JP2014093381A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】補強体を左右横方向に向けて設けることができ、蓋体の強度を向上させて変形を防止できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、容器本体１の正面５に嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、蓋体１０を、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋本体１１と、蓋本体１１の開口した表面を被覆するカバープレート１９とから構成する。カバープレート１９に、施錠機構３０の回転操作リール３１用の自動操作孔２０と手動操作孔２１とをそれぞれ穿孔して自動操作孔２０の上下方向に手動操作孔２１を位置させ、手動操作孔２１の位置を利用してカバープレート１９に補強体７０を縦横に設ける。自動操作孔２０の上下方向に一対の手動操作孔２１が位置するので、手動操作孔２１が補強体７０設置の障害となることがない。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納、保管、搬送、輸送する際に使用される基板収納容器に関するものである。

従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面にシール状態に嵌合される蓋体と、この容器本体の開口した正面に嵌合された蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成されている（特許文献１、２参照）。

容器本体は、所定の成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、開口した正面の内周に、施錠機構用の複数の施錠穴が間隔をおいて形成されている。また、蓋体は、容器本体の正面に嵌合される断面略皿形の蓋本体と、この蓋本体の開口した表面に覆着されるカバープレートとを備え、蓋本体の裏面に、容器本体に収納された半導体ウェーハの周縁前部を圧接保持するフロントリテーナが装着されており、蓋本体の周壁には、施錠機構用の複数の出没孔が間隔をおいて穿孔されている。

カバープレートは、蓋本体との間に施錠機構を挟んで被覆し、施錠機構用の自動操作孔と複数の手動操作孔とがそれぞれ配設されている。これら自動操作孔と複数の手動操作孔とは、自動操作孔の左右横方向に手動操作孔がそれぞれ間隔をおいて位置する関係にある。

施錠機構は、蓋体の蓋本体に軸支されてカバープレートの自動操作孔や手動操作孔から回転操作される左右一対の回転操作プレートと、各回転操作プレートの回転により蓋体内の上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドにより蓋本体の出没孔から出没して容器本体の施錠穴に接離する複数の施錠爪とから構成され、容器本体の正面に嵌合された蓋体の脱落を防止するよう機能する。

特開２００３‐１３３４０５号公報 特開２００６‐３０３０１５号公報

ところで、蓋体は、半導体ウェーハの周縁前部にフロントリテーナを介して圧接するので、弓なりに反って変形する場合があり、この場合には、容器本体の開口した正面に適切に嵌合しなかったり、容器本体の外部から内部にパーティクルの侵入を許して半導体ウェーハの汚染の原因になることがある。

係る問題を解消するには、蓋体内に補強体を縦横に設けて変形を防止すれば良いが、自動操作孔の左右方向に手動操作孔がそれぞれ位置し、手動操作孔が補強体設置の障害となるので、補強体を左右横方向に伸ばして設けることができない。この結果、蓋体の強度や剛性が不足し、蓋体の変形防止を十分に図ることができないという問題がある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、補強体を左右横方向に向けて設けることができ、蓋体の強度を向上させて変形を防止することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口に嵌め合わされる蓋体と、容器本体に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えたものであって、
上記蓋体は、上記容器本体の開口に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口を閉鎖するカバープレートとを含み、このカバープレートに、上記施錠機構用の自動操作孔と手動操作孔とをそれぞれ設けて自動操作孔の上下方向に手動操作孔を位置させ、
該施錠機構は、上記蓋体の蓋本体に回転可能に支持される回転操作体と、この回転操作体により進退動する進退動体と、この進退動体の進退動により上記容器本体の開口内周の施錠穴に接離する施錠体とを含み、
上記蓋体の少なくともカバープレートの蓋本体に対向する対向面に、該蓋体を補強する補強体を設け、この補強体を、該カバープレートの上下方向に伸びる縦補強部材と、該カバープレートの左右横方向に伸びる横補強部材とから形成するとともに、この横補強部材の一部を、該カバープレートの上記自動操作孔と上記手動操作孔の少なくともいずれか一方の近傍から該カバープレートの周縁側部まで伸ばしたことを特徴としている。

なお、上記蓋体の蓋本体を断面略皿形状に形成してその内部には上記施錠機構用の収納包囲壁を形成するとともに、この収納包囲壁を、該施錠機構の回転操作体を包囲する複数の円弧壁と、この複数の円弧壁から該蓋本体の周壁方向に伸ばされて該施錠機構の進退動体を挟む複数の直線壁とから形成し、
該蓋本体の周壁に、該施錠機構の施錠体用の出没孔を設けることができる。

