JP2014124919A - インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】支持部材の溝から液体をより確実に取り除くことを目的とする。
【解決手段】インクを吐出する吐出口9を有する記録素子基板2と、接着剤12を介して記録素子基板2を支持する支持面を有する支持部材4とを備えるインクジェットプリンタヘッド1の製造方法に係る。支持面に溝を形成し、該溝が、互いに対向する溝側面の間の間隔が溝底部から溝開口部へ向かうにつれて広がっている形状とされた、溝形成工程と、支持面の、溝14に隣接する領域に接着剤12を塗布し、接着剤12を介して支持面に記録素子基板2を固着する基板固着工程と、洗浄液を用いて記録素子基板2を洗浄する基板洗浄工程と、記録素子基板2および溝14に気体を吹き付けることによって洗浄液を記録素子基板2および溝14から取り除く洗浄液除去工程と、を含む。
【選択図】図3
【解決手段】インクを吐出する吐出口9を有する記録素子基板2と、接着剤12を介して記録素子基板2を支持する支持面を有する支持部材4とを備えるインクジェットプリンタヘッド1の製造方法に係る。支持面に溝を形成し、該溝が、互いに対向する溝側面の間の間隔が溝底部から溝開口部へ向かうにつれて広がっている形状とされた、溝形成工程と、支持面の、溝14に隣接する領域に接着剤12を塗布し、接着剤12を介して支持面に記録素子基板2を固着する基板固着工程と、洗浄液を用いて記録素子基板2を洗浄する基板洗浄工程と、記録素子基板2および溝14に気体を吹き付けることによって洗浄液を記録素子基板2および溝14から取り除く洗浄液除去工程と、を含む。
【選択図】図3
Description
本発明は、液体を吐出するインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法に関する。
インクジェット記録方式のプリンタに用いられるインクジェットプリンタヘッド(以下、単に「プリンタヘッド」とも称する)は、インクの吐出口を有する記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材と、を備える。
プリンタヘッドの製造方法の一例を説明する。
記録素子基板は、支持部材の支持面に塗布された接着剤を用いて支持部材に接着される。支持面には接着剤高さ制御溝とも呼ばれる、断面矩形の溝が接着剤の塗布領域に隣接して形成されており、この溝によって、接着剤の塗布時に接着剤の表面にメニスカスが形成されて接着剤の高さが安定する。
また、記録素子基板は電気配線基板のリード端子と電気的に接続される。記録素子基板とリード端子との間の接続部は、インクによる腐食や外力による断線により生じる接続不良を防止するため封止材を用いて封止される。例えば、封止材が記録素子基板の全周に塗布されることによって前記接続部が被覆される。封止材としては、封止材を塗布する際の取り扱いが比較的容易な熱可塑化型樹脂が一般的に用いられる。
なお、接着剤高さ制御溝は記録素子基板の全周に塗布された封止材によって埋められる。
記録素子基板とリード端子との間の接続部が封止されたところで印字検査が行われる。その後、物流時における吐出口からインクが漏れるのを防ぐため、感圧式接着剤を塗布したテープを用いて記録素子基板の吐出口面がシールされる。
以上のような製造方法では、次のような問題があった。すなわち、テープを用いて吐出口面をシールする際に吐出口面にインク滴が付着していると、該インク滴がテープと吐出口面の間に残り、記録素子基板が劣化する。そこで、吐出口面をシールする前に吐出口面に付着したインク滴を除去することが提案されている(例えば特許文献1)。
特許文献1に開示の製造方法は、印字検査後に洗浄液を用いて記録素子基板を洗浄する基板洗浄工程と、洗浄工程後に気体を記録素子基板に吹き付けて洗浄液を取り除く洗浄液除去工程と、を含む。基板洗浄工程および洗浄液除去工程を経ることによって記録素子基板からインク滴や洗浄液といった液体が取り除かれる。したがって、テープと吐出口面の間にインク滴や洗浄液が残らなくなり、記録素子基板が劣化しなくなる。
近年、高記録品位を維持しつつ、より安価なプリンタヘッドを市場に提供することが益々要求されている。この要求に答えるため、比較的高価な記録素子基板のサイズを極力小さくし、1枚のシリコンウエハからより多くの記録素子基板を切り取ることが求められている。
記録素子基板のサイズを小さくすると、吐出口周囲の壁の厚みが薄くなるため記録素子基板の剛性が低下する。その結果、熱可塑化型の封止材が硬化する際に生じる力によって記録素子基板が変形したり割れたりしてしまう虞があった。記録素子基板の変形や割れを防止するため、記録素子基板とリード端子との間の接続部の周辺にのみ封止材を塗布することで封止材が硬化する際に生じる力をより小さくした構成が提案されている。
