JP2014503949A - 有機発光する発光体を製造するための蒸着装置及び方法 - Google Patents

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Abstract

並存している複数の領域を有する有機発光する発光体に関し、且つ1つの真空室と、1つの基板を直進搬送するための1つの設備と、複数の蒸着源と、複数のスクリーンとを有する、当該有機発光する発光体を製造するための蒸着装置に関する本発明は、改良された発光強度を呈するOLED構造体を提供することを課題とする。この場合、当該OLED発光体を製造するための蒸着装置の効率が向上されなければならない。この場合、当該製造は、安価に且つ商業的に適応可能でなければならない。
この課題は、対応する領域ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成可能であるように、正孔輸送層の厚さ、発光層の厚さ及び電子輸送層の厚さが、並存している当該領域ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることによって解決される。

Description

本発明は、請求項1の上位概念に記載の有機発光する発光体及び請求項11の上位概念に記載の当該発光体を製造するための蒸着装置並びに請求項15の上位概念に記載の当該発光体を製造するための方法に関する。
有機発光する発光体、特に有機発光ダイオード(OLED)は、現在では既に家電の多くの分野で、例えば表示装置の用途で使用され、照明産業では未来技術とも考えられている。有機発光ダイオードの構造が、1つ又は複数の有機発光層(EMI)を有する。当該有機発光層は、2つの電極の間に配置されている、例えば基板上の陰極と陽極との間に配置されている。
従来の技術によれば、発光の方向に応じて、2種類の有機発光ダイオードが公知である。基板からの発光を伴う有機発光ダイオードが、いわゆるトップエミッション構造で製造され得る。又は、基板を透過する発光を伴う有機発光ダイオードが、ボトムエミッション構造で製造され得る。
図1には、従来の技術から公知の、トップエミッション構造の有機発光ダイオードの大まかな構造が示されている。当該構造は、不透明な基板100と、この基板100上に続く、省略可能な平滑化層101と、図1における陽極に相当する第1電極層102と、正孔輸送層103(HTL)から成る有機層スタックと、それぞれ異なる色、例えば赤色、緑色又は青色の光を放射する、少なくとも1つ、特に2つ又は3つの、垂直方向に別々に形成された発光層104(EML)と、電子輸送層105(ETL)と、図1において陰極に相当する半透明な金属電極層106とから構成される。正孔輸送層及び電子輸送層は、纏めて電荷キャリアと呼ばれる。省略可能なさらなる透明な層、例えばバッファ層が、説明したこれらの層の間に存在してもよい。電圧を第1電極層と第2電極層との間に印加した場合、異なる色の光量子が、発光層中で生成される。当該光量子は、半透明な陰極によってその一部を消失させることができる。
ボトムエミッション構造の有機発光ダイオードは、トップエミッション構造の有機発光ダイオードと違って透光性基板を有する。第1透光性電極層及び第2透光性電極層が、この透光性基板上に蒸着されている。その結果、発光が、当該基板を透過して、すなわちボトム方向に発生し得る。
基板上に形成された層、陽極/HTL/EBL/EML/HBL/ETL/陰極の順序は、原理的には、その逆の順序でもよい。この場合、当該順序は、光を放つ側の電極をその都度半透明又は透明に構成することが必要である。
さらに、白色光の放射を発生させるため、異なる色の光を放射する複数の領域が並んで配置されているOLED発光体が公知である。例えば、並存している2つの領域が、異なる色の光を放射するときに、1つの領域が、第1の色の光を放射し、その次の領域が、第2の色の光を放射する。この場合、この第1の色とこの第2の色とは相違する。個々の領域の光の色の加法混合に起因して、所定の、例えば白の色彩効果が、観察者のための、個々の色とそれぞれの光強度とを適切に選択することによって設定され得る。この場合、これらの領域の各々が、基板、第1電極、有機層スタック及び電極を含む下記の層構造を有する。この場合、当該有機発光スタックは、正孔輸送層、単色光を放射する発光層及び電子輸送層を有する。当該複数の有機層に続く層が、基板上に形成されている第1電極として陽極を有する層構造体に相当する。電子輸送層、単色光を放射する発光層及び正孔輸送層を有する当該複数の有機層に続くもう1つの層が、第1電極として陰極を有する層構造体に相当する。当該複数の領域の各々に対するこれらの2種類の層構造体は、基板上に形成されている平滑化層をオプションとして有してもよい。
