JPH11159218A

JPH11159218A - 精密基板容器のドアラッチ機構

Info

Publication number: JPH11159218A
Application number: JP9324875A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Kamata; 俊行鎌田; Mamoru Kato; 衛加藤; Masato Takahashi; 正人高橋
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1997-11-26
Filing date: 1997-11-26
Publication date: 1999-06-15

Abstract

(57)【要約】【課題】ドア部品の薄肉化が期待でき、精密基板を汚
染する粒子の発生するおそれがなく、ケースを均一にシ
ールできる精密基板容器のドアラッチ機構を提供する。【解決手段】カバーケース１、ドア５、及びラッチ機
構１４を備え、カバーケース１のリム部２に複数の係止
凹部４を設け、ドア５の周面に複数のウインド９を設け
る。また、ラッチ機構１４を、外部操作可能な回転プレ
ート１５と、回転プレート１５に連結棒１８を介し連結
され、回転プレート１５の施錠回転時に係止凹部４に係
止爪１９を嵌入し、回転プレート１５の解錠回転時には
係止爪１９を解除する複数のラッチプレート１６と、各
ラッチプレート１６を貫通するリンク１７とから構成す
る。そして、ラッチプレート１６の裏面に揺動誘起突起
２２を設け、リンク１７の折曲部をドア５の表面側に軸
支させ、リンク１７の両自由端部をスライドプレートの
裏面にローラ２３・２３Ａを介し接触可能とし、かつ揺
動誘起突起２２とローラ２３Ａとを接触可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ等
の収納、保管、移送、又は輸送等に使用され、標準化さ
れた機械的インターフェイス(SMIF)を有する加工装置に
接続される精密基板容器に関し、より詳しくは、精密基
板容器のドアラッチ機構の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の精密基板容器のドアラッチ機構
は、図１２及び図１３に部分的に示すように、半導体ウ
ェーハ（以下、ウェーハと略称する）を整列収納する合
成樹脂製のカバーケースと、このカバーケースの開口面
にシールリングを介して嵌合被覆されるドア５Ａと、こ
のドア５Ａに配設されたラッチ機構１４Ａとを備え、こ
のラッチ機構１４Ａが加工装置のドア開閉装置により動
作する。図示しないカバーケースの開口内周縁部には複
数の係止凹部が所定の間隔をおいて凹み成形され、ドア
の周面にはその内部に連通する複数のウインドが所定の
間隔をおいて穿設されている。

【０００３】ラッチ機構１４Ａは、ドア５Ａの外部から
アクセス可能な回転カム２８と、ドア５Ａに複数のロー
ラ２９を介しスライド可能に内蔵された一対のラッチプ
レート１６Ａとを備えている。回転カム２８は、基本的
には円板形に形成され、表面の外周には凹面３０と凸面
３１とが所定の間隔で形成されており、ドア５Ａの表面
側にピンを介し回転可能に軸支されている。また、各ラ
ッチプレート１６Ａは、ほぼフォーク形に形成され、分
岐した各先端部が係止凹部に嵌入する係止爪１９Ａに形
成されており、末端部が回転カム２８の表面外周にロー
ラ３２を介して接触している。

【０００４】上記構成の精密基板容器のドアラッチ機構
は、回転カム２８が回転すると、回転カム２８の回転運
動が各ラッチプレート１６Ａの直線運動に変換され、カ
バーケースの各係止凹部にラッチプレート１６Ａの先端
の係止爪１９Ａが係止される直前に回転カム２８の凸面
３１上をローラ３２が転動移動する。この移動により、
ラッチプレート１６Ａの末端部が持ち上げられるととも
に、ラッチプレート１６Ａの支柱によりラッチプレート
１６Ａの先端部が下方に押し下げられ、カバーケースの
開口面にドア５Ａが施錠される。

【０００５】なお、この種の先行技術文献として特開平
９−８８３９８号、特開平８−３４００４３号、特公平
４−５０５２３４号、特表昭６１−５０２９９４号、特
表昭６３−５０３２５９号、及び特表昭６３−５００６
９１号公報等があげられる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の精密基板容器の
ドアラッチ機構は、以上のように構成され、ラッチプレ
ート１６Ａの中間部が支持体を押し上げ、ラッチプレー
ト１６Ａの先端部がドアプレートを押し下げるので、２
枚のドアプレートを破壊する方向に外力が作用すること
となる。このため、ドア５Ａとラッチプレート１６Ａに
は、外力に耐え得るだけの強度が要求されるので、ドア
部品の薄肉化を図ることができないという問題があっ
た。また、大きな係止力を得るには、回転カム２８、ロ
ーラ３２、及び支柱が強く擦れることとなるが、これら
が強く擦れると、ウェーハを汚染する粒子の発生するお
それがある。

