JP2015023176A - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】少ない器材で、移載ヘッドの複数のノズルに保持された部品を下方および側方から検査する。【解決手段】 部品実装装置１０の移載ヘッド１２は、部品Ｐを上方から吸着保持する複数のノズル２０Ａを周回させるロータリーユニット２２Ａと、部品Ｐを上方から吸着保持する複数のノズル２０Ｂを周回させるロータリーユニット２２Ｂと、ノズル２０Ａの周回軌道Ｒａ上の撮影位置Ｑａ２、Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像と、ノズル２０Ｂの周回軌道Ｒｂ上の撮影位置Ｑｂ２、Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像とを、順次撮影する一台のカメラ３０とを備える。一台のカメラ３０は、ノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する。【選択図】図２

Description

本発明は、部品を基板に実装する部品実装装置および部品実装方法に関する。

従来より、複数の部品を吸着して保持する複数のノズルを備える移載ヘッドを有する部品実装装置が知られている。複数のノズルが複数の部品を保持した状態の移載ヘッドが移動することにより、複数の部品が搬送され基板に装着される。また、部品実装装置は、ノズルに吸着され保持される部品に不良品の部品が存在する可能性があること、またノズルが部品を正常な姿勢から傾いた姿勢で吸着する可能性があることを考慮し、ノズルに保持された部品自体や部品の吸着姿勢を検査するように構成されている。

例えば、特許文献１に記載された部品実装装置の場合、移載ヘッドは部品を上方から吸着する一列に並んだ複数のノズルを備える。また、移載ヘッドは、部品の下方視の像を撮影する第１のカメラと、部品の側方視の像を撮影する第２のカメラとを有する。第１および第２のカメラはスキャンユニットに組み込まれており、スキャンユニットはノズルの列方向に移動可能に移載ヘッドに支持されている。移載ヘッドの移動中、移載ヘッドに対してスキャンユニットを相対移動させることにより、移載ヘッドの複数のノズルそれぞれに保持された部品の下方視の像および側方視の像を同時に２つのカメラによって撮影する。そして、部品の下方視の像が写る第１のカメラの撮影画像と部品の側方視の像が写る第２のカメラの撮影画像とに基づいて、ノズルに保持された部品自体を検査するとともに吸着姿勢を検査する。

特開２００８−２９４０７２号公報

しかしながら、特許文献１に記載された部品実装装置の場合、ノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を撮影するために、二台のカメラを使用する。また、移載ヘッドに搭載された二台のカメラそれぞれについて、部品実装装置の本体に設けられた部品検査装置と信号をやりとりするための信号用ケーブルおよび電力供給用ケーブルが必要である。その結果、装置が煩雑となり部品の検査に必要な器材が多い。

そこで、本発明は、移載ヘッドの複数のノズルそれぞれに保持された部品を、少ない器材で、下方から検査および側方から検査することを課題とする。

上述の課題を解決するために、本発明の第１の態様によれば、
水平方向に移動可能な移載ヘッドを有し、
移載ヘッドが、
部品を上方から吸着して保持するための複数の第１のノズルを支持するとともに周回させる第１のロータリーユニットと、
部品を上方から吸着して保持するための複数の第２のノズルを支持するとともに周回させる第２のロータリーユニットと、
第１のノズルの第１の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第１のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像と、第２のノズルの第２の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第２のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像とを順次撮影する一台のカメラと、を備え、
一台のカメラは、第１および第２のノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する撮影動作を実行する、部品実装装置が提供される。

本発明の第２の態様によれば、
第１の周回軌道上に第１の側方撮影位置と第１の下方撮影位置とが存在し、
第２の周回軌道上に第２の側方撮影位置と第２の下方撮影位置とが存在し、
カメラは、第１および第２の側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、第１および第２の下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影する、第１の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、
カメラは、
第１のノズルに保持された部品の側方視の像と、第２のノズルに保持された部品の下方視の像とを、異なる撮影領域で同時に撮影する第１の同時撮影動作と、
第１のノズルに保持された部品の下方視の像と、第２のノズルに保持された部品の側方視の像とを、異なる撮影領域で同時に撮影する第２の同時撮影動作との少なくとも一方を実行する、第１または第２の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第４の態様によれば、
カメラは、第１の同時撮影動作と第２の同時撮影動作とを順に繰り返して実行する、第３の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第５の態様によれば、
移載ヘッドが、
第１のノズルに保持された部品の下方視の像をカメラの撮像領域に導く第１の光学系と、
第１のノズルに保持された部品の側方視の像をカメラの撮像領域に導く第２の光学系と、
第２のノズルに保持された部品の下方視の像をカメラの撮像領域に導く第３の光学系と、
第２のノズルに保持された部品を側方視の像をカメラの撮像領域に導く第４の光学系と、を備え、
第１、第２の、第３、および第４の光学系が、共通の光学要素としてハーフミラーを含んでいる、第１から第４の態様のいずれか一に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第６の態様によれば、
移載ヘッドが、
第１のノズルに保持された部品に対して、その下方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第１の光源と、
第１のノズルに保持された部品に対して、その側方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第２の光源と、
第２のノズルに保持された部品に対して、その下方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第３の光源と、
第２のノズルに保持された部品に対して、その側方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第４の光源と、を備える、第１から第５の態様のいずれか一に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第７の態様によれば、
第１および第２のロータリーユニットが第１および第２のノズルを鉛直方向に移動可能に支持するように構成され、
第１および第２のロータリーユニットが第１および第２のノズルを高さ位置を変えつつ周回させ、
少なくとも第１および第２の下方撮影位置が第１および第２のノズルの周回軌道における最も高い位置に設定されている、第２に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第８の態様によれば、
水平方向に移動可能な移載ヘッドを有し、
移載ヘッドが、
部品を上方から吸着して保持するための複数のノズルをそれぞれ支持するとともに周回させる複数のロータリーユニットと、
各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の所定の撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を順次撮影する一台のカメラと、を備え、
一台のカメラは、各ロータリーユニットのノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する撮影動作を実行する、部品実装装置が提供される。

本発明の第９の態様によれば、
ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の互いに異なる位置に側方撮影位置と下方撮影位置とが存在し、
カメラは、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、また下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影し、
１つのロータリーユニットの周回軌道上における、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像と、下方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の下方視の像を、一台のカメラによって順次撮影するまたは同時撮影する、第８の態様に記載の部品実装装置が提供される。

本発明の第１０の態様によれば、
複数の第１のノズルを支持する第１のロータリ―ユニットと複数の第２のノズルを支持する第２のロータリーユニットとを備える移載ヘッドを用いて部品実装を実行する部品実装方法であって、
第１のロータリーユニットによって複数の第１のノズルを第１の周回軌道に沿って周回させ、
第２のロータリーユニットによって複数の第２のノズルを第２の周回軌道に沿って周回させ、
第１の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第１のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像と、第２の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第２のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像とを一台のカメラによって順次撮影し、
一台のカメラは、第１および第２のノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する、部品実装方法が提供される。

本発明の第１１の態様によれば、
第１の周回軌道上に第１の側方撮影位置および第１の下方撮影位置とが存在し、
第２の周回軌道上に第２の側方撮影位置および第２の下方撮影位置とが存在し、
カメラにより、第１および第２の側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、第１および第２の下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影する、第１０の態様に記載の部品実装方法が提供される。

本発明の第１２の態様によれば、
それぞれが複数のノズルを支持する複数のロータリーユニットを備える移載ヘッドを用いて部品実装を行う部品実装方法であって、
各ロータリーユニットによって対応する複数のノズルを周回させ、
各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の所定の撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を一台のカメラによって順次撮影し、
一台のカメラは、各ロータリーユニットのノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する、部品実装方法が提供される。

