JP5361805B2 - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5361805B2 JP5361805B2 JP2010135738A JP2010135738A JP5361805B2 JP 5361805 B2 JP5361805 B2 JP 5361805B2 JP 2010135738 A JP2010135738 A JP 2010135738A JP 2010135738 A JP2010135738 A JP 2010135738A JP 5361805 B2 JP5361805 B2 JP 5361805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- container body
- substrate
- column
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成してその天板と底板とには、支持体用の取付突起をそれぞれ設け、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向する前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、前部支柱の上下部に、容器本体の取付突起に干渉する位置決め干渉片をそれぞれ形成し、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画し、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割したことを特徴としている。
また、容器本体の背面壁側部を内方向に凹ませることにより突部を形成してその表面には支持体用の嵌合突起を形成し、支持体の後部支柱を容器本体の背面壁の突部に対向させ、この後部支柱には、突部の嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成することができる。
また、容器本体の側壁内面に、支持体用の嵌合片を容器本体の正面方向に向けて形成し、支持体の後部支柱に、突部の表面に接触する突片を形成し、後部支持片は、容器本体の嵌合片に嵌まる嵌合ブロックを形成することが可能である。
また、支持体の前部支持片に、基板の側部周縁を略水平に支持する接触***部を形成し、この接触***部の前方には、基板の前方への飛び出しを規制する段差***部を隣接させ、後部支持片に、後部支柱の規制面の前方に位置して基板の側部周縁を略水平に支持する接触***部を形成すると良い。
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成し、この容器本体の側壁内面に、支持体を前後方向に位置決めするレールリブを形成してその高さを容器本体の正面から背面壁方向に向かうにしたがい徐々に低くするとともに、容器本体の側壁内面に支持体用の抜け止めストッパを形成し、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向してレールリブと抜け止めストッパとに挟み持たれる前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画するとともに、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割しても良い。
また、請求項3記載の発明によれば、容器本体内の気体と外部の気体とを短時間で効率的に置換することができる。
また、請求項5記載の発明によれば、支持体の前部支柱を高精度に位置決めし、かつ強固に固定することが可能になる。
また、請求項7記載の発明によれば、容器本体に対する基板の過剰な挿入や収納を防ぐことが可能になる。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、湾曲突部13の平坦面14に嵌合突起15を形成することができない場合にも、支持体50を容易に装着することができるのは明白である。
2 正面
3 底板
4 取付突起
5 リブ板
6 隙間
8 天板
10 リムフランジ
12 背面壁(周壁)
13 湾曲突部(突部)
14 平坦面
15 嵌合突起
16 位置決めリブ
17 交差リブ
18 側面
19 リアリテーナ
22 側壁(周壁)
23 レールリブ
24 抜け止めストッパ
30 蓋体
32 フロントリテーナ
42 施錠機構
50 支持体
51 前部支柱
52 位置決め干渉片
53 切り欠き
54 後部支柱
55 規制面
56 V溝
57 平坦面
58 位置決め嵌合溝
59 位置決め溝
60 交差溝
61 中間支柱
62 支持片
63 空隙
64 前部支持片
65 後部支持片
67 接触***部
68 段差***部
69 包囲片
70 接触***部
80 給気バルブ
81 排気バルブ
83 流出口
84 嵌合片
85 突片
86 嵌合ブロック
Claims (8)
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の内部側方に取り付けられて基板を支持する支持体とを備えた基板収納容器であって、
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成してその天板と底板とには、支持体用の取付突起をそれぞれ設け、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向する前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、前部支柱の上下部に、容器本体の取付突起に干渉する位置決め干渉片をそれぞれ形成し、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画し、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割したことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の背面壁側部を内方向に凹ませることにより突部を形成してその表面には支持体用の嵌合突起を形成し、支持体の後部支柱を容器本体の背面壁の突部に対向させ、この後部支柱には、突部の嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成した請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の底板に、容器本体の外部から内部に気体を供給する給気バルブと、容器本体の内部から外部に気体を排気する排気バルブとをそれぞれ取り付け、給気バルブを容器本体の背面壁と側壁、及び支持体の間に位置させ、支持体の後部支持片に、給気バルブの気体を整流する包囲片を容器本体の側壁方向に向けて設けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 支持体の後部支柱、後部支持片、あるいは後部支柱と後部支持片との間に、給気バルブの気体を基板方向に流出させる流出口を設けた請求項3記載の基板収納容器。
- 容器本体の側壁内面に、支持体を前後方向に位置決めするレールリブを形成してその高さを容器本体の正面から背面壁方向に向かうにしたがい徐々に低くし、容器本体の側壁内面に、支持体の前部支柱に干渉する支持体用の抜け止めストッパを形成し、この抜け止めストッパとレールリブとに支持体の前部支柱を挟み持たせるようにした請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器。
- 容器本体の突部表面と支持体の後部支柱との対向部をそれぞれ平坦面に形成し、嵌合突起を、突部の平坦面に形成されて上下方向に伸びる位置決めリブと、この位置決めリブに交差して形成される交差リブとから形成し、支持体の位置決め嵌合溝を、後部支柱の平坦面に形成されて突部の位置決めリブに嵌まる位置決め溝と、この位置決め溝に交差して形成され、突部の交差リブに嵌まる交差溝とから形成した請求項2ないし5いずれかに記載の基板収納容器。
- 支持体の後部支柱の前面を容器本体の幅方向に傾けるとともに、この前面に基板の後部周縁を保持する保持溝を形成することにより、基板の収納位置を規制する規制面を形成した請求項1ないし6いずれかに記載の基板収納容器。
- 支持体の前部支持片に、基板の側部周縁を略水平に支持する接触***部を形成し、この接触***部の前方には、基板の前方への飛び出しを規制する段差***部を隣接させ、後部支持片に、後部支柱の規制面の前方に位置して基板の側部周縁を略水平に支持する接触***部を形成した請求項7記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010135738A JP5361805B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010135738A JP5361805B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012004199A JP2012004199A (ja) | 2012-01-05 |
JP5361805B2 true JP5361805B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=45535907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010135738A Active JP5361805B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5361805B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160048655A (ko) * | 2014-10-24 | 2016-05-04 | 램 리써치 코포레이션 | 단일 출구-플로우 방향을 갖는 버퍼 스테이션 |
