JP2014017456A - 表示装置及び画素欠陥修正方法 - Google Patents

表示装置及び画素欠陥修正方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2014017456A
JP2014017456A JP2012155954A JP2012155954A JP2014017456A JP 2014017456 A JP2014017456 A JP 2014017456A JP 2012155954 A JP2012155954 A JP 2012155954A JP 2012155954 A JP2012155954 A JP 2012155954A JP 2014017456 A JP2014017456 A JP 2014017456A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
gate
pixel
display device
transistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012155954A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5971849B2 (ja
Inventor
Takeshi Arai
武 新井
Kunihiko Watanabe
邦彦 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd filed Critical Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Priority to JP2012155954A priority Critical patent/JP5971849B2/ja
Priority to US13/938,893 priority patent/US20140014962A1/en
Publication of JP2014017456A publication Critical patent/JP2014017456A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5971849B2 publication Critical patent/JP5971849B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/0004Devices characterised by their operation
    • H01L33/0041Devices characterised by their operation characterised by field-effect operation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136259Repairing; Defects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136259Repairing; Defects
    • G02F1/136268Switch defects
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2330/00Aspects of power supply; Aspects of display protection and defect management
    • G09G2330/08Fault-tolerant or redundant circuits, or circuits in which repair of defects is prepared
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1222Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
    • H01L27/1225Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with semiconductor materials not belonging to the group IV of the periodic table, e.g. InGaZnO

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

【課題】画素に欠陥が生じた場合においても透過率の低下を抑制しつつ画素欠陥を修正する。
【解決手段】複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部または全部の画素は、トランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、該画素電極に対向して配置された共通電極と、前記共通電極の一部で形成されるとともに可視光に対して透過であるゲート電極部と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極を形成するドレイン電極部、及び、ソース電極を形成するソース電極部と、を含む修正用トランジスタ部と、を含む。
【選択図】図3

