KR20180060361A - 약액 탈기 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고점도 약액 내에 포함된 기포를 효율적으로 분리하여 제거함으로써 공정 불량을 예방할 수 있도록 함과 아울러 고점도 약액의 이송시 차압이 적게 발생되도록 함으로써 약액이 원활하게 이송되어 공급될 수 있도록 하는 약액 탈기 장치를 제공함을 목적으로 한다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 약액에 포함된 기체가 통과 가능한 크기의 공극을 가지며 내부에는 진공이 인가되는 탈기막; 상기 탈기막이 수납되며 상기 탈기막의 외부로 탈기 대상 약액이 공급되는 챔버;를 포함하고, 상기 탈기막의 외표면으로부터 상기 챔버 내의 약액에 포함된 기체를 상기 탈기막의 내부로 흡입하여 탈기 처리하도록 구성된다.

Description

약액 탈기 장치{Chemical degassing device}

본 발명은 약액 탈기 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고점도 약액 내에 포함된 기체를 효율적으로 분리하여 제거함으로써 기판 처리 공정의 불량을 예방할 수 있도록 하는 약액 탈기 장치에 관한 것이다.

평판 기판에 약액을 일정한 두께로 균일하게 코팅하는 기판 코팅 공정는 다양한 분야에서 적용될 수 있으며, 엘시디(LCD)와 같은 평판 디스플레이의 제조를 위하여 유리 기판 표면에 감광성 수지 등(이하,‘약액’이라 칭함)을 분사하여 도포하는 기판 코팅 공정도 그 중에 하나이다.

이와 같은 기판 코팅 공정에 있어서 일반적으로 약액을 질소 기체에 의해 토출 노즐로 압송하게 되는데, 약액 압송 과정에서 약액에 기체가 포함된 상태로 기판의 표면에 분사될 경우에는 공정 불량이 초래되므로, 약액이 토출 노즐로 공급되기 전단계에서 약액에 포함된 기체를 탈기시켜 기포의 발생을 억제할 필요가 있다.

이러한 목적에 사용되는 약액 탈기 장치와 관련된 선행기술의 일례로서, 도 1은 대한민국 등록특허 제10-0454539호에 개시된 중공사막 모듈(1)을 사용하여 탈기 처리를 행하는 약액 탈기 처리 장치를 나타낸 것이다.

상기 중공사막 모듈(1)은 약액 입구(14), 약액 출구(15) 및 배기구(16)를 구비한 캔 체(17) 내에 장전하여 사용한다. 약액 탱크(18)에 저장된 약액(19)에 대하여 질소 공급 배관(20)으로부터 질소 기체를 공급하고, 질소 가스의 압력을 구동력으로 사용하여 약액을 약액 공급 배관(21)을 통해 중공사막 모듈(1)에 공급한다.

약액(19)은 캔 체(17)의 약액 입구(14)로부터 들어가고, 중공사막 모듈(1)의 중공사막의 중공부를 통해 약액 출구(15)로 나온다. 이 때, 중공사막의 외부는 캔 체(17)의 배기구(16)에 접속된 진공 펌프(22)에 의해 감압되며, 약액 출구(15)로부터는 탈기를 끝낸 약액을 얻을 수 있도록 구성되어 있다.

도 2를 참조하여 탈기 과정을 설명하면, 중공사막 모듈(1)의 내부(11)에 약액(19)이 공급되어 유동하고, 중공사막 모듈(1)의 외부(12)에는 진공이 인가되며, 약액(19)에 포함된 기체(B)는 중공사막 모듈(1)의 내부(11)와 외부(12)의 압력차에 의해 중공사막 모듈(1)에 형성된 미세 크기의 공극(1a)을 통하여 중공사막 모듈(1)의 내부(11)에서 외부(12)로 배출된다.

그러나, 이와 같이 약액(19)이 중공사막 모듈(1)의 내부(11)를 따라 유동하면서 탈기를 실시하는 내부 관류 방식에 의할 경우에는, 약액(19)의 점도가 낮은 경우에는 약액(19)의 이송에 문제가 없으나, 약액(19)의 점도가 큰 경우에는 중공사막 모듈(1)의 내부(11)에 차압이 크게 발생하게 되므로 고점도 약액(19)이 원활하게 이송될 수 없는 문제점이 있다.

