JP6742860B2 - 振動型アクチュエータ及び電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、動型アクチュエータ及び電子機器に関し、特に、振動型アクチュエータを構成する振動体へ給電を行うと共に振動体を支持する構成に関する。

圧電素子と弾性体とを接合してなる振動体に被駆動体を加圧接触させ、圧電素子への交流電圧の印加によって振動体に振動を励起して被駆動体へ摩擦駆動力を与えることで、振動体と被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータが知られている。振動型アクチュエータの小型化を図るための振動体の支持方法として、振動体への給電を行うフレキシブルプリント基板（以下「ＦＰＣ」という）に振動体を支持する支持機能を持たせる構成が特許文献１に提案されている。

図１０は、特許文献１に記載された振動型アクチュエータを構成する振動体９５０の支持構造を示す平面図である。ＦＰＣ９５２は、ＦＰＣ９５２の長手方向に所定の間隔で設けられた２カ所の固定部９５２ｃにおいて不図示の筐体等に固定される。振動体９５０は、２カ所の固定部９５２ｃの略中央部において、ＦＰＣ９５２に取り付けられている。ＦＰＣ９５２が有する導通部材９５２ｄの延出方向は、２カ所の固定部９５２ｃを結ぶ方向と略平行となっている。

ここで、摩擦駆動力を取り出す振動型アクチュエータにおいて、振動体９５０が小型化され、要求される駆動力が小さくなるにしたがって、振動体９５０と不図示の被駆動体との加圧接触に必要な加圧力は小さくなる。その結果、ＦＰＣ９５２の支持部（２カ所の固定部９５２ｃの間の部分）に必要とされる剛性は小さくなる。また、ＦＰＣ９５２では、固定部９５２ｃから振動体９５０までの距離を短くすることで、振動体９５０と被駆動体とを加圧接触させる加圧力に対するばね定数を大きくすることができる。よって、ＦＰＣ９５２は、金属部材よりも剛性が低いが、十分に振動体９５０を支持する支持部材として機能させることができる。

また、給電部材であるＦＰＣ９５２が支持部材として機能しており、給電部材の他に支持部材を設ける必要がないため、振動型アクチュエータを構成する部品点数を削減することができる。更に、ＦＰＣ９５２の支持部に対して作用する加圧力の作用方向の剛性やこの作用方向と直交する軸の回転方向の剛性は十分に低いため、被駆動体の接触面に対して振動体９５０の接触面の位置が倣うことで、接触面での加圧ムラを小さくすることができる。こうして、不図示の筐体の構造を含めて振動型アクチュエータの小型化を図ることができると共に、振動体９５０を安定して支持することができる。

特開平９−２３３８６８号公報

ＦＰＣ９５２は、主に、樹脂系フィルムからなるベース部材と金属系の導通部材９５２ｄにより構成されており、これら２つの部材の剛性差は大きい。そのため、振動体９５０をＦＰＣ９５２で支持した場合に、振動体９５０に付与される加圧力が原因で導通部材９５２ｄに応力が集中し、導通部材９５２ｄが断線することで給電不良が発生するおそれがある。特に、ＦＰＣ９５２における振動体９５０との接合部と固定部９５２ｃとの間の支持部には応力が集中しやすく、支持部において導通部材９５２ｄに断線が生じるおそれがある。

また、振動体９５０を小型化するにしたがって、振動体９５０の断面２次モーメントは小さくなる。こうして振動体９５０の剛性が小さくなって、銅箔等からなる導通部材９５２ｄの剛性と振動体９５０の剛性とが近づくと、振動体９５０の形状によって決まる振動モードのモード形状や共振周波数に対する導通部材９５２ｄの影響が大きくなる。よって、振動体９５０の駆動に、導通部材９５２ｄの構成を加味する必要が生じる。また、例えば、ＦＰＣ９５２が応力を受けることでＦＰＣ９５２に伸び等の変形が生じると、導通部材９５２ｄも同様に変形してしまうことで、振動体９５０の振動状態も変化してしまい、所望の駆動性能が得られなくなるおそれがある。

本発明は、振動型アクチュエータの駆動に際して給電不良の発生を抑制すると共に安定した駆動特性を得るための技術を提供することを目的とする。

本発明に係る振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子と弾性体を有する振動体と、前記振動体を支持する支持部材と、前記振動体と接触する接触体と、を備え、前記支持部材は、前記振動体と接合される振動部と、導通部材を含み、所定位置に固定される複数の第１固定部と、前記振動部から前記第１固定部に向かう方向とは異なる方向に設けられた複数の第２固定部と、前記振動部と前記複数の第１固定部とを連結する複数の第１支持部と、前記振動部と前記複数の第２固定部とを連結する複数の第２支持部と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、給電不良の発生を抑制することができ、また、安定した振動特性が得られる振動型アクチュエータを提供することができる。

第１実施形態に係る振動型アクチュエータの概略斜視図と、振動型アクチュエータを構成する振動体の概略斜視図である。 第１実施形態に係る振動型アクチュエータの振動体に励起される振動モードと圧電素子の電極構造を説明する図である。 第１実施形態に係る振動型アクチュエータの側面図と裏面図である。 振動型アクチュエータ構成する振動体に励起される別の振動モードを説明する斜視図である。 第２実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す図である。 第３実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す図である。 第４実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す図である。 振動型アクチュエータを備える顕微鏡の外観斜視図である。 振動型アクチュエータを備える撮像装置の概略平面図とブロック図である。 従来の振動体の支持構造を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。最初に本発明の第１実施形態について説明する。図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１０の概略構成を示す斜視図である。図１（ｂ）は、振動型アクチュエータ１０を構成する振動体１１の概略構成を示す斜視図である。振動型アクチュエータ１０は、被駆動体２、振動体１１、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１２及び裏打ち材１３を有する。振動体１１は、弾性体１１ａ、圧電素子１１ｂ及び突起部１１ｃを有する。説明の便宜上、図１に示す互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定める。Ｙ軸方向は、２つの突起部１１ｃを結ぶ方向である。Ｚ軸方向は、突起部１１ｃの突出方向であり、弾性体１１ａ及び圧電素子１１ｂの厚み方向である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の両方向と直交する方向であり、被駆動体２が振動体１１により摩擦駆動されることにより、被駆動体２と振動体１１とが相対的に移動する方向である。