また、上記施錠機構は、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体を含み、
施錠時には、上記回転操作体が施錠方向に回転して該進退動体を上記蓋本体の周壁方向に進出させ、該施錠体が上記案内補強体に案内されながら該蓋本体から上記容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した該施錠体が該案内補強体に案内されながら上記蓋体の厚さ方向に回転して該施錠穴を区画する壁面に接触し、
解錠時には、上記回転操作体が解錠方向に回転して上記進退動体を該蓋体の内方向に後退させ、上記施錠体が該案内補強体に案内されながら該蓋体の厚さ方向に回転復帰して該施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた該施錠体が該案内補強体に案内されながら上記容器本体の施錠穴から該蓋体内に直線的に後退することができる。

また、施錠機構の回転操作体は、蓋本体の収納包囲壁内に支持されてカバープレートの外部から操作される回転可能なキースロットと、このキースロットの周縁部に設けられて進退動体の端部に連結されるカム溝部とを含み、このカム溝部に進退動体用の変形防止部を形成することもできる。

また、施錠機構の進退動体を、蓋体の中央部付近から周壁方向に指向するプレートに形成してその先端部には施錠体用の支持溝を形成し、プレートの先端部両側に案内補強体用の案内溝をそれぞれ形成し、プレートの末端部には回転操作体のカム溝部に嵌まる凸部を形成するとともに、この凸部とカム溝部の変形防止部とを接触させ、
施錠体を断面略Ｌ字形状に屈曲してその屈曲部付近には進退動体の支持溝に回転可能に支持される支持軸を形成し、施錠体の一方の屈曲辺を案内補強体内にスライド可能に内蔵するとともに、他方の屈曲辺を容器本体の施錠穴内に接離可能とし、施錠体の一方の屈曲辺の先端部両側に、案内補強体用の第一の凸部をそれぞれ形成し、他方の屈曲辺の両側部には、案内補強体用の第二の凸部をそれぞれ形成することが可能である。

また、施錠機構の回転操作体に、進退動体の進退動用のカム溝部を設けるとともに、このカム溝部の変形を防止する変形防止部を形成することも可能である。

また、施錠機構の案内補強体を、施錠体と嵌合可能な断面略Ｕ字形状に形成してその内部前方には施錠体の一方の屈曲辺の先端部と回転可能に嵌合する回転許容凹部を形成し、案内補強体の内部には、施錠体用の位置決め弾性部材を設けて回転許容凹部に隣接させ、案内補強体の後部両側に、進退動体の案内溝にスライド可能に嵌まる伸長片をそれぞれ形成し、案内補強体の両側壁には、施錠体の第一の凸部にスライド可能に嵌まるスライド溝をそれぞれ形成するとともに、施錠体の第二の凸部をそれぞれスライド可能に支持させても良い。

さらに、上記補強体の縦補強部材を上記収納包囲壁の複数の直線壁に対向接触させ、該補強体の横補強部材を、上記カバープレートの略中央部から左右横方向に伸びる直線部と、この直線部に形成されて該収納包囲壁の複数の円弧壁に対向接触する円弧部とから形成し、この円弧部により該カバープレートの上記自動操作孔と上記手動操作孔とを包囲し、
上記補強体の縦補強部材と横補強部材の円弧部とを一体化しても良い。

ここで、特許請求の範囲における容器本体には、各種の基板、例えば半導体ウェーハ（例えばφ２００、３００、４５０ｍｍタイプ）や液晶基板、ガラス基板等を必要数収納することができる。蓋体のカバープレートは、蓋本体の開口した表面に、単数あるいは複数並べて取り付けることができる。

施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体、案内補強体は、単数複数を特に問うものではない。自動操作孔と手動操作孔とは、単数でも良いし、複数に増加することも可能である。さらに、補強体の縦補強部材と横補強部材とは、十字形状、キ字形状、＃形状、格子形状等に組み合わせることができる。この縦補強部材や横補強部材は、必要に応じて増減したり、形状を変更することができる。縦補強部材、横補強部材やその直線部、円弧部としては、例えば各種の突起やリブ等が該当する。

本発明によれば、カバープレートの自動操作孔の左右方向に手動操作孔が位置するのではなく、自動操作孔の上下方向に手動操作孔が位置するので、手動操作孔が補強体設置の障害となることが少ない。したがって、補強体の一部、例えば横補強部材を左右横方向に設けてカバープレートの両側部間に連続して位置させることができ、蓋体の強度や剛性を向上させ、容器本体に蓋体が嵌合した際、蓋体の変形を抑制することができる。