オプションとして、OLED層構造体は、従来の技術から公知のその他の、機能層並びに層アレイ、例えばカバー電極上に配置された、水蒸気及び酸素に対して障壁として作用する層、機械的な保護層又は光学的に作用する、光出射効率を上げる層若しくは構造体を有してもよい。
トップエミッション構造の構造体では、反射する電極と中間に存在する透明な層と半透明な層との協働によって、光共振器が構成され、且つ、干渉効果によって、カバー電極を通じて出射された光の強度が、以下でHTL,EML及びETLとも呼ばれる、正孔輸送層(HTL)、発光層(EML)及び電子輸送層(ETL)のような、これらの透明な層の合計の層厚に依存する。この場合、当該合計の層厚の最適値、いわゆる光出射効率の最大値が、複数の発光層の各々に対して存在する。放射された光量が、当該光出射効率の最大値に対して最大値をとる。
ボトムエミッション構造では、この干渉効果は、透明な電極に起因して、同様に光の強度を減少させるように存在する。何故なら、同様に、複数のOLED層と基板との間の異なる複数の境界線又はOLED層組織内の異なる複数の境界線の反射率の違いが、光出射効率の、層厚に依存する変化を示すからである。
異なる発光色に対する厚さの最適値は、異なる値を有する。その結果、これらの層厚を最適にする場合、最適な光出射条件が、これらの発光色の各々に対して設定され得ない。
本発明の課題は、発光の強度を改良するOLED構造体を提供することにある。この場合、当該OLED発光体を製造するための蒸着装置の効率が向上されなければならない。この場合、当該製造は、安価に且つ商業的に適応可能でなければならない。
この課題は、請求項1に記載の有機発光する発光体並びに請求項11及び15に記載の当該発光体を製造するための装置及び方法によって解決される。本発明のその他の好適な構成は、それぞれの従属請求項に記載されている。
本発明の有機発光する発光体(OLED)は、対応する領域ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成されるように、第1電荷キャリア輸送層の厚さ、発光する発光層の厚さ及び/又は第2電荷キャリア層の厚さが、異なる発光色を呈する、並存している複数の当該領域の各々ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることを特徴とする。このため、有機発光する発光体に対する最大光量が、全体で合計の層厚を与える上記の複数の層の厚さを適切に設定することによって、並存している、異なる色を発光する複数の当該領域のそれぞれの領域に対して達成され得る。したがって、これらの厚さの当該設定は、HTL層、EML層及びETL層を有する有機層スタックの全体の厚さの設定だけに限定されるのではなくて、当該設定は、それぞれの層スタック内のそれぞれの層の層厚の設定に同様に適用され得る。
本発明のOLED発光体の好適な構成では、複数の領域の各々が、基板上に形成されている平滑化層を有する。最適な平滑化層とは、粗い表面のときに、複数の構成要素における短絡及び複数の構成要素間の短絡を阻止するように、基板表面を平坦にするための、例えばコーティング剤のことをいう。本発明のOLED発光体の別の構成では、必要であるならば、複数の領域の各々が、中間接続された透明な少なくとも1つのバッファ層、好ましくは中間接続された透明な複数のバッファ層を有する。
本発明によれば、複数の電極のうちの一方の電極が、陽極である一方で、その他方の電極が、陰極である。第1電極が、陽極である場合、本発明の有機発光する発光層の有機発光スタックが、1つの正孔輸送層、少なくとも1つの発光層及び/又は1つの電子輸送層の順序で当該有機発光層を有する。第1電極として陰極を有する有機発光体の場合、当該複数の有機層が、その逆の順序で構成されていて、且つ1つの電子輸送層、少なくとも1つの発光層又は1つの正孔輸送層の順序で当該有機発光層を有する。通常、これらの有機発光層は、有機層スタックから放射された光に対して光透過性である。
