JP2014228527A - 画像測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本発明の第1の実施形態に係る画像測定装置の構成について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る画像測定装置の全体図である。
次に、本実施形態に係る画像測定装置を使用した画像測定方法についての説明に先立ち、従来の画像測定方法を説明する。図6は、従来の画像測定方法を説明するための概略図である。
次に、本実施形態に係る画像測定装置の測定方法について説明する。図3は、本実施形態に係る画像測定装置を使用した画像測定方法について説明するためのフローチャートである。
Claims (4)
- 測定対象物を載置するステージと、
前記ステージに対して相対移動可能に設けられ、前記測定対象物を測定範囲よりも狭い所定の撮像範囲について撮像し画像情報を出力する撮像装置と、
前記撮像装置を前記測定範囲内の複数の測定位置に移動させ、各測定位置において前記ステージに対して垂直な方向に走査させる位置制御装置と、
前記撮像装置の走査によって得られた前記各測定位置の前記所定の撮像範囲の画像情報に基づいて前記各測定位置における走査方向の変位を算出する演算処理装置と
を備え、
前記撮像装置は、前記各測定位置における走査方向の変位を測定する本測定に先立ち、前記所定の撮像範囲よりも広い予備測定範囲を撮像可能に構成され、
前記演算処理装置は、前記予備測定時において前記予備測定範囲を前記撮像装置が走査して得られた画像情報から前記各測定位置における概略的な走査方向の変位を予備測定し、この予備測定の結果に基づいて本測定時の前記各測定位置における前記撮像装置の走査範囲を設定する
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記予備測定範囲は、前記測定範囲に等しいことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。
- 前記本測定時の前記各測定位置における走査範囲は、前記予備測定時の前記走査方向の走査範囲よりも狭いことを特徴とする請求項1又は2記載の画像測定装置。
- 前記撮像装置は、撮像視野が異なる第1の撮像系と第2の撮像系とを前記予備測定時と前記本測定時とで切り替えて、前記撮像範囲及び前記予備測定範囲を撮像することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の画像測定装置。
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