本発明によれば、補強体を左右横方向に向けて設けることができ、蓋体の強度を向上させてその変形を防ぐことができるという効果がある。具体的には、補強体の縦補強部材が上下方向に蓋体やそのカバープレートが反るのを抑制し、横補強部材が左右方向に蓋体やカバープレートが変形するのを抑制する。また、横補強部材の一部により、カバープレートが自動操作孔や手動操作孔付近から周縁側部にかけて変形するのを有効に抑制することができる。

請求項２記載の発明によれば、施錠機構用の収納包囲壁により、施錠機構の回転操作体、進退動体、施錠体の脱落を防止したり、これらの動作を円滑に案内したり、蓋本体の強度を向上させることができる。

請求項３記載の発明によれば、施錠機構による施錠を安定化させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除することが可能になる。
請求項４記載の発明によれば、収納包囲壁の直線壁に補強体の縦補強部材が対向接触し、収納包囲壁の円弧壁に横補強部材の円弧部が対向接触するので、これらの接触により、収納包囲壁の強度の増強が期待できる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。 図２の縦断面図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の蓋本体を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体と施錠機構とを模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバープレートを模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバープレートと補強体とを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバープレートと補強体とを模式的に示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転操作リールと進退動リンクの一部とを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の進退動リンクと施錠ラッチとを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の進退動リンクを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠ラッチを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の案内補強ブロックの内部を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の施錠状態を模式的に示す部分断面説明図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１８に示すように、半導体ウェーハを整列収納する容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、この蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、蓋体１０を、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を被覆するカバープレート１９とから構成し、蓋体１０のカバープレート１９に、施錠機構３０の回転操作リール３１用の自動操作孔２０と複数の手動操作孔２１とをそれぞれ複数穿孔して各自動操作孔２０の上下方向に複数の手動操作孔２１を位置させ、この複数の手動操作孔２１の位置を利用して蓋体１０のカバープレート１９に補強体７０を縦横に設けるようにしている。

半導体ウェーハとしては、特に限定されるものではないが、例えばメモリ容量の拡大、半導体部品に形成される最小加工線幅の縮小に伴うチップサイズの小型化、生産性向上の観点から、φ４５０ｍｍの薄く脆く反りやすいシリコンウェーハが使用される。

容器本体１と蓋体１０とは、所要の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所要の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。これらの熱可塑性樹脂には、導電性を確保したい場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が必要に応じて添加される。

容器本体１は、図１ないし図３に示すように、正面５が横長に開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、開口した正面５を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置に付属の蓋体開閉装置上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。この容器本体１は、その内部両側、換言すれば、両側壁９の内面に、半導体ウェーハを略水平に支持する左右一対の支持片２がそれぞれ対設され、この左右一対の支持片２が上下方向に所定のピッチで配列されており、各支持片２が半導体ウェーハの周縁側部を支持する細長い円弧形状の板に形成される。

容器本体１の底板の前部両側と後部中央とには、容器本体１を位置決めする位置決め具がそれぞれ配設される。また、容器本体１の底板には、別体のボトムプレート３が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート３から複数の位置決め具がそれぞれ露出する。容器本体１の天板の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ４が着脱自在に装着される。

容器本体１の正面５の周縁部は、外方向に屈曲して張り出すリムフランジ６に保持リブを介し膨出形成され、このリムフランジ６内に着脱自在の蓋体１０が蓋体開閉装置により嵌合して係止される。この容器本体１の正面５内周、換言すれば、リムフランジ６内周面の上部両側と下部両側とには、施錠機構３０用の施錠穴７がそれぞれ凹み形成され、各施錠穴７が矩形状に区画形成されてその外部に最も近接する壁面が正面側壁面８とされる。

容器本体１の両側壁９の内面後部、具体的には、支持片２の後部付近に位置する箇所は、容器本体１の正面５に蓋体１０が嵌合されると、支持片２の表面から浮上した半導体ウェーハの周縁両側部に接触し、半導体ウェーハの位置を有効に規制してガタツキを防止する。

蓋体１０は、図１ないし図８、図１０等に示すように、容器本体１の開口した正面５に嵌合される正面矩形状の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面に螺子等で覆着される別体のカバープレート１９とを備えて構成される。蓋本体１１は、断面略皿形状に形成されてその四隅部が丸く面取りされ、内部の両側に、施錠機構３０が配置されるとともに、この施錠機構３０用の収納包囲壁１２が区画形成される。

収納包囲壁１２は、蓋本体１１の内部両側中央にそれぞれ対設され、間隔をおいて相対向する左右一対の円弧リブ１３と、この一対の円弧リブ１３の端部から蓋体１０の周壁方向、具体的には上下方向にそれぞれ直線的に伸長する左右一対の直線リブ１４とから形成され、施錠機構３０を位置決めして収納する他、蓋本体１１の強度や剛性を向上させるよう機能する。