【０００７】さらに、回転カム２８の回転運動をラッチ
プレート１６Ａの直線運動に変換するには、回転カム２
８の偏位した表面外周にラッチプレート１６Ａをセット
せざるを得ないので、ラッチプレート１６Ａの中心線上
ではなく、片側に力が作用することとなる。したがっ
て、複数の係止爪１９Ａが力点から等距離に作用せず、
複数の係止爪１９Ａの施錠力にばらつきが生じ、結果と
してドア５Ａのシールにもばらつきが発生するという問
題があった。特に、カバーケースが大型化すると、カバ
ーケースを均一にシールするのに必要な係止力を到底得
られないという問題があった。

【０００８】本発明は、上記従来の問題に鑑みなされた
もので、ドア部品の薄肉化を図ることができ、精密基板
を汚染する粒子の発生するおそれがなく、しかも、ケー
スを均一にシールすることのできる精密基板容器のドア
ラッチ機構を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、精密基板収納用のケ
ースと、このケースの開口面を覆うドアと、このドアに
取り付けられたラッチ機構とを含んでなるものであっ
て、上記ケースの開口周縁部に係止凹部を設け、上記ド
アに中空部を設けるとともに、該ドアの周面には該中空
部に連なるウインドを設け、上記ラッチ機構は、該ドア
の表面側に外部操作可能に取り付けられた回転プレート
と、該ドアの中空部に内蔵されて該回転プレートに連結
部材を介して連結され、該回転プレートの施錠回転時に
上記係止凹部に係止爪を上記ウインドを介し嵌め入れ、
該回転プレートの解錠回転時には該係止凹部から該係止
爪を解除するスライドプレートと、このスライドプレー
トを貫通する断面ほぼＶ字状の押圧部材とを含み、該ス
ライドプレートの裏面に回転誘起部材を設け、該押圧部
材の折曲部付近を上記ドアの表面側に回転可能に取り付
け、該押圧部材の両自由端部を上記スライドプレートの
裏面に接触可能とするとともに、上記回転誘起部材と該
押圧部材の一自由端部とを接触可能としたことを特徴と
している。

【００１０】なお、上記ドアと上記スライドプレートと
のいずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ設
け、これら凹部と凸部とを上記回転誘起部材と上記押圧
部材の一自由端部との接触後に嵌合させることが好まし
い。また、上記押圧部材の両自由端部に支持軸をそれぞ
れ設けてその自由端部には回転部材を支持させることが
できる。また、上記ケースの係止凹部に傾斜ガイド部を
設け、上記スライドプレートの係止爪に回転部材と傾斜
部のいずれか一方を設けることもできる。

【００１１】ここで、特許請求の範囲における「精密基
板」には、電気、電子、又は半導体等の製造分野で使用
される単数複数の液晶セル、石英ガラス、シリコンウェ
ーハ等の半導体ウェーハ、フォトマスク、又はマスク基
板等が含まれる。また、「ラッチ機構」の各部品には、
十分な強度を有し、摺動性が良好な材料、例えばポリア
セタール樹脂、フッ素樹脂、又はシリコーン等が含有さ
れた各種合成樹脂を適宜用いると良い。このラッチ機構
の各部品の機械的強度を増す場合には、合成樹脂にガラ
ス繊維等の補強用充填剤を加えたり、金属部品等をイン
サート成形すると良い。また、「係止爪」は、その外周
部がＲ状に形成され、ケースや係止凹部を削ることのな
いようにすることが望ましい。

【００１２】「回転」は、技術的思想に着目した実質的
な意味に理解されなければならず、回動や揺動等の技術
が含まれる。また、「ほぼＶ字状」は、上記と同様の意
味に理解されなければならず、Ｖ字形の他、おおよそＶ
字形と認められる形状、例えばＬ字形、Ｕ字形、又は底
部突起の小さいＷ字形等の形状を含む。また、「折曲部
付近」には折曲部やその近傍部分が含まれる。また、
「押圧部材の自由端部」には、自由端部の他、その近傍
部分が含まれ、自由端部にローラ等が取り付けられる場
合には、ローラも含まれる。また、「凹部」は、単数複
数の凹み穴、こう配、又はテーパ等から構成されること
が望ましい。また、「凸部」と「回転部材」は、単数複
数のローラやボール等からなることが好ましい。さら
に、「傾斜ガイド部」と「傾斜部」は、こう配やテーパ
等からなることが好ましい。