圧電素子１１ｂに対する給電を行う給電部材であるＦＰＣ１２は、Ｚ軸方向において、２層のシート状部材であるベース部材に導通部材１２ｄが狭まれた構造を有している。例えば、ベース部材にはシート状のポリイミドフィルム等の樹脂材料が用いられ、導通部材１２ｄには銅箔等の金属材料が用いられる。ＦＰＣ１２は略十字形状を有しており、ＦＰＣ１２の一方の面におけるＹ軸方向端の２カ所と、Ｘ軸方向端の１カ所と、このＸ軸方向端から所定の間隔を設けた１カ所の合計４カ所には、補強部材である裏打ち材１３が固定されている。ＦＰＣ１２の他方の面のＸ軸方向において２つの裏打ち材１３が固定されている位置の略中央、且つ、Ｙ軸方向において２つの裏打ち材１３が固定されている位置の略中央となる位置には、振動体１１が固定されている。なお、ＦＰＣ１２の構成の詳細については後述する。

振動体１１は、裏打ち材１３を介してＦＰＣ１２が基台３に固定されることにより基台３に支持されている。基台３は、振動型アクチュエータ１０が搭載される不図示の電子機器の筐体等を構成する部品である。このように、振動型アクチュエータ１０では、ＦＰＣ１２は、圧電素子１１ｂに対して給電を行う給電部材としての機能に加えて、振動体１１を支持する支持部材としての機能を兼ね備えている。そのため、振動体１１を支持するための別の部品が不要となることで、部品点数や組立工数を減らすことが可能となる。なお、裏打ち材１３を介してＦＰＣ１２を基台３に固定する方法は、特に限定されるものではなく、接着剤による固定、押さえ板による挟み込み、ボルト締結、カシメ等の周知の方法を用いることができる。

略矩形で平板状の弾性体１１ａには、例えば、マルテンサイト系のステンレス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２等の金属材料が好適に用いられる。弾性体１１ａの一方の面には、電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子１１ｂが接合されている。圧電素子１１ｂにおける弾性体１１ａとの接合面の反対側の面にはＦＰＣ１２が接合されており、こうして振動体１１はＦＰＣ１２に支持されている。『略矩形』とは、実質的に矩形とみなすことができることをいい、部品公差や組立誤差等によって、厳密に矩形状であることを必要としないことをいう。

２つの突起部１１ｃは、弾性体１１ａにおいて圧電素子１１ｂが接合されている面の反対側の面において、Ｙ軸方向に所定の間隔で、圧電素子１１ｂに向かわないＺ軸方向に突出するように設けられている。突起部１１ｃの先端は、被駆動体２と加圧接触する。なお、図１（ａ）には、振動体１１の少なくとも一部を図示するために、便宜上、被駆動体２と突起部１１ｃとを離した状態を示している。突起部１１ｃと被駆動体２を加圧接触させる方法としては、被駆動体２から突起部１１ｃに対して加圧力（弾性力）を与える方法、ＦＰＣ１２から振動体１１を介して被駆動体２に加圧力を与える方法のいずれを用いてもよい。また、被駆動体２と弾性体１１ａとの間に磁気回路を形成し、弾性体１１ａと被駆動体２とを磁力により互いに引き寄せ合わせることで、突起部１１ｃと被駆動体２を加圧接触させることもできる。

突起部１１ｃの先端には、所望の摩擦係数を有し、耐摩耗性に優れた接触部を設けることが望ましい。例えば、突起部１１ｃを曲げ加工により弾性体１１ａと一体的に形成した後、熱処理や表面研磨を施すことにより、所望の摩擦係数と耐摩耗性を備える接触部を形成することができる。なお、突起部１１ｃの形成方法は、特に限定されるものではなく、エッチング加工やメッキ加工による形成方法や、弾性体１１ａとは別部材として準備して弾性体１１ａに溶接等で固定する方法等を用いることができる。弾性体１１ａ、突起部１１ｃ及び接触部を一体的に形成した場合には、これらを別々に形成して接合等する場合に比べて、組立工数を減らすことができ、また、突起部１１ｃの位置合わせを行う必要がなくなることで部品間のばらつきを抑制することができる。

振動型アクチュエータ１０では、振動体１１に２つの曲げ振動モードを所定の位相差で励起することにより、ＺＸ面内で同一方向に軌跡を描く楕円運動を突起部１１ｃの先端（接触部）に生じさせて、被駆動体２を突起部１１ｃにより摩擦駆動する。２つの曲げ振動モードの共振周波数のうち高い方の共振周波数を“ｆａ”とし、２つの曲げ振動モードの共振周波数差を“Δｆ”とする。この場合に、振動体１１の形状は、２つの曲げ振動モードの共振周波数を近付けて、共振周波数差Δｆが所望の値となるように決定される。具体的には、振動体１１の長手方向（Ｙ軸方向）、短手方向（Ｘ軸方向）及び厚み方向（Ｚ軸方向）のそれぞれの寸法設定によって、２つの曲げ振動モードの共振周波数差Δｆを所望の値に近付ける。本実施形態では、振動体１１の形状は、共振周波数差Δｆが“０＜Δｆ＜ｆａ×０．１５”の関係を満たすように形成されている。