本発明の第１３の態様によれば、
各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の互いに異なる位置に側方撮影位置と下方撮影位置とが存在し、
カメラは、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、また下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影し、
１つのロータリーユニットの周回軌道上における、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像と、下方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の下方視の像を、一台のカメラによって順次撮影するまたは同時撮影する、第１２の態様に記載の部品実装方法が提供される。

本発明によれば、移載ヘッドの複数のノズルそれぞれに吸着保持された部品の下方視の像および側方視の像を、一台のカメラによって撮影することができる。したがって、少ない器材で部品を下方からおよび側方から検査することができる。

本発明の一実施の形態に係る部品実装装置の概略的構成図 一方のロータリーユニットのノズルに保持された部品の側方視の像と他方のロータリーユニットのノズルに保持された部品の下方視の像の同時撮影を説明するための移載ヘッドの概略的斜視図 図２に対応する、移載ヘッドの概略的上方視図 周回軌道上の位置によって異なるノズルの高さ位置を示す図 一方のロータリーユニットのノズルに保持された部品の下方視の像と他方のロータリーユニットのノズルに保持された部品の側方視の像の同時撮影を説明するための移載ヘッドの概略的斜視図 図５に対応する、移載ヘッドの概略的上方視図 一例の部品同時撮影のタイミングを示すタイミングチャート図 一例の部品同時撮影におけるカメラの撮像領域を示す図 別例の部品同時撮影のタイミングを示すタイミングチャート図 一方のロータリーユニットにおける１つのノズルに保持された部品の側方視の像と他の１つのノズルに保持された部品の下方視の像の同時撮影を説明するための移載ヘッドの概略的斜視図 他方のロータリーユニットにおける１つのノズルに保持された部品の側方視の像と他の１つのノズルに保持された部品の下方視の像の同時撮影を説明するための移載ヘッドの概略的斜視図 別例の部品同時撮影におけるカメラの撮像領域を示す図 別の実施の形態に係る移載ヘッドの概略的斜視図 さらに別の実施の形態に係る移載ヘッドの概略的斜視図 さらに異なる実施の形態に係る移載ヘッドの概略的上方視図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、一実施の形態に係る部品実装装置を概略的に示している。

図１に示すように、部品実装装置１０は、部品Ｐを基板Ｗに実装するための移載ヘッド１２と、移載ヘッド１２をＸ軸方向（基準方向）に移動させるＸ軸ビーム１４と、Ｘ軸ビーム１４をＹ軸方向に移動させるＹ軸ビーム１６とを有する。Ｘ軸ビーム１４およびＹ軸ビーム１６とにより、移載ヘッド１２は水平方向に移動することができる。

移載ヘッド１２は、部品Ｐを上方から吸着して保持する複数のノズル２０Ａ、２０Ｂを備える。複数のノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれは、鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動可能に移載ヘッド１２に搭載されている。ノズル１２それぞれは、部品実装装置１０の部品供給部（図示せず）によって所定の部品供給位置に供給された部品Ｐを下降して吸着して保持した後、部品Ｐを保持した状態で上昇して元の高さ位置に戻る（部品吸着取出動作）。部品Ｐを保持したノズル１２は、移載ヘッド１２の水平移動によって基板Ｗ上の所定の部品実装位置の上方に配置された後、下降して部品実装位置に部品を実装する（部品実装動作）。

図２は、移載ヘッド１２に搭載された複数の構成要素、特に、部品Ｐを撮影するための複数の構成要素を示す概略的な斜視図である。図３は、部品Ｐを撮影するための複数の構成要素を示す移載ヘッド１２の概略的な上方視図である。

図３に示すように、移載ヘッド１２は、複数のロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂを有する。具体的には、移載ヘッド１２は、複数のノズル２０Ａを支持するとともに周回させるロータリーユニット２２Ａと、複数のノズル２０Ｂを支持するとともに周回させるロータリーユニット２２Ｂとを有する。

本実施の形態の場合、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂは、Ｘ軸方向に対向するように移載ヘッド１２に搭載されている。また、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれは、例えば１２基のノズル２０Ａ、２０ＢをＺ軸方向に移動可能に支持する。

さらに、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂは、Ｚ方向視で円形状の周回軌道Ｒａ、Ｒｂ（特許請求の範囲の「第１および第２の周回軌道」に対応）に沿って且つ等間隔をあけて複数のノズル２０Ａ、２０Ｂを周回させるように構成されている。さらにまた、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂは、複数のノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれを、その高さ位置（Ｚ軸方向位置）を変えつつ周回軌道Ｒａ、Ｒｂに沿って周回させるように構成されている。

具体的には、図３に示すように、ノズル２２Ａの周回軌道Ｒａ、ノズル２２Ｂの周回軌道Ｒｂ上に、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１が設定されている。本実施の形態の場合、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上において最も移載ヘッド１２の正面１２ａ側（Ｘ軸ビーム１４と対向するＹ軸方向の表面側）の位置が、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に設定されている。ノズル２０Ａ、２０Ｂは、詳細は後述するが、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上の部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に配置されているときに、部品Ｐを部品供給部から新たに吸着保持して取り出す部品吸着取出動作または吸着保持している部品Ｐを基板にＷに実装する部品実装動作を行う。

ロータリーユニット２２Ａは、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１に位置するノズル２０Ａがロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに接近する方向に向かって周回する方向である周回方向Ｄ（図３においては時計方向）に、複数のノズル２０Ａを周回軌道Ｒａに沿って周回させる。一方、ロータリーユニット２２Ｂは、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａの周回方向Ｄの逆方向である周回方向Ｄ’（図３においては反時計方向）に、複数のノズル２０Ｂを周回軌道Ｒｂに沿って周回させる。

図４は、ロータリーユニット２２Ａによって円形状の周回軌道Ｒａに沿って周回方向Ｄに移動する、すなわちロータリーユニット２２Ａの回転中心である周回中心線Ｃａを中心として周回方向Ｄに移動するノズル２２Ａの周回中心線Ｃａ周りの角度位置と高さの関係とを示している。なお、本明細書においては、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１が角度位置０°に対応する。

図３および図４に示すように、ロータリーユニット２２Ａにより、ノズル２０Ａは、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１（角度位置０°）から周回方向Ｄに位置Ｑａ２に向かって移動しつつ、高さ位置Ｈ１から高さ位置Ｈ２’に上昇する。位置Ｑａ２は、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１に位置するノズル２０Ａが周回中心線Ｃａを中心として９０°の角度で周回方向Ｄに周回した後の該ノズル２０Ａの位置である。さらに、ノズル２０Ａは位置Ｑａ２から位置Ｑａ４に向かって移動しつつ、高さ位置Ｈ２’から高さ位置Ｈ２に上昇する。位置Ｑａ４は、位置Ｑａ２（角度位置９０°）に位置するノズル２０Ａが周回中心線Ｃａを中心としてさらに周回方向Ｄに周回した後の該ノズル２０Ａの位置（角度位置１２０°）である。

また、ロータリーユニット２２Ａにより、ノズル２０Ａは、位置Ｑａ４（角度位置１２０°）からＱａ５（角度位置２４０°）までは、高さ位置Ｈ２を維持した状態で周回軌道Ｒａ上を移動する。位置Ｑａ５は、位置Ｑａ４に位置するノズルＡが周回中心線Ｃａを中心として１２０°の角度で周回方向Ｄに周回した後の該ノズル２０Ａの位置である。

さらに、ロータリーユニット２２Ａにより、ノズル２０Ａは、位置Ｑａ５（角度位置２４０°）から部品吸着取出／実装位置Ｑａ１（角度位置０°）に向かって移動しつつ、高さ位置Ｈ２から高さ位置Ｈ１に下降する。

ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂも、周回方向が異なる以外はロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａと同様に、周回方向Ｄ’に移動しつつその高さ位置が変化する。

