JP2017050323A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1に開示された基板収納容器は、容器本体の両側壁と底壁にそれぞれ間隔を開けて保持溝を形成し、両側壁と底壁の3箇所の保持溝に基板を支持させて収納し、容器本体の開口部を蓋体で覆って密閉するようにしている。
このため、基板と保持溝とが擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板への汚染等の問題がある。
一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され1枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を固定可能に構成されている、
ことを特徴とする。
ことが好ましい。
ことが好ましい。
ことが好ましい。
本発明の基板収納容器1は、一端に開口部11を有し、内部に間隔を開けて基板Wが収納される容器本体10と、開口部11を塞ぐ蓋体20と、を備える基板収納容器1であって、容器本体10は、基板Wの両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝12と、開口部11と対向する底板部に基板Wが装着され1枚の基板Wに対して少なくとも中央部の押さえ溝13、及び前記中央部の両側で押さえる押さえ溝14,14と、を有し、中央部の押さえ溝13と両側の押さえ溝14,14とで基板Wの面に交差する方向に位置をずらして基板Wを固定可能に構成される。
これにより、基板Wを、中央部の押さえ溝13と、その両側の押さえ溝14,14とに装着すると、中央部の押さえ溝13と、その両側の押さえ溝14,14とが基板Wの面に交差する方向にずらしてあるので、基板Wの表面と裏面とが少なくとも3箇所で接して押えられ、基板Wの動きが防止される。
なお、以下の説明では、容器本体10について説明し、上下が反転している蓋体20についての説明は、省略する。
容器本体10は、図1(b)に示すように、中空円筒体の円筒面を中心で2つ割りにした略半円筒状とされ、開口部11が矩形とされて上方に開口している。
容器本体10は、平面状の底板部15と、底板部15の両端に連続して立ち上がる曲面と上端部の垂直面との左右壁部16と、底板部15と左右壁部16の両側を塞ぐ底部が水平な直線状で両側に円弧状と垂直な直線状とで略半円形状の前後壁部17と、を備えて構成されている。
これにより、基板収納容器1は、容器本体10の開口部11に蓋体20を被せた状態では、図2に示すように、上下・左右が平面で、これらの間が曲面で構成された略正方形の4隅を円弧とした横断面の外形となっている。
容器本体10には、前後壁部17と平行に基板Wが、間隔を開けて収納される。基板Wの面と交差する方向、例えば直交する方向が左右壁部16と平行な方向となる。
左右壁部16は、左壁部16と右壁部16の間隔(幅)が、収納する基板Wの大きさ(直径)、例えば5インチ、6インチ、8インチ、12インチ等のサイズに合わせてあり、基板Wの直径よりわずかに(例えば、直径より1〜2mm程度)大きくしてある。前後壁部17の間隔は、収納する基板Wの枚数に応じて設定してあり、例えば図示例では、13枚の基板Wを収納できるようにしてある。
左右壁部16の内側には、左右に対向して基板Wをガイドするガイド溝12が前後に所定の間隔で一体に形成されている。ガイド溝12は、左右に対向するガイド溝12で基板Wの両側縁部をガイドできる深さ(左右壁部l6からのガイド板12aの突出し量)のガイド板12aとされ、図示例のように、基板Wにダイシングフレームを備え得る場合には、ダイシングフレーム部分をガイドするように設定し、ダイシングフレームを備えない場合には、基板Wの両側縁部をガイドするように設定される。
ガイド溝12の前後の間隔は、図3に示すように、ガイド板12aを所定の間隔、例えば基板Wの収納および取り出しが円滑にできる間隔で設けられ、隣接するガイド板12a,12aの間がガイド溝12を構成する。
中央部の押さえ溝13は、例えば2列の押さえ溝13で構成され、各押さえ溝13aがガイド溝12の前後方向の間隔に合わせて収納すべき基板Wの枚数分だけ形成してある。各押さえ溝13aは、略V字状のガイド面13bと、ガイド面13bにつながる底部の矩形の装着溝13cとからなる略Y字状の溝形状に形成してある。これにより、基板Wを収納する場合には、略V字状のガイド面13bに基板Wが当たってガイドされ、装着溝13cに装着されることになる。中央部の2列の押さえ溝13の装着溝13cは、前後方向の同一位置、前後壁部17と平行に形成してある。
両側の押さえ溝14は、中央部の2列の押さえ溝13の両側に、それぞれ1列ずつ配置されて底板部15(容器本体10)と一体に形成されている。
両側の押さえ溝14の各押さえ溝14aは、中央部の押さえ溝13と同一形状とされ、ガイド面14bがV字状に形成され、ガイド面14bにつながる装着溝14cによって略Y字状に形成されている。各押さえ溝14aは、収納すべき基板Wの枚数に応じた個数が1列に形成されている。
これにより、基板Wは、2箇所の中央部の押さえ溝13に紙面手前側の表面が装着溝13cに接触し、両側の押さえ溝14に紙面奥側の表面が接触し、基板Wの表面と裏面とが4箇所で装着溝13c,14cに接して押えられ、基板Wの動きが完全に防止される。
また、基板収納容器1では、蓋体20が容器本体10と同一形状としてあるので、収納された基板Wは、上下各4箇所、合計8箇所で装着溝13c,14cに接して押えられることになる。
なお、中央部の押さえ溝13を2列とし、両側の押さえ溝14を1列ずつとしたが、それぞれの押さえ溝13,14は、少なくとも1列あれば良く、さらに複数列とするようにしても良い。