図２（ａ）は、振動体１１に励起される２つの曲げ振動モードのうちの１つである第１の曲げ振動モードを説明する斜視図である。第１の曲げ振動モードでは、節線Ｙ１，Ｙ２が生じる。第１の曲げ振動モードは、振動体１１のＸＹ平面に対する面外方向（Ｚ軸方向）の振動であるため、節線Ｙ１，Ｙ２とは、振動体１１において実質的にＺ軸方向の振動変位が生じない部分を指す。２つの突起部１１ｃは、第１の曲げ振動モードで腹となる位置に設けられており、そのため、振動体１１に第１の曲げ振動モードを励起したときに２つの突起部１１ｃの先端には同位相でＺ軸方向に往復運動する振動が生じる。

図２（ｂ）は、振動体１１に励起される２つの曲げ振動モードのうちの１つである第２の曲げ振動モードを説明する斜視図である。第２の曲げ振動モードでは、節線Ｘ１，Ｘ２，Ｙ３が生じる。第２の曲げ振動モードもまた、振動体１１のＸＹ平面に対する面外方向（Ｚ軸方向）の振動であるため、節線Ｘ１，Ｘ２，Ｙ３とは、振動体１１において実質的にＺ軸方向の振動変位が生じない部分を指す。２つの突起部１１ｃは、第２の曲げ振動モードの節線Ｙ３上に設けられており、そのため、振動体１１に第２の曲げ振動モードを励起したときに２つの突起部１１ｃの先端には同位相でＸ軸方向に往復運動する振動が生じる。

図２（ｃ）は、圧電素子１１ｂに設けられた電極パターンの平面図である。圧電素子１１ｂは、圧電セラミックス等からなる略矩形で板状の圧電体の各面に電極が形成され、圧電体が所定の方向に分極されたものであり、電気−機械エネルギ変換素子の一例である。図２（ｃ）に示す電極パターンは、圧電素子１１ｂにおけるＦＰＣ１２との接合面に設けられており、圧電素子１１ｂにおける弾性体１１ａとの接合面には不図示の共通電極（ＧＮＤ電極）が設けられている。

圧電素子１１ｂにおけるＦＰＣ１２との接合面には、第２の曲げ振動モードの振動が励起されたときに生じる節線Ｙ３を境界して、Ｘ軸方向に２分割されたＡ相電極部１１ｂ１とＢ相電極部１１ｂ２が形成されている。また、圧電素子１１ｂにおけるＦＰＣ１２との接合面の略中央部には、ＧＮＤ電極部１１ｂ３が形成されている。ＧＮＤ電極部１１ｂ３は、圧電素子１１ｂにおける弾性体１１ａとの接合面に設けられた共通電極と圧電体をＺ軸方向に貫通する不図示のスルーホールを介して電気的に接続されている。Ａ相電極部１１ｂ１とＢ相電極部１１ｂ２とが設けられている部分の圧電体は、Ｚ軸方向の同じ向きに分極処理されている。なお、圧電素子１１ｂにおける弾性体１１ａとの接合面に形成された共通電極に対する導通は、弾性体１１ａの表面から取り出してもよい。

Ａ相電極部１１ｂ１に印加する交流電圧Ｖ１とＢ相電極部１１ｂ２に印加する交流電圧Ｖ２の電圧値と周波数は同じであるとする。この条件で交流電圧Ｖ１，Ｖ２を同位相として圧電素子１１ｂに入力すると、Ａ相電極部１１ｂ１とＢ相電極部１１ｂ２の各電極領域で生じる伸縮方向は同じ向きとなる。そのため、各電極領域で伸縮方向が同じ向きとなって振動する第１の曲げ振動モードの共振周波数付近に交流電圧Ｖ１，Ｖ２の周波数を近付けることで、振動体１１に第１の曲げ振動モードの振動を励起することができる。また、交流電圧Ｖ１，Ｖ２を逆位相として圧電素子１１ｂに入力すると、Ａ相電極部１１ｂ１とＢ相電極部１１ｂ２の各電極領域で生じる伸縮方向は逆向きとなる。そのため、各電極領域で伸縮方向が逆向きとなって振動する第２の曲げ振動モードの共振周波数付近に交流電圧Ｖ１，Ｖ２の周波数を近付けることで、振動体１１に第２の曲げ振動モードの振動を励起することができる。

振動体１１の形状は、上述の通り、第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードの共振周波数を近付けるように決定されている。そのため、入力電圧と周波数が同じ交流電圧Ｖ１，Ｖ２の位相を、例えば９０°ずらしてＡ相電極部１１ｂ１とびＢ相電極部１１ｂ２に印加すると、第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードの各振動は、位相が９０°ずれて励起される。その結果、突起部１１ｃの先端にＺＸ面内での楕円運動を生じさせることができ、突起部１１ｃの先端と加圧接触している被駆動体２が突起部１１ｃから摩擦駆動力を受ける。これにより、振動体１１と被駆動体２とをＸ軸方向に相対的に移動させることができる。なお、交流電圧Ｖ１，Ｖ２の電圧値や入力位相差を異ならせることで、突起部１１ｃの先端に生じさせる楕円運動の軌道形状を変えることができる。

図３（ａ）は、振動型アクチュエータ１０の側面図である。図３（ｂ）は、振動型アクチュエータ１０をＦＰＣ１２における裏打ち材１３側のベース部材を除去した状態で示す裏面図である。なお、図３（ａ），（ｂ）では、被駆動体２の図示を省略している。２つの突起部１１ｃは、振動体１１の重心を通って加圧方向（Ｚ軸方向）と略平行な軸に対して略回転対称となる位置に配置されている。そのため、振動体１１の重心がＦＰＣ１２により、振動体１１に対して付与される加圧方向と対向するように支持されることで、振動体１１の姿勢を安定させることができる。

