JP2014532992A5 - - Google Patents

Description

本開示の技術的範囲から逸脱することなく上記構成及び方法において様々な変更を行うことができるため、上記記載に含まれ添付の図面に示された全ての事項は、限定ではなく、例示と解釈すべきであることを意図している。
本明細書の開示内容は、以下の態様を含み得る。
（態様１）
第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体を劈開させるための装置であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
当該装置は、
第１アームと、
前記第１アームに設けられ、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を有する第１クランプと、
第２アームと、
前記第２アームに設けられ、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を有する第２クランプと、を備える装置。
（態様２）
前記第１アームと同様の複数のアームと、各アームに設けられた、前記第１クランプと同様のクランプと、をさらに備え、
前記第２アームと同様の複数のアームと、各アームに設けられた、前記第２クランプと同様のクランプと、をさらに備える態様１記載の装置。
（態様３）
前記第１ウェハを固定及び解放するために少なくとも前記第１クランプを外側へ移動させ（または伸ばし）及び内側へ移動させる（または引き込ませる）第１アクチュエータと、
前記第２ウェハを固定及び解放するために少なくとも１つの前記第２クランプを外側へ移動させ（または伸ばし）及び内側へ移動させる（または引き込ませる）第２アクチュエータと、をさらに備える態様２記載の装置。
（態様４）
前記第１クランプに取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
前記アクチュエータの作動時、前記第１クランプは、前記第１ウェハに上方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる態様１〜３のいずれかに記載の装置。
（態様５）
前記第２クランプに取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
前記アクチュエータの作動時、前記第２クランプは、前記第２ウェハに下方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる態様１〜４のいずれかに記載の装置。
（態様６）
前記第１クランプは、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に対して相補的な形状を有する端面を備え、
前記端面は、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を含む態様１〜４のいずれかに記載の装置。
（態様７）
前記第２クランプは、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に対して相補的な形状を有する端面を備え、
前記端面は、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を含む態様１〜４のいずれかに記載の装置。
（態様８）
第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体の劈開方法であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
当該方法は、
前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に、第１アームに設けられた第１クランプの表面を接触させることと、
前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に、第２アームに設けられた第２クランプの表面を接触させることと、
（１）前記第１クランプを上方向に作動させることにより前記第１ウェハに対して上方向の力を付与すること、若しくは、（２）前記第２クランプを下方向に作動させることにより前記第２ウェハに対して下方向の力を付与すること、の少なくとも一方により、前記結合ウェハ構造体を劈開させること、を含む方法。
（態様９）
前記結合ウェハ対の劈開を開始するため、前記第１ウェハと前記第２ウェハとの間にブレードを挿入することをさらに含む態様８記載の方法。
（態様１０）
前記第１アームと同様のアームに設けられた、前記第１クランプと同様の複数のクランプの表面が、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分と接触する態様８又は９に記載の方法。
（態様１１）
前記第２アームと同様のアームに設けられた、前記第２クランプと同様の複数のクランプの表面が、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分と接触する態様８〜１０のいずれかに記載の方法。
（態様１２）
少なくとも第１クランプを外側へ移動（または伸ばして）及び内側へ移動させて（または引き込ませて）前記第１ウェハを固定するために、少なくとも前記第１クランプを作動させることと、
少なくとも第２クランプを外側へ移動（または伸ばして）及び内側へ移動させて（または引き込ませて）前記第２ウェハを固定するために、少なくとも前記第２クランプを作動させることと、
少なくとも第１クランプを外側へ移動（または伸ばして）及び内側へ移動させて（または引き込ませて）前記第１ウェハの少なくとも一部を解放するために、少なくとも前記第１クランプを作動させることと、
少なくとも第２クランプを外側へ移動（または伸ばして）及び内側へ移動させて（または引き込ませて）前記第２ウェハの少なくとも一部を解放するために、少なくとも前記第２クランプを作動させることと、を含む態様８〜１１のいずれかに記載の方法。
（態様１３）
