JP2014068009A5

JP2014068009A5 -

Info

Publication number: JP2014068009A5
Application number: JP2013188116A
Authority: JP
Filing date: 2013-09-11
Publication date: 2016-09-23

Claims

システムであって、
少なくとも１つのウエハキャリアから個々のウエハを引き出すよう構成されたフロントエンドロボットと、
前記フロントエンドロボットと動作関係にあるリニアロボットであって、前記リニアロボットは、細長経路に沿ってウエハを移動させるよう構成され、前記細長経路および前記リニアロボットは、前記リニアロボットおよび別のロボットの間でウエハのやり取りが行われる第１、第２、および、第３の位置を規定する、リニアロボットと、
前記第１の位置で前記リニアロボットと動作関係にある第１の処理クラスタと、
を備え、
前記第１の処理クラスタは、
第１の処理チャンバと、
第２の処理チャンバと、
前記第１および第２の処理チャンバの間に配置された第１のクラスタロボットと、を備え、
前記第１のクラスタロボットは、前記リニアロボットから前記第１および第２の処理チャンバにウエハを移送するよう構成されると共に、前記第１および第２の処理チャンバから前記リニアロボットにウエハを移送するよう構成されている、システム。
請求項１に記載のシステムであって、さらに、
前記第２の位置で前記リニアロボットと動作関係にある第２の処理クラスタを備え、
前記第２の処理クラスタは、
第３の処理チャンバと、
第４の処理チャンバと、
前記第３および第４の処理チャンバの間に配置された第２のクラスタロボットと、を備え、
前記第２のクラスタロボットは、前記リニアロボットから前記第３および第４の処理チャンバにウエハを移送するよう構成されると共に、前記第３および第４の処理チャンバから前記リニアロボットにウエハを移送するよう構成されている、システム。
請求項２に記載のシステムであって、さらに、
前記第３の位置で前記リニアロボットと動作関係にある第３の処理クラスタを備え、
前記第２の処理クラスタは、
第５の処理チャンバと、
第６の処理チャンバと、
前記第５および第６の処理チャンバの間に配置された第３のクラスタロボットと、を備え、
前記第３のクラスタロボットは、前記リニアロボットから前記第５および第６の処理チャンバにウエハを移送するよう構成されると共に、前記第５および第６の処理チャンバから前記リニアロボットにウエハを移送するよう構成されている、システム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記第１の処理クラスタは、さらに、
前記第１のクラスタロボットと動作関係にある緩衝領域を備え、
前記第１のクラスタロボットは、さらに、前記リニアロボットから前記緩衝領域にウエハを移送すること；前記緩衝領域から前記リニアロボットにウエハを移送すること；前記緩衝領域から前記第１の処理チャンバにウエハを移送すること；前記第１の処理チャンバから前記緩衝領域にウエハを移送すること；前記緩衝領域から前記第２の処理チャンバにウエハを移送すること；および、前記第２の処理チャンバから前記緩衝領域にウエハを移送すること、からなる群より選択された少なくとも１つを実行するよう構成されている、システム。
請求項４に記載のシステムであって、
前記緩衝領域は、さらに、少なくとも２つのウエハを収容するよう構成されたラック部
材を備える、システム。
請求項１に記載のシステムであって、さらに、
内部空間を備えた移送チャンバであって、前記内部空間は、前記細長経路を規定し、前記移送チャンバは、前記内部空間内で大気圧未満の圧力で作動されるよう設計され、前記リニアロボットの少なくとも一部が前記移送チャンバ内に存在する、移送チャンバと、
前記移送チャンバ内に規定された第１の開口部と動作関係にある第１のドアであって、前記第１のドアおよび第１の開口部は前記第１の位置を規定する、第１のドアと、
前記移送チャンバ内に規定された第２の開口部と動作関係にある第２のドアであって、前記第２のドアおよび第２の開口部は前記第２の位置を規定する、第２のドアと、
前記移送チャンバ内に規定された第３の開口部と動作関係にある第３のドアであって、前記第３のドアおよび第３の開口部は前記第３の位置を規定する、第３のドアと、
を備える、システム。
請求項６に記載のシステムであって、
前記移送チャンバは、さらに、
第１の側壁と、
前記第１の側壁に平行な第２の側壁と、
前記第１および第２の側壁の両方に直交する端壁と、
を備え、
前記第１のドアおよび第１の開口部は、前記第１の側壁に規定され、
