JP2014503944A - 有機発光体を製造するための方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 23
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 22
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 13
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 9
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 216
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
Description
101 平滑化層
102 陽極層
103 正孔輸送層
104 発光層
105 電子輸送層
106 陰極層
200 基板
201 平滑化層
202 ボトム電極層
202.1,202.2 ボトム電極層の互いに電気絶縁された領域
203 有機発光層
203.1,203.2, 異なる色の光を発光する有機層
203.3
204 上部電極層
204.1,204.2 上部電極層の互いに電気絶縁された領域
205 導電トラック層
Claims (15)
- 有機発光体を製造するための方法であって、
・基板(200)を提供するステップと、
・前記基板(200)上にボトム電極層(202)を形成するステップと、
・前記ボトム電極層(202)の少なくとも一部上に少なくとも1つの有機発光層(203)をストリップ状に形成するステップと、
・前記有機発光層(203)の少なくとも一部上に上部電極層(204)をストリップ状に形成するステップと、
・導電トラック層(205)ストリップ状に形成するステップとを有する当該方法において、
前記ボトム電極層の少なくとも1つの領域が、前記層(203,204,205)の形成後に蒸着されていないように、前記層(203,204,205)が、前記基板に沿って設けられた固定式のシャドウマスクと一緒にインライン真空蒸着装置内で蒸着によってストリップ状に形成されることを特徴とする方法。 - 前記方法は、前記ボトム電極層(202)を形成するステップの前に前記基板(200)上に平滑化層(201)を形成するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記方法は、少なくとも1つの有機発光層(203)を形成するステップの前にレーザーによって前記ボトム電極層(202)をパターン形成するステップを有する請求項1又は2に記載の方法。
- レーザーによって前記ボトム電極層(202)をパターン形成する前記ステップは、互いに電気絶縁された複数の領域(202.1,202.2)に分離することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記方法は、前記上部電極層(204)を形成するステップの前にレーザーによって少なくとも1つの有機発光層(203)をパターン形成するステップを有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記方法は、前記上部電極層(204)と引き続く前記導電トラック層とを形成するステップ後にレーザーによってこれらの層をパターン形成するステップを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- レーザーによって前記上部電極層(204)をパターン形成する前記ステップは、この上部電極層の互いに電気絶縁された複数の領域(204.1,204.2)に分離することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 蒸着方向が、垂直方向に延在するように、前記基板(203)が、複数の蒸着源を水平な経路方向に通過することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記固定式のシャドウマスクは、前記蒸着源と通過された前記基板との間に配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記層(202,203,204,205)は、真空蒸着法又はスパッタ法によって形成されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の前記電極層(202,204)のうちの少なくとも1つの電極層が、透明な導電層若しくは金属、特に銀を含むか又は透明な導電層若しくは金属、特に銀から成ることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記導電トラック層(205)は、好ましくは金属を含むか又は金属から成る少なくとも1つの導電トラックを有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記方法は、有機発光積層スタックを形成するように少なくとも1つの有機発光層(203)をストリップ状に形成するステップ中に好ましくは複数の、特に3つの有機発光層(203.1,203.2,203.3)を有し、それぞれの有機発光層(203.1,203.2,203.3)は、光をそれぞれ異なる色彩にさせるために適していることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記有機発光層スタックは、別の有機発光層、特に正孔輸送層(HTL)及び電子輸送層(ETL)を有することを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ボトム電極層(202)は、平坦に又はストリップ状に形成されることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010053605 | 2010-12-07 | ||
DE102010053605.9 | 2010-12-07 | ||
DE102011075092.4A DE102011075092B4 (de) | 2010-12-07 | 2011-05-02 | Verfahren zur Herstellung eines organischen lichtemittierenden Leuchtmittels |
DE102011075092.4 | 2011-05-02 | ||
PCT/EP2011/072035 WO2012076587A1 (de) | 2010-12-07 | 2011-12-07 | Verfahren zur herstellung eines organischen lichtemittierenden leuchtmittels |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014503944A true JP2014503944A (ja) | 2014-02-13 |
Family
ID=46144801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013541390A Pending JP2014503944A (ja) | 2010-12-07 | 2011-12-07 | 有機発光体を製造するための方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8741669B2 (ja) |
JP (1) | JP2014503944A (ja) |
KR (1) | KR101441909B1 (ja) |
DE (1) | DE102011075092B4 (ja) |
WO (1) | WO2012076587A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101411656B1 (ko) * | 2012-06-27 | 2014-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시장치 및 이의 제조 방법 |
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-
2011
- 2011-05-02 DE DE102011075092.4A patent/DE102011075092B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-07 JP JP2013541390A patent/JP2014503944A/ja active Pending
- 2011-12-07 KR KR1020137017844A patent/KR101441909B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-12-07 WO PCT/EP2011/072035 patent/WO2012076587A1/de active Application Filing
- 2011-12-07 US US13/990,661 patent/US8741669B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101441909B1 (ko) | 2014-09-23 |
US20130295707A1 (en) | 2013-11-07 |
DE102011075092A1 (de) | 2012-06-14 |
KR20130106419A (ko) | 2013-09-27 |
WO2012076587A1 (de) | 2012-06-14 |
DE102011075092B4 (de) | 2015-11-12 |
US8741669B2 (en) | 2014-06-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20131125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131217 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140314 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140324 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140415 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140515 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140806 |