜12ごとの気泡16の除去能力を考慮して、適宜決定することとしても良い。
なお、気泡除去装置は、LEタンク3に設けられる以外に、薬液供給システムのうちLEタンク3以外のいずれの容器あるいは管路に設けることとしても良い。フィルタ5を通過後の薬液への異物の混入の可能性を考慮すると、気泡除去装置は、薬液がフィルタ5へ流入するより手前の位置に設けられることが望ましい。
薬液供給システムでは、圧力降下あるいは圧力開放により気泡が成長する以前に、マイクロバブルとして存在している段階の気泡16をできるだけ除去することが望ましい。このため、気泡除去装置は、薬液ボトル2から薬液が流出してすぐの位置に設けられることが望ましい。本実施形態では、マイクロバブルが薬液の品質保持のためのガスによるものであるため、気泡除去装置は、薬液を使用するときに気泡16を除去することが望ましい。
気泡除去装置は、半導体製造装置の薬液供給システム以外のいずれの装置に適用しても良い。気泡除去装置は、薬液以外のいずれの液体から、気泡を除去するものであっても良い。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1 気泡除去装置、11 メッシュ構造物、12 中空糸膜、16 気泡、20 線状部材、21 ナイロン、22 導電性物質、23 突起部分、30 気泡除去装置。
Claims (8)
- 液体が充填されている容器内において、前記液体中の気泡を吸着させる気泡吸着手段と、
前記気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込み、取り込んだ気泡を前記容器から排出させる気泡排出手段と、を有し、
前記気泡吸着手段は、線状部材が格子状に組み合わされたメッシュ構造物を備え、
前記メッシュ構造物は、正に帯電可能な帯電部材を含む前記線状部材を用いて構成されていることを特徴とする気泡除去装置。 - 前記線状部材は、導電性物質からなる芯を前記帯電部材でコーティングしてなることを特徴とする請求項1に記載の気泡除去装置。
- 前記帯電部材は、ナイロンであることを特徴とする請求項1又は2に記載の気泡除去装置。
- 前記気泡排出手段は、中空糸膜を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の気泡除去装置。
- 前記メッシュ構造物は、前記中空糸膜とは反対側を凸とする突起部分を含むことを特徴とする請求項4に記載の気泡除去装置。
- 液体が充填されている容器内において、線状部材が格子状に組み合わされたメッシュ構造物に、前記液体中の気泡を吸着させ、
前記メッシュ構造物に吸着された気泡を取り込み、取り込んだ気泡を前記容器から排出させることを含み、
前記メッシュ構造物は、正に帯電可能な帯電部材を含む前記線状部材を用いて構成されたものとすることを特徴とする気泡除去方法。 - 前記線状部材は、導電性物質からなる芯を前記帯電部材でコーティングしてなるものであり、
前記導電性物質を負に帯電させることで、前記帯電部材を正に帯電させることを特徴とする請求項6に記載の気泡除去方法。 - ウェハに薬液を塗布する半導体製造装置において、前記薬液を前記ウェハに供給する薬液供給システムであって、
前記薬液から気泡を除去する気泡除去装置を備え、
前記気泡除去装置は、
前記薬液が充填されている容器内において、前記薬液中の気泡を吸着させる気泡吸着手段と、
前記気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込み、取り込んだ気泡を前記容器から排出させる気泡排出手段と、を有し、
前記気泡吸着手段は、線状部材が格子状に組み合わされたメッシュ構造物を備え、
前記メッシュ構造物は、正に帯電可能な帯電部材を含む前記線状部材を用いて構成されていることを特徴とする半導体製造装置の薬液供給システム。
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