本発明の有機発光する発光体(OLED発光体)は、有機層スタック内で発生した光を当該有機層スタックの下面と基板との双方を透過させて放射する。有機発光スタックから放射された光の経路上の複数の層が、放射光に対して透過性であると有益である。
本発明の発光体の好適な実施の形態によれば、有機層スタックから放射された光に対して、第1電極が、少なくとも半透明に、特に透明に形成されていて、第2電極が、非透明に形成されている。この実施の形態では、基板が、有機発光層から放射される光に対して同様に透過性に、すなわち透明に形成されている。この場合、それぞれの有機層スタック内で発生した光が、この基板を透過して放射される。特に、第2電極が、反射するように形成されている。
本発明の発光体の少なくとも1つの別の実施の形態によれば、有機層スタックから放射される光に対して、第2電極が、少なくとも半透明に、特に透明に形成されていて、第1電極が、非透明に形成されている。特に、第1電極が、反射するように形成されている。この場合、それぞれの有機発光スタック内で発生した光が、本発明の発光体の上面を透過して放射される。
本発明の発光体の少なくとも1つの別の実施に形態によれば、有機層スタックから放射された光に対して、両電極が、透過性に形成されている。この実施の形態では、本発明の有機発光体の複数の層が、有機層スタックから発生した光に対して基本的に透過性に形成されている。
少なくとも1つの実施の形態によれば、複数の電極のうちの少なくとも1つの電極が、透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料を有する、又は当該透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料から成る。通常、有機材料は、可視光に対して透過性である。それ故に、通常、導電性有機材料を有する電極又は導電性有機材料から成る電極も、有機層スタックから出射された光に対して透過性である。金属層を有する電極又は金属層から成る電極が、有機層スタックから出射された光に対して透過性に形成されなければならない場合、当該金属層は、十分に薄く形成される必要がある。
本発明の発光体の少なくとも1つの実施の形態によれば、基板が、巻き付け又は巻き戻し時に破損されることなしに、フィルム状にフレキシブルにロール上に巻き付け可能であり、且つこのロールから巻き戻し可能である。この場合、フレキシブルとは、特に、基板が、曲げるときに破損されることなしに、基板が、或る程度まで湾曲可能であることを意味する。
発光体の1つの実施の形態によれば、この場合、異なる発光色を呈する、並存している複数の領域の有機層スタックがそれぞれ、互いに異なる発光層を有する。これらの発光層は、その有機発光材料に関して相違し、これらの発光層は、異なる色の光を発生させることに適している。すなわち、例えば、第1領域が、第1有機発光材料を有する有機層スタックを含む。次いで、異なる発光色を呈する隣の領域が、第2有機発光材料を含む。この場合、当該第1有機発光材料は、当該第2有機発光材料と異なる。このとき、これらの異なる有機発光材料のために、それぞれの領域の有機層スタックが、異なる色の光を発生させるために適している。
特に、放射された光の所定の波長のためのそれぞれの領域に対する層厚の最適値が、シミュレーション及び/又は実験から算出され得る。
また、本発明の課題は、当該OLED発光体を製造するための蒸着装置によって解決される。この蒸着装置は、真空室を有し、基板を直進搬送するための設備を有し、複数の蒸着源を有し、且つ基板を個々の蒸着領域に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するための複数のスクリーンを有する。この場合、それぞれのスクリーンが、基板の搬送方向に対して垂直方向に並存している複数の部分領域に区分されている。この場合、これらの部分領域は、基板の搬送方向に沿って異なる延在部分を有する、又は、その一部が、完全に閉鎖されている。この場合、基板を蒸着源に対して通過させるときに、この基板上に並存している複数の領域が、それぞれの発光色の光出射効率に対して最適な層厚で形成されるように、それぞれの部分領域の延在部分が、前後して設定されている。本発明の蒸着装置によって、効率の良いOLED構造体、特に有機発光ダイオードを製造することができる。それぞれの発光色のために放射された光量が、その最大値をとる。