一対の円弧リブ１３間には、分割構造の支持リブ１５と左右一対の位置合わせブロック１６とがそれぞれ配設され、支持リブ１５の左右両側に位置合わせブロック１６がそれぞれ間隔をおいて配設される（図１０参照）。各位置合わせブロック１６は、必要に応じ、ピン形状やブロック形状等に形成される。また、一対の直線リブ１４間の長手方向には複数のガイドボス１７が間隔をおいて配設され、各ガイドボス１７が略円筒形状に形成されて摩擦低減用の回転可能なローラ等が選択的に嵌合される。

蓋本体１１の周壁の上部両側と下部両側とには、容器本体１の施錠穴７に対向する出没孔１８がそれぞれ穿孔され、各出没孔１８が一対の直線リブ１４間の開口端部と連通する。また、蓋本体１１の裏面には、容器本体１に収納された半導体ウェーハの周縁前部を弾性片で弾発的に圧接挟持するフロントリテーナが装着され、蓋本体１１の裏面周縁部には、容器本体１の正面５内周に圧接して変形する枠形状のガスケットが密嵌される。このガスケットは、例えば耐候性、電気絶縁性、圧縮特性等に優れるポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系の熱可塑性エラストマー等を用いて成形される。

カバープレート１９は、四隅部が丸く面取りされた正面略矩形状に形成され、両側の中央付近に、施錠機構３０の回転操作リール３１用の自動操作孔２０と上下一対の手動操作孔２１とがそれぞれ穿孔される。自動操作孔２０は正面矩形状に形成されて上下一対の手動操作孔２１の間に間隔をおいて位置し、各手動操作孔２１は展開した正面略扇形状に形成される。

施錠機構３０は、図３、図５、図９ないし図１８等に示すように、蓋体１０の収納包囲壁１２内に配置されて外部からの操作で回転する左右一対の回転操作リール３１と、各回転操作リール３１の回転により蓋体１０の上下方向に進退動する複数の進退動リンク３８と、各進退動リンク３８の進退動により容器本体１の正面５内周の施錠穴７に接離する複数の施錠ラッチ４５と、各進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とに装着されて施錠ラッチ４５の動作を規制する複数の案内補強ブロック５１とを備え、ＳＥＭＩ規格から外れることのないよう構成される。この施錠機構３０の各部品は、例えばポリブチレンテレフタレートやポリアセタール等を使用して成形される。

各回転操作リール３１は、図５、図９ないし図１１等に示すように、収納包囲壁１２の円弧リブ１３に隙間を介し包囲されてカバープレート１９の自動操作孔２０から操作される回転可能なキースロット３２を備え、このキースロット３２の周縁部の一部には、進退動リンク３８の末端部に連結される一対のカム溝部３３が偏心して対設されており、キースロット３２の周縁部の残部には、カバープレート１９の手動操作孔２１から指で操作される中空の手動操作部３４が一対対設される。

キースロット３２は、例えば収納包囲壁１２内の支持リブ１５に回転可能に嵌合支持される断面略Ｕ字の筒形状に形成され、表面に細長いキー溝３５が凹み形成されており、このキー溝３５にカバープレート１９の自動操作孔２０を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが挿入される。

各カム溝部３３は、略円弧形状に湾曲形成され、内周側付近には、進退動リンク３８用の変形防止部である変形防止リブ３６が表裏方向に向けて一体形成される。このカム溝部３３の外周側には、収納包囲壁１２内の位置合わせブロック１６に干渉する可撓性の干渉片３７が屈曲して一体形成され、この干渉片３７が位置合わせブロック１６に内外いずれかの方向から対向して嵌合することにより、回転操作リール３１の過剰な回転が規制される。また、変形防止リブ３６は、キースロット３２の高さ方向に向けて一体形成され、少なくともカム溝部３３の変形を抑制防止するよう機能する。

各進退動リンク３８は、図９ないし図１３等に示すように、収納包囲壁１２の一対の直線リブ１４に隙間を介し挟まれて蓋体１０の中央部付近から周壁方向に指向する長い矩形状のプレートに形成され、長手方向の中心線上に複数の長孔３９が間隔をおいて穿孔されており、各長孔３９が収納包囲壁１２のガイドボス１７にスライド可能に遊嵌されて移動量を規制する。これら長孔３９とガイドボス１７との間には、擦れや抵抗を低減するローラ、ベアリング等が選択的に介在される。