【００１３】請求項１又は２記載の発明によれば、ケー
スの開口面にドアがセットされ、回転プレートが施錠方
向に回転すると、スライドプレートがドアの内部から外
方向にスライドし、押圧部材の一自由端部に回転誘起部
材が接触する。この状態でスライドプレートがスライド
すると、押圧部材がドアの取り付け部分を中心にして円
運動し、一自由端部が回転するとともに、他の自由端部
がスライドプレートのスライド方向に交わる方向、換言
すれば、ドアの表面側方向に回転し、スライドプレート
をドアの表面側に押し付け、スライドプレートがドアの
内方向に後退する。そして、最終的には凹部と凸部とが
干渉しあうが、この際、スライドプレートの係止爪は、
その軌跡を変化させてドアの厚さ方向に動く。この移動
により、ケースにドアが強固に施錠される。

【００１４】また、請求項３記載の発明によれば、回転
部材は、押圧部材に貫通されたスライドプレートの貫通
部分及びその周辺部分等から離れた状態でスライドプレ
ートの裏面に安定して接触する。さらに、請求項４記載
の発明によれば、係止凹部に係止爪が干渉する際、係止
凹部の傾斜ガイド部が開口部分を拡大しているので、係
止爪の進入がスムーズになる。また、この進入の際、係
止爪の回転部材が係止凹部の内面に接触して転動した
り、あるいは傾斜ガイド部に誘導されて傾斜した傾斜部
が進入するので、係止爪の相対位置の決定や進入等が円
滑になる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態をウェ−ハを例に説明する。本実施形態における
精密基板容器のドアラッチ機構は、図１ないし図４に示
すように、ウェ−ハ用のカバーケース１と、このカバー
ケース１の開口面を、ＥＰＤＭ、シリコーン系ゴム等の
ゴム、及び又は熱可塑性エラストマーからなる枠形のシ
ールリングＳを介して覆うドア５と、このドア５に内蔵
された施錠・開錠用のラッチ機構１４とを備えている。

【００１６】カバーケース１は、図１に示すように、軽
量性・成形性等に優れ、帯電防止処理されたポリエステ
ル樹脂やポリカーボネイト樹脂等を用いて正面が開口し
た透明のフロントオープンボックス構造に一体成形され
ている。このカバーケース１は、その天井に天井搬送機
用の把持ハンドル（図示せず）が締結具を介して螺着さ
れ、内部両側には複数（例えば、２５本）の支持溝を上
下方向に並べ備えたカラム（図示せず）がそれぞれ交換
可能に螺着されており、この複数の支持溝が図示しない
複数のウェーハを水平状態に整列積層収納するよう機能
する。

【００１７】カバーケース１の開口正面は、その周縁部
が外方向に折曲膨出成形されてリム部２を形成し、この
リム部２の内部段差面がシール面３を形成している（図
３参照）。このリム部２の内周面の上下には複数（本実
施形態では、合計４個）の係止凹部４が所定の間隔をお
いてそれぞれ凹み成形されている。

【００１８】ドア５は、嵌合被覆時に外部に露出する表
面プレート６と裏面プレート７とを嵌合対向構造に備
え、これらのプレートの間には中空部８が区画形成され
ており、周面の上下部には中空部８に連通する複数のウ
インド９（本実施形態では、合計４個）が所定の間隔を
おいてそれぞれ穿設されている。表面プレート６の中央
部には円形の嵌合孔１０が貫通して成形され、表面プレ
ート６の内面、換言すれば、裏面には嵌合ローラ１１と
ガイドローラ１２とが所定の間隔をおきそれぞれ軸着さ
れており、この嵌合孔１０側寄りのガイドローラ１２が
ばね等の弾性体で少々前後方向に動作するよう構成され
ている。また、裏面プレート７の内面中央からは軸支用
の突部１３が表面プレート６方向に向けて成形されてい
る。

【００１９】ラッチ機構１４は、図２ないし図６に示す
ように、回転プレート１５、複数のラッチプレート１
６、及び複数のリンク１７を備えて構成されている。回
転プレート１５は、断面ほぼ凸字形の円板形に成形さ
れ、裏面プレート７の突部１３に支持軸を介し軸支され
て嵌合孔１０から縮径部が露出しており、この露出部分
の接続部がドア５外部のウェーハ加工装置の回転機構
（図示せず）に接続されて外部からアクセスされる。こ
の回転機構との接続位置及び寸法は、ＳＥＭＩ規格で容
器のサイズ毎に定められ、この定められた接続位置に回
転プレート１５の中心部が位置する。