すなわち、ロータリーユニット２２Ｂにより、ノズル２０Ｂは、部品吸着取出／実装位置Ｑｂ１（角度位置０°）から周回方向Ｄ’に位置Ｑｂ２（角度位置９０°）に向かって移動ししつつ、高さ位置Ｈ１から高さ位置Ｈ２’に上昇する。また、ノズル２０Ｂは、位置Ｑｂ２から位置Ｑｂ４（角度位置１２０°）に向かって移動しつつ、高さ位置Ｈ２’から高さ位置Ｈ２に上昇する。さらに、ノズル２０Ｂは、高さ位置Ｈ２の高さを維持しつつ、位置Ｑｂ４（角度位置１２０°）から周回方向Ｄ’に位置Ｑｂ５（角度位置２４０°）に向かって移動する。そして、ノズル２０Ｂは、位置Ｑｂ５（角度位置２４０°）から部品吸着取出／実装位置Ｑｂ１（角度位置０°）に向かって移動しつつ、高さ位置Ｈ２から高さＨ１に下降する。

なお、このようにロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂがノズル２０Ａ、２０Ｂを周回させつつその高さ位置を変える理由については後述する。

また、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂにより、上述したように、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ２において、部品Ｐを新たに吸着保持する部品吸着取出動作または吸着保持している部品Ｐを基板にＷに実装する部品実装動作を行う。

具体的には、図４に示すように、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ２に位置するとき、予備下降高さ位置としての高さ位置Ｈ１から（すなわち周回軌道Ｒａ、Ｒｂから）、部品実装装置１０の部品供給部（図示せず）によって所定の部品供給位置に供給された部品を新たに吸着保持して取り出すときまたは吸着保持している部品Ｐを基板Ｗ上の所定の部品実装位置に実装するときの高さ位置Ｈ１’に向かって下降する。その高さ位置Ｈ１’に到達した後、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、所定の部品供給位置に供給された部品Ｐを新たに吸着保持するまたは吸着保持している部品Ｐを基板Ｗの所定の部品実装位置に実装する。そして、高さ位置Ｈ１’で部品Ｐを吸着保持した後または部品Ｐを実装した後、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、高さ位置Ｈ１、すなわち周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上に戻る。

ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐを撮影するために、図２および図３に示すように、移載ヘッド１２は、部品Ｐを撮影するための一台のカメラ３０と、カメラ３０に部品Ｐの像を導くための複数の光学要素３２、３４、３６、３８、４０Ａ、４０Ｂ、４２と、撮影用の照明５０Ａ、５０Ｂ、５２Ａ、５２Ｂとを備える。

図２に示すように、本実施の形態の場合、カメラ３０は、その光軸Ｃｃを下方に向けた状態で移載ヘッド１２に搭載されている。カメラ３０は、部品Ｐの像が投影される撮像領域３０ａを備える。例えば、カメラ３０の撮像領域３０ａは、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサなどのエリアイメージセンサの撮像素子の受光面で構成される。カメラ３０は、その光軸Ｃｃ上に撮像領域３０ａを備える。

具体的には、カメラ３０は、詳細は後述するが、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像（本実施の形態の場合はＸ軸方向視の像）および下方視の像（Ｚ軸方向視の像）と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像（Ｘ軸方向視の像）および下方視の像（Ｚ軸方向視の像）とを撮影するように構成されている。

また、カメラ３０は、その撮像領域３０ａに投影された像（光）を画像データ（電気信号）に変換し、その画像データを、部品実装装置１０の本体部（移載ヘッド１２の外部）に設けられた部品検査部（図示せず）に転送するように構成されている。

部品検査部（図示せず）は、カメラ３０から送信された部品Ｐの画像データを画像処理する。また、部品検査部は、その画像処理の結果に基づいて、ノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐ自体および部品Ｐの吸着姿勢を検査する。

複数の光学要素３２、３４、３６、３８、４０Ａ、４０Ｂ、および４２は、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂによって周回軌道Ｒａ、Ｒｂに沿って周回するノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された部品Ｐの下方視の像と側方視の像とを、カメラ３０の撮像領域３０ａに導くための光学要素である。

まず、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの撮影について説明する。

本実施の形態の場合、ロータリーユニット２２Ａの周回軌道Ｒａ上においては、図２および図３に示すように、位置Ｑａ２（角度位置９０°）に位置するノズル２０Ａに保持されている部品Ｐの側方視の像がカメラ３０によって撮影される。以下、この位置Ｑａ２を側方撮影位置Ｑａ２（特許請求の範囲の「第１の側方撮影位置」に対応）と称する。

また、図５および図６に示すように、側方撮影位置Ｑａ２から周回方向Ｄに３０°の角度で周回した位置である位置Ｑａ４（角度位置１２０°）に位置するノズル２０Ａに保持されている部品Ｐの下方視の像がカメラ３０によって撮影される。以下、この位置Ｑａ４を下方撮影位置Ｑａ４（特許請求の範囲の「第１の下方撮影位置」に対応）と称する。

一方、ロータリーユニット２２Ｂの周回軌道Ｒｂ上においては、図５および図６に示すように、位置Ｑｂ２（角度位置９０°）に位置するノズル２０Ａに保持されている部品Ｐの側方視の像がカメラ３０によって撮影される。以下、この位置Ｑｂ２を側方撮影位置Ｑｂ２（特許請求の範囲の「第２の側方撮影位置」に対応）と称する。

また、図２および図３に示すように、側方撮影位置Ｑｂ２から周回方向Ｄ’に３０°の角度で周回した位置である位置Ｑｂ４（角度位置１２０°）に位置するノズル２０Ｂに保持されている部品Ｐの下方視の像がカメラ３０によって撮影される。以下、この位置Ｑｂ４を下方撮影位置Ｑｂ４（特許請求の範囲の「第２の下方撮影位置」に対応）と称する。

図２および図３に示すように、ノズル２０Ａの周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２とノズル２０Ｂの周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２は、上述したように同一の高さ位置Ｈ２’に位置し、またＸ軸方向に対向し合う。これらの２つの側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２の間に、ミラー３２が配置されている。

ミラー３２は、Ｚ軸方向に延在して直角三角形形状の断面を備える三角柱形状のミラーである。また、ミラー３２は、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像をＹ軸負方向に反射するとともに、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像をＹ軸負方向に反射する。なお、本明細書では、図中のＸ−Ｙ−Ｚ座標系の矢印側を正方向とし、その反矢印側を負方向と定義している。

図３に示すように、ミラー３２によってＹ軸負方向に反射された、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー４２の上方を通過してミラー３４に入射する。ミラー３４は、Ｙ軸負方向に入射した光をＸ軸正方向に反射するミラー３４である。

ミラー３４によってＸ軸正方向に反射された、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、ハーフミラー３６（ビームスプリッター）を通過する。ハーフミラー３６は、Ｘ軸正方向の光はそのまま透過するが、Ｙ軸負方向の光はＸ軸正方向に反射するように構成されている。

ハーフミラー３６をＸ軸正方向に通過した、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、カメラ３０の下方（カメラ３０の光軸３０Ｃｃ上）に配置されたミラー３８により、Ｚ軸正方向にカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に向かって反射される。

このように、周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａに導かれる。

一方、図５および図６に示すように、ミラー３２によってＹ軸負方向に反射された、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー４２の上方を通過し、ハーフミラー３６によってＸ軸正方向に反射される。

ハーフミラー３６によってＸ軸正方向に反射された、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３８によってＺ軸正方向にカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に向かって反射される。

このように、周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａに導かれる。

図２および図３に示すように、ノズル２０Ａの周回軌道Ｒａ上の下方撮影位置Ｑａ４とノズル２０Ｂの周回軌道Ｒｂ上の下方撮影位置Ｑｂ４は、上述したように同一の高さ位置Ｈ２に位置し、またＸ軸方向に対向し合う。これらの下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４それぞれの下方に、ミラー４０Ａ、４０Ｂが配置されている。