進退動リンク３８の凹凸の先端部の両側には、略Ｌ字形状の受け爪４０がそれぞれ突出形成され、進退動リンク３８の先端部寄りの両側面には、長手方向に伸びる略Ｌ字形状の区画片４１がそれぞれ一体形成されており、これら複数の受け爪４０と区画片４１の先端部とが施錠ラッチ４５用の支持溝４２を区画形成する。進退動リンク３８の先端部寄りの側面と区画片４１との間には、案内補強ブロック５１用の案内溝４３が長手方向に区画形成される。

進退動リンク３８の窄んだ末端部には、円筒形状の連結ピン４４が突出形成され、この連結ピン４４が回転操作リール３１のカム溝部３３に裏面側からスライド可能に嵌入して回転操作リール３１の回転運動を直線運動に変換するよう機能する。この連結ピン４４の周面は、カム溝部３３の変形防止リブ３６に摺接し、施錠時に施錠ラッチ４５に作用する荷重を変形防止リブ３６に伝達する（図１１参照）。この伝達により、変形防止リブ３６は、施錠時における進退動リンク３８の撓みを抑制防止することとなる。

各施錠ラッチ４５は、図９、図１０、図１２、図１４等に示すように、断面略Ｌ字形状に屈曲したプレートに形成され、凹凸の裏面側の屈曲部付近に進退動リンク３８の支持溝４２に回転可能に嵌合支持される支持軸４６が一体形成されており、蓋体１０の出没孔１８から直線的に出没し、かつ容器本体１の施錠穴７に揺動して圧接する。

施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部は略円柱形状に湾曲形成され、この先端部の両側には、案内補強ブロック５１用の第一の凸部４８がそれぞれ円柱形状に一体形成されており、他方の屈曲辺４９の両側面には、案内補強ブロック５１用の第二の凸部５０がそれぞれ円柱形状に突出形成される。施錠ラッチ４５の一対の屈曲辺４７・４９のうち、一方の屈曲辺４７は案内補強ブロック５１内にスライド可能に摺接し、他方の先細りの屈曲辺４９は案内補強ブロック５１の前部から飛び出して容器本体１の施錠穴７内に突出し、圧接する（図５、図９、図１０参照）。

このような施錠ラッチ４５は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い案内補強ブロック５１の後方から前方に進出し、この進出が規制された時点で揺動可能な状態（図９、図１０参照）となり、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い揺動し、元の位置に揺動復帰した時点で案内補強ブロック５１の前方から後方に後退する。

各案内補強ブロック５１は、図９、図１０、図１５、図１６等に示すように、平坦な底板５２の両側部に側壁５７がそれぞれ配設された断面略Ｕ字形状に形成されるとともに、底板５２に施錠ラッチ４５用の複数の位置決め弾性部材５４が左右方向に並設され、進退動リンク３８の先端部と施錠ラッチ４５とにそれぞれスライド可能に嵌合されており、一対の直線リブ１４の端部間に挟まれて蓋体１０の出没孔１８付近に位置し、かつ蓋体１０のカバープレート１９に接触する。

底板５２の内面前方には、断面略半円筒形状の揺動許容溝５３が左右方向に形成され、この揺動許容溝５３に位置決め弾性部材５４を乗り越えた施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７の先端部が嵌合して回転可能となる。各位置決め弾性部材５４は、例えば底板５２の一部を細長く切り欠いた弾性変形可能な板バネやエラストマー等からなり、底板５２の中央から後方にかけて設けられて揺動許容溝５３に隣接し、揺動許容溝５３に嵌合した一方の屈曲辺４７の先端部を位置決めし、一方の屈曲辺４７の先端部を中心に施錠ラッチ４５が揺動するのを許容する。

底板５２の後部両側には、進退動リンク３８の案内溝４３にスライド可能に遊嵌する伸長片５５がそれぞれ略Ｌ字形状に屈曲形成され、各伸長片５５が区画片４１の末端部付近に接離可能に係止する。この伸長片５５の屈曲部付近には、蓋体１０の蓋本体１１に弾性的に係止するための係止用の切り欠き５６が形成される。

案内補強ブロック５１の両側壁５７には、施錠ラッチ４５の第一の凸部４８にスライド可能に遊嵌するスライド溝５８がそれぞれ前後方向に穿孔され、両側壁５７の表面には、施錠ラッチ４５の第二の凸部５０がそれぞれスライド可能に支持される。各スライド溝５８は、案内補強ブロック５１の前後方向に伸長する長円形状に形成され、先端部が底板５２の揺動許容溝５３の端と一体化して拡径に形成されており、この先端部に施錠ラッチ４５の第一の凸部４８が接触することにより、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、かつ施錠ラッチ４５が蓋体１０の厚さ方向にはじめて揺動可能な状態となる。