本発明に関しては、表現「個々の蒸着領域に対して基板を通過させる」とは、異なる複数の層を蒸着するため、1つの蒸着ステーションからその次の蒸着ステーションまでこの基板を一体的に搬送することを意味する。この場合、この基板は、蒸着工程中に連続して搬送される。当該方法は、連続して搬送される基板テープを有するインライン真空蒸着装置内で、連続基板をロール・ツー・ロール方式で蒸着する、又はほぼ連続して同期移動する、相前後する扁平な複数のスティック基板を蒸着する。
本発明によれば、基板を個々の蒸着領域に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するためのスクリーンが、固定されて形成されている。このことは、蒸着源又は構造化ステーションの前方で基板を保持することなしに、且つシャドウマスクと一緒に移動させることなしに、連続して移動する連続基板又はほぼ連続する複数の基板に対する蒸着工程を本発明の蒸着装置によって可能にする。このため、一緒に移動する当該シャドウマスクの面倒な取り扱いが回避され得る。
本発明によれば、1つの蒸着領域が、複数の蒸着源のうちの1つの蒸着源ごとによって蒸着される。この蒸着領域とは、材料蒸気を有する蒸着源の作用領域を意味する。これらの蒸着源は、基板の軌道の上側に配置されている。すなわち、これらの蒸着源は、垂直方向に下側に向いている。この場合、当該基板が、これらの蒸着源を水平方向に通過する。その結果、蒸着方向が、垂直方向に延在する。
原理的には、その他の種類の、蒸着源と基板との関係も可能である。例えば、上に向かる蒸着方向を伴う、基板の下側に配置された蒸着源が可能であり、又は、水平方向の蒸着方向を伴う、垂直方向に指向された基板が可能である。
本発明によれば、少なくとも1つの固定式スクリーンが、それぞれ1つの蒸着源と通過される基板との間に配置されている。
本発明の1つの実施の形態によれば、1つの部分領域が、1つの開口部として形成されている。この開口部を通じて、複数の層が、通過される又は移動される、ストリップ構造を成す複数の基板上に動的に蒸着される。
本発明の別の実施の形態によれば、部分領域が、蒸着領域の上方のマスキングによって形成される。
本発明によれば、基板の搬送方向の延在部分における階段状の輪郭が、蒸着される層の層厚を決定する。搬送方向の当該延在部分が長いほど、それぞれの層がより厚い。したがって、蒸着されるそれぞれの層のそれぞれ異なる層厚が、それぞれの部分領域の延在部分の異なる大きさによって設定可能である。
本発明によれば、エバポレータが、特に有機材料用の蒸着源として使用される。有機材料用のリニアエバポレータが、100℃〜700℃の気化範囲内で使用される。
また、この課題は、有機発光する発光体を製造するための蒸着装置を使用し、最適な層厚を選択する、上記OLED発光体を製造するための方法によって解決される。
以下に、本発明を図面を参照しつつ好適な実施の形態に基づいて詳しく説明する。
従来の技術による有機発光する発光体の構造を概略的に示す。 本発明にしたがって製造された有機発光する発光体の横断面の実施の形態を示す。 本発明の蒸着装置の概略構造を概略的に示す。
図2によれば、本発明にしたがって製造されたOLED発光体が、基板200を有する。平滑化層201と反射性の陽極202とが、この順番でこの基板上に配置されている。3つの層スタック1,2及び3が、間隔をあけて並んで陽極層202上に配置されている。すなわち、陽極領域の、層スタックと層スタックとの間に存在し、且つ当該それぞれの層スタックの周りに存在する領域が、事後的に蒸着されないことを意味する。原理的には、これらの層スタックの当該複数の領域が、互いに直に隣接していてもよいし、又はその層厚勾配若しくは濃度勾配を利用して徐々に変化されてもよい。