しかしながら、前記接続部の周辺にのみ封止材が塗布される場合、前述した接着剤高さ制御溝が露出する。接着剤高さ制御溝が露出している状態で特許文献1に開示の基板洗浄工程および洗浄液除去工程が行われると、次のような問題があった。
すなわち、接着剤高さ制御溝が露出されている状態において基板洗浄工程が行われると、洗浄液が接着剤高さ制御溝に入る。断面矩形の接着剤高さ制御溝に入り込んだ洗浄液は、気体を吹き付けても取り除かれないことがある。
接着剤高さ制御溝内の液体はプリンタヘッドを製造する際の支持部材の振動により飛散して記録素子基板に付くかもしれない。記録素子基板に液体が付いた状態で吐出口面にテープが貼られると、インク滲みや混色が引き起こされる。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、支持部材の溝から液体をより確実に取り除くことを目的とする。
本発明は、インクを吐出する吐出口を有する記録素子基板と、接着剤を介して記録素子基板を支持する支持面を有する支持部材とを備えるインクジェットプリンタヘッドの製造方法に係る。上記課題を解決するため、本発明は、支持面に溝を形成し、該溝が、互いに対向する溝側面の間の間隔が溝底部から溝開口部へ向かうにつれて広がっている形状にされた、溝形成工程と、支持面の、溝に隣接する領域に接着剤を塗布し、接着剤を介して支持面に記録素子基板を固着する基板固着工程と、洗浄液を用いて記録素子基板を洗浄する基板洗浄工程と、記録素子基板および溝に気体を吹き付けることによって洗浄液を記録素子基板および溝から取り除く洗浄液除去工程と、を含む。
また、本発明は、インクを吐出する吐出口を有する記録素子基板と、接着剤を介して記録素子基板を支持する支持面、および接着剤が塗布される領域に隣接して支持面に形成された溝を有する支持部材と、を備えるインクジェットプリンタヘッドに係る。上記課題を解決するため、本発明は、溝の互いに対向する側面の間の間隔が溝の底部から溝の開口部へ向かうにつれて広がっていることを特徴とする。
本発明によれば、液体が支持部材の溝からより確実に取り除かれる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
まず、本発明の第1の実施形態について図1ないし4を用いて説明する。
まず、本発明の第1の実施形態について図1ないし4を用いて説明する。
図1は本実施形態例に係るインクジェットプリンタヘッドの分解斜視図である。図1に示されるように、プリンタヘッド1は記録素子基板2と電気配線基板3と支持部材4とを備える。
図2は、記録素子基板2の模式斜視図である。図2に示されるように、記録素子基板2はシリコン基板5を備える。そして、シリコン基板5は、複数の電気熱変換素子6と、各電気熱変換素子6と電気的に接続された電気配線(不図示)と、当該電気配線と電気的に接続された複数の接続端子7からなる接続端子群8と、を有する。
シリコン基板5は例えば0.6〜0.8mmの厚さを有する板部材である。電気熱変換素子6や電気配線、接続端子7は成膜技術を用いてシリコン基板5の第1の面に形成される。
また、記録素子基板2は、電気熱変換素子6に対応した複数の吐出口9からなる吐出口群10と、流路を介して各吐出口9と連通するインク供給口11と、を含む。吐出口9や流路はフォトリソグラフィー技術を用いて形成される。インク供給口11は、シリコン基板5の前記第1の面と、該第1の面とは反対の側に位置する第2の面と、の間を貫通している。
電気配線基板3(図1参照)は記録素子基板2にインクを吐出するための駆動信号および駆動電力を印加するための部材であり、記録素子基板2の接続端子7に対応するリード端子(不図示)を有する。
図3(a)はプリンタヘッド1の上面図である。図3(b)は図3(a)に示されるA−A面でプリンタヘッド1を切断したときの断面図であり、図3(c)は図3(a)に示されるB−B面でプリンタヘッド1を切断したときの断面図である。
図3に示されるように、記録素子基板2は支持部材4の支持面に接着剤12を介して支持されている。支持部材4は前記支持面に開口を有するインク流路13を含む。インク流路13の開口はインク供給口11に連通しており、インクはインク流路13を通って記録素子基板2へ供給される。
また、支持部材4は、接着剤12が塗布される領域に隣接して前記支持面に形成された溝(「接着剤高さ制御溝」とも呼ばれる)14を有する。溝14は、接着剤の塗布時に接着剤の表面にメニスカスを形成する機能を有する。接着剤がメニスカスを張ることで接着剤の高さが安定し、支持部材4の支持面と記録素子基板2との間に隙間が形成されにくくなる。その結果、インクがインク流路13を通って記録素子基板2へ供給される際にインクが記録素子基板2と支持部材4との間から漏れにくくなる。