前記第１ウェハに上方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第１クランプを作動させることを含む態様８〜１２のいずれかに記載の方法。
（態様１４）
前記第２ウェハに下方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第２クランプを作動させることを含む態様８〜１３のいずれかに記載の方法。
（態様１５）
前記第１クランプは、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に対して相補的な形状を有する端面を備え、
前記端面は、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を含む態様８〜１４のいずれかに記載の方法。
（態様１６）
前記第２クランプは、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に対して相補的な形状を有する端面を備え、
前記端面は、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を含む態様８〜１５のいずれかに記載の方法。
（態様１７）
第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体を劈開させるための装置であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
当該装置は、
前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を有する１以上の環状部材を備える第１把持部材と、
前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を有する１以上の環状部材を備える第２把持部材と、を備える装置。
（態様１８）
前記第１把持部材の１以上の環状部材は、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分と連続的に接触する態様１７記載の装置。
（態様１９）
前記第２把持部材の１以上の環状部材は、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分と連続的に接触する態様１７記載の装置。
（態様２０）
前記第１把持部材は、１つの環状部材を備え、
前記環状部材は、前記第１ウェハを把持及び解放する作動端面を有する態様１７〜１９のいずれかに記載の装置。
（態様２１）
前記第２把持部材は、１つの環状部材を備え、
前記環状部材は、前記第２ウェハを把持及び解放する作動端面を有する態様１７〜２０のいずれかに記載の装置。
（態様２２）
前記第１把持部材に取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
前記アクチュエータの作動時、前記第１把持部材は、前記第１ウェハに上方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる態様１７〜２１のいずれかに記載の装置。
（態様２３）
前記第２把持部材に取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
前記アクチュエータの作動時、前記第２把持部材は、前記第２ウェハに上方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる態様１７〜２２のいずれかに記載の装置。
（態様２４）
第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体の劈開方法であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
当該方法は、
前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に、第１把持部材の環状部材の表面を接触させることと、
前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に、第２把持部材の環状部材の表面を接触させることと、
（１）前記第１把持部材を上方向に作動させることにより前記第１ウェハに対して上方向の力を付与すること、若しくは、（２）前記第２把持部材を下方向に作動させることにより前記第２ウェハに対して下方向の力を付与することの少なくとも一方により、前記結合ウェハ構造体を劈開させること、を含む方法。
（態様２５）
前記結合ウェハ対の劈開を開始するため、前記第１ウェハと前記第２ウェハとの間にブレードを挿入することをさらに含む態様２４記載の方法。
（態様２６）
前記第１ウェハに上方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第１把持部材を作動させることを含む態様２４又は２５記載の方法。
（態様２７）
前記第２ウェハに下方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第２把持部材を作動させることを含む態様２４〜２６のいずれかに記載の方法。
（態様２８）
前記第１把持部材の１以上の環状部材が、前記第１ウェハの周辺部材の第１部分と連続的に接触する態様２４〜２７のいずれかに記載の方法。
（態様２９）
前記第２把持部材の１以上の環状部材が、前記第２ウェハの周辺部材の第２部分と連続的に接触する態様２４〜２８のいずれかに記載の方法。
（態様３０）
前記第１把持部材は、１つの環状部材を備え、
前記環状部材は、作動端面を有し、
当該方法は、
前記第１ウェハを把持及び解放するため、前記端面を作動させることを含む態様２４〜２９のいずれかに記載の方法。
（態様３１）
前記第２把持部材は、１つの環状部材を備え、
前記環状部材は、作動端面を有し、
当該方法は、
前記第２ウェハを把持及び解放するため、前記端面を作動させることを含む態様２４〜３０のいずれかに記載の方法。

Claims (15)