또한 종래의 약액 탈기 장치는 약액(19)이 약액 입구(14)로 유입된 후에 중공사막 모듈(1)을 통과하여 약액 출구(15)를 향하는 일방향으로만 유동하는 구조로 이루어져 있어 약액(19)의 유동 경로가 짧아 탈기 효율이 낮은 문제점이 있다.

또한 약액 탈기 장치는 약액에 의한 공극(1a)의 폐색을 방지하기 위하여 주기적인 세정 작업을 요하게 되는데, 고점도 약액(19)의 탈기를 실시하는 경우에는 중공사막의 표면에 약액(19)이 부착되어 쉽게 분리되지 않아 세정 작업을 원활하게 수행할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 고점도 약액 내에 포함된 기포를 효율적으로 분리하여 제거함으로써 공정 불량을 예방할 수 있도록 함과 아울러 고점도 약액의 이송시 차압이 적게 발생되도록 함으로써 약액이 원활하게 이송되어 공급될 수 있도록 하는 약액 탈기 장치를 제공함을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은, 챔버 내에서 약액이 이송되는 유로의 길이를 최대한 길게 확보하는 동시에 약액과 탈기막 간의 접촉 면적을 증대시켜 탈기 효율을 향상시킬 수 있는 약액 탈기 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 탈기막과 챔버에 부착되는 고점도 약액의 잔류물을 효과적으로 탈리시켜 제거함으로써 고점도 약액의 정체에 따른 오염 가능성을 제거할 수 있는 약액 탈기 장치를 제공하는데 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 약액 탈기 장치는, 약액에 포함된 기체가 통과 가능한 크기의 공극을 가지며 내부에는 진공이 인가되는 탈기막; 상기 탈기막이 수납되며 상기 탈기막의 외부로 탈기 대상 약액이 공급되는 챔버;를 포함하고, 상기 탈기막의 외표면으로부터 상기 챔버 내의 약액에 포함된 기체를 상기 탈기막의 내부로 흡입하여 탈기 처리하도록 구성된다.

상기 챔버의 중앙에는 약액 공급관이 구비되고, 상기 약액 공급관의 둘레에는 동심 구조로 배치된 복수의 탈기막이 구비될 수 있다.

상기 복수의 탈기막은 나선형으로 감겨진 다수개의 중공사막 다발로 이루어질 수 있다.

상기 복수의 탈기막은 반경방향으로 이격되어 배치되고, 상기 복수의 탈기막 사이에는 상기 챔버 내에서 약액의 유로를 지그재그 방향으로 전환하기 위한 격벽이 구비될 수 있다.

상기 약액 공급관은 상기 챔버의 상부를 관통하여 상기 챔버의 하부까지 연장되어 상기 챔버의 하부에서 약액이 배출되고, 상기 약액 공급관에서 배출된 약액은 상기 격벽의 내측에 위치한 제1탈기막을 경유하여 상방향으로 유동하면서 1차로 탈기되고, 상기 제1탈기막을 통과한 약액은 상기 격벽의 외측에 위치한 제2탈기막을 경유하여 하방향으로 유동하면서 2차로 탈기되는 것으로 구성될 수 있다.

상기 약액 공급관의 하부에는 약액 배출공이 방사상으로 형성될 수 있다.

상기 격벽의 하단은 상기 챔버의 내측 바닥면에 고정되고, 상기 격벽의 상단은 상기 챔버의 내측 상면과 소정 간격 이격되어 위치될 수 있다.

상기 챔버의 상부 중앙에는 상기 약액 공급관과 연결되는 약액 유입구가 형성되고, 상기 챔버의 하부에는 상기 격벽의 외측으로 약액 배출구가 형성될 수 있다.

상기 챔버의 상부에는 상기 복수의 탈기막의 양끝단에 각각 연결되어 진공을 인가하기 위한 복수의 진공포트가 구비될 수 있다.

상기 챔버는, 상기 약액 공급관과 상기 복수의 탈기막이 결합된 상부 챔버와, 상기 상부 챔버의 하부에 체결되며, 상기 격벽이 결합된 하부 챔버로 이루어질 수 있다.