【００２０】各ラッチプレート１６は、方形の板形に成
形され、回転プレート１５に連結棒１８を介して接続さ
れている。このラッチプレート１６は、その最上部又は
最下部の中央から角部の面取りされた（図６参照）係止
爪１９が突出しており、この係止爪１９が係止凹部４に
ウインド９を介し嵌脱自在に係止するよう機能する。ラ
ッチプレート１６の中央部には方形のスリット口２０が
縦長に穿設成形されている。また、各ラッチプレート１
６の表面には断面半円形の嵌合凹部２１とガイドローラ
１２用のガイド溝（図示せず）とがそれぞれ凹み成形さ
れ、各ラッチプレート１６の裏面からは傾斜面付きの揺
動誘起突起２２が突出成形されている。なお、嵌合凹部
２１と嵌合ローラ１１との位置は、ラッチプレート１６
が施錠方向にスライドして係止凹部４に係止爪１９が係
止されるまでの距離を考慮して決定される。

【００２１】各連結棒１８は、図２に示すように、その
一端部がラッチプレート１６の裏面の中心線上にピンを
介し回転可能に軸着され、他端部が回転プレート１５の
裏面外周の偏芯位置にピンを介し回転可能に軸着されて
いる。この連結棒１８の取り付け位置と長さは、回転プ
レート１５の９０°回転時に嵌合ローラ１１と嵌合凹部
２１とが相互に嵌合するよう考慮して決定される。

【００２２】さらに、各リンク１７は、構造の簡素な断
面Ｖ字形に成形され、ラッチプレート１６のスリット口
２０に隙間を介し動作可能に挿通されている。このリン
ク１７は、その折曲部がドア５の表面プレート６に取付
軸を介し揺動可能に軸支され、両自由端部にはスリット
口２０の幅よりも大きなローラ２３・２３Ａがそれぞれ
回転可能に軸支されている（図５参照）。このように構
成されたリンク１７は、各ローラ２３・２３Ａがラッチ
プレート１６の裏面に当接するとともに、回転プレート
１５側の一のローラ２３Ａが施錠時に揺動誘起突起２２
と当接するよう作用する。この一のローラ２３Ａと揺動
誘起突起２２とは、嵌合ローラ１１と嵌合凹部２１とが
嵌合する直前に、一のローラ２３Ａに揺動誘起突起２２
が当接可能となるような位置関係に設定される。

【００２３】上記構成において、ウェーハを収納して施
錠するには、先ず、カバーケース１の内部にスライスさ
れたウェーハが一対のカラムを介して上下方向に積層状
態で整列収納され、リム部２にドア５がシールリングＳ
を介して嵌合被覆され、その後、回転プレート１５にウ
ェーハ加工装置の接続機構が接続されて施錠作業を開始
する（図３の状態）。

【００２４】すると、回転プレート１５が施錠方向に回
転し、ラッチプレート１６がガイドローラ１２に案内さ
れつつそれぞれ上下方向にスライドし、リンク１７の一
のローラ２３Ａに揺動誘起突起２２の傾斜面が当接す
る。この状態でさらにラッチプレート１６がスライドす
ると、リンク１７が円運動し、一のローラ２３Ａが外方
向に揺動するとともに、他のローラ２３が内方向、換言
すれば、表面プレート６方向に弧を描きつつ揺動して表
面プレート６にラッチプレート１６を圧接付勢し、ラッ
チプレート１６が内方向にスライドして後退する。

【００２５】そして、最終的には嵌合ローラ１１と嵌合
凹部２１とが強く嵌合ロックするが、この嵌合の際、ラ
ッチプレート１６の係止爪１９は、その軌跡を急激に変
化させてドア５の厚さ方向に移動する。この移動によ
り、カバーケース１にドア５がシールリングＳを介し安
定、かつ強固にシール施錠されることとなる（図４の状
態）。こうしてカバーケース１の施錠が完了したら、ウ
ェーハは、半導体メーカからＩＣメーカに密封状態で輸
送される。