ＦＰＣ１２は、５つの部分（領域）に分けることができ、これら５つの部分を説明するための破線が図３（ｂ）に示されている。ＦＰＣ１２は、具体的には、振動部１２ａ、第１固定部１２ｃ１、第２固定部１２ｃ２、第１支持部１２ｂ１及び第２支持部１２ｂ２の５つの部分に分けることができる。振動部１２ａは、ＦＰＣ１２において圧電素子１１ｂと接合されている部分であり、振動体１１と共に振動する。第１固定部１２ｃ１は、ＦＰＣ１２を基台３に裏打ち材１３を介して固定する部位であり、振動体１１を中央に配してＸ軸方向で対向するように２カ所に設けられている。第２固定部１２ｃ２は、ＦＰＣ１２を基台３に裏打ち材１３を介して固定する部位であり、振動体１１を中央に配してＹ軸方向で対向するように２カ所に設けられている。

第１支持部１２ｂ１は、振動部１２ａと２カ所の第１固定部１２ｃ１のそれぞれとを連結する部分であり、第２支持部１２ｂ２は、振動部１２ａと２カ所の第２固定部１２ｃ２のそれぞれとを連結する部分である。２カ所の第１支持部１２ｂ１は、２つの突起部１１ｃと同様に、振動体１１の重心を通るＺ軸と平行な軸に対して略回転対称に配置されている。また、２カ所の第２支持部１２ｂ２も、振動体１１の重心を通るＺ軸と平行な軸に対して略回転対称に配置されている。こうして、振動体１１に付与される加圧力に対する反力を２カ所の第１支持部１２ｂ１と２カ所の第２支持部１２ｂ２の合計４カ所で均等に受けてＦＰＣ１２の重心が支持されることで、結果的に振動体１１も重心で支持されて姿勢が安定する。

ＦＰＣ１２の導通部材１２ｄは、給電機能を有する配線部とＧＮＤ機能を有する配線部に分けられる。具体的には、導通部材１２ｄは、圧電素子１１ｂのＡ相電極部１１ｂ１に接続される第１給電配線部１２ｄ１と、Ｂ相電極部１１ｂ２に接続される第２給電配線部１２ｄ２と、ＧＮＤ電極部１１ｂ３に接続されるＧＮＤ配線部１２ｄ３に分けられる。第１給電配線部１２ｄ１、第２給電配線部１２ｄ２及びＧＮＤ配線部１２ｄ３はそれぞれ、給電用回路基板（不図示）に接続される端子（不図示）から（図３（ｂ）の左側から）振動部１２ａに向かって延出している。また、第１給電配線部１２ｄ１、第２給電配線部１２ｄ２及びＧＮＤ配線部１２ｄ３は、２つの第１固定部１２ｃ１の間において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれについて線対称的な形状を有している。

ここで、Ｚ軸方向からＸＹ面を見たときの振動部１２ａでの導通部材１２ｄの形状の対称性と、振動部１２ａから延出している第１支持部１２ｂ１上での導通部材１２ｄの形状の対称性が重要となる。すなわち、従来の振動体の形状はＦＰＣに対して十分に大きかったため、振動体の振動特性（振動型アクチュエータにおける駆動特性）にＦＰＣが与える影響を無視することができた。しかし、振動体を小型化していくと、振動体の剛性が小さくなるため、ＦＰＣを構成するベース部材（フィルム）の剛性を無視することはできるが、銅箔等の配線（導通部材）と振動体の剛性の差が小さくなる。例えば、ベース部材であるポリイミドフィルムと振動体との剛性の差は非常に大きいため、振動体とポリイミドフィルムの接合部は、振動体にとって実質的に自由端に等しくなる。しかし、剛性の差が小さくなった振動体と導通部材の接合部は、実質的に自由端とみなすことができなくなり、振動体に振動を励起したときに振動エネルギの一部が接合部を透過するようになる。よって、振動型アクチュエータ１０でも、小型化によって、モード形状や共振周波数を決める振動体１１の形状に対する、導通部材１２ｄにおいて振動部１２ａから延出する部分の影響が大きくなる。

このような理由から、振動体１１の小型化に伴って第１支持部１２ｂ１での導通部材１２ｄを振動体１１の一部とみなす必要が生じる。そこで、第１支持部１２ｂ１に振動体１１と同様の形状の対称性を持たせる観点から、上述の通りに２つの第１固定部１２ｃ１の間においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれについて線対称的な形状を有する導通部材１２ｄを設けている。これにより、振動体１１に所望の曲げ振動モードの振動を励起させることができる。

ところで、従来技術として説明した特許文献１に記載の振動型アクチュエータでは、ＦＰＣ９５２の支持部（２カ所の固定部９５２ｃ間）が一方向にしか存在しない。この場合、振動体９５０に対してその厚み方向（図１０の紙面と直交する方向）に加圧力を加えると、この加圧力を支持部のみで受けることになる。そして、ＦＰＣ９５２の支持部を構成する樹脂系材料と金属系の導通部材９５２ｄでは剛性の差が十分大きいため、振動体９５０が加圧力を受ける際にＦＰＣ９５２に生じる応力は、剛性の高い導通部材９５２ｄに集中する。その結果、ＦＰＣ９５２の導通部材９５２ｄは支持部において断線し、振動体９５０を構成する圧電素子への給電不良が発生するおそれがある。また、振動体９５０へ付与される加圧力によって、ＦＰＣ９５２が伸びて塑性変形することがあり、その際に導通部材９５２ｄにも伸び変形が生じる。その結果、導通部材９５２ｄを含めたみなしの振動体９５０の形状が変化してしまうことで、所望の振動状態が得られなくなる。