一方のミラー４０Ａは、下方撮影位置Ｑａ４上のノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像（Ｚ軸正方向視の像）を、Ｘ軸正方向に反射する。他方のミラー４０Ｂは、下方撮影位置Ｑｂ４上のノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像（Ｚ軸方向視の像）を、Ｘ軸負方向に反射する（図５参照）。

なお、ミラー４０Ａ、４０Ｂは、図４に示すように、ノズル２０Ａ、２０Ｂの予備下降高さ位置としての位置Ｈ１（部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１での高さ）と上昇端高さ位置としての高さ位置Ｈ２との間に配置されている。言い換えると、下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４において、ノズル２０Ａ、２０Ｂの下方に配置される必要があるミラー４０Ａ、４０Ｂの配置スペースを確保するために、ノズル２０Ａ、２０Ｂは、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂによって高さ位置を変えつつ周回する。これにより、一定の高さで周回するノズル２０Ａ、２０Ｂの下方にミラー４０Ａ、４０Ｂを配置する場合に比べて、移載ヘッド１２をコンパクト化することができる。

ミラー４０ＡによってＸ軸正方向に反射された、下方撮影位置Ｑａ４上のノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像と、ミラー４０ＢによってＸ軸負方向に反射された、下方撮影位置Ｑｂ４上のノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ａ、４０Ｂの間に配置されたミラー４２にそれぞれ入射する。

ミラー４２は、ミラー３２と同様に、Ｚ軸方向に延在して直角三角形形状の断面を備える三角柱形状のミラーである。また、ミラー４２は、下方撮影位置Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像をＹ軸負方向に反射するとともに、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像をＹ軸負方向に反射する。

図５および図６に示すように、ミラー４０によってＹ軸負方向に反射された、下方撮影位置Ｑａ４上のノズル２０Ａによって保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー３４によってＸ軸正方向に反射される。

ミラー３４によってＸ軸正方向に反射された、下方撮影位置Ｑａ４上のノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像は、ハーフミラー３６を通過した後、ミラー３８によってＺ軸正方向にカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２に向かって反射される。

このように、周回軌道Ｒａ上の下方撮影位置Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ａ、ミラー４２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａに導かれる。

一方、図２および図３に示すように、ミラー３２によってＹ軸負方向に反射された、下方撮影位置Ｑｂ４上のノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像は、ハーフミラー３６によってＸ軸正方向に反射され、続いて、ミラー３８によってＺ軸正方向にカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２に向かって反射される。

このように、周回軌道Ｒｂの下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ｂ、ミラー４２、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａに導かれる。

上述したように側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２上のノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像をカメラ３０が撮影するとき、例えばＬＥＤなどの照明５０Ａ、５０Ｂが撮影対象の部品Ｐに光を照射する（図３、図６参照）。

一方の照明５０Ａは、図３に示すように、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐに対して、Ｘ軸正方向に光を照射することができる位置に配置されている。すなわち、撮影対象の部品Ｐは、照明５０Ａとミラー３２との間に配置される。その結果、カメラ３０は、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像として該部品Ｐの影を撮影する。

他方の照明５０Ｂは、側方視撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐに対して、Ｘ軸負方向に光を照射することができる位置に配置されている。すなわち、撮影対象の部品Ｐは、照明５０Ｂとミラー３２との間に配置される。その結果、カメラ３０は、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像として該部品Ｐの影を撮影する。

また、下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４上のノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像をカメラ３０が撮影するとき、例えばＬＥＤなどの照明５２Ａ、５２Ｂが撮影対象の部品Ｐに光を照射する。

一方の照明５２Ａは、図３に示すように、下方撮影位置Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐに対して斜め下方に配置され、部品Ｐに向かって斜め上方に光を照射する。その結果、カメラ３０は、下方撮影位置Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像を良好に撮影することができる。

他方の照明５２Ｂは、図３に示すように、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐに対して斜め下方に配置され、部品Ｐに向かって斜め上方に光を照射する。その結果、カメラ３０は、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像を良好に撮影することができる。

なお、照明５０Ａ、５０Ｂ、５２Ａ、５２Ｂも、ミラー４０Ａ、４０Ｂと同様に、ノズル２０Ａ、２０Ｂの予備下降高さ位置としての高さ位置Ｈ１（部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１の高さ）と上端高さ位置としての高さ位置Ｈ２との間に配置されている。また、照明５０Ａ、５０Ｂ、５２Ａ、５２Ｂが移載ヘッド１２に搭載されていなくてもカメラ３０が部品Ｐの像を高精度に撮影することができる場合、これらの照明は、移載ヘッド１２に搭載しなくてもよい。

ここからは、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された部品Ｐの撮影について説明する。

まず、本実施の形態の部品実装装置１０の場合、図２、図３、図５，および図６に示すように、周回軌道Ｒａ、Ｒｂそれぞれにおいて、部品Ｐの側方視の像を撮影するときのノズル２０Ａ、２０Ｂの側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２と、下方視の像を撮影するときのノズル２０Ａ、２０Ｂとの下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４とが互いに異なる位置である。また、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とがカメラ３０の同一の撮像領域（撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１）に投影され、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とがカメラ３０の同一の撮像領域（撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２）に投影される。

したがって、本実施の形態の部品実装装置１０においては、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像と、ノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像を、１つずつ順次撮影することが可能である、また、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像と、ノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像の少なくとも一部を同時に撮影することが可能である。この同時撮影が可能な部品Ｐの像の組み合わせは、以下のように４組存在する。

まず、同時撮影の第１の組み合わせとして、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像との組み合わせが挙げられる。

また、同時撮影の第２の組み合わせとして、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像との組み合わせが挙げられる。

さらに、同時撮影の第３の組み合わせとして、ロータリユニット２２Ａにおける１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と、他の１つのノズル２０Ａの保持された部品Ｐの下方視の像との組み合わせが挙げられる。

そして、同時撮影の第４の組み合わせとして、ロータリーユニット２２Ｂにおける１つのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像と、他の１つのノズル２２Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像との組み合わせが挙げられる。

ここでは、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像とロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像との同時撮影（第１の組み合わせの撮影）（第１の同時撮影動作）と、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像との同時撮影（第２の組み合わせの撮影）（第２の同時撮影動作）とを交互に実行する場合について説明する。

まず、前提として、部品実装装置１０は、部品Ｐの基板Ｗへの実装効率を考慮して、移載ヘッド１２に搭載されたロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのそれぞれの全てのノズル２０Ａ、２０Ｂが部品Ｐを吸着保持した後、基板Ｗへの部品Ｐの実装を開始する。

本実施の形態の場合、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれのノズル２０Ａ、２０Ｂによる部品吸着取出動作と、ノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された部品Ｐに対するカメラ３０の部品撮影動作とが並行して実行される。

図７は、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれのノズル２０Ａ，２０Ｂによる部品吸着取出動作が実行される部品吸着期間と、カメラ３０による部品撮影動作のタイミングとを示す一例のタイミングチャートを示している。

図７に示すように、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａによる部品吸着取出動作と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂによる部品吸着取出動作とは同一の部品吸着取出期間内で実行される。

具体的には、図７に示す同一の部品吸着取出期間内で、図２、図４、および図５に示すように、一方の周回軌道Ｒａ上の部品吸着取出／実装位置Ｑａ１に位置するノズル２０Ａが下降して部品Ｐを新たに吸着保持して取り出すとともに、他方の周回軌道Ｒｂ上の部品吸着取出／実装位置Ｑｂ１に位置するノズル２０Ｂが下降して部品Ｐを新たに吸着保持して取り出す。なお、同一の部品吸着取出期間内において、複数のロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれが対応する部品Ｐをそれぞれ同時に吸着保持して取り出す動作を実行する場合もある。また、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａが部品Ｐを新たに吸着保持した後、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂが部品Ｐを新たに吸着保持して取り出すために、その部品Ｐの上方に向かって移載ヘッド１２が水平移動する動作があってもよい。