1. 第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体を劈開させるための装置であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
   当該装置は、
   第１アームと、
   前記第１アームに設けられ、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を有する第１クランプと、
   第２アームと、
   前記第２アームに設けられ、前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を有する第２クランプと、を備える装置。
2. 前記第１アームと同様の複数のアームと、各アームに設けられた、前記第１クランプと同様のクランプと、をさらに備え、
   前記第２アームと同様の複数のアームと、各アームに設けられた、前記第２クランプと同様のクランプと、をさらに備える請求項１記載の装置。
3. 前記第１ウェハを固定及び解放するために少なくとも前記第１クランプを外側へ移動させ及び内側へ移動させる第１アクチュエータと、
   前記第２ウェハを固定及び解放するために少なくとも１つの前記第２クランプを外側へ移動させ及び内側へ移動させる第２アクチュエータと、をさらに備える請求項２記載の装置。
4. 前記第１クランプに取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
   前記アクチュエータの作動時、前記第１クランプは、前記第１ウェハに上方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる請求項１〜３のいずれかに記載の装置。
5. 第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体の劈開方法であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
   当該方法は、
   前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に、第１アームに設けられた第１クランプの表面を接触させることと、
   前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に、第２アームに設けられた第２クランプの表面を接触させることと、
   （１）前記第１クランプを上方向に作動させることにより前記第１ウェハに対して上方向の力を付与すること、若しくは、（２）前記第２クランプを下方向に作動させることにより前記第２ウェハに対して下方向の力を付与すること、の少なくとも一方により、前記結合ウェハ構造体を劈開させること、を含む方法。
6. 前記第１ウェハに上方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第１クランプを作動させることを含む請求項５に記載の方法。
7. 第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体を劈開させるための装置であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
   当該装置は、
   前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に接触する表面を有する１以上の環状部材を備える第１把持部材と、
   前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に接触する表面を有する１以上の環状部材を備える第２把持部材と、を備える装置。
8. 前記第１把持部材の１以上の環状部材は、前記第１ウェハの周辺端面の第１部分と連続的に接触する請求項７記載の装置。
9. 前記第２把持部材は、１つの環状部材を備え、
   前記環状部材は、前記第２ウェハを把持及び解放する作動端面を有する請求項７又は８に記載の装置。
10. 前記第１把持部材に取り付けられたアクチュエータをさらに備え、
    前記アクチュエータの作動時、前記第１把持部材は、前記第１ウェハに上方向の力を付与し、結合ウェハ構造体を劈開させる請求項７〜９のいずれかに記載の装置。
11. 第１ウェハと第２ウェハとを含む結合ウェハ構造体の劈開方法であって、前記第１ウェハは、第１部分を含む周辺端面を有し、前記第２ウェハは、第２部分を含む周辺端面を有し、前記第１部分は、前記第２部分と対向して配置され、
    当該方法は、
    前記第１ウェハの周辺端面の第１部分に、第１把持部材の環状部材の表面を接触させることと、
    前記第２ウェハの周辺端面の第２部分に、第２把持部材の環状部材の表面を接触させることと、
    （１）前記第１把持部材を上方向に作動させることにより前記第１ウェハに対して上方向の力を付与すること、若しくは、（２）前記第２把持部材を下方向に作動させることにより前記第２ウェハに対して下方向の力を付与することの少なくとも一方により、前記結合ウェハ構造体を劈開させること、を含む方法。
12. 前記第１ウェハに上方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第１把持部材を作動させることを含む請求項１１記載の方法。
13. 前記第２ウェハに下方向の力を付与して前記結合ウェハ構造体を劈開させるために、前記第２把持部材を作動させることを含む請求項１１又は１２に記載の方法。
14. 前記第１把持部材は、１つの環状部材を備え、
    前記環状部材は、作動端面を有し、
    当該方法は、
    前記第１ウェハを把持及び解放するため、前記端面を作動させることを含む請求項１１〜１３のいずれかに記載の方法。
15. 前記第２把持部材は、１つの環状部材を備え、
    前記環状部材は、作動端面を有し、
    当該方法は、
    前記第２ウェハを把持及び解放するため、前記端面を作動させることを含む請求項１１〜１４のいずれかに記載の方法。