これに対して本実施形態では、矩形形状を有する振動体１１は、ＸＹ平面において直交する２本の対称軸（Ｘ軸、Ｙ軸）を有する対称性を備えており、第１支持部１２ｂ１における導通部材１２ｄも２本の対称軸を有する対称性を備えている。ＦＰＣ１２は、導通部材１２ｄの延出方向と略直交するＹ軸方向に設けられた２カ所の第２固定部１２ｃ２と振動部１２ａを接続する２カ所の第２支持部１２ｂ２を有し、振動体１１に付与される加圧力を２カ所の第２支持部１２ｂ２で受ける構成となっている。よって、２カ所の第２支持部１２ｂ２により、２カ所の第１支持部１２ｂ１に掛かる負荷を低減することができ、これにより、導通部材１２ｄの断線や伸び変形を防止することができる。

また、図３（ｂ）に示すように、第１支持部１２ｂ１のＸ軸方向長さ（振動部１２ａから第１固定部１２ｃ１までの距離）をＬ１、第２支持部１２ｂ２のＹ軸方向長さ（振動部１２ａから第２固定部１２ｃ２までの距離）をＬ２とする。本実施形態では、Ｙ軸方向長さＬ２をＸ軸方向長さＬ１よりも十分に短くしているため、第１支持部１２ｂ１のＺ軸方向でのばね定数よりも第２支持部１２ｂ２におけるＺ軸方向のばね定数の方が十分に大きい。つまり、振動体１１に付与される加圧力に起因してＦＰＣ１２に掛かる負荷について、給電に関与しない第２支持部１２ｂ２へ掛かる負荷を大きくして、第１支持部１２ｂ１に掛かる負荷を低減する。これにより、第１支持部１２ｂ１での導通部材１２ｄの断線をより効果的に防止することができる。なお、第２支持部１２ｂ２のばね定数を大きくするために金属配線（金属箔、金属線）等の剛性の大きい材料を用いる（ＦＰＣ１２のベース部材間に挟持させる）場合には、その材料が第２支持部１２ｂ２と振動部１２ａの間で繋がっていないことが望ましい。これは、金属配線が振動部１２ａと第２支持部１２ｂ２上で繋がることで振動体１１のみなし形状が変化してしまい、所望の振動状態が得られなくなる可能性が生じるからである。

以上の説明の通り、振動型アクチュエータ１０では、支持機能を兼ね備えた給電部材であるＦＰＣ１２において、第１固定部１２ｃ１及び第１支持部１２ｂ１が配置される方向と異なる方向に第２固定部１２ｃ２及び第２支持部１２ｂ２を設ける。つまり、振動体１１を複数の異なる方向で支持することにより、給電不良の発生を回避することができると共に振動体１１の振動特性を安定させることができ、更に小型化や低コスト化を実現することができる。また、第１固定部１２ｃ１及び第２固定部１２ｃ２に、第１支持部１２ｂ１及び第２支持部１２ｂ２に比べて十分剛性の高い裏打ち材１３を設けることで、導通部材１２ｄを伝達する振動を第１固定部１２ｃ１と第２固定部１２ｃ２で遮蔽することができる。これにより、ＦＰＣ１２の固定方法によらずに振動伝達を遮蔽することが可能になることで、振動体１１の振動状態をより安定化させることができる。

なお、振動部１２ａにおける導通部材１２ｄは、振動体１１と一体となるため、第１支持部１２ｂ１における導通部材１２ｄよりも、振動体１１の振動状態へ与える影響は小さい。しかし、振動体１１の２本の対称軸のそれぞれについて、振動部１２ａにおける配線形状も線対称であることが望ましい。そのため、振動部１２ａでは、圧電素子１１ｂのＡ相電極部１１ｂ１、Ｂ相電極部１１ｂ２及びＧＮＤ電極部１１ｂ３に対して導通させたい部分だけで導通部材１２ｄが接触するようにＦＰＣ１２のベース部材を開口させる。これにより、配線形状の対称性を維持しながら、短絡を回避した給電が可能となる。また、第１支持部１２ｂ１と第２支持部１２ｂ２において、ＦＰＣ１２を構成するベース部材の剛性差は小さいため、導通部材１２ｄからベース部材への振動伝達により振動体１１の振動状態が変化することが考えられる。そこで、第１支持部１２ｂ１及び第２支持部１２ｂ２におけるＦＰＣ１２のベース部材の形状についても、振動体１１の形状が有する対称性と同様の対称性を有することが望ましい。

本実施形態では、圧電素子１１ｂのＡ相電極部１１ｂ１、Ｂ相電極部１１ｂ２及びＧＮＤ電極部１１ｂ３に交流電圧を印加して第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードの振動を励起する構成について説明した。しかし、これに限られず、フローティング駆動等で振動体１１に振動を励起させる振動モードを用いる場合には、圧電素子１１ｂには、ＧＮＤ電極部１１ｂ３を必ずしも設けなくてもよい。また、第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードの組み合わせ以外の振動モードを用いて、突起部１１ｃの先端に楕円運動を生じさせてもよく、第３の曲げ振動モードと第４の曲げ振動モードの組み合わせについて、以下に説明する。

図４（ａ）は、被駆動体２を摩擦駆動するために振動体５１に励起される第３の曲げ振動モードを説明する斜視図である。また、図４（ｂ）は、第３の曲げ振動モードと同時に振動体５１に励起される第４の曲げ振動モードを説明する斜視図である。第３の曲げ振動モードの振動を振動体５１に励起することにより、突起部５１ｃの先端にはＺ軸方向での振動変位が生じる。また、第４の曲げ振動モードの振動を振動体５１に励起することにより、突起部５１ｃの先端にはＸ軸方向の振動変位が生じる。第３の曲げ振動モードの共振周波数と第４の曲げ振動モードの共振周波数のうち、高い方の共振周波数を“ｆａ´”とし、共振周波数差を“Δｆ´”とする。この場合に、振動体５１の形状は、“０＜Δｆ´＜ｆａ´×０．１５”の関係が満たされるように設計されている。