部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１上のノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれの部品吸着取出動作が完了すると、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂが、それぞれの複数のノズル２０Ａ、２０Ｂを周回中心線Ｃａ、Ｃｂを中心として周回させる。

本実施の形態の場合、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれは例えば１２基のノズル２０Ａ，２０Ｂを等間隔をあけて支持している。そのため、一方のロータリーユニット２２Ａは、複数のノズル２０Ａそれぞれを周回中心線Ｃａを中心として周回方向Ｄに３０°の角度で周回させる。それと同時に、他方のロータリーユニット２２Ｂが、複数のノズル２０Ｂそれぞれを周回中心線Ｃｂを中心として周回方向Ｄ’に３０°の角度で周回させる。その結果、部品Ｐを保持していないノズル２０Ａ、２０Ｂが、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上の部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に順次配置される。

部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂによる部品吸着取出動作と、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂによるノズル２０Ａ，２０Ｂの周回動作は、図７に示すように、所定の間隔をあけて交互に実行される。その結果、複数のノズル２０Ａ、２０Ｂ全てが部品Ｐを吸着して保持する。

図７に示すように、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂによる部品吸着取出動作とロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂによるノズル２０Ａ、２０Ｂの周回動作との合間に、カメラ３０による部品Ｐの撮影動作が実行される。

その理由は、カメラ３０が部品Ｐを撮影するとき、撮影対象の部品Ｐを保持するノズル２０Ａ、２０Ｂが側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２および下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４に停止している必要があるからである。また、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂの部品吸着取出動作時に発生する移載ヘッド１２等の振動が、カメラ３０の撮影品質、すなわち部品Ｐの検査品質に影響する可能性があるからである。なお、カメラ３０の撮影動作に悪影響がない場合、部品吸着取出／実装位置Ｑａ１、Ｑｂ１に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂの部品吸着取出動作を、側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２や下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐに対するカメラ３０の撮影動作と並列に実行することが可能である。

図７に示すように、カメラ３０は、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とを同時に撮影する（第１の同時撮影動作）。また、カメラ３０は、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とを同時に撮影する（第２の同時撮影動作）。

具体的には、図２に示すように、カメラ３０は、側方撮影位置Ｑａ２に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１で撮影するとともに、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２で撮影する、第１の同時撮影動作を実行する。

また、図５に示すように、カメラ３０は、下方撮影位置Ｑａ４に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２で撮影するとともに、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像領域３０ａの長手方向の一方側３０ａ１で撮影する、第２の同時撮影動作を実行する。

図８は、第１の同時撮影動作によって得られる撮影画像Ａと、第２の同時撮影動作によって得られる撮影画像Ｂとを示している。

図８に示すように、カメラ３０の第１の同時撮影動作により、カメラ３０の撮影領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に側方撮影位置Ｑａ２に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像（それに加えてノズル２０Ａの先端の像）が写るとともに、長手方向Ｌの他方側３０ａ２に下方撮影位置Ｑｂ４に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像が写る撮影画像Ａを得ることができる。

また、カメラ３０の第２の同時撮影動作により、カメラ３０の撮影領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に側方撮影位置Ｑｂ２に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像（それに加えてノズル２０Ｂの先端の像）が写るとともに、長手方向Ｌの他方側３０ａ２に下方撮影位置Ｑａ４に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像が写る撮影画像Ｂを得ることができる。

図７に示すように、カメラ３０は、これらの第１の同時撮影動作と第２の同時撮影動作とを、所定の間隔をあけて交互に実行する。

具体的に説明すると、カメラ３０は、一度撮影を実行すると、その画像データの部品実装装置１０の部品検査部（図示せず）への転送が完了するまで、次の撮影が実行できない。そこで、カメラ３０は、第１の撮影動作によって得られた画像データの転送の完了後に第２の撮影動作を実行し、その第２の撮影動作によって得られた画像データの転送の完了後に第１の撮影動作を実行する。

このように、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とを同時に撮影する第１の撮影動作と、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とを同時に撮影する第２の撮影動作とを交互に実行する。それにより、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された全ての部品Ｐの撮影に必要な総撮影時間を短くすることができる。すなわち、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像それぞれを、すなわち４つの像それぞれを一つずつ撮影する場合に比べて、カメラ３０の総撮影時間を短縮することができる。その結果、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれが部品Ｐを吸着保持してから短時間で、移載ヘッド１２は部品Ｐの基板Ｗへの実装を開始することができる。

なお、別の観点から言えば、図７に示すように、カメラ３０の画像の転送中に、ノズル２０Ａ、２０Ｂによる部品Ｐの部品吸着取出動作とロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂによるノズル２０Ａ、２０Ｂの周回動作とが実行される。その結果、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂが部品Ｐの吸着を開始してから、ノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに保持された全ての部品Ｐの撮影（検査）が完了するまでの時間が短縮される。

図７に示すように、カメラ３０がノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像を撮影するとき、その部品Ｐに対して側方撮影用の照明５０Ａ、５０Ｂが光を照射する（ＯＮ状態になる）。一方、カメラ３０がノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像を撮影するとき、その部品Ｐに対して下方撮影用の照明５２Ａ、５２Ｂが光を照射する（ＯＮ状態になる）。

別の観点から言えば、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれにおいて、側方撮影用の照明５０Ａ、５０Ｂと下方撮影用の照明５２Ａ、５２Ｂとが交互に光を照射する。このようにする理由について説明する。

例えば、ロータリーユニット２２Ａにおいて、側方撮影用の照明５０Ａと下方撮影用の照明５２Ａとが同時に光を照射すると、互いの光が干渉する可能性がある。光が相互に干渉すると、カメラ３０がノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像または下方視の像を良好に撮影することができない可能性がある。その結果として、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐ自体および部品Ｐの吸着姿勢の検査精度が低下する可能性がある。

その対処として、図７に示すように、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれにおいて側方撮影用の照明５０Ａ，５０Ｂと、下方視撮影用の照明５２Ａ、５２Ｂとが交互に光を照射する。

なお、側方撮影用の照明５０Ａ、５０Ｂと下方撮影用の照明５２Ａ、５２Ｂは、それぞれの照射光が、例えば波長が異なるなどの理由から、干渉しない場合、同時のタイミングで光を照射してもよい。また、側方撮影用の照明５０Ａ、５０Ｂと下方撮影用の照明５２Ａ、５２Ｂが同時のタイミングて光を照射しても、それぞれの光の照射先がそれぞれのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂの周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上において側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２と下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４に異なるため、カメラ３０による部品Ｐの撮影に影響せず、カメラ３０は、各ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂのノズル２０Ａ、２０Ｂの周回機構Ｒａ、Ｒｂ上の互いに異なる位置で、良好に部品Ｐの下方視および側方視の像を撮影することができる。

次に、ロータリーユニット２２Ａにおける１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と他の１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像との同時撮影（第３の組み合わせの撮影）（第３の同時撮影動作）と、ロータリーユニット２２Ｂの１つのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像と他の１つのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像との同時撮影（第４の組み合わせの撮影）（第４の同時撮影動作）とを交互に実行する場合について簡単に説明する。

図９は、ロータリーユニット２２Ａにおける１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と他の１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像との同時撮影（第３の組み合わせの撮影）（第３の同時撮影動作）と、ロータリーユニット２２Ｂにおける１つのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像と他の１つのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像との同時撮影（第４の組み合わせの撮影）（第４の同時撮影動作）とを交互に実行するときの、別例のタイミングチャートを示している。

図９に示すように、カメラ３０は、ロータリーユニット２２Ａにおける１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と他の１つのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とを同時に撮影する（第３の同時撮影動作）。また、カメラ３０は、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像と、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とを同時に撮影する（第４の同時撮影動作）。