案内補強ブロック５１の両側壁５７の前部間には、底板５２の揺動許容溝５３に隣接して施錠ラッチ４５の過剰なスライドを規制する前部壁５９が側壁５７よりも低く架設され、各側壁５７の外面には、進退動リンク３８の区画片４１に摺接する板形状の受けフランジ６０が突出形成されており、各側壁５７の後部には伸長片５５が一体化される。

このような案内補強ブロック５１は、施錠機構３０の施錠時には、進退動リンク３８の進出に伴い、進退動リンク３８の先端部に相対的に接近し、施錠機構３０の解錠時には、進退動リンク３８の後退に伴い、進退動リンク３８の先端部から相対的に離隔する。

補強体７０は、図１、図７、図８に示すように、カバープレート１９の上下方向に直線的に伸長する複数の縦補強メンバー７１と、カバープレート１９の左右横方向に水平に伸長する横補強メンバー７３とを備え、これら複数の縦補強メンバー７１と横補強メンバー７３とが蓋本体１１の内部に対向するカバープレート１９の対向裏面に配設されており、蓋体１０の強度や剛性を向上させてその変形を防止するよう機能する。

複数の縦補強メンバー７１と横補強メンバー７３とは、収納包囲壁１２や施錠機構３０の位置を考慮して縦横に組み合わされて略キ字形状を呈し、横補強メンバー７３の一部がカバープレート１９の自動操作孔２０及び手動操作孔２１の近傍からカバープレート１９の側部に揃うよう伸長される。

各縦補強メンバー７１は、間隔をおいて相対向する一対の縦補強リブからなり、この一対の縦補強リブが収納包囲壁１２の直線リブ１４に類似の形状に形成され、かつ直線リブ１４に対向接触しており、縦補強部材として、蓋体１０が上下方向に弓なりに反るのを抑制防止する。一対の縦補強リブの間には、長手方向に並ぶ複数の対向ボス７２が配列され、各対向ボス７２が円筒形状に形成されて一対の直線リブ１４間のガイドボス１７に対向して螺着される。

横補強メンバー７３は、間隔をおいて相対向する一対の横補強リブからなり、カバープレート１９の両側部間に連続して位置し、横補強部材として、蓋体１０が左右方向に弓なりに反るのを抑制防止する。この横補強メンバー７３は、カバープレート１９の略中央部から左右横方向に水平に伸長する直線部７４と、この直線部７４の両側に一体形成されて収納包囲壁１２の複数の円弧リブ１３に対向接触する左右一対の円弧部７５とから形成される。各円弧部７５は、自動操作孔２０と手動操作孔２１とを包囲し、上下方向に位置する縦補強メンバー７１の端部と一体化される。

このような横補強メンバー７３は、直線部７４の端と円弧部７５とがカバープレート１９の自動操作孔２０及び手動操作孔２１の周囲からカバープレート１９の周縁側部まで連続的に伸長される。

上記構成において、半導体ウェーハを収納した容器本体１に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠する場合には、容器本体１の正面５内に蓋体１０を浅く嵌入してカバープレート１９側を外部にやや食み出させ、その後、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、施錠機構３０の各回転操作リール３１の横方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して反時計方向、すなわち施錠方向に徐々に回転させる。

すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が施錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に接近して施錠ラッチ４５が蓋体１０周壁方向に相対的に進出し、蓋体１０の出没孔１８から各施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が突出して容器本体１の施錠穴７内に直線的に突出する。

この際、施錠ラッチ４５は、案内補強ブロック５１のスライド溝５８や両側壁５７の表面に直線的に案内され、案内補強ブロック５１の底板５２内面や複数の位置決め弾性部材５４に一方の屈曲辺４７が摺接し、案内補強ブロック５１の前部壁５９方向に相対的に進出する。したがって、施錠ラッチ４５は、蓋体１０の厚さ方向に対する揺動が規制された状態で直線的にスライドする。

容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が直線的に突出し、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が位置決め弾性部材５４を乗り越えて揺動許容溝５３に嵌合し、施錠ラッチ４５がはじめて揺動可能な状態になると、施錠ラッチ４５の直線的なスライドが規制され、施錠ラッチ４５がその一方の屈曲辺４７の先端部を中心に弧を描きながら蓋体１０の厚さ方向に揺動する。

すると、施錠穴７を区画する正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動接触し、容器本体１の正面５内に蓋体１０が次第に引き込まれ、施錠穴７に施錠ラッチ４５が最終的に強く嵌入係止して蓋体１０を完全に密嵌することにより、容器本体１の正面５に蓋体１０を嵌合して施錠機構３０で施錠することができる。