各層スタック1,2,3はそれぞれ、4つの層を有する、すなわち正孔輸送層(HTL)203.1,203.2,203.3、発光層(EML)204.1,204.2,204.3、電子輸送層(ETL)205.1,205.2,205.3及び陰極層206.1,206.2,206.3を有する。第1層スタック1の発光層204.1は、青色の光を生成し、放射するために適している。第2層スタック2の発光層204.2は、緑色の光を生成し、放射するために適している。第3層スタック3の発光層204.3は、赤色の光を生成し、放射するために適している。図2に示されたOLED発光体は、トップエミッション構造のOLED発光体であるので、当該光はそれぞれ、半透明の陰極206.1,206.2,206.3を透過して出射される。このため、3つの領域が、異なる色によって発光される。
図2において見て取れるように、それぞれの層スタックのHTL,EML及びETLは、他方の層スタックと異なる層厚を有する。このことは、HTL層とEML層とETL層との合計の層厚の最適値、いわゆる光出射効率の最大値が、各発光色に対して存在するという認識に基づく。放射された光量が、当該光出射効率の最大値に対して最大値をとる。それぞれの発光色ごとに最大の放射光量を得るため、それぞれの層スタックに対する層HTL,EML及びETLが、実施された測定及び/又はシミュレーションによってこれらの層に適合された層厚を有する。したがって、OLED発光体の光出射効率の条件が、有機層の層厚を適合することによって最適に設定され得る当該OLED発光体を製造することが可能である。このことは、それぞれの色に対する光の放射の効率を良くする。このため、OLED発光体の全体の効率が、本発明にしたがって向上され得る。
本発明の蒸着装置301は、インライン真空蒸着装置である。このインライン真空蒸着装置では、大面積の1つの基板300が、蒸着ステーション又は処理ステーション302を連続に通過して移動され、有機発光する複数の発光体に仕上げられる。異なる発光層をそれぞれ有する3つの層スタックを備える1つのOLED発光体が、当該蒸着装置301によって製造される。図3に示したように、これらの層スタックはそれぞれ、青色の発光層、緑色の発光層及び赤色の発光層を有する。図3では、青色、赤色及び緑色のような異なる3つの色の光で発光する、異なる厚さの有機層を有する有機層スタックを製造するためのスクリーン303が示されているものの、本発明のこの蒸着装置301は、この例だけに限定されるのではなくて、3つより多い層スタック若しくは3つより少ない層スタック又は別の発光色を有する層スタックを備えるOLED発光体も考えられる。
本発明によれば、図3に示されたスクリーン303は、それぞれの蒸着源302と搬送された基板との間に固定配置されている。図3には、固定式スクリーン303.1〜303.5を1つずつ有する5つの処理ステーション302.1〜302.5がある。第1スクリーン303.1は、階段状の形を成す1つの開口部を有する。この開口部は、合成されていて且つ一緒に中心に配置されている、異なる大きさの3つの四角形A,B,Cの組み合わせから形成される。各四角形は、本発明による1つの部分領域を示す。この場合、これらの部分領域A,B,Cは、基板の搬送方向に異なる延在部分を有する、又は、その一部が完全に閉鎖されている。当該異なる延在部分は、基板の搬送方向の、それぞれの長方形のそれぞれの異なる長さに一致する。当該延在部分方向のこの階段状の輪郭が、−全ての領域に対して等しい一定の蒸着速度及び基板の搬送速度に対して−それぞれの層スタックの層厚を決定する。当該延在部分が長いほど、蒸着された層がより厚くなる。
スクリーン303.1を有する第1蒸着ステーション302.1では、正孔輸送層1つの正孔輸送層203.1,203.2,203.3(HTL)が、それぞれの層ごとに蒸着される、特に熱蒸着される。第1層スタック1に関しては、正孔輸送層203.1の層厚は、第2層スタック2と第3層スタック3とにおける正孔輸送層の層厚より薄い。スクリーン303.2を有する第2蒸着ステーション302.2では、第1層スタック1の所だけで、青色の発光色の光で発光する発光層204.1が蒸着される。この第2蒸着ステーション302.2内の部分領域Aの延在部分の長さは、第1蒸着ステーション302.1内の部分領域Aの延在部分の長さに一致する。したがって、第1層スタック1のための正孔輸送層203.1と発光層204.1との層厚は等しい。第2層スタック2と第3層スタック3とのための部分領域がそれぞれ、完全に閉鎖されている。すなわち、蒸着工程を開口部によって実施できる当該開口部が、スクリーン303.2内に存在しない。