シール用凸部11aは、矩形の開口部11の前後壁部17の角部から中央までの対角位置(矩形の開口部11の対角線の交点を中心とした対角位置)と、左右壁部16の一方に形成されている。矩形の開口部11のシール用凸部11a以外の前後壁部17の角部から中央部までの対角位置と、左右壁部16の他方にシール用凹部11bが形成されている。
これにより、容器本体10の開口部11に、蓋体20を上下及び左右に反転させて開口部11同士を合わせるようにし、シール用凸部11aをシール用凹部11bに挿し込むように嵌合することで、密封状態にすることができるようにしてある。
なお、シール用凹部11bには、必要に応じてシール用のゴムパッキン等が装着される。
これにより、容器本体10に収納された基板Wを蓋体20の対応するガイド溝12に導くことができ、蓋体20の位置を再調整する必要がなく、一度の操作で所定の位置に被せることができる。
ロック孔19aは、図1に示すように、矩形の貫通孔をガイドプレート18aに形成して構成される。係止突起19bは、開口部11側が傾斜面とされて下端部が水平面とされた直角三角形状に形成されて構成される。
これにより、容器本体10に蓋体20を被せるようにすると、ガイド部材18の上端部の外側に曲げられた部分が係止突起19bの傾斜面に沿って下降し、容器本体10に蓋体20が嵌合される状態まで下降すると、ガイド部材18のロック孔19aが係止突起19bの傾斜面を乗り越えて下端の水平面に係止され、ロック状態となる。
ロックの解除は、ガイド部材18の上端部の外側に曲げられた端部をさらに外側に押し戻すようにして係止突起19bから引き上げるようにして行う。
基板Wを収納する場合に、1対の容器本体10と蓋体20のいずれか1方に収納しても他方を蓋体として密封することができ、基板Wの収納を容易に行うことができる。
また、ガイド部材やロック機構は、上記実施の形態に限定するものではなく、蓋体を容器本体にガイドできれば良く、また、蓋体を密閉状態に保持できればどのような構成であっても良い。例えば、容器本体10や蓋体20における左右壁部16の内部、或いは前後壁部17の内部に適宜ガイド部を設け、容器本体10に蓋体20が被せ易くしてもよい。
さらに、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
10 容器本体
11 開口部
11a シール用凸部
11b シール用凹部
12 ガイド溝
12a ガイド板
13 中央部の押さえ溝
13a 各押さえ溝
13b ガイド面
13c 装着溝
14 両側の押さえ溝
14a 各押さえ溝
14b ガイド面
14c 装着溝
15 底板部
16 左右壁部
17 前後壁部
18 ガイド部材
18a ガイドプレート
19 ロック機構
19a ロック孔
19b 係止突起
20 蓋体
W 基板
Claims (4)
- 一端に開口部を有し、内部に間隔を開けて基板が収納される容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記基板の両側縁部が摺接されて収納・取り出しをガイドするガイド溝と、前記開口部と対向する底板部に前記基板が装着され1枚の前記基板に対して少なくとも中央部の押さえ溝、及び前記中央部を挟む両側で押さえる押さえ溝と、を有し、
中央部の前記押さえ溝と、中央部を挟む両側の前記押さえ溝とで前記基板の面に交差する方向に位置をずらして前記基板を固定可能に構成されている、
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記中央部の前記押さえ溝と、前記中央部を挟む両側の押さえ溝は、前記基板をガイドする略V字状のガイド面と、前記ガイド面につながり前記基板を支持する装着溝と、からなる略Y字状に構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記基板収納容器は、前記容器本体と、前記蓋体とが中央部で開閉される同一形状で構成されている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の基板収納容器。 - 前記容器本体と前記蓋体とは、互いを開閉位置にガイドするガイド部材が設けられていると共に、
前記ガイド部材は、前記容器本体と前記蓋体との閉鎖状態を保持するロック機構が設けられている、
ことを特徴とする請求項3に記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
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JP2015170452A JP6581441B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | 基板収納容器 |
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JPS62122980A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-06-04 | バスフ アクチェン ゲゼルシャフト | 多数の板状対象物を収納するための容器 |
JPH0714650U (ja) * | 1993-08-09 | 1995-03-10 | 小松化成株式会社 | 半導体ウェーハ搬送用容器 |
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JP2012004380A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
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2015
- 2015-08-31 JP JP2015170452A patent/JP6581441B2/ja active Active
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