この際、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用するが、回転操作リール３１と施錠ラッチ４５とが進退動リンク３８を介して相互に突っ張り、蓋体１０の高さ方向に反力が作用することになるので、蓋体１０の厚さ方向の変形が有効に防止される。

また、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９に強い荷重が作用すると、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反るおそれがあるが、回転操作リール３１の変形防止リブ３６が施錠ラッチ４５に作用する強い荷重や連結ピン４４に生じる応力を受けるので、回転操作リール３１から施錠ラッチ４５にかけて荷重を直線的に作用させることができる。したがって、進退動リンク３８が蓋体１０の厚さ方向に弓なりに反ることがない。

また、半導体ウェーハの周縁前部にフロントリテーナが圧接する関係上、蓋体１０が弓なりに反って変形しようとするが、補強体７０が蓋体１０を縦横に補強して剛性を増強するので、容器本体１の開口した正面５に蓋体１０が屈曲して適切に嵌合しなかったり、容器本体１の外部から内部にパーティクルが侵入して半導体ウェーハを汚染することがない。

次に、施錠した施錠機構３０を解錠して容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の各自動操作孔２０に蓋体開閉装置の操作キーを挿通し、各回転操作リール３１の縦方向を指向するキー溝３５に蓋体開閉装置の操作キーを挿入して時計方向、すなわち解錠方向に徐々に回転させる。

すると、施錠機構３０の各回転操作リール３１が解錠方向に徐々に回転して進退動リンク３８を元の位置に後退させ、各進退動リンク３８の先端部と案内補強ブロック５１とが相互に離隔して施錠ラッチ４５が元の位置に相対的に後退し、施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が揺動して離れる。この際、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７は、位置決め弾性部材５４の端部に干渉されるので、位置ずれすることなく、底板５２の揺動許容溝５３に嵌合した状態で揺動する。

施錠穴７の正面側壁面８から施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が離れて蓋体１０の厚さ方向の元の位置に揺動復帰すると、施錠ラッチ４５の一方の屈曲辺４７が揺動許容溝５３から位置決め弾性部材５４を乗り越えて底板５２の後方にスライドし、直立した施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９が容器本体１の施錠穴７から蓋体１０の出没孔１８内に直線的に後退することにより、容器本体１の正面５に嵌合した蓋体１０が取り外し可能な状態となる。

上記構成によれば、各自動操作孔２０の左右方向に一対の手動操作孔２１が位置するのではなく、各自動操作孔２０の上下方向に一対の手動操作孔２１が位置するので、各手動操作孔２１が補強体７０設置の障害となることがない。したがって、補強体７０の横補強メンバー７３を左右横方向に延設してカバープレート１９の両側部間に連続して位置させることができ、蓋体１０の強度や剛性を著しく向上させ、容器本体１に蓋体５が嵌合した際の蓋体１０の変形を十分に防止することができる。

また、施錠ラッチ４５の突出と揺動とが同時ではなく、容器本体１の施錠穴７内に施錠ラッチ４５を十分に進入させた後、施錠穴７の正面側壁面８に施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９をはじめて接触させて容器本体１の正面５内に蓋体１０を次第に引き込んでいくので、施錠穴７に対する施錠ラッチ４５の接触力が従来よりも増大して蓋体１０を十分に引き込むことができ、施錠機構３０による施錠を安定させ、容器本体１の施錠穴７や施錠機構３０の施錠ラッチ４５が損傷するのを有効に防止することができる。特に、容器本体１のリムフランジ６が外方向に広がって損傷するのを有効に防止することができる。

また、蓋体１０を十分に引き込むことができるので、容器本体１にフロントリテーナの反力を受ける蓋体１０を高精度に嵌合することが可能になる。また、蓋体１０の出没孔１８近傍に施錠ラッチ４５と案内補強ブロック５１とが存在するので、蓋体１０の出没孔１８付近の強度を確保することができ、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、蓋体１０や施錠機構３０の進退動リンク３８が変形するおそれを排除することが可能になる。したがって、施錠機構３０の安全確実な動作が大いに期待できる。

さらに、施錠ラッチ４５等を従来よりも長く伸長形成する必要がなく、小さく短く成形して剛性を確保することができるので、例え施錠時に大きな施錠力が作用しても、進退動リンク３８や施錠ラッチ４５が変形しやすくなるおそれがない。したがって、施錠ラッチ４５等を肉厚に形成して変形防止を図る必要がなく、施錠ラッチ４５の引き込みストローク量の低下を招くのを防止することができる。

