JP2007301803A - 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液体吐出基板の裏面側に電極を形成した場合であっても、放熱効率を良好にする方法を提供する。
【解決手段】 液体吐出基板200を有する液体吐出ヘッドに於いて、前記液体吐出基板は裏面側に2面以上の異なる面を有し、前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、前記薄肉厚の面が、電極220によって支持部材100上の電気配線基板120と電気的に接合されておると共に、前記薄肉厚の面以外の平面部分が、支持部材に接合する構成とする。
【選択図】 図2
【解決手段】 液体吐出基板200を有する液体吐出ヘッドに於いて、前記液体吐出基板は裏面側に2面以上の異なる面を有し、前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、前記薄肉厚の面が、電極220によって支持部材100上の電気配線基板120と電気的に接合されておると共に、前記薄肉厚の面以外の平面部分が、支持部材に接合する構成とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行う記録装置、この記録装置に適用される液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドに適用される液体吐出基板と電気配線基板との電気接続に関するものである。なお、本発明は、一般的なプリンター・プリント装置の他、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサー等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置等、幅広く適用する事ができる。
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と、様々な記録媒体に対して記録する事が可能であって、記録時に騒音がほとんど発生しない等の特徴を持つ。この様な事により、インクジェット記録装置は、プリンター、ワードプロセッサー、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として幅広く利用されている。
このインクジェット記録装置における代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微小な吐出口から微少な液滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものとなっており、一般に、液滴を形成するためのインクジェット記録ノズルと、この液体吐出ヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。
電気熱変換素子を用いた液体吐出ヘッドは、電気熱変換素子を液体液室内部に設け、これに記録信号となる電気パルスを与える事により、液体に対して熱エネルギーを供給する。その時に生じる液体の相変化による発泡時(沸騰時)の気泡圧力を液体滴の吐出に利用したものである。さらに、電気熱変換方式を用いた液体吐出ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行方向に液体を吐出させる方式(エッジシューター方式)、および、垂直方向に液体を吐出させる方式(サイドシューター方式)とがある。
この液体吐出ヘッドに適用される液体吐出基板との電気配線基板の接続に関しては、特許文献1や、特許文献2等にて開示されている。すなわち、表面側に電気熱変換素子と電極を備えた液体吐出基板の電極と、液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板の電極とが、ILB(Inner Lead Bonding)による金属間結合、または、異方性導電膜(フィルム)を用いた熱圧着により、電気的に接続されている。そして、プリンター等に代表される製品に於いては、インクからの保護、および、インク液滴や紙紛等のゴミを除去するためのゴムブレードによる拭き取り動作から保護するために、電気接続部は、樹脂により完全に覆われている。また、液体吐出基板を支持し、インクを供給する支持部材は、液体吐出基板の温度上昇によりインクの吐出性能が低下しない様に、アルミナ等の液体吐出基板と同等の熱伝導率を有する材料で形成されている。
一方、特許文献3には、液体吐出基板の電極を液体吐出基板の裏面側に配置して、電気配線基板等と接続し、導通をとる方式が開示されている。
特公平08−025272号公報
特開平10−044418号公報
特開平11−192705号公報
しかしながら、上述した液体吐出ヘッドには、印字品位や、信頼性等、性能を低下させる、以下の様な問題がある。
液体吐出基板と電気配線基板の接続電極部を樹脂でシールした部分は、表面より必ず突出する事になり、この突出部の分だけ、液体吐出ヘッドと被記録媒体とのスキマを広く取らなければならない。そのため、印字品位を大きく左右するインクの被記録媒体への着弾精度を低下させる事になる。さらに、突出部は、表面に付着したインク滴や紙紛等のゴミを除去するためのゴムブレードによる拭き取り動作に関して、弊害を生じさせる場合があり、その場合、印字品位の低下等の悪影響を及ぼす。
また、近年は、高速印字に対応するために、液体吐出基板のインク吐出口、および、熱変換素子が増加し、電極数が増加する傾向がある。しかしながら、ゴムブレードによる拭き取り方向により、樹脂の突出部の領域が制限されてしまう。現状の主流製品は、液体吐出基板の短手短部に高密度な接続がされているため、接続用設備が高価になり、コストアップの大きな要因となっている。
上述した問題を解決する手段として、前述した特開平11−192705号公報に開示されている様な構成がある。これは、電極を液体吐出基板の裏面側に配置する方式である。しかし、この構成をとる場合、以下の問題が懸念される。従来例として、上から見た場合の概略図である図8、および、図8のA−A´ラインの断面である図1に断面概略図を示し、問題点を説明する。