Description

本発明は、表示装置及び画素欠陥修正方法に関する。
一般に、液晶表示装置においては、複数の画素によって表示領域が形成され、画素毎に1のTFTが設けられる。しかしながら、当該画素の形成過程において、微細加工を行う必要があることから、一部の画素に欠陥が生じる場合がある。
そこで、例えば、1画素内に2のTFTを設け、一方のTFT(通常のTFT)が短絡して輝点となった場合には、当該TFTを切り離して、他方のTFT(予備のTFT)を用いて対応する画素を使用する画素欠陥修正方法が知られている(特許文献1参照)
特開平5−341316号公報
しかしながら、上記のように1つの画素に、通常のTFTに加えて予備のTFTを設ける場合、当該予備のTFTの活性層を遮光する必要があり、ゲートメタルを画素中に配置する必要が生じる。結果として、画素における透過率が低下する。また、通常のTFTとともに予備のTFTについてもゲート配線上に設けることも考えられるが、特に高精細化された表示装置においては、ゲート配線上への配置が困難な場合もある。
そこで、本発明は、透過率の低下を抑制しつつ、画素に欠陥が生じた場合であっても当該画素欠陥を修正することのできる表示装置及び画素欠陥修正方法を提供することを主な目的とする。
(1)本発明の表示装置は、複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部または全部の画素は、トランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、該画素電極に対向して配置された共通電極と、前記共通電極の一部で形成されるとともに可視光に対して透過であるゲート電極部と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極を形成するドレイン電極部、及び、ソース電極を形成するソース電極部と、を含む修正用トランジスタ部と、を含むことを特徴とする。
(2)上記(1)に記載の表示装置において、対応する前記データ線を前記画素電極から切り離し、前記各修正用トランジスタ部は、前記ゲート電極部を前記共通電極から切り離すとともに、対応する前記ゲート線と接続し、かつ、前記ソース電極部及びドレイン電極部をそれぞれ対応する前記複数のデータ線及び画素電極と接続することにより、前記画素を駆動する修正用トランジスタを形成することを特徴とする。
(3)上記(2)に記載の表示装置において、前記修正用トランジスタ部は、更に、前記ソース電極部を対応する前記データ線に接続するソース接続パッドと、前記ゲート電極部を対応する前記ゲート線に接続するゲート接続パッドと、を含むことを特徴とする。
(4)上記(3)に記載の表示装置において、前記ソース接続パッドは、前記ゲート線と同一の層で形成されるとともに、前記ゲート接続パッドは、前記ドレイン電極部及び前記ソース電極部と同一の層で形成されることを特徴とする。
(5)上記(2)に記載の表示装置において、前記修正用トランジスタは、前記ゲート電極部を対応する前記ゲート線と接続するゲート配線部と、前記ソース電極部を対応する前記データ線に接続するデータ配線部と、を含むことを特徴とする。
(6)上記(1)乃至(5)のいずれかに記載の表示装置において、前記画素電極は、複数の開口部を有し、前記修正用トランジスタ部の電極部は、前記開口部に沿って配置されていることを特徴とする。
(7)上記(1)乃至(6)のいずれかに記載の表示装置において、前記各トランジスタは、対応する前記各ゲート配線に重ねて設けられていることを特徴とする。
(8)上記(1)乃至(7)のいずれかに記載の表示装置において、前記半導体活性部は、アモルファス酸化物半導体で形成されていることを特徴とする。
(9)本発明の画素欠陥修正方法は、複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部又は全部の画素が、トランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、該画素電極に対向して配置された共通電極と、前記共通電極の一部で形成されるとともに可視光に対して透過であるゲート電極部と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極を形成するドレイン電極部、及び、ソース電極を形成するソース電極部と、を含む修正用トランジスタ部と、を含む表示装置の画素欠陥修正方法において、対応する前記データ線を前記画素電極から切り離すステップと、前記ゲート電極部を前記共通電極から切り離すステップと、前記ゲート電極部を前記ゲート線と接続するステップと、前記ソース電極部をそれぞれ対応する前記複数のデータ線と接続するステップと、前記ドレイン電極部をそれぞれ対応する前記画素電極と接続するステップと、を含むことを特徴とする。
(10)本発明の表示装置は、複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部または全部の画素は、トランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、該画素電極に対向して配置された共通電極と、前記共通電極と前記画素電極の間の一部に形成された可視光に対して透過である半導体層と、前記半導体層上に形成された2の導電層と、を含むことを特徴とする。
(11)本発明の表示装置は、複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部の画素は、画素電極と、前記画素電極に対向して配置された共通電極と、前記画素電極に接続された修正用トランジスタと、を含み、前記修正用トランジスタは、前記共通電極と同一層および同一材料で形成されたゲート電極と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極と、ソース電極と、を含むことを特徴とする。
本発明の実施の形態に係る表示装置を示す概略図である。 図1に示したTFT基板上に形成された画素回路の概念図である。 修正用トランジスタ部について説明するための図である。 図3のIV―IV断面の概略を示す図である。 図3のV−V断面の概略を示す図である。 図3のVI−VI断面の概略を示す図である。 画素欠陥修正方法について説明するための図である。 画素欠陥修正方法について説明するための図である。 画素欠陥修正方法について説明するための図である。 本発明の第1の変形例について説明するための図である。 本発明の第2の変形例について説明するための図である。 本発明の第2の変形例について説明するための図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、図面については、同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の実施の形態に係る表示装置を示す概略図である。図1に示すように、例えば、表示装置100は、TFT(Thin Film Transistor)等(図示せず)が形成されたTFT基板102と、当該TFT基板102に対向し、カラーフィルタ(図示せず)が設けられたフィルタ基板101を有する。また、表示装置100は、TFT基板102及びフィルタ基板101に挟まれた領域に封入された液晶材料(図示せず)と、TFT基板102のフィルタ基板101側と反対側に接して位置するバックライト103を有する。
図2は、図1に示したTFT基板上に形成された画素回路の概念図である。図2に示すように、TFT基板102は、図2の横方向に略等間隔に配置した複数のゲート線105と、図2の縦方向に略等間隔に配置した複数のソース線107を有する。また、ゲート線105は、シフトレジスタ回路104に接続され、ソース線107は、ドライバ106に接続される。
シフトレジスタ回路104は、複数のゲート線105それぞれに対応する複数の基本回路(図示せず)を有する。なお、各基本回路は、複数のTFTや容量を含んで構成され、ドライバ106からの制御信号115に応じて、1フレーム期間のうち、対応するゲート走査期間(信号ハイ期間)にはハイ電圧となり、それ以外の期間(信号ロー期間)にはロー電圧となるゲート信号を、対応するゲート線105に出力する。
ゲート線105及びソース線107によりマトリクス状に区画された各画素130は、それぞれ、TFT109、画素電極110、及び、共通電極111を有する。ここで、TFT109のゲートは、ゲート線105に接続され、ソース又はドレインの一方は、ソース線107に接続され、他方は、画素電極110に接続される。また、共通電極111は、コモン信号線108に接続される。また、画素電極110と共通電極111は、互いに対向するように配置される。
なお、後述するように、図2においては図示していないが、各画素130には、TFT109に欠陥が生じた場合に当該TFT109の予備のTFTとしてあらかじめ準備された修正用トランジスタ部304が含まれる。当該修正用トランジスタ部304は後述する画素欠陥修正方法が施された場合に、修正用トランジスタ700として機能するものである。また、修正用トランジスタ部304や修正用トランジスタ700の詳細については後述する。
次に、上記のように構成された画素回路の動作の概要について説明する。ドライバ106は、コモン信号線108を介して、共通電極111に、基準電圧を印加する。また、ドライバ106により制御されるシフトレジスタ回路104は、ゲート