具体的には、図１０に示すように、カメラ３０は、側方撮影位置Ｑａ２に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１で撮影するとともに、下方撮影位置Ｑａ４に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２で撮影する、第３の同時撮影動作を実行する。

また、図１１に示すように、カメラ３０は、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１で撮影するとともに、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２で撮影する、第４の同時撮影動作を実行する。

図１２は、第３の同時撮影動作によって得られる撮影画像Ａ’と、第４の同時撮影動作によって得られる撮影画像Ｂ’とを示している。

図１２に示すように、カメラ３０の第３の同時撮影動作により、カメラ３０の撮影領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に側方撮影位置Ｑａ２に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像（それに加えてノズル２０Ａの先端の像）が写るとともに、長手方向Ｌの他方側３０ａ２に下方撮影位置Ｑａ４に位置するロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像が写る撮影画像Ａ’を得ることができる。

また、カメラ３０の第４の撮影動作により、カメラ３０の撮影領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に側方撮影位置Ｑｂ２に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像（それに加えてノズル２０Ｂの先端の像）が写るとともに、長手方向Ｌの他方側３０ａ２に下方撮影位置Ｑｂ４に位置するロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像が写る撮影画像Ｂ’を得ることができる。

以上、本実施の形態によれば、移載ヘッド１２の複数のノズル２０Ａ、２０Ｂそれぞれに吸着保持された部品Ｐの下方視の像および側方視の像を、一台のカメラ３０によって撮影することができる。したがって、少ない器材で部品Ｐを下方からおよび側方から検査することができる。

上述の実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。

例えば、上述の実施の形態の場合、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐは、ノズル２０Ａが周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するときにその側方視の像が撮影される。また、ノズル２０Ａが周回軌道Ｒａ上の下方撮影位置Ｑａ４に位置するときに、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像が撮影される。すなわち、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像は周回軌道Ｒａ上の互いに異なる位置で順次または同時に撮影される。同様に、ロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像も周回軌道Ｒｂ上の互いに異なる位置で順次または同時に撮影される。

これに代わって、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像とを同一の位置で撮影するとともに、ノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像とを同一の位置で撮影してもよい。

図１３は、別の実施の形態にかかる部品実装装置の移載ヘッドの概略的斜視図である。

図１３に示す移載ヘッド１１２は、図２に示す上述の実施の形態の移載ヘッド１２と同一の構成要素を備える。ただし、ミラー４２がミラー３２の下方に配置され、ミラー４０Ａが周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａの下方に配置され、ミラー４０Ｂが周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂの下方に配置されている点で、図１３の移載ヘッド１１２は、図２の移載ヘッド１２と異なる。これにより、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２に位置するノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像と下方視の像とを、一台のカメラ３０によって撮影することができる。

具体的には、図１３に示すように、ロータリーユニット２２Ａにおいては、周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像が、ミラー３２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介して、カメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に導かれる。それとともに、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像が、ミラー４０Ａ、ミラー４２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介して、カメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２に導かれる。

一方、ロータリーユニット２２Ｂにおいては、周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像が、ミラー３２、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの一方側３０ａ１に導かれる。それとともに、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像が、ミラー４０Ｂ、ミラー４２、ハーフミラー３６、およびミラー３８から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向Ｌの他方側３０ａ２に導かれる。

その結果、カメラ３０の撮像領域３０に、周回軌道上の一つの撮影位置で同一部品Ｐの側方視の像と下方視の像とを撮影することができる。すなわち、同一部品Ｐの側方視の像と下方視の像とが一対として写る撮影画像を得ることができる。

このように、ノズル２０Ａ、２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像が一台のカメラ３０によって撮影される該ノズル２０Ａ、２０Ｂの周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上の撮影位置は、同一であってもよく、また異なってもよい。

関連して言えば、例えば、図２に示す周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２と周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２のように、周回軌道Ｒａ、Ｒｂそれぞれにおける撮影位置は、必ずしも、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂの並列方向（Ｘ軸方向）と直交する平面対称（Ｙ−Ｚ平面対称）である必要はない。例えば、一方の周回軌道Ｒａ上において側方撮影位置Ｑａ２が部品吸着取出／実装位置Ｑａ１に対して６０°の角度位置にあって、他方の周回軌道Ｒｂ上において側方撮影位置Ｑｂ２が部品吸着取出／実装位置Ｑｂ１に対して１２０°の角度位置にあってもよい。

すなわち、本発明の一態様では、広義には、第１のロータリ―ユニットに支持された複数の第１のノズルが周回する第１の周回軌道上に所定の撮影位置が定義されるとともに、第１のロータリユニットと異なる第２のロータリーユニットに支持された複数の第２のノズルが周回する第２の周回軌道上に所定の撮影位置が定義される。そして、第１および第２の周回軌道それぞれの所定の撮影位置に位置する第１および第２のノズルに保持された部品それぞれの側方視の像および下方視の像が一台のカメラによって順次撮影するにあたり、複数の部品の像が１つずつ撮影されるまたは少なくとも一部が同時に撮影される。

また、上述の実施の形態の場合、図７に示すように、カメラ３０が、ロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像とロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とを異なる撮像領域（カメラ３０の撮像領域３０ａの異なる部分）で同時に撮影する第１の同時撮影動作を実行する。また、カメラ３０は、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とを、異なる撮像領域で同時に撮影する第２の同時撮影動作を実行する。そして、カメラ３０は、第１の同時撮影動作と第２の同時撮影動作を交互に実行する。

これに代わって、カメラ３０は、第１の同時撮影動作と第２の同時撮影動作の少なくとも一方を実行するようにしてもよい。例えば、カメラ３０が、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とを同時に撮影する第１の同時撮影動作を実行し、その後、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像を別々のタイミングで撮影する。

このように、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像と、ノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像は、すなわち４種類の像は、図７に示すようにカメラ３０の２回の撮影動作（２回の同時撮影）によって撮影されてもよいし、カメラ３０の３回の撮影動作（１回の同時撮影を含む）によって撮影されてもよいし、カメラ３０の４回の撮影動作（同時撮影を含まない）によって撮影されてもよい。

すなわち、本発明の一態様では、広義には、第１のロータリーユニットの複数の第１のノズルそれぞれに保持された部品の下方視の像および側方視の像と、第１のロータリーユニットと異なる第２のロータリーユニットの複数の第２のノズルそれぞれに保持された部品の下方視の像および側方視の像とを一台のカメラによって順次撮影し、その一台のカメラは第１および第２のノズルに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ順次撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する撮影動作を実行する。

さらに、上述の実施の形態の場合、図２および図５に示すように、部品Ｐの像をカメラ３０の撮像領域３０ａに導く光学系を構成する光学要素としてハーフミラー３６が使用されている。ハーフミラー３６を使用することなく、一方のロータリーユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの像と他方のロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの像とを一台のカメラ３０の撮像領域３０ａに導くことも可能である。

図１４は、さらに別の実施の形態にかかる部品実装装置の移載ヘッドの概略的斜視図である。

図１４に示すように、さらに別の実施の形態にかかる移載ヘッド２１２は、図１３に示す実施の形態の移載ヘッド１１２と同様に、一方の周回軌道Ｒａの側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像がカメラ３０によって撮影される。また、他方の周回軌道Ｒｂの側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像がカメラ３０によって撮影される。

具体的には、一方の周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２によってＹ軸負方向に反射される。ミラー３２によってＹ軸方向に反射された、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、カメラ３０の下方に位置するように移載ヘッド２１２に搭載されたミラー２４４によってＺ軸正方向にカメラ３０の撮像領域３０ａにおける長手方向Ｌの他方側かつ短手方向Ｓの他方側の領域３０ａ４向かって反射される。

また、一方の周回軌道Ｒａ上の側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ａ、ミラー４２、およびミラー２４４から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａにおける長手方向Ｌの他方側かつ短手方向Ｓの一方側の領域３０ａ３に導かれる。