振動体５１が備える圧電素子に、第３の曲げ振動モードの振動と第４の曲げ振動モードの振動を、例えば、位相を９０度ずらして同時に励起する。これにより、突起部５１ｃの先端（接触部）に、ＺＸ面内での楕円運動を生じさせることができ、不図示の被駆動体２をＸ軸方向に摩擦駆動することで、被駆動体２と振動体５１とをＸ軸方向に相対的に移動させることができる。このとき、ＦＰＣ１２のように振動部、第１固定部、第２固定部、第１支持部、第２支持部に分けられる支持機能を有する給電部材を用いて振動型アクチュエータを構成することで、振動型アクチュエータ１０で得られる効果と同様の効果を得ることができる。

図５は、本発明の第２実施形態に係る振動型アクチュエータ２０の概略構成を示す斜視図である。振動型アクチュエータ２０を構成する振動体２１は、振動型アクチュエータ１０を構成する振動体１１と同じである。よって、振動体２１を構成する弾性体２１ａ、圧電素子２１ｂ及び突起部２１ｃはそれぞれ、振動体１１を構成する弾性体１１ａ、圧電素子１１ｂ及び突起部１１ｃに対応している。なお、図５では、被駆動体２の図示を省略しているが、被駆動体２は、Ｚ軸方向において突起部２１ｃの上面とＺ軸方向において加圧接触するように配置される。

ＦＰＣ２２は、第１給電配線部２２ｄ１、第２給電配線部２２ｄ２及びグラウンド配線部２２ｄ３からなる導通部材２２ｄを有する。ＦＰＣ２２における導通部材２２ｄの配線形状は、ＦＰＣ１２における導通部材１２ｄの配線形状と同じである。ＦＰＣ２２の振動部、２カ所の第１固定部及び２カ所の第１連結部は、ＦＰＣ１２の振動部１２ａ、２カ所の第１固定部１２ｃ１及び２カ所の第１連結部１２ｂ１と同様に、導通部材２２ｄの延出方向に設けられている。ＦＰＣ２２は、第１固定部において裏打ち材２３を介して基台３に固定されている。裏打ち材２３は、裏打ち材１３と同等である。

ＦＰＣ１２の第２固定部１２ｃ２に対応するＦＰＣ２２の第２固定部は、第１固定部のＸＹ面（ＦＰＣ２２と裏打ち材２３との接合面）を基準面として、この基準面よりもＺ軸方向の負方向（基台３側）に設けられている。その結果、ＦＰＣ２２は、第２固定部において、基台３のＺＸ面に裏打ち材２３を介して固定されており、よって、ＦＰＣ２２の第２支持部は、Ｙ軸方向に延出した後にＺ軸方向を負方向に延出する形態（形状）をとる。

例えば、磁石の吸引力を用いて突起部２１ｃを被駆動体２（不図示）に対してＺ軸方向を正方向（被駆動体２側）に押圧する加圧機構を採用した場合、第２固定部がＺ軸方向の負方向に設けられることにより、第２支持部に掛かる負荷は引張り方向となる。よって、ＦＰＣ２２の第２支持部の強度を、ＦＰＣ１２の第２支持部１２ｂ２よりも大きくすることができる。また、第２固定部を設けるスペースがＹ軸方向に広がらないため、振動型アクチュエータ２０では、振動型アクチュエータ１０と比較して、小型化が可能になる。

図６（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３０の概略構成を示す斜視図である。図６（ｂ）は、振動型アクチュエータ３０を構成するＦＰＣ３２の構成と配線形状を説明する平面図である。振動型アクチュエータ３０は、振動体３１、ＦＰＣ３２及び裏打ち材３３を有する。振動体３１は、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１０を構成する振動体１１と同じである。よって、振動体３１の駆動方法（励起する曲げ振動モード）や振動体３１による不図示の被駆動体２の摩擦駆動の形態等は第１実施形態に準じ、重複する説明を省略する。

振動型アクチュエータ３０では、裏打ち材３３として、四角枠状の形状を有するものが用いられている。裏打ち材３３は、振動型アクチュエータ１０に用いられている４つの裏打ち材１３を四角枠状に一体化させたものとみなすことができる。なお、裏打ち材３３は、基台３（不図示）に取り付けられる。ＦＰＣ３２は、ＦＰＣ１２と同様に、振動部３２ａ、第１固定部３２ｃ１、第２固定部３２ｃ２、第１支持部３２ｂ１及び第２支持部３２ｂ２の５つの部分に分けることができる。図６（ｂ）には、これら５つの部分（領域）を説明するための破線が示されている。

振動型アクチュエータ３０では、第１実施形態と同様に、支持機能を持たせた給電部材であるＦＰＣ３２に、第１支持部３２ｂ１と第２支持部３２ｂ２を設ける。これにより、振動体３１に付与される加圧力に起因して第１支持部３２ｂ１に掛かる負荷を第２支持部３２ｂ２によって低減させ、給電不良の発生を回避すると共に振動体３１の振動状態を安定化させることができる。また、裏打ち材３３により第１固定部３２ｃ１と第２固定部３２ｃ２とが一体となることで、振動型アクチュエータ１０のように第１固定部１２ｃ１と第２固定部１２ｃ２が独立している場合と異なり、基台３に取り付ける際の位置決め精度を高めることができる。

ＦＰＣ３２に設けられている導通部材３２ｄ１，３２ｄ２，３２ｄ３のそれぞれの機能は、第１給電配線部１２ｄ１、第２給電配線部１２ｄ２、ＧＮＤ配線部１２ｄ３と同じである。ＦＰＣ３２では、導通部材３２ｄ１，３２ｄ２，３２ｄ３は、第１固定部３２ｃ１及び第２固定部３２ｃ２と２カ所の第１支持部３２ｂ１を介して振動部３２ａへ引き回されている。これにより、振動体３１の圧電素子に対する導通部材３２ｄ１，３２ｄ２，３２ｄ３の電気的接続を、一方の第１支持部３２ｂ１で断線が生じても他方の第１支持部３２ｂ１を介して維持することができるため、給電不良の発生をより効果的に回避することができる。

