FR3093858B1 - Procédé de transfert d’une couche utile sur un substrat support - Google Patents

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Abstract

L’invention concerne un procédé de transfert d’une couche utile sur un substrat support, comprenant les étapes suivantes : a) la fourniture d’un substrat donneur comportant un plan fragile enterré, la couche utile étant délimitée par une face avant du substrat donneur et le plan fragile enterré ;b) la fourniture d’un substrat support ; c) l’assemblage, selon une interface de collage, du substrat donneur, au niveau de sa face avant, et du substrat support, pour former une structure collée ; d) le recuit de la structure collée pour augmenter le niveau de fragilisation du plan fragile enterré ; Le procédé de transfert étant remarquable en ce que : - une contrainte prédéterminée est appliquée au plan fragile enterré au cours de l’étape d) de recuit, pendant une période de temps, la contrainte prédéterminée étant choisie de manière à initier l’onde de fracture lorsqu’un niveau donné de fragilisation est atteint, - au bout de la période de temps, le niveau donné de fragilisation étant atteint, la contrainte prédéterminée provoque l’initiation et la propagation auto-entretenue de l’onde de fracture le long dudit plan fragile enterré, menant au transfert de la couche utile sur le substrat support. Figure à publier avec l’abrégé : Pas de figure
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