なお、上記実施形態では施錠機構３０のカム溝部３３に変形防止リブ３６を一体成形したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、変形防止リブ３６に弾性を付与して基板収納容器の耐落下性を向上させても良い。また、カム溝部３３は、貫通していても良いし、貫通していない凹部でも良い。また、キースロット３２の周縁部の一部厚さ方向に、一対の手動操作部３４を対設しても良い。さらに、施錠ラッチ４５の他方の屈曲辺４９の先端部に、パーティクルの発生を低減するローラを回転可能に軸支させることもできる。

本発明に係る基板収納容器は、電気、電子、半導体、液晶等の分野で使用することができる。

１ 容器本体
５ 正面（開口）
６ リムフランジ
７ 施錠穴
８ 正面側壁面（壁面）
１０ 蓋体
１１ 蓋本体
１２ 収納包囲壁
１３ 円弧リブ（円弧壁）
１４ 直線リブ（直線壁）
１８ 出没孔
１９ カバープレート
２０ 自動操作孔
２１ 手動操作孔
３０ 施錠機構
３１ 回転操作リール（回転操作体）
３２ キースロット
３３ カム溝部
３４ 手動操作部
３５ キー溝
３６ 変形防止リブ
３８ 進退動リンク（進退動体）
４４ 連結ピン
４５ 施錠ラッチ（施錠体）
５１ 案内補強ブロック（案内補強体）
７０ 補強体
７１ 縦補強メンバー（縦補強部材）
７３ 横補強メンバー（横補強部材）
７４ 直線部
７５ 円弧部

Claims (4)

1. 容器本体の開口に嵌め合わされる蓋体と、容器本体に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構とを備えた基板収納容器であって、
   上記蓋体は、上記容器本体の開口に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口を閉鎖するカバープレートとを含み、このカバープレートに、上記施錠機構用の自動操作孔と手動操作孔とをそれぞれ設けて自動操作孔の上下方向に手動操作孔を位置させ、
   該施錠機構は、上記蓋体の蓋本体に回転可能に支持される回転操作体と、この回転操作体により進退動する進退動体と、この進退動体の進退動により上記容器本体の開口内周の施錠穴に接離する施錠体とを含み、
   上記蓋体の少なくともカバープレートの蓋本体に対向する対向面に、該蓋体を補強する補強体を設け、この補強体を、該カバープレートの上下方向に伸びる縦補強部材と、該カバープレートの左右横方向に伸びる横補強部材とから形成するとともに、この横補強部材の一部を、該カバープレートの上記自動操作孔と上記手動操作孔の少なくともいずれか一方の近傍から該カバープレートの周縁側部まで伸ばしたことを特徴とする基板収納容器。
2. 上記蓋体の蓋本体を断面略皿形状に形成してその内部には上記施錠機構用の収納包囲壁を形成するとともに、この収納包囲壁を、該施錠機構の回転操作体を包囲する複数の円弧壁と、この複数の円弧壁から該蓋本体の周壁方向に伸ばされて該施錠機構の進退動体を挟む複数の直線壁とから形成し、
   該蓋本体の周壁に、該施錠機構の施錠体用の出没孔を設けた請求項１記載の基板収納容器。
3. 上記施錠機構は、進退動体と施錠体とに取り付けられて施錠体の動作を規制する案内補強体を含み、
   施錠時には、上記回転操作体が施錠方向に回転して該進退動体を上記蓋本体の周壁方向に進出させ、該施錠体が上記案内補強体に案内されながら該蓋本体から上記容器本体の施錠穴内に直線的に進入し、この容器本体の施錠穴内に進入した該施錠体が該案内補強体に案内されながら上記蓋体の厚さ方向に回転して該施錠穴を区画する壁面に接触し、
   解錠時には、上記回転操作体が解錠方向に回転して上記進退動体を該蓋体の内方向に後退させ、上記施錠体が該案内補強体に案内されながら該蓋体の厚さ方向に回転復帰して該施錠穴の壁面から離れ、この施錠穴の壁面から離れた該施錠体が該案内補強体に案内されながら上記容器本体の施錠穴から該蓋体内に直線的に後退する請求項１又は２記載の基板収納容器。
4. 上記補強体の縦補強部材を上記収納包囲壁の複数の直線壁に対向接触させ、該補強体の横補強部材を、上記カバープレートの略中央部から左右横方向に伸びる直線部と、この直線部に形成されて該収納包囲壁の複数の円弧壁に対向接触する円弧部とから形成し、この円弧部により該カバープレートの上記自動操作孔と上記手動操作孔とを包囲し、
   上記補強体の縦補強部材と横補強部材の円弧部とを一体化した請求項２又は３記載の基板収納容器。

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