さらに、他方の周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２およびミラー２４４から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａにおける長手方向Ｌの一方側かつ短手方向Ｓの他方側の領域３０ａ２に導かれる。

さらにまた、他方の周回軌道Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ｂ、ミラー４２、およびミラー２４４から構成される光学系を介してカメラ３０の撮像領域３０ａにおける長手方向Ｌの一方側かつ短手方向Ｓの一方側の領域３０ａ１に導かれる。

図１４に示す移載ヘッド２１２のように、ハーフミラーを使用しない場合、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像と、ノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像とは、すなわち４種類の像それぞれは、カメラ３０の撮像領域３０ａにおける異なる領域３０ａ１〜３０ａ４に導かれる。

ただし、部品Ｐ自体または部品Ｐの吸着姿勢を高精度に検査する場合またはカメラ３０の解像度が低い場合、図２および図５に示すように、ハーフミラー３６を使用するのが好ましい。

図２および図５に示すように、ハーフミラー３６を使用することにより、ロータリ―ユニット２２Ａのノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像と、第２のロータリーユニット２２Ｂのノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像とを、カメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向の一方側３０ａ１、すなわちカメラ３０の撮像領域３０ａ内の同一の領域に導くことができる。また、ノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像とノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像とを、カメラ３０の撮像領域３０ａの長手方向の他方側３０ａ２に導くことができる。それにより、４つの像それぞれは、図１４に示すように４つの像それぞれがカメラ３０の撮像領域３０ａにおける異なる領域に投影される場合に比べて相対的に高い解像度を備えることができる。その結果、高い解像度を備える像に基づいて、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれのノズル２０Ａ、２０Ｂに吸着保持された部品Ｐ自体または部品Ｐの吸着姿勢を高精度に検査することができる。

加えて、部品実装装置の移載ヘッドは、３つ以上のロータリーユニットを備えてもよい。

図１５は、３つのロータリーユニットを有する、さらに異なる実施の形態に係る移載ヘッドを概略的に示している。

図１５に示すように、移載ヘッド３１２は、３つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、および２２Ｃを有する。ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃのノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの周回軌道Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃには、ノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに保持された部品Ｐの側方視の像を撮像するための側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２、Ｑｃ２が設定されている。また、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃには、ノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに保持された部品Ｐの下方視の像を撮像するための下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４、Ｑｃ４が設定されている。

ロータリーユニット２２Ａにおいて、側方撮影位置Ｑａ２に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。また、下方撮影位置Ｑａ４に位置するノズル２０Ａに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ａ、ミラー４２、ミラー３４、ハーフミラー３６、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。

ロータリーユニット２２Ｂにおいて、側方撮影位置Ｑｂ２に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３２、ハーフミラー３６、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。また、下方撮影位置Ｑｂ４に位置するノズル２０Ｂに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ｂ、ミラー４２、ハーフミラー３６、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。

ロータリーユニット２２Ｃにおいて、側方撮影位置Ｑｃ２に位置するノズル２０Ｃに保持された部品Ｐの側方視の像は、ミラー３３２、ミラー３３４、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。また、下方撮影位置Ｑｃ４に位置するノズル２０Ｃに保持された部品Ｐの下方視の像は、ミラー４０Ｃ、ミラー３４２、ミラー３３４、およびミラー３３８によってカメラ３０の撮像領域に導かれる。

なお、カメラ３０の光軸Ｃｃ上に位置するとともにカメラ３０の撮像領域の下方に位置するミラー３３８は、Ｘ軸正方向の光をカメラ３０の撮像領域に向かってＺ軸正方向に反射することができるとともに、Ｘ軸負方向の光をカメラ３０の撮像領域に向かってＺ軸正方向に反射することができるミラーであって、例えば三角ミラーである。

図１５に示すように、３つ以上のロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを有する移載ヘッド３１２においても、各ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃのノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに保持された部品Ｐそれぞれの下方視の像および側方視の像を一台のカメラ３０で順次撮影することが可能であり、またノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃそれぞれに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像を一台のカメラ３０で１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影することが可能である。

すなわち、本発明の一態様では、広義には、部品実装装置は、水平方向に移動可能な移載ヘッドを有し、その移載ヘッドが、部品を上方から吸着して保持するための複数のノズルをそれぞれ支持するとともに周回させる複数のロータリーユニットと、各ロータリーユニットのノズルのそれぞれの周回軌道上の互いに異なる位置での所定の撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を順次撮影する一台のカメラとを備え、一台のカメラは、各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の所定撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する。

加えてまた、部品を高精度に検査するためには、複数のロータリーユニットそれぞれのノズルに吸着保持された部品の側方視の像および下方視の像を一台のカメラがピントを合わせた状態で撮影するのが好ましい。そのためには、各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の互いに異なる位置としての側方撮影位置および下方撮影位置それぞれからカメラの撮像領域までの光路長を略等しくする必要がある。

例えば図１５に示す移載ヘッド３１２の場合、複数のロータリーユニット２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのそれぞれの周回軌道Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ上の互いに異なる位置の撮影位置としての側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２、Ｑｃ２および下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４、Ｑｃ４それぞれに位置するノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに保持された部品Ｐからカメラ３０の撮像領域までの光路長（すなわち６本の光路長）が略等しくされる。これらの６本の光路長が略等しくなるように、カメラ３０と、部品Ｐの側方視の像および下方視の像をカメラ３０の撮像領域に導くための複数のミラー３２、３４、３６、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、３３２、３３４、３４２、３３８とが、移載ヘッド３１２上の適切な位置に配置される。これにより、周回軌道Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ上の互いに異なる撮像位置としての側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２、Ｑｃ２および下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４、Ｑｃ４それぞれに位置するノズル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに保持された部品Ｐの側方視の像および下方視の像を、それぞれの撮影位置での部品撮影時の照明の照射の影響を低減しつつ、一台のカメラ３０でピントを合わせた状態で撮影することができる。

なお、複数のロータリーユニットそれぞれのノズルの周回軌道上の側方撮影位置および下方撮影位置それぞれからカメラの撮像領域までの光路長を決定付ける、移載ヘッドに対するカメラの位置は、ロータリーユニットそれぞれのノズルのメンテナンス性と移載ヘッドのコンパクト化を考慮して決定するのが好ましい。

例えば、図３および図６に示すように、２つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂを搭載する移載ヘッド１２の場合、カメラ３０は、Ｘ軸方向に並ぶ２つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂに対して、移載ヘッド１２を支持してＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ビーム１４側に配置される。また、例えば、図１５に示すように、３つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、２２ＣをＸ軸方向に並んだ状態で搭載する移載ヘッド３１２においても、カメラ３０は、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃに対してＸ軸ビーム１４側に配置される。

このように、複数のロータリーユニットに対してＸ軸ビーム側にカメラを配置することにより、移載ヘッドの正面側（例えば、図３に示す移載ヘッド１２の正面１２ａ側や図１５に示す移載ヘッド３１２の正面３１２ａ側）に位置する作業者は、カメラに妨害されることなく、ロータリーユニットのノズルのチェックやメンテナンス、例えばノズルの交換等を行うことができる。

また、例えば、図３および図６に示すように、２つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂそれぞれのノズル２０Ａ、２０Ｂの周回軌道Ｒａ、Ｒｂ上の側方撮影位置Ｑａ２、Ｑｂ２および下方撮影位置Ｑａ４、Ｑｂ４それぞれからカメラ３０の撮像領域３０ａまでの光路長を略等しくしつつ、カメラ３０は、２つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂとの間でかつ、Ｘ軸方向に並ぶ２つのロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂに対して、移載ヘッド１２を支持してＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ビーム１４側に配置される。これにより、ロータリーユニット２２Ａ、２２Ｂ、カメラ３０がＸ軸方向に直線状に並ぶ場合に比べて、移載ヘッド１２のＸ軸方向のサイズを小さくすることができる、すなわち移載ヘッド１２をコンパクト化することができる。