それは、液体吐出基板200の裏面側に電極220を配置した事により、液体吐出基板200の裏面側の状態が、電極220の分だけ凹凸状態になり、非平面状態となるため、電極220の高さ分(30μm〜40μm程度)だけ、支持部材100に対して浮いた状態(ブリッジ状態)で支持させる事になる。つまり、従来(従来図は不図示)は液体吐出基板200の裏面全体が支持部材100に密着した状態で支持していたのに対し、この方式では、電極220の部分しか支持部材100に接触させていないため、液体吐出基板200そのものは、ほとんど中空状態となり、スキマ130が発生する。この結果、従来(従来図は不図示)と比較して液体吐出基板200から発生する熱の放熱が追いつかずに、どんどん蓄熱され、液体吐出基板200の温度が昇温していく。そのため、液体の吐出性能が劣化していき、最終的には、液体吐出基板200が熱破壊される可能性が非常に高く、品質信頼性に乏しい。その対策手段として、その浮いているスキマ部130を熱伝導率の良好な樹脂130でシール130して、スキマ130を埋める手段がある。しかし、エアパス等の不具合を完全に防ぎ、さらに、本液体吐出ヘッドの液体供給口230部分、および、液体供給流路110部分へのはみ出しを防止する様にシール130するのは、作業的にも、技術的にも非常に高度な技術を要し、困難でもある。また、電極220は、通常、レベリング処理を行なうため、ほぼ一定の高さ精度を保っている。それでも最大で約10μm程度のバラツキが発生してしまう。そのため、液体吐出基板200を支持部材100に支持させ、スキマ部130を完全にシール130できたとしても、液体吐出基板200の表面側の水平/平行度が安定せず、傾斜が生じてしまう。したがって、オリフィス250、および、液体吐出口260にも必然的に傾斜が発生してしまう。結果的に、液体吐出ヘッドと被記録媒体の距離を従来よりも、これまでよりも相当狭く設定できたとしても、オリフィス250内から見た距離は統一されず、バラツキが発生する。そのため、非記録媒体との距離は一定にはならず、印字品位を飛躍的に向上させる事は非常に困難である。
本発明の目的は、上記の各問題を解決し、印字品位を劇的に向上させ、高歩留まりで信頼性の高い、安価で高性能・高品質な液体吐出ヘッド、および、記録装置を提供する事を目的とするものである。
本発明は、上記目的を達成するために2つの手段を提案するものである。
まず、手段1として、
液体吐出ヘッドに於ける液体吐出基板は、
裏面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面が、電極によって支持部材上の電気配線基板と電気的に接合されており、
前記薄肉厚の面以外の平面部分が、支持部材に接合している事を特徴としている。
液体吐出ヘッドに於ける液体吐出基板は、
裏面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面が、電極によって支持部材上の電気配線基板と電気的に接合されており、
前記薄肉厚の面以外の平面部分が、支持部材に接合している事を特徴としている。
そして、前記液体吐出基板に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記面に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴としている。
前記薄肉厚の面は、前記面に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴としている。
あるいは、前記液体吐出基板に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記面に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴としている。
前記薄肉厚の面は、前記面に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴としている。
次に、手段2として、
液体吐出ヘッドに於ける液体吐出基板を支持する支持部材に於いて、
支持面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面の1部分に電気配線基板が形成されており、
前記電気配線基板が、電極によって、前記液体吐出基板の裏面側と電気的に接合されており、
前記薄肉厚の面以外の、平面部分の1部分が前記液体吐出基板に接合している事を特徴としている。
液体吐出ヘッドに於ける液体吐出基板を支持する支持部材に於いて、
支持面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面の1部分に電気配線基板が形成されており、
前記電気配線基板が、電極によって、前記液体吐出基板の裏面側と電気的に接合されており、
前記薄肉厚の面以外の、平面部分の1部分が前記液体吐出基板に接合している事を特徴としている。
そして、前記支持部材に於いて、
前記薄肉厚の面は、前期平面部分の1部分に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴としている。
前記薄肉厚の面は、前期平面部分の1部分に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴としている。
あるいは、前記支持部材に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記平面部分の1部分に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴としている。
前記薄肉厚の面は、前記平面部分の1部分に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴としている。
以上、説明した様に、本発明による構成を実施する事により、液体吐出基板の裏面の貫通スルーホール、あるいは、電極の形成されているエッジ列部分以外の裏面全体を、支持部材に対して完全に密着させて接着・固定する事が可能であるため、接着・固定性が強固で良好であり、また、浮き(スキマ)が発生しない。そのため、非常に効率よく冷却でき、非常に理想的ある。また、液体吐出ヘッドとして、完成状態での表面側のノズル部分の水平/平行度も非常に良好であり、さらに、シールも貫通スルーホール、または、電極の形成されているエッジ列部分のみだけで良いため、生産性も向上し、エアパス等のシールミスも発生せず、また、シール部分の確認も容易で、かつ、確実であり、さらには、液体供給口部分へのはみ出しも発生しない。結果的に製造上に於ける人的・装置的負荷が大幅に軽減されるため、生産性が飛躍的に向上する。また、液体吐出ヘッドの品質、信頼性、および、印字品位、さらには、最終的な歩留まりも向上し、結果的に大幅なコストダウンも図る事が可能になる。
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
本発明を上から見た場合の概略図を図8に示し、図8のA−A´ラインの断面である断面概略図を図2、図3、図5、および、図6に示した。以下、断面外略図を基に本発明の構成について説明する。
まず、図2を用いて第1の実施例について説明する。
液体吐出基板200の裏面側のエッジ部300には、テーパー状に面取り形成がされており、その面取り形成面に掛かる様にして貫通スルーホール210が形成されている。貫通スルーホール210の裏面側の端部(面取り形成面)には、電気的に導通する様にして電極220が形成されている。支持部材100は、電気配線基板120を具備し、液体供給路110を有している。液体吐出基板200は、支持部材100に対して、精密に位置決めされて、液体吐出基板接着部400で接着されており、密着・固定されている。そして、この時、電極220と電気配線基板120は、電気的に接続される事になり、導通する様になる。エッジ部300のスキマ部130は、電極220、および、電気配線基板120の電気接続部分とともに、樹脂130でシール130する事により、本発明を実現する事ができる。
次に、図3を用いて第2の実施例について説明する。
液体吐出基板200の裏面側のエッジ部300には、2段の段差形成がされており、その段差形成面に掛かる様にして貫通スルーホール210が形成されている。貫通スルーホール210の裏面側の端部(段差形成面)には、電気的に導通する様にして電極220が形成されている。支持部材100は、電気配線基板120を具備し、液体供給路110を有している。液体吐出基板200は、支持部材100に対して、精密に位置決めされて、液体吐出基板接着部400で接着されており、密着・固定されている。そして、この時、電極220と電気配線基板120は、電気的に接続される事になり、導通する様になる。エッジ部300のスキマ部130は、電極220、および、電気配線基板120の電気接続部とともに、樹脂130でシール130する事により、本発明を実現する事ができる。
なお、実施例1、実施例2に於いて、電極220は、電気配線基板120側に形成しても、本発明を実現する事ができる。また、電極220の材質としては、金バンプ等が非常に好適である。
ここで、エッジ部300の形成については、ダイシング装置のハーフカットによる形成や、エッチングによる形成等が好適である。この時、図4に示す様に、液体吐出基板200の表面側のパターンと、裏面側の加工箇所であるエッジ部300の相対位置関係は、非常に高い精度が要求されるため、基板1000のプロセス工程の初期段階で、表面/裏面の基準となる(アライメントマーク的な意味合いを持つ)ダミーの貫通スルーホール1100を形成する事が重要である。また、基板1000から液体吐出基板200にダイシングする際は、エッジ部300への形成を完了した上で、液体吐出基板切断ライン310によって切断する事により、液体吐出基板200が完成する。
次に、図5を用いて第3の実施例について説明する。
液体吐出基板200の裏面側のエッジ部300には、貫通スルーホール210が形成されている。貫通スルーホール210の裏面側の端部には、電気的に導通する様にして電極220が形成されている。支持部材100は、段差部101を有し、その段差部101の凹部分(高さの低い部分)に電気配線基板120を具備しており、さらに液体供給路110を有している。液体吐出基板200は、支持部材100の段差部101の凸部分(高さの高い部分)に対して、精密に位置決めされて、液体吐出基板接着部400で接着されており、密着・固定されている。この時、液体吐出基板200の電極220は、支持部材100の段差部101の凸部分に掛からず、凹部分の電気配線基板120に電気的に接続される事になるため、液体吐出基板200の浮きが生じる事はない。エッジ部300のスキマ部130は、電極220、および、電気配線基板120の電気接続部とともに、樹脂130でシール130する事により、本発明を実現する事ができる。
次に、図6を用いて第4の実施例について説明する。
液体吐出基板200の裏面側のエッジ部300には、貫通スルーホール210が形成されている。貫通スルーホール210の裏面側の端部には、電気的に導通する様にして電極220が形成されている。支持部材100は、液体供給路110を備え、さらに、テーパー面101を有し、そのテーパー面101の部分に電気配線基板120を具備している。液体吐出基板200は、支持部材100に於けるテーパー面101部以外の部分(肉厚の厚い面)に対して、精密に位置決めされて、液体吐出基板接着部400で接着されており、密着・固定されている。この時、液体吐出基板200の電極220は、支持部材100のテーパー面101部以外の部分(肉厚の厚い部分)に掛からず、テーパー面101部分の電気配線基板120に電気的に接続される事になるため、液体吐出基板200の浮きが生じる事はない。エッジ部300のスキマ部130は、電極220、および、電気配線基板120の電気接続部とともに、樹脂130でシール130する事により、本発明を実現する事ができる。