【００２６】上記構成によれば、係止爪１９の係止施錠
直前にラッチプレート１６のスライド経路を図３の上下
方向から直交方向に変換するので、２枚の表裏面プレー
ト６・７を破壊する方向に外力が作用することがない。
したがって、ドア５とラッチプレート１６とを厚肉に構
成する必要性が全くなく、ドア部品の薄肉化が大いに期
待できる。また、回転プレート１５に各ラッチプレート
１６が連結棒１８を介して接続されているので、従来の
ように回転プレート１５、各ラッチプレート１６、及び
連結棒１８が強く擦れることが全くなく、ウェーハを汚
染する粒子の発生するおそれをきわめて有効に排除する
ことができる。

【００２７】また、回転プレート１５に各ラッチプレー
ト１６の中心線上が連結棒１８を介して接続されている
ので、片側に力が作用することが全くない。したがっ
て、簡易な構成で回転プレート１５の中心から各係止爪
１９までの距離が等距離となり、複数の係止爪１９の施
錠力が著しく均一化し、ドア５を高いシール性をもって
均一にシールすることが可能になる。また、嵌合ローラ
１１と嵌合凹部２１とが施錠時に嵌合するので、ラッチ
プレート１６を安定、かつ強固に位置決め固定すること
ができる。

【００２８】また、係止爪１９は、その角部が全て丸く
面取り成形されているので、係止力の最大時にカバーケ
ース１と擦れることが全くなく、施錠時にパーティクル
汚染の発生するおそれをきわめて有効に除去することが
可能になる。また、表面プレート６のガイドローラ１２
が前後方向に動作してラッチプレート１６のスライドに
応動するので、パーティクル汚染やラッチプレート１６
の損傷のおそれを未然に防止することが可能になる。さ
らに、カバーケース１やカラム等に帯電防止処理を施し
たので、静電気に伴う塵芥の付着をきわめて有効に防止
でき、ウェーハの汚染を防止し、生産歩留まりを大幅に
向上させることができる。

【００２９】次に、図７は本発明の第２の実施形態を示
すもので、この場合には、リンク１７の両自由端部に図
の上下方向に伸びる複数の支持軸２４をそれぞれ装着し
て各支持軸２４の自由端部にはローラ２３・２３Ａを軸
支させるようにしている。その他の部分については、上
記実施形態とほぼ同様であるので説明を省略する。本実
施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待
でき、しかも、スリット口２０から離隔して複数のロー
ラ２３・２３Ａが位置するので、スリット口２０の周縁
付近にローラ２３・２３Ａが接触してがたついたり、ふ
らつくことが全くなく、リンク１７の揺動が簡易な構成
で実に安定化する。

【００３０】次に、図８及び図９は本発明の第３の実施
形態を示すもので、この場合には、カバーケース１の係
止凹部４の一内壁面を内方向から外方向に向け徐々に傾
斜させて係止爪１９導入用の傾斜ガイド部２５を形成
し、ラッチプレート１６の係止爪１９に方形の取付孔を
穿孔成形してこの取付孔には回転ローラ２６を軸支させ
るようにしている。その他の部分については、上記実施
形態と同様であるので説明を省略する。本実施形態にお
いても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しか
も、上記構成であるから、摩擦の減少、係止凹部４と係
止爪１９との係止の円滑化、及びラッチ機構１４の構成
の簡素化が大いに期待できるのは明らかである。

【００３１】次に、図１０及び図１１は本発明の第４の
実施形態を示すもので、この場合には、カバーケース１
の係止凹部４の一内壁面を上記と同様に傾斜させて傾斜
ガイド部２５を形成し、ラッチプレート１６の係止爪１
９に傾斜部２７を一体成形するようにしている。その他
の部分については、上記実施形態と同様であるので説明
を省略する。本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、上記構成であるから、
係止凹部４と係止爪１９との係止の円滑化、及びラッチ
機構１４の構成の簡素化が大いに期待できるのは明白で
ある。

【００３２】なお、上記実施形態ではリム部２の内周面
の上下に係止凹部４を所定の間隔をおいてそれぞれ凹み
成形したものを示したが、なんらこれに限定されるもの
ではなく、リム部２の内周面の左右に係止凹部４を所定
の間隔をおいてそれぞれ凹み成形しても良い。また、係
止凹部４、ラッチプレート１６、又は係止爪１９の形
状、構造、又は数は適宜増減変更することができる。ま
た、同様の機能が期待できるものであれば、支持軸２４
の一部を屈曲させたり、湾曲させても良い。さらに、係
止凹部４の図における上下の内壁面を内方向から外方向
に向け徐々に傾斜させて傾斜ガイド部２５を形成するこ
とも可能である。