また、複数のロータリーユニットそれぞれのノズルの周回軌道上におけるノズルに吸着保持された部品を撮影する位置である側方撮影位置および下方撮影位置と、その撮影位置に対応して部品Ｐの側方視の像および下方視の像をカメラ３０の撮像領域に導くための複数のミラー３２、３４、３６、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃとが互いに隣接する複数のロータリーヘッドの間に配置されているので、光路やそのミラーを共有でき、移載ヘッド１２をコンパクト化することができる。

移載ヘッドに対するカメラの配置に関してさらに言えば、例えば、図２に示すカメラ３０は光軸Ｃｃを下方（Ｚ軸負方向）に向けた状態で移載ヘッド１２に搭載されている。これに代わって、移載ヘッド１２のＺ軸方向のサイズを小さくするために、光軸ＣｃがＺ軸に対して傾斜した状態でカメラ３０を移載ヘッド１２に搭載することも可能である。すなわち、移載ヘッドに搭載された複数のロータリーユニットそれぞれのノズルに保持された部品の側方視の像および下方視の像を撮影できる移載ヘッド上の位置にカメラはあればよく、カメラの光軸の延在方向を鉛直方向に限定しない。

加えてまた、ロータリーユニットによって周回されるノズルの周回軌道は、円形状でなくてもよい。例えば、ノズルの周回軌道は楕円形状であってもよい。

本発明は、部品を吸着する複数のノズルを支持するとともに周回させるロータリーユニットを少なくとも２基備える移載ヘッドであれば適用可能である。

１０ 部品実装装置
１２ 移載ヘッド
２０Ａ 第１のノズル（ノズル）
２０Ｂ 第２のノズル（ノズル）
２２Ａ 第１のロータリーユニット（ロータリーユニット）
２２Ｂ 第２のロータリーユニット（ロータリーユニット）
３０ カメラ
Ｐ 部品
Ｑａ２ 第１の側方撮影位置（側方撮影位置）
Ｑａ４ 第１の下方撮影位置（下方撮影位置）
Ｑｂ２ 第２の側方撮影位置（側方撮影位置）
Ｑｂ４ 第２の側方撮影位置（下方撮影位置）
Ｒａ 第１の周回軌道（周回軌道）
Ｒｂ 第２の周回軌道（周回軌道）

Claims (13)

1. 水平方向に移動可能な移載ヘッドを有し、
   移載ヘッドが、
   部品を上方から吸着して保持するための複数の第１のノズルを支持するとともに周回させる第１のロータリーユニットと、
   部品を上方から吸着して保持するための複数の第２のノズルを支持するとともに周回させる第２のロータリーユニットと、
   第１のノズルの第１の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第１のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像と、第２のノズルの第２の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第２のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像とを順次撮影する一台のカメラと、を備え、
   一台のカメラは、第１および第２のノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する撮影動作を実行する、部品実装装置。
2. 第１の周回軌道上に第１の側方撮影位置と第１の下方撮影位置とが存在し、
   第２の周回軌道上に第２の側方撮影位置と第２の下方撮影位置とが存在し、
   カメラは、第１および第２の側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、第１および第２の下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影する、請求項１に記載の部品実装装置。
3. カメラは、
   第１のノズルに保持された部品の側方視の像と、第２のノズルに保持された部品の下方視の像とを、異なる撮影領域で同時に撮影する第１の同時撮影動作と、
   第１のノズルに保持された部品の下方視の像と、第２のノズルに保持された部品の側方視の像とを、異なる撮影領域で同時に撮影する第２の同時撮影動作との少なくとも一方を実行する、請求項１または２に記載の部品実装装置。
4. カメラは、第１の同時撮影動作と第２の同時撮影動作とを順に繰り返して実行する、請求項３に記載の部品実装装置。
5. 移載ヘッドが、
   第１のノズルに保持された部品の下方視の像をカメラの撮像領域に導く第１の光学系と、
   第１のノズルに保持された部品の側方視の像をカメラの撮像領域に導く第２の光学系と、
   第２のノズルに保持された部品の下方視の像をカメラの撮像領域に導く第３の光学系と、
   第２のノズルに保持された部品を側方視の像をカメラの撮像領域に導く第４の光学系と、を備え、
   第１、第２の、第３、および第４の光学系が、共通の光学要素としてハーフミラーを含んでいる、請求項１から４のいずれか一項に記載の部品実装装置。
6. 移載ヘッドが、
   第１のノズルに保持された部品に対して、その下方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第１の光源と、
   第１のノズルに保持された部品に対して、その側方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第２の光源と、
   第２のノズルに保持された部品に対して、その下方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第３の光源と、
   第２のノズルに保持された部品に対して、その側方視の像をカメラが撮影するときに光を照射する第４の光源と、を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の部品実装装置。
7. 第１および第２のロータリーユニットが第１および第２のノズルを鉛直方向に移動可能に支持するように構成され、
   第１および第２のロータリーユニットが第１および第２のノズルを高さ位置を変えつつ周回させ、
   少なくとも第１および第２の下方撮影位置が第１および第２のノズルの周回軌道における最も高い位置に設定されている、請求項２に記載の部品実装装置。
8. 水平方向に移動可能な移載ヘッドを有し、
   移載ヘッドが、
   部品を上方から吸着して保持するための複数のノズルをそれぞれ支持するとともに周回させる複数のロータリーユニットと、
   各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の所定の撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を順次撮影する一台のカメラと、を備え、
   一台のカメラは、各ロータリーユニットのノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する撮影動作を実行する、部品実装装置。
9. 各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の互いに異なる位置に側方撮影位置と下方撮影位置とが存在し、
   カメラは、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、また下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影し、
   １つのロータリーユニットの周回軌道上における、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像と、下方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の下方視の像を、一台のカメラによって順次撮影するまたは同時撮影する、請求項８に記載の部品実装装置。
10. 複数の第１のノズルを支持する第１のロータリ―ユニットと複数の第２のノズルを支持する第２のロータリーユニットとを備える移載ヘッドを用いて部品実装を実行する部品実装方法であって、
    第１のロータリーユニットによって複数の第１のノズルを第１の周回軌道に沿って周回させ、
    第２のロータリーユニットによって複数の第２のノズルを第２の周回軌道に沿って周回させ、
    第１の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第１のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像と、第２の周回軌道上の所定の撮影位置に位置する第２のノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像とを一台のカメラによって順次撮影し、
    一台のカメラは、第１および第２のノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する、部品実装方法。
11. 第１の周回軌道上に第１の側方撮影位置および第１の下方撮影位置とが存在し、
    第２の周回軌道上に第２の側方撮影位置および第２の下方撮影位置とが存在し、
    カメラにより、第１および第２の側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、第１および第２の下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影する、請求項１０に記載の部品実装方法。
12. それぞれが複数のノズルを支持する複数のロータリーユニットを備える移載ヘッドを用いて部品実装を行う部品実装方法であって、
    各ロータリーユニットによって対応する複数のノズルを周回させ、
    各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の所定の撮影位置それぞれに位置するノズルに保持された部品の下方視の像および側方視の像を一台のカメラによって順次撮影し、
    一台のカメラは、各ロータリーユニットのノズルそれぞれに保持された部品の側方視の像および下方視の像を、１つずつ撮影するまたは少なくとも一部を同時撮影する、部品実装方法。
13. 各ロータリーユニットのノズルの周回軌道上の互いに異なる位置に側方撮影位置と下方撮影位置とが存在し、
    カメラは、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像を撮影し、また下方撮影位置に位置するノズルに保持された下方視の像を撮影し、
    １つのロータリーユニットの周回軌道上における、側方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の側方視の像と、下方撮影位置に位置するノズルに保持された部品の下方視の像を、一台のカメラによって順次撮影するまたは同時撮影する、請求項１２に記載の部品実装方法。

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