なお、電極220は、金バンプ等が好適である。また、電極220は、電気配線基板120側に形成してもよい。さらに樹脂130は、熱伝導率の良い材料を使用する事により、さらに効率よく冷却する事ができる。
以上、第1の実施例、第2の実施例、第3の実施例、および、第4の実施例について概要を説明した。なお、上述した説明に於いては、電極220、および、貫通スルーホール210を、液体吐出基板200の長手側方向列に形成した場合を示したが、短手側方向に形成した場合であっても、まったく同様である。ここで、第3の実施例について、電極220、および、貫通スルーホール210を、液体吐出基板200の短手側方向列に形成した場合を、第5の実施例として図9に上から見た場合の概略図を示し、図9のB−B´ラインの断面である断面概略図を図7に示した。
100 支持部材
101 段差部/テーパー面
110 液体供給路
120 電気配線基板
130 スキマ(部)/シール(部)/樹脂
200 液体吐出基板
210 貫通スルーホール
220 電極
230 液体供給口
240 ヒーター
250 オリフィス
260 液体吐出口
300 エッジ部(面取り(部)/テーパー(部))
310 液体吐出基板切断ライン
400 液体吐出基板接着部
1000 基板
1100 ダミー貫通スルーホール
A−A´ 断面ライン
B−B´ 断面ライン
101 段差部/テーパー面
110 液体供給路
120 電気配線基板
130 スキマ(部)/シール(部)/樹脂
200 液体吐出基板
210 貫通スルーホール
220 電極
230 液体供給口
240 ヒーター
250 オリフィス
260 液体吐出口
300 エッジ部(面取り(部)/テーパー(部))
310 液体吐出基板切断ライン
400 液体吐出基板接着部
1000 基板
1100 ダミー貫通スルーホール
A−A´ 断面ライン
B−B´ 断面ライン
Claims (7)
- 液体吐出基板を有する液体吐出ヘッドに於いて、
前記液体吐出基板は裏面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面が、電極によって支持部材上の電気配線基板と電気的に接合されておると共に、
前記薄肉厚の面以外の平面部分が、支持部材に接合している事を特徴とする液体吐出ヘッド。 - 液体吐出基板を支持する支持部材を有する液体吐出ヘッドに於いて、
前記支持部材は支持面側に2面以上の異なる面を有し、
前記面の内の少なくとも1面は、薄肉厚で形成されており、
前記薄肉厚の面の1部分に電気配線基板が形成されており、
前記電気配線基板が、電極によって、前記液体吐出基板の裏面側と電気的に接合されておると共に、
前記薄肉厚の面以外の、平面部分の1部分が前記液体吐出基板に接合している事を特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記請求項1に記載の液体吐出ヘッドの液体吐出基板に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記面に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記請求項1に記載の液体吐出ヘッドの液体吐出基板に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記面に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記請求項2に記載の液体吐出ヘッドの支持部材に於いて、
前記薄肉厚の面は、前期平面部分の1部分に対して1段以上の段差で形成されている事を特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記請求項2に記載の液体吐出ヘッドの支持部材に於いて、
前記薄肉厚の面は、前記平面部分の1部分に対してテーパー状の傾斜面で形成されている事を特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記請求項1〜請求項6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006131560A JP2007301803A (ja) | 2006-05-10 | 2006-05-10 | 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007301803A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009292004A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Canon Inc | インク吐出基板ユニットおよびこれを備えたインク吐出記録ヘッド |
JP2017205903A (ja) * | 2016-05-16 | 2017-11-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2020152004A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-05-10 JP JP2006131560A patent/JP2007301803A/ja not_active Withdrawn
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JP7277192B2 (ja) | 2019-03-20 | 2023-05-18 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
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