【００３３】

【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、ドア部品の薄肉化を図ることができ、精密基板を汚
染する粒子の発生するおそれを有効に排除することがで
きるという効果がある。また、ケースを均一にシールす
ることができる。また、請求項２記載の発明によれば、
凹部と凸部とが施錠時に嵌合するので、スライドプレー
トを安定させた状態で位置決め固定することが可能にな
る。また、請求項３記載の発明によれば、押圧部材の貫
通部分から離れて回転部材がスライドプレートに接触す
るので、簡単な構成で押圧部材の姿勢の安定化が期待で
きる。さらに、請求項４記載の発明によれば、係止凹部
と係止爪との係止の円滑化が期待でき、しかも、これら
の摩擦を減少させてパーティクルの発生を抑制すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態を示す分解斜視図である。

【図２】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態を示す正面図である。

【図３】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態における解錠状態を示す図２のＡ−Ａ線断面側
面図である。

【図４】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態における施錠状態を示す図２のＡ−Ａ線断面側
面図である。

【図５】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態におけるラッチプレートとリンクとを示す部分
正面図である。

【図６】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
実施形態における係止爪を示す図２のＢ−Ｂ線断面図で
ある。

【図７】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
他の実施形態におけるラッチプレートとリンクとを示す
部分正面図である。

【図８】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構の
他の実施形態におけるラッチプレートと係止爪とを示す
説明図である。

【図９】図９の使用状態を示す説明図である。

【図１０】本発明に係る精密基板容器のドアラッチ機構
の他の実施形態におけるラッチプレートと係止爪とを示
す説明図である。

【図１１】図１０の使用状態を示す説明図である。

【図１２】従来の精密基板容器のドアラッチ機構を示す
正面図である。

【図１３】従来の精密基板容器のドアラッチ機構におけ
る回転カムを示す斜視図である。

【符号の説明】

１カバーケース（ケース）２リム部４係止凹部５ドア６表面プレート（表面側）７裏面プレート８中空部９ウインド１１嵌合ローラ（凸部）１４ラッチ機構１５回転プレート１６ラッチプレート（スライドプレート）１７リンク（押圧部材）１８連結棒（連結部材）１９係止爪２０スリット口２１嵌合凹部（凹部）２２揺動誘起突起（回転誘起部材）２３ローラ（回転部材）２３Ａローラ（回転部材）２４支持軸２５傾斜ガイド部２６回転ローラ（回転部材）２７傾斜部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】精密基板収納用のケースと、このケース
の開口面を覆うドアと、このドアに取り付けられたラッ
チ機構とを含んでなる精密基板容器のドアラッチ機構で
あって、上記ケースの開口周縁部に係止凹部を設け、上記ドアに
中空部を設けるとともに、該ドアの周面には該中空部に
連なるウインドを設け、上記ラッチ機構は、該ドアの表面側に外部操作可能に取
り付けられた回転プレートと、該ドアの中空部に内蔵さ
れて該回転プレートに連結部材を介して連結され、該回
転プレートの施錠回転時に上記係止凹部に係止爪を上記
ウインドを介し嵌め入れ、該回転プレートの解錠回転時
には該係止凹部から該係止爪を解除するスライドプレー
トと、このスライドプレートを貫通する断面ほぼＶ字状
の押圧部材とを含み、該スライドプレートの裏面に回転
誘起部材を設け、該押圧部材の折曲部付近を上記ドアの
表面側に回転可能に取り付け、該押圧部材の両自由端部
を上記スライドプレートの裏面に接触可能とするととも
に、上記回転誘起部材と該押圧部材の一自由端部とを接
触可能としたことを特徴とする精密基板容器のドアラッ
チ機構。
【請求項２】上記ドアと上記スライドプレートとのい
ずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ設け、こ
れら凹部と凸部とを上記回転誘起部材と上記押圧部材の
一自由端部との接触後に嵌合させる請求項１記載の精密
基板容器のドアラッチ機構。
【請求項３】上記押圧部材の両自由端部に支持軸をそ
れぞれ設けてその自由端部には回転部材を支持させた請
求項１又は２記載の精密基板容器のドアラッチ機構。
【請求項４】上記ケースの係止凹部に傾斜ガイド部を
設け、上記スライドプレートの係止爪に回転部材と傾斜
部のいずれか一方を設けた請求項１ないし３記載の精密
基板容器のドアラッチ機構。