図７（ａ）は、本発明の第４実施形態に係る振動型アクチュエータ４０の概略構成を示す斜視図である。図７（ｂ）は、振動型アクチュエータ４０をＦＰＣ４２における裏打ち材４３側のベース部材を除去した状態で示す裏面図である。振動型アクチュエータ４０は、振動体４１、ＦＰＣ４２及び裏打ち材４３を有する。振動体４１は、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１０を構成する振動体１１と同じである。また、裏打ち材４３は、第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３０を構成する裏打ち材３３と同じである。ＦＰＣ４２が有する導通部材４２ｄ１，４２ｄ２，４２ｄ３の配線形状は、ＦＰＣ１２の第１給電配線部１２ｄ１、第２給電配線部１２ｄ２、ＧＮＤ配線部１２ｄ３の配線形状と同じである。ＦＰＣ４２は、ＦＰＣ１２と同様に、振動部４２ａ、第１固定部４２ｃ１、第２固定部４２ｃ２、第１支持部４２ｂ１及び第２支持部４２ｂ２の５つの部分に分けることができる。図７（ｂ）には、これら５つの部分（領域）を説明するための破線が示されている。

振動型アクチュエータ４０は、第１支持部３２ｂ１及び第２支持部３２ｂ２が別々に形成された振動型アクチュエータ３０と比較すると、第１支持部４２ｂ１と第２支持部４２ｂ２が一体的に形成されていることを特徴とする。換言すれば、ＦＰＣ４２は、ＦＰＣ３２が有する開口部を有しない構造を有する。第３実施形態のように第１支持部３２ｂ１と第２支持部３２ｂ２が分かれている場合、ＦＰＣ３２の端部と導通部材３２ｄ１〜３２ｄ３との間には一定の間隔が必要となるため、全体形状が大きくなりやすい。これに対して、ＦＰＣ４２では、開口部を設けずに第１支持部４２ｂ１と第２支持部４２ｂ２を一体的に形成することで、加工が容易になると共に、振動型アクチュエータ４０全体の小型化を実現することができる。

次に、本発明の第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１０を備える電子機器について、顕微鏡と撮像装置を取り上げて説明する。但し、振動型アクチュエータ１０は、これらへの適用に限定されるものではなく、駆動による位置決めが必要とされる部品を備える電子機器に広く適用することができる。

図８は、振動型アクチュエータ１０を備える顕微鏡５００の外観斜視図である。顕微鏡５００は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部５３０と、基台上でＸ−Ｙ面内で移動可能に配置された被駆動体であるステージ５２０を有する自動ステージ部５１０と、ベースプレート５４０とを備える。圧電素子１１ｂへの給電制御を含む振動型アクチュエータ１０の駆動制御を行う制御装置５５０は、ベースプレート５４０に配置されている。なお、制御装置５５０は、撮像部５３０に設けられていてもよい。顕微鏡５００では、少なくとも２つ振動体１１が用いられており、少なくとも１つの振動体１１がステージ５２０のＸ軸方向での駆動に用いられ、少なくとも１つの別の振動体１１がステージ５２０のＹ軸方向での駆動に用いられる。

被観察物をステージ５２０の上面に載置して、拡大画像を撮像部５３０で撮影する場合において観察範囲が広範囲となる場合には、自動ステージ部５１０を駆動してステージ５２０をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させることで、被観察物を移動させる。これにより、多数の撮影画像を撮影し、撮影された画像を不図示のコンピュータで画像処理により結合させることで、観察範囲が広く、しかも高精細な１枚の観察画像を取得することができる。

図９（ａ）は、撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１レンズ群（不図示）、第２レンズ群８２０、第３レンズ群（不図示）、第４レンズ群８４０及び振動型駆動装置６２０，６４０を有するレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとしてカメラ本体７３０に対して着脱可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒７４０をカメラ本体７３０に取り付けることができる。撮像装置７００では、２つの振動型駆動装置６２０，６４０によってそれぞれ、第２レンズ群８２０，第４レンズ群８４０の駆動が行われる。

振動型駆動装置６２０の詳細な構成は不図示であるが、振動型駆動装置６２０は、円環状の被駆動体と、被駆動体を回転駆動させる振動体１１と、振動体１１の駆動回路とを有する。例えば、３つの振動体１１が円環状の基台の周方向に等間隔に、且つ、それぞれの振動体１１は２つの突起部１１ｃを結ぶ線が同一円周に対して法線となるようにＦＰＣ１２に支持されて裏打ち材１３を介して基台に支持される。被駆動体と振動体１１の突起部１１ｃとが光軸方向において加圧接触した状態で、被駆動体と基台は、それらの径方向がレンズ鏡筒７４０の光軸と略直交するようにレンズ鏡筒７４０内に配置される。振動型駆動装置６２０では、被駆動体を光軸まわりに回転させ、不図示のカム或いはギア等を介して被駆動体の回転出力を光軸方向での直進運動に変換することによって第２レンズ群８２０を光軸方向に移動させる。振動型駆動装置６４０は、振動型駆動装置６２０と同様の構成を有することにより、第４レンズ群８４０を光軸方向に移動させる。なお、振動体１１は被駆動体２を一方向（Ｘ軸方向）に駆動することができる。よって、振動体１１のＸ軸方向（短手方向）がレンズ鏡筒７４０の光軸方向と平行になるように振動体１１を配置し、レンズを保持するレンズ保持部材を被駆動体として、レンズ保持部材を直接に光軸方向に駆動する構成としてもよい。