発光層204.2を第2層スタック2上に蒸着するため、第3蒸着ステーション302.3では、固定式スクリーン303.3が、ただ1つの開口部を有する。部分領域B、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分が、蒸着された発光層204.2の層厚に一致する。この発光層204.2は、青色の光を生成するために適している。当該スクリーン303.3は、第1層スタック1と第3層スタック3とのための開口部を有しない。すなわち、スクリーン303.3のための部分領域A及びCが完全に閉鎖されていることを意味する。第4処理ステーション302.4では、固定式スクリーン303.4が、発光層204.3を第3層スタック上に蒸着する工程のためのただ1つの開口部を有する。部分領域、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分が、蒸着された発光層204.3の層厚に一致する。この発光層204.3は、赤色の光を生成するために適している。当該スクリーン303.4は、第1層スタック1と第2層スタック2とのための開口部を有しない。すなわち、スクリーン303.4のための部分領域A及びBが完全に閉鎖されていることを意味する。第5処理ステーション302.5では、固定式スクリーン303.5が、電子輸送層205.1,205.2,205.3を蒸着する工程のために、それぞれの層スタック1,2,3に対して部分領域を1つずつ有する。当該それぞれの部分領域、すなわち開口部の、搬送方向の延在部分がそれぞれ、蒸着されたそれぞれの電子輸送層205.1,205.2,205.3の層厚に一致する。この実施の形態では、当該それぞれの電子輸送層205.1,205.2,205.3の層厚は、それぞれの層スタック1,2及び3の各有機層に対する厚さに等しい。一方で、これらの層厚は、層スタックごとに異なる。しかしながら、層厚を1つの層スタック内でも本発明の蒸着装置によって変えることが考えられる。
100 基板
101 平滑化層
102 陽極層
103 正孔輸送層(HTL)
104 発光層(EML)
105 電子輸送層(ETL)
106 陰極層
200 基板
201 平滑化層
202 陽極
1 第1層有機スタック
2 第2層有機スタック
3 第3層有機スタック
203.1,203.2,203.3 それぞれの層スタックに対する正孔輸送層
204.1,204.2,204.3 それぞれの層スタックに対する発光層
205.1,205.2,205.3 それぞれの層スタックに対する電子輸送層
206.1,206.2,206.3 それぞれの層スタックに対する陰極層
300 基板
301 蒸着装置
302.1〜302.5 蒸着ステーション、蒸着源
303.1〜303.5 スクリーン
A,B,C 部分領域

Claims (15)

  1. それぞれ異なる発光色を呈する、並存している複数の領域(1,2,3)を有する有機発光する発光体であって、
    これらの領域(1,2,3)の各々が、以下の構造:
    ・1つの基板(200)、
    ・1つの第1電極層(202,206)、
    ・1つの第1電荷キャリア輸送層(203,205)、
    ・少なくとも1つの発光層(204)、
    ・1つの第2電荷キャリア輸送層(203,205)、及び
    ・1つの第2電極層(202,206)、
    を有する当該有機発光する発光体において、
    対応する領域(1,2,3)ごとに放射された発光色に対する最適な光出射効率が達成可能であるように、第1電荷キャリア輸送層(203,205)の厚さ、発光する発光層(204)の厚さ及び/又は第2電荷キャリア輸送層(203,205)の厚さが、並存している当該領域ごとに異なり、且つそれぞれ設定されていることを特徴とする有機発光する発光体。
  2. 複数の前記領域(1,2,3)の各々が、前記基板上に1つの平滑化層(201)を有することを特徴とする請求項1に記載の有機発光する発光体。
  3. 複数の前記領域(1,2,3)の各々が、中間接続された透明な少なくとも1つのバッファ層を有する請求項1又は2に記載の有機発光する発光体。