상기 챔버에는 상기 탈기막과 챔버의 세정을 위한 초음파 발생부가 구비될 수 있다.

상기 챔버에는 챔버 내부의 부압을 방지함과 아울러 기체의 배출을 위한 벤트포트가 구비될 수 있다.

본 발명에 따른 약액 탈기 장치에 의하면, 탈기막의 내부에는 진공을 인가하고 챔버에 공급되는 약액은 탈기막의 외부를 유동하는 외부 관류 방식을 적용함으로써, 고점도 약액 내에 포함된 기포를 효율적으로 분리하여 제거할 수 있고, 고점도 약액의 이송시 차압이 적게 발생되도록 하여 약액이 원활하게 이송될 수 있다.

또한 약액 공급관을 챔버의 중앙에 구비하고, 약액 공급관의 둘레에는 복수의 탈기막을 동심구조로 배치함과 아울러 복수의 탈기막 사이에는 약액의 유로를 전환하기 위한 격벽을 설치함으로써, 챔버 내에서 약액이 이송되는 유로의 길이를 최대한 길게 확보하는 동시에 약액과 탈기막 간의 접촉 면적을 증대시켜 탈기 효율을 극대화 할 수 있다.

또한 챔버에는 초음파 발생부를 추가로 구비함으로써, 탈기막과 챔버에 부착되는 고점도 약액의 잔류물을 초음파 진동에 의해 탈리시킴으로써, 효과적인 세정이 가능해져 고점도 약액의 정체에 따른 오염 가능성을 제거할 수 있다.

도 1은 종래 약액 탈기 장치의 구성도,
도 2는 종래 내부 관류 방식의 약액 탈기 장치에서의 탈기 현상을 설명하기 위한 도면,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 약액 탈기 장치의 외관 사시도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 약액 탈기 장치의 투시 사시도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 탈기막의 구성을 보여주는 단면도,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 외부 관류 방식의 약액 탈기 장치에서의 탈기 현상을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 약액 탈기 장치에서 약액과 기체의 유동 경로를 보여주는 단면도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탈기 장치의 단면도.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 약액 탈기 장치(100)는, 약액(C)에 포함된 기체(B)가 통과 가능한 미세 크기의 공극(141,151)을 가지며 내부(142,152)에는 진공이 인가되는 탈기막(140,150)과, 상기 탈기막(140,150)이 수납되며 상기 탈기막(140,150)의 외부(143,153)로 탈기 대상 약액(C)이 공급되는 챔버(110)를 포함하고, 상기 탈기막(140,150)의 외표면으로부터 챔버(110) 내의 약액(C)에 포함된 기체(B)를 탈기막(140,150)의 내부로 흡입하여 탈기 처리하도록 구성되어 있다.

상기 챔버(110)는, 일체형 구조로 구성될 수도 있으나, 본 실시예와 같이 상부 챔버(110a)와 그 하부에 체결되는 하부 챔버(110b)로 분리되어 구성될 수 있다.

상기 상부 챔버(110a)의 상부 중앙에는 액약 유입구(111)가 형성되고, 상기 약액 유입구(111)의 둘레에는 제1 내지 제4 진공포트(112,113,114,115)가 형성되어 있다. 상기 제1진공포트(112)와 제2진공포트(113)는 후술되는 제1탈기막(140)의 양끝단에 연결되어 제1탈기막(140)의 내부에 진공을 인가하는 연결구의 기능을 하고, 상기 제3진공포트(114)와 제4진공포트(115)는 후술되는 제2탈기막(150)의 양끝단에 연결되어 제2탈기막(150)의 내부에 진공을 인가하는 연결구의 기능을 한다.

상기 제1 내지 제4 진공포트(112,113,114,115)에는 진공을 인가하기 위한 진공펌프(미도시됨)가 연결될 수 있다.

그리고, 상부 챔버(110a)의 일측부에는 챔버(110)의 내부에 부압의 발생을 방지하기 위해 대기와 연통되는 벤트포트(116)가 형성되어, 챔버(110) 내부의 압력을 일정 수준으로 유지함으로써 챔버(110)의 내부로 공급된 약액(C)이 원활하게 유동할 수 있도록 한다. 또한 상기 벤트포트(116)는 약액(C)의 유동과정에서 약액(C)으로부터 분리된 기체(B)의 배기구로서 기능한다.