図９（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１レンズ群８１０、第２レンズ群８２０、第３レンズ群８３０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット８５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群８１０〜第４レンズ群８４０と光量調節ユニット８５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。

カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。

ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型駆動装置６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２レンズ群８２０、第４レンズ群８４０及び光量調節ユニット８５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型駆動装置６２０は第２レンズ群８２０を光軸方向に移動させ、振動型駆動装置６４０は第４レンズ群８４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット８５０はメータ６３０により駆動制御される。

振動型駆動装置６２０により駆動される第２レンズ群８２０の光軸方向位置は第１リニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで振動型駆動装置６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型駆動装置６４０により駆動される第４レンズ群８４０の光軸方向位置は第２リニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで振動型駆動装置６４０の駆動にフィードバックされる。光量調節ユニット８５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。

撮像装置７００の所定のレンズ群を光軸方向に移動させる用途に第１実施形態で説明した振動型アクチュエータ１０等を用いた場合、レンズ群を停止させた状態でも大きな保持力が得られる。これにより、レンズ鏡筒７４０やカメラ本体７３０に外力が作用しても、レンズ群にずれが生じることを抑制することができる。なお、レンズ鏡筒７４０に手ぶれ補正用レンズが内蔵される場合、手ぶれ補正用レンズを光軸と直交する面内の任意の方向に移動させる手ぶれ補正ユニットに振動体１１を用いることができる。その場合、光軸方向と直交する面内において直交する２方向に手ぶれ補正用レンズを保持したレンズ保持部材を移動させることができるように、各方向にレンズ保持部材を駆動する１又は複数の振動体１１を配置する。なお、手ぶれ補正ユニットは、手ぶれ補正用レンズを駆動する構成に代えて、カメラ本体７３０に内蔵される撮像素子７１０を光軸と直交する面内の任意の方向に移動させる構成としてもよい。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を、適宜、組み合わせることも可能である。上記実施形態では、振動体の突起部に２つの振動モードを組み合わせて楕円運動を生じさせたが、１つの振動モードのみを利用して慣性駆動を利用する方法を用いてもよい。また、振動体１１のように２つの突起部１１ｃを有する構成を取り上げたが、突起部１１ｃは少なくとも１つあれば被駆動体２の摩擦駆動は可能であり、この場合の１つの突起部は弾性体１１ａのＸＹ面の中央に設け、好適な振動モードを選択すればよい。

２ 被駆動体
３ 基台
１０，２０、３０，４０ 振動型アクチュエータ
１１，２１，３１，４１ 振動体
１１ａ 弾性体
１１ｂ 圧電素子
１１ｃ 突起部
１２，２２，３２，４２ ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）
１２ａ，３２ａ，４２ａ 振動部
１２ｂ１，３２ｂ１，４２ｂ１ 第１支持部
１２ｂ２，３２ｂ２，４２ｂ２ 第２支持部
１２ｃ１，３２ｃ１，４２ｃ１ 第１固定部
１２ｃ２，３２ｃ２，４２ｃ２ 第２固定部
１２ｄ 導通部材
１３，２３，３３，４３ 裏打ち材

Claims (14)

1. 電気−機械エネルギ変換素子と弾性体を有する振動体と、
   前記振動体を支持する支持部材と、
   前記振動体と接触する接触体と、を備え、
   前記支持部材は、
   前記振動体と接合される振動部と、
   導通部材を含み、所定位置に固定される複数の第１固定部と、
   前記振動部から前記第１固定部に向かう方向とは異なる方向に設けられた複数の第２固定部と、
   前記振動部と前記複数の第１固定部とを連結する複数の第１支持部と、
   前記振動部と前記複数の第２固定部とを連結する複数の第２支持部と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 前記支持部材は、前記電気−機械エネルギ変換素子に接合され、前記電気−機械エネルギ変換素子に対して給電を行うフレキシブルプリント基板であり、
   前記導通部材は、少なくとも前記複数の第１支持部と前記振動部を通じて前記複数の第１固定部を結ぶ方向に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記フレキシブルプリント基板は、前記導通部材よりも剛性の小さい樹脂からなるシート状部材に前記導通部材が挟持された構造を有することを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記振動体が前記接触体と加圧接触するための加圧力を受ける方向において、前記第２支持部のばね定数は前記第１支持部のばね定数よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記振動体から前記第２固定部までの距離は、前記振動体から前記第１固定部までの距離より短いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記弾性体は、前記接触体と加圧接触する少なくとも１つの接触部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
7. 前記弾性体は、略矩形で平板状の形状を有し、
   前記振動体の形状は、前記弾性体の厚み方向と直交する２本の対称軸を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
8. 前記導通部材は、前記２本の対称軸に対して線対称となるように前記支持部材に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の振動型アクチュエータ。
9. 前記複数の第１固定部と前記複数の第２固定部のそれぞれに固定される複数の補強部材を有し、
   前記支持部材は、前記複数の補強部材を介して所定位置に固定されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
10. 前記複数の第１固定部は、前記振動体が前記接触体と加圧接触するための加圧力を受ける方向と略直交する面の所定位置に固定され、
    前記複数の第２固定部は、前記加圧力を受ける方向において、前記第１固定部が固定される位置よりも前記接触体から離れた位置に固定されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
11. 前記複数の第１固定部と前記複数の第２固定部とは一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
12. 前記複数の第１支持部と前記複数の第２支持部とは一体的に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータ。
13. 電気−機械エネルギ変換素子と弾性体を有する振動体と、
    前記振動体を支持する支持部材と、
    前記振動体と接する接触体と、を備え、
    前記支持部材は十字形状を有し、前記支持部材の前記十字形状の交差位置に前記振動体が接合され、前記支持部材に設けられた導通部材を介して前記振動体へ給電されることを特徴とする振動型アクチュエータ。
14. 請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
    前記振動型アクチュエータの駆動によって位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。