前記第２のドアおよび第２の開口部は、前記第２の側壁に規定され、
前記第３のドアおよび第３の開口部は、前記端壁に規定される、システム。
請求項６に記載のシステムであって、
前記移送チャンバは、さらに、
第１の側壁と、
前記第１の側壁に平行な第２の側壁と、
前記第１および第２の側壁の両方に直交する端壁と、
を備え、
前記第１のドアおよび第１の開口部は、前記端壁から第１の距離で前記第１の側壁に規定され、
前記第２のドアおよび第２の開口部は、前記端壁から第２の距離で前記第１の側壁に規定され、
前記第３のドアおよび第３の開口部は、前記第２の側壁に規定される、システム。
請求項６に記載のシステムであって、さらに、
大気圧未満の圧力で作動されるよう設計された内部空間を備えたクラスタチャンバを備え、
前記クラスタチャンバは、前記第１のドアおよび第１の開口部によって前記移送チャンバの前記内部空間と選択的に流体接続され、
前記第１のクラスタロボットは、少なくとも部分的に前記クラスタチャンバ内に配置されている、システム。
請求項１に記載のシステムであって、
前記細長経路は、大気圧で作動されるよう設計されている、システム。
方法であって、
半導体処理装置を設置する工程であって、前記半導体処理装置は、少なくとも２つの処理チャンバと、前記少なくとも２つの処理チャンバの間に配置された第１のクラスタロボットとを備えた第１の処理クラスタを備え、前記第１の処理クラスタは、リニアロボットと動作可能に結合されている、工程と、
前記リニアロボットによって前記第１の処理クラスタにウエハを移送する工程と、
第２の処理クラスタを前記半導体処理装置と動作関係になるように配置する工程であって、前記第２の処理クラスタは、少なくとも２つの処理チャンバと、前記第２の処理クラスタの前記少なくとも２つの処理チャンバの間に配置された第２のクラスタロボットとを備え、前記第２の処理クラスタは、前記リニアロボットに動作可能に結合されている、工程と、
前記リニアロボットによって前記第１および第２の処理クラスタの両方にウエハを移送する工程と、
を備える、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
ウエハを移送する工程は、さらに、真空チャンバ内に少なくとも一部が配置された前記リニアロボットによって移送する工程を含む、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
ウエハを移送する工程は、さらに、前記リニアロボットによって経路に沿ってウエハを移送する工程を含み、
前記経路は、大気圧である、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
設置する工程は、さらに、２つのエッチングチャンバを規定する前記第１の処理クラスタを備える前記半導体処理装置を設置する工程を含む、方法。
請求項１４に記載の方法であって、
前記第２の処理クラスタを配置する工程は、さらに、少なくとも２つの洗浄チャンバのみを備える前記第２の処理クラスタを動作関係になるよう配置する工程を含む、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
設置する工程は、さらに、２つの蒸着チャンバを規定する前記第１の処理クラスタを備える前記半導体処理装置を設置する工程を含む、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
前記第１および第２の処理クラスタの両方にウエハを移送する工程は、さらに、
前記リニアロボットによって前記第１のクラスタロボットの近くにウエハを移動させる工程と、
前記第１のクラスタロボットによって、前記リニアロボットから前記ウエハを取り出して、前記第１の処理クラスタの選択された処理チャンバ内に前記ウエハを配置する工程と、
前記第１のクラスタロボットによって、前記選択された処理チャンバから前記ウエハを取り出して、前記リニアロボット上に前記ウエハを配置する工程と、
前記リニアロボットによって前記第２の処理クラスタの近くに前記ウエハを移動させる工程と、
前記第２のクラスタロボットによって、前記リニアロボットから前記ウエハを取り出して、前記第２の処理クラスタの選択された処理チャンバ内に前記ウエハを配置する工程と、
を含む、方法。
請求項１１に記載の方法であって、
前記第１の処理クラスタにウエハを移送する工程は、さらに、
前記リニアロボットによって前記第１のクラスタロボットの近くにウエハを移動させる工程と、
前記第１のクラスタロボットによって、前記リニアロボットから前記ウエハを取り出して、前記処理チャンバの少なくとも１つに前記ウエハを配置する工程と、
を含む、方法。