상기 하부 챔버(110b)의 바닥면에는 약액 배출구(117,118)가 형성되어 있다.

상기 챔버(110)의 중앙에는 상기 약액 유입구(111)에 연결되며 수직방향으로 연장된 약액 공급관(120)이 구비되고, 상기 약액 공급관(120)의 하단은 하부 챔버(100b)의 바닥면에 고정된다. 상기 약액 공급관(120)의 하부에는 복수의 약액 배출공(121)이 방사상으로 형성되고, 상기 약액 배출공(121)의 하측에는 복수의 개구부(122)가 형성될 수 있다.

상기 약액 유입구(111)를 통하여 공급되는 약액(C)은 약액 공급관(120)의 내부를 따라 하방향으로 유동한 후에, 상기 약액 공급관(120)의 하부에 형성된 약액 배출공(121)과 개구부(122)를 통하여 약액 공급관(120)의 외부로 배출된다.

상기 탈기막(140,150)은 약액 공급관(120)의 둘레에 동심구조를 이루며 복수로 구비될 수 있다. 일실시예로, 상기 탈기막(140,150)은, 상기 약액 공급관(120)의 둘레에 구비되는 제1탈기막(140)과, 상기 제1탈기막(140)의 둘레에 구비되는 제2탈기막(150)으로 구성될 수 있다. 상기 약액 공급관(120)과 제1탈기막(140) 및 제2탈기막(150)은 반경방향으로 상호 이격되도록 배치될 수 있다.

도 5를 참조하면, 상기 탈기막(140,150)은, 나선형으로 감겨진 다수개의 중공사막 다발로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 탈기막(140,150)은 중공사막 튜브(140a,150a)의 다발로 이루어지고, 상기 중공사막 튜브(140a,150b)의 다발을 둘러싸며 지지하는 중공사막 외피(140b,150b)로 구성될 수 있다. 상기 중공사막 튜브(140a,150a)와 중공사막 외피(140b,150b)에는 약액(C)에 포함된 기체(B)만이 통과하고 액체는 통과하지 못하는 미세 크기의 공극(141,151)이 형성되어 있다.

도 6을 참조하면, 상기 중공사막 튜브(140a,150a)의 내부(142,152)에는 진공이 인가되고, 상기 중공사막 튜브(140a,150a)의 외부(143,153)로 챔버(110)의 내부에는 약액(C)이 공급된다. 따라서, 챔버(110) 내의 약액(B)에 포함된 기체(B)는 중공사막 튜브(140a,150a)의 내부(142,152)와 외부(143,153)의 압력차에 의해 중공사막 튜브(140a,150a)에 형성된 공극(141,152)을 통과하여 중공사막 튜브(140a,150a)의 내부(142,152)로 흡입되어 탈기된다.

이와 같이 탈기막(140,150)의 내부에는 진공을 인가하고 챔버(110)에 공급되는 약액(C)은 탈기막(140,150)의 외부를 유동하는 외부 관류 방식을 적용함으로써, 고점도 약액(C) 내에 포함된 마이크로 단위 크기의 미체 기포 또한 효율적으로 분리하여 제거할 수 있고, 고점도 약액(C)의 이송시 차압이 적게 발생되므로 약액(C)이 원활하게 이송될 수 있어 공정 불량을 예방할 수 있다.

한편, 상기 제1탈기막(140)과 제2탈기막(150) 사이에는 챔버(110) 내에서 약액(C)의 유로가 지그재그 방향으로 전환되도록 유도하는 격벽(130)이 구비된다.

일실시예로, 도 4와 도 6에 도시된 바와 같이 상기 격벽(130)은 원통형으로 이루어지고, 격벽(130)의 하단(131)은 하부 챔버(110b)의 내측 바닥면에 고정되고, 격벽(130)의 상단(132)은 상부 챔버(110a)의 내측 상면과 소정 간격 이격되도록 구비될 수 있다. 그리고, 상기 약액 배출구(117,118)는 격벽(130)의 외측에 위치하도록 구비된다. 도 6에서 제1탈기막(140)과 제2탈기막(150)은 단일 원통형 단면으로 도시되어 있으나, 이는 개략적으로 도시된 형태일 뿐이며, 도 5에서 설명한 바와 같이 제1탈기막(140)과 제2탈기막(150)은 다수개의 중공사막의 다발로 이루어진다.

도 7에서 실선 화살표로 나타낸 바와 같이, 약액 유입구(111)를 통하여 공급되는 약액(C)은 약액 공급관(120) 내부의 공간(S1)을 따라서 하방향으로 유동하고, 약액 공급관(120)의 하부에 형성된 약액 배출공(121)과 개구부(120)를 통하여 약액 공급관(120)의 외부로 배출된다.

상기 약액 공급관(120)의 외부로 배출된 약액(C)은 격벽(130)에 의해 가로막혀 약액 공급관(120)의 외측면과 격벽(130)의 내측면 사이의 공간(S2)을 따라 상방향으로 유동하는 과정에서 제1탈기막(140)과의 접촉에 의해 1차로 탈기된다.

그리고, 약액 공급관(120)과 격벽(130) 사이의 공간(S2)을 따라 상방향으로 유동한 약액(C)은 격벽(130)의 상단(132)과 상부 챔버(110a)의 내측 상면 사이에 마련된 공간(S3)을 통하여 외측방향으로 유동하게 되고, 격벽(130)의 외측면과 하부 챔버(110b)의 내측면 사이의 공간(S4)을 따라 하방향으로 유동하는 과정에서 제2탈기막(150)과의 접촉에 의해 2차로 탈기된 후에 하부 챔버(110b)의 하부에 형성된 약액 배출구(117,118)를 통하여 배출된다.

이와 동시에 제1탈기막(140)과 제2중공막(150)의 내부로 흡입된 기체(B)는 도 7에서 점선 화살표로 나타낸 바와 같이 제1 내지 제4진공포트(112,113,114,115)를 통하여 배기된다.

이와 같이 약액 공급관(120)을 챔버(110)의 중앙에 수직방향으로 구비하고, 약액 공급관(120)의 둘레에는 복수의 탈기막(140,150)을 동심구조로 배치함과 아울러 복수의 탈기막(140,150) 사이에는 약액(C)의 유로를 지그재그 방향으로 전환하기 위한 격벽(130)을 설치함으로써, 챔버(110) 내에서 약액(C)이 이송되는 유로의 길이를 최대한 길게 확보하는 동시에 약액(C)과 탈기막(140,150) 간의 접촉 면적을 증대시켜 탈기 효율을 극대화 할 수 있다.

또한 상기 상부 챔버(110a)에는 약액 공급관(120)과 제1,2탈기막(140,150)이 결합되고, 하부 챔버(110b)에는 격벽(130)이 결합된 구조로 이루어짐에 따라, 약액 탈기 장치(100)의 구성부품의 조립구조를 간소화 할 수 있다. 즉, 상부 챔버(110a)에는 약액 유입구(111)가 상측으로 돌출된 형태로 약액 공급관(120)을 삽입시켜 결합하고, 코일 형태로 감겨져 동심 구조로 배치되는 제1탈기막(140)과 제2탈기막(150)의 각 양끝단은 제1 내지 제4진공포트(112,113,114,115)에 결합하고, 제1탈기막(140)과 제2탈기막(150) 사이에 격벽(130)이 위치하도록 상부 챔버(110a)를 하부 챔버(110b) 상에 체결함으로써 조립작업을 간편하게 수행할 수 있다.

한편, 고점도 약액(C)을 사용함에 따라 챔버(110)의 내부에 구비되는 탈기막(140,150)에는 약액(C)이 부착되어 공극(141,151)이 막히게 되는 현상이 발생하게 되므로, 약액 탈기 장치(100)의 주기적인 세정이 필요하다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 탈기 장치(100-1)는 전술한 실시예의 구성을 모두 포함하고, 챔버(110)에는 초음파 발생부(160)가 추가로 구비된다. 상기 초음파 발생부(160)는 초음파 발진기(161)와 챔버(110)의 하부에 구비된 초음파 진동자(162)로 구성될 수 있다.