支持部材4は、前記支持面から突出した部位(リブ)をさらに有する。電気配線基板がリブの先端に接着剤を用いて固定されている。なお、前記リブは支持部材4に一体成形されている必要はない。例えば、電気配線基板3を固定するための部材を別途形成しておき、当該部材を支持部材4と接合してもよい。
また、接続端子7(図2参照)と電気配線基板のリード端子との間の接続部が封止材15を用いて封止されている。封止材15は当該接続部の周辺にのみ塗布されており、溝14は露出している。
溝14の互いに対向する側面(「溝側面」とも呼ばれる)の間の間隔は、溝14の底部(「溝底部」とも呼ばれる)から溝14の開口部(「溝開口部」とも呼ばれる)へ向かうにつれて徐々に広がっている。言い換えると、対向する両溝側面がテーパ状に広がるように、各溝側面が傾斜している。
対向する両溝側面がテーパ状に広がっていることによって、溝14に吹き付けられた気体は溝側面に沿って溝14から出やすくなる。したがって、溝14に洗浄液といった液体が入っても気体の吹き付けによって当該液体を溝14から比較的容易に押し出され、溝14から液体がより確実に取り除かれる。
溝14に液体がより確実に取り除かれるため、プリンタヘッド1の製造中に支持部材4が振動しても記録素子基板2に液体は付かない。その結果、記録素子基板2の吐出口面にテープを貼る際にテープと吐出口面の間に液体が残らず、インク滲みや混色が抑制される。
記録素子基板2は、溝14の底部から溝14の開口部へ向かう方向へ溝14の側面を延長した仮想面16によって画定される溝上方空間17と重ならない領域に配置されていることがより望ましい。なお、「溝14の側面を延長した仮想面16」とは、本実施形態のように溝14の側面が平面形状である場合、溝14の側面の上端から当該側面と平行な方向に延びる仮想面を意味する。
気体の吹き付けによって溝14から押し出された液体は、溝上方空間17内を飛散する。記録素子基板2を溝上方空間17と重ならない領域に配置することによって、溝14内の液体は記録素子基板2へ当たることなく支持部材4から取り除かれる。
電気配線基板3も溝上方空間17と重ならない領域に配置されていることがより望ましい。このようにすることによって、溝14内の液体は電気配線基板3へ当たることなく支持部材4から取り除かれる。
支持部材4の材料として、樹脂材料や、Al2O3に代表されるセラミック材料等、幅広い材料を用いることができる。本実施形態では、支持部材4の剛性向上を目的としてガラスフィラーが35%程度含有された変性PPEを用いた。
また、本実施形態では、溝14が延びるX方向に関して互いに対向する両側面の、支持面に対する角度αを60℃とした。また、支持面と平行かつX方向と交わるY方向に関して互いに対向する両側面の、支持面に対する角度βを80℃とした。
もちろん、角度α,βはこれらの値に限られない。また、溝14は、X方向に関して対向する両側面の間の間隔、またはY方向に化して対向する両側面の間隔の一方が広がっている形状であってもよい。
次に、プリンタヘッド1の製造方法を、図1ないし4を用いて説明する。図4は、基板洗浄工程および洗浄液除去工程を説明するための図である。
まず、作業者または製造装置は、記録素子基板2の接続端子7と電気配線基板3のリード端子が電気的に接続可能な範囲で記録素子基板2および接続端子7を位置決し、TAB実装技術により接続端子7とリード端子とを接続する。また、支持部材4の支持面に、互いに対向する溝側面の間の間隔が溝底部から溝開口部へ向かうにつれて広がっている溝14を形成する(溝形成工程)。
続いて、支持面の、溝14に隣接する領域、より具体的には、支持面の、溝14とインク供給口11との間の領域に接着剤12を塗布する。このとき、支持部材4と記録素子基板2との間の隙間が接着剤12で塞がれるように、接着剤の高さがばらつかないように注意する。
その後、接着剤12を介して支持面上に記録素子基板2を固着し、支持部材4のインク流路13と記録素子基板2のインク供給口11とを連通させる(基板固着工程)。また、接着剤を用いて支持部材4に電気配線基板3を固着する。
記録素子基板2および電気配線基板3を支持部材4に固着させたところで、記録素子基板2の接続端子7と電気配線基板3のリード端子との接続部に封止材15を塗布し、キュアにより封止材15を硬化させて当該接続部を封止する。
封止材15を硬化させたところで印字検査を行う。その後、記録素子基板2の吐出口面に付着したインクを除去するため、洗浄液18を用いて記録素子基板2を洗浄する(基板洗浄工程)。
洗浄液18を用いて記録素子基板2を洗浄したところで、記録素子基板2および溝14に気体19を吹き付けることによって洗浄液18を記録素子基板2および溝14から取り除く。溝14の互いに対向する側面の間の間隔は溝14の底部から溝14の開口部へ向かうにつれて広がっているため、溝14内の洗浄液は効果的に押し出される。また、溝上方空間17に記録素子基板2や電気配線基板3が配されていないため、溝14内の液体は記録素子基板2へ当たることなく溝14から取り除かれる。
その後、吐出口9からのインク漏れを防ぐとともに記録素子基板2を外力から保護することを目的として、記録素子基板2の吐出口面にテープを貼る。このとき、記録素子基板2の吐出口面に液体が残っていないため、インク滲みや混色等は発生しない。
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態について図5を用いて説明する。なお、本実施形態に係るプリンタヘッドの分解斜視図、記録素子基板の模式斜視図およびプリンタヘッドの平面図は第1の実施形態と同じであるため、ここではそれらの図を省略する。また、第1の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
本発明の第2の実施形態について図5を用いて説明する。なお、本実施形態に係るプリンタヘッドの分解斜視図、記録素子基板の模式斜視図およびプリンタヘッドの平面図は第1の実施形態と同じであるため、ここではそれらの図を省略する。また、第1の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
図5(a)は図3(a)に示されるA−A面でプリンタヘッドを切断したときの断面図であり、図5(b)は図3(a)に示されるB−B面でプリンタヘッドを切断したときの断面図である。
図5に示されるように、本実施形態に係るプリンタヘッド20は接着剤高さ溝としての溝21を有する。溝21の側面は凹状の曲面形状を有し、溝21の側面と溝21の底面との間に角が形成されていない。したがって、第1の実施形態に比べ、本実施形態では、液体は溝21の側面と溝21の底面との間の部分で引っかかりにくく、溝21からより取り除かれやすい。
記録素子基板2は、溝21の底部から溝21の開口部へ向かう方向へ溝14の側面を延長した仮想面16によって画定される溝上方空間17と重ならない領域に配置されていることがより望ましい。なお、「溝21の側面を延長した仮想面16」とは、本実施形態のように溝21の側面が曲面形状である場合、溝21の側面の上端から当該上端における接線と平行な方向に延びる仮想面を意味する。
気体の吹き付けによって溝21から押し出された液体は溝上方空間17内を飛散する。記録素子基板2を溝上方空間17と重ならない領域に配置することによって、溝14内の液体は記録素子基板2へ当たることなく支持部材4から取り除かれる。
電気配線基板3も溝上方空間17と重ならない領域に配置されていることがより望ましい。このようにすることによって、溝14内の液体は電気配線基板3へ当たることなく支持部材4から取り除かれる。
液体が溝21の側面と溝21の底面との間の部分でより引っかかりにくくなるように、溝21の側面の半径はより大きい方が好ましい。本実施形態では、X方向に関して対向する両側面の半径R1を10.5mmとし、Y方向に関して対向する両側面の半径R2を0.3mmとした。
(比較例)
以下、比較例に係るプリンタヘッドについて図6を参照しつつ説明する。なお、比較例に係るプリンタヘッドの分解斜視図、記録素子基板の模式斜視図およびプリンタヘッドの平面図は第1および第2の実施形態と同じであるため、ここではそれらの図を省略する。また、第1および第2の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
以下、比較例に係るプリンタヘッドについて図6を参照しつつ説明する。なお、比較例に係るプリンタヘッドの分解斜視図、記録素子基板の模式斜視図およびプリンタヘッドの平面図は第1および第2の実施形態と同じであるため、ここではそれらの図を省略する。また、第1および第2の実施形態と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。
図6(a)は図3(a)に示されるA−A面でプリンタヘッドを切断したときの断面図であり、図6(b)は図3(a)に示されるB−B面でプリンタヘッドを切断したときの断面図である。
図6に示されるように、比較例に係るプリンタヘッド22は接着剤高さ溝としての溝23を有する。溝23の互いに対向する側面の間の間隔は、溝14の底部から溝14の開口部へ向かうにつれて広がっていない。
(比較結果)
本発明の第1および第2の実施形態に係るプリンタヘッド1,20(図3,図5参照)、並びに比較例に係るプリンタヘッド22(図6参照)を用いて比較実験を行った。具体的には、プリンタヘッド1,20,22を用いて印字検査を行うとともに、洗浄液18を用いて記録素子基板2を洗浄し、記録素子基板2および溝14,21,23に気体19を吹き付けた。
本発明の第1および第2の実施形態に係るプリンタヘッド1,20(図3,図5参照)、並びに比較例に係るプリンタヘッド22(図6参照)を用いて比較実験を行った。具体的には、プリンタヘッド1,20,22を用いて印字検査を行うとともに、洗浄液18を用いて記録素子基板2を洗浄し、記録素子基板2および溝14,21,23に気体19を吹き付けた。
プリンタヘッド22では溝23内に洗浄液が残っていたが、プリンタヘッド1,20では洗浄液の残留が確認されなかった。すなわち、本発明の構成を有することで、支持部材4の溝14,20から液体をより確実に取り除くことが可能になった。
記録素子基板2および溝14,21,23に気体19を吹き付けた後、記録素子基板2の吐出口面にテープを貼った。プリンタヘッド22ではインク滲みが確認されたが、プリンタヘッド1,20ではインク滲みは確認されなかった。
1 インクジェットプリンタヘッド
2 記録素子基板
4 支持部材
9 吐出口
12 接着剤
14 溝
16 仮想面
17 溝上方空間
18 洗浄液
19 気体
20 プリンタヘッド
21 溝
2 記録素子基板
4 支持部材
9 吐出口
12 接着剤
14 溝
16 仮想面
17 溝上方空間
18 洗浄液
19 気体
20 プリンタヘッド
21 溝
Claims (8)
- インクを吐出する吐出口を有する記録素子基板と、接着剤を介して前記記録素子基板を支持する支持面を有する支持部材とを備えるインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
前記支持面に溝を形成し、該溝が、互いに対向する溝側面の間の間隔が溝底部から溝開口部へ向かうにつれて広がっている形状とされた、溝形成工程と、
前記支持面の、前記溝に隣接する領域に前記接着剤を塗布し、前記接着剤を介して前記支持面に前記記録素子基板を固着する基板固着工程と、
洗浄液を用いて前記記録素子基板を洗浄する基板洗浄工程と、
前記記録素子基板および前記溝に気体を吹き付けることによって前記洗浄液を前記記録素子基板および前記溝から取り除く洗浄液除去工程と、を含む、インクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 前記基板固着工程において、前記溝の底部から前記溝の開口部へ向かう方向へ前記溝の側面を延長した仮想面によって画定される溝上方空間と重ならない領域に前記記録素子基板を配置する、請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、
製造される前記インクジェットプリンタヘッドは、前記支持部材に配置されかつ前記記録素子基板と電気的に接続された電気配線基板をさらに備えるものであり、
この場合には、
前記基板固着工程において、前記溝上方空間と重ならない領域に前記記録素子基板および前記電気配線基板を固定することをさらに含む、インクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - インクを吐出する吐出口を有する記録素子基板と、接着剤を介して前記記録素子基板を支持する支持面、および前記接着剤が塗布される領域に隣接して前記支持面に形成された溝を有する支持部材と、を備えるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記溝の互いに対向する側面の間の間隔が前記溝の底部から前記溝の開口部へ向かうにつれて広がっていることを特徴とする、インクジェットプリンタヘッド。 - 前記記録素子基板は、前記溝の底部から前記溝の開口部へ向かう方向へ前記溝の側面を延長した仮想面によって画定される溝上方空間と重ならない領域に配されていることを特徴とする、請求項4に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 前記支持部材に配され、前記記録素子基板と電気的に接続された電気配線基板をさらに備え、
前記電気配線基板は、前記溝上方空間と重ならない領域に配されていることを特徴とする、請求項5に記載のインクジェットプリンタヘッド。 - 前記溝の側面が平面形状であることを特徴とする、請求項4ないし6のいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッド。
- 前記溝の側面が凹状の曲面形状であることを特徴とする、請求項4ないし6のいずれか1項に記載のインクジェットプリンタヘッド。
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