  4. 放射される光に対して、前記基板(200)及び前記第1電極層(202,206)は、透明であり、前記第2電極層は、非透明であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  5. 放射される光に対して、前記基板(200)及び前記第1電極層(202,206)は、非透明であり、前記第2電極層は、少なくとも半透明、特に透明であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  6. 複数の前記電極のうちの少なくとも1つの電極が、透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料を有する、又は当該透明な導電性酸化物、金属若しくは導電性有機材料から成ることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  7. 前記基板は、巻き付け又は巻き戻し時に破損されることなしに、フィルム状にフレキシブルに、特にロール上に巻き付け可能であり、且つこのロールから巻き戻し可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  8. それぞれ異なる発光色を呈するそれぞれの前記領域(1,2,3)の複数の前記発光層(204.1,204.2,204.3)はそれぞれ、異なる発光材料を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  9. 前記発光層(204.1,204.2,204.3)は、単色光を放射することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  10. それぞれの領域に対する層厚の最適値が、シミュレーション及び/又は実験から算出可能であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の有機発光する発光体。
  11. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の有機発光する発光体を製造するための蒸着装置であって、
    この蒸着装置は、1つの真空室と、1つの基板(300)を直進搬送するための1つの設備と、複数の蒸着源(302.1〜302.5)と、この基板(300)を個々の蒸着領域(302.1〜302.5)に対して通過させるときに、露出した基板面を限定するための複数のスクリーン(303.1〜303.5)とを有し、
    それぞれのスクリーン(303.1〜303.5)が、前記基板の搬送方向に対して垂直方向に並存している複数の部分領域(A,B,C)に区分されていて、これらの部分領域は、前記基板の搬送方向に沿って異なる延在部分を有する、又は、その一部が、完全に閉鎖されている当該蒸着装置において、
    前記基板(300)を複数の前記蒸着源(302.1〜302.5)に対して通過させるときに、この基板(300)上に並存している複数の領域(1,2,3)が、それぞれの発光色の光出射効率に対して最適な層厚で形成されるように、複数の前記部分領域(A,B,C)の前記延在部分が、前後して設定されていることを特徴とする蒸着装置。
  12. 複数の前記スクリーン(303.1〜303.5)は、それぞれ1つの蒸着源(302.1〜302.5)と通過される前記基板(300)との間に固定配置されていることを特徴とする請求項11に記載の蒸着装置。
  13. 前記蒸着装置は、前記基板(300)を水平方向に直進移動させるための手段を有する結果、その蒸着方向が、垂直方向であることを特徴とする請求項12に記載の蒸着装置。
  14. 蒸着されるそれぞれの層のそれぞれ異なる層厚が、それぞれの前記部分領域の前記延在部分の異なる大きさによって設定可能であることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の蒸着装置。
  15. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の有機発光する発光体を製造するための方法において、
    当該方法は、請求項11〜14のいずれか1項に記載の有機発光する発光体を製造するための蒸着装置を使用し、最適な層厚を選択することを特徴とする方法。
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