약액 탈기 장치(100-1)의 세정 시, 챔버(110)의 내부에 세정액(DI)을 채운 상태에서 초음파 발진기(161)를 가동시키면 초음파 진동자(162)에서 발생하는 초음파 진동이 상기 세정액(DI)에 전달되고, 이로써 탈기막(140,150)과 챔버(110)의 내벽에 부착되는 고점도 약액(C)의 잔류물을 초음파 진동에 의해 손쉽게 탈리시킴으로써, 효과적인 세정이 가능해져 고점도 약액의 정체에 따른 오염 가능성을 제거할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.

100,100-1 : 약액 탈기 장치 100 : 챔버
100a : 상부 챔버 100b : 하부 챔버
111 : 약액 유입구 112 : 제1진공포트
113 : 제2진공포트 114 : 제3진공포트
115 : 제4진공포트 116 : 벤트포트
117,118 : 약액 배출구 120 : 약액 공급관
121 : 약액 배출공 122 : 개구부
130 : 격벽 131 : 격벽의 하단
132 : 격벽의 상단 140 : 제1탈기막
150 : 제2탈기막 140a,150a : 중공사막 튜브
140b,150b : 중공사막 외피 141,151 : 공극
142,152 : 탈기막의 내부 143,153 : 탈기막의 외부
160 : 초음파 발생부 161 : 초음파 발진기
162 : 초음파 진동자 B : 기체
C : 약액

Claims (12)

1. 약액에 포함된 기체가 통과 가능한 크기의 공극을 가지며 내부에는 진공이 인가되는 탈기막;
   상기 탈기막이 수납되며 상기 탈기막의 외부로 탈기 대상 약액이 공급되는 챔버;를 포함하고,
   상기 탈기막의 외표면으로부터 상기 챔버 내의 약액에 포함된 기체를 상기 탈기막의 내부로 흡입하여 탈기 처리하는 약액 탈기 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 챔버의 중앙에는 약액 공급관이 구비되고,
   상기 약액 공급관의 둘레에는 동심 구조로 배치된 복수의 탈기막이 구비된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 복수의 탈기막은 나선형으로 감겨진 다수개의 중공사막 다발로 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
4. 제2항에 있어서,
   상기 복수의 탈기막은 반경방향으로 이격되어 배치되고,
   상기 복수의 탈기막 사이에는 상기 챔버 내에서 약액의 유로를 지그재그 방향으로 전환하기 위한 격벽이 구비된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 약액 공급관은 상기 챔버의 상부를 관통하여 상기 챔버의 하부까지 연장되어 상기 챔버의 하부에서 약액이 배출되고,
   상기 약액 공급관에서 배출된 약액은 상기 격벽의 내측에 위치한 제1탈기막을 경유하여 상방향으로 유동하면서 1차로 탈기되고,
   상기 제1탈기막을 통과한 약액은 상기 격벽의 외측에 위치한 제2탈기막을 경유하여 하방향으로 유동하면서 2차로 탈기되는 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 약액 공급관의 하부에는 약액 배출공이 방사상으로 형성된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 격벽의 하단은 상기 챔버의 내측 바닥면에 고정되고,
   상기 격벽의 상단은 상기 챔버의 내측 상면과 소정 간격 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
8. 제5항에 있어서,
   상기 챔버의 상부 중앙에는 상기 약액 공급관과 연결되는 약액 유입구가 형성되고,
   상기 챔버의 하부에는 상기 격벽의 외측으로 약액 배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
9. 제2항에 있어서,
   상기 챔버의 상부에는 상기 복수의 탈기막의 양끝단에 각각 연결되어 진공을 인가하기 위한 복수의 진공포트가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
10. 제7항에 있어서,
    상기 챔버는, 상기 약액 공급관과 상기 복수의 탈기막이 결합된 상부 챔버와,
    상기 상부 챔버의 하부에 체결되며, 상기 격벽이 결합된 하부 챔버로 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 하부에는 상기 탈기막과 챔버의 세정을 위한 초음파 발생부가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.
12. 제1항에 있어서,
    상기 챔버에는 챔버 내부의 부압을 방지함과 아울러 기체의 배출을 위한 벤트포트가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 탈기 장치.

Images