TWI673219B (zh) * | 2017-11-08 | 2019-10-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 晶圓容器及固持晶圓的方法 |
US10847395B2 (en) | 2015-12-24 | 2020-11-24 | Pico & Tera Co., Ltd. | Wafer storage container |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101408669B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-07-02 | 주식회사 삼에스코리아 | 박판 수납용기 |
TWM489155U (en) * | 2014-06-09 | 2014-11-01 | Gudeng Precision Industrial Co Ltd | Gas diffusion device of wafer pod |
KR101670383B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2016-10-28 | 우범제 | 퍼지가스 분사 플레이트 및 이를 구비한 퓸 제거 장치 |
KR101637498B1 (ko) | 2015-03-24 | 2016-07-07 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
KR101722683B1 (ko) | 2015-12-24 | 2017-04-04 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
KR101684431B1 (ko) * | 2016-06-27 | 2016-12-08 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
KR101822554B1 (ko) | 2017-03-22 | 2018-01-26 | 우범제 | 웨이퍼 수납용기 |
KR101922692B1 (ko) * | 2017-03-27 | 2018-11-27 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
TWI689030B (zh) * | 2018-06-14 | 2020-03-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 基板載具 |
KR102283311B1 (ko) | 2019-01-07 | 2021-07-29 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
KR20190006046A (ko) | 2019-01-07 | 2019-01-16 | 피코앤테라(주) | 웨이퍼 수납용기 |
JP7245071B2 (ja) * | 2019-02-21 | 2023-03-23 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 基板支持装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000068363A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板収納・輸送容器 |
JP4334123B2 (ja) * | 2000-09-27 | 2009-09-30 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
JP4030280B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2008-01-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器及びその製造方法 |
JP3960787B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-08-15 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
JP4338617B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-10-07 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
CN102084476B (zh) * | 2008-06-23 | 2013-05-15 | 信越聚合物株式会社 | 支承体及基板收纳容器 |
-
2010
- 2010-06-15 JP JP2010135738A patent/JP5361805B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160048655A (ko) * | 2014-10-24 | 2016-05-04 | 램 리써치 코포레이션 | 단일 출구-플로우 방향을 갖는 버퍼 스테이션 |
KR102433494B1 (ko) | 2014-10-24 | 2022-08-17 | 램 리써치 코포레이션 | 단일 출구-플로우 방향을 갖는 버퍼 스테이션 |
US10847395B2 (en) | 2015-12-24 | 2020-11-24 | Pico & Tera Co., Ltd. | Wafer storage container |
TWI673219B (zh) * | 2017-11-08 | 2019-10-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 晶圓容器及固持晶圓的方法 |
US10811291B2 (en) | 2017-11-08 | 2020-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wafer container and method for holding wafer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012004199A (ja) | 2012-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5361805B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5483351B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5269077B2 (ja) | 支持体及び基板収納容器 | |
KR101511813B1 (ko) | 리테이너 및 기판 수납 용기 | |
JP5715898B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5627509B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5318800B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2005320028A (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP4825241B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2014093381A (ja) | 基板収納容器 | |
JP4965472B2 (ja) | 処理治具用の収納容器 | |
JP6465777B2 (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 | |
JP4921429B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5409343B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP3593122B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
JP6491590B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2011108715A (ja) | 基板収納容器 | |
JP7423429B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6576811B2 (ja) | 基板収納容器 | |
KR101486612B1 (ko) | 기판을 탑재하는 처리 도구용의 수납 케이스 | |
JP2011258624A (ja) | 基板収納容器 | |
JP6581441B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5583058B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4726867B2 (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 | |
JP5279372B2 (ja) | 処理治具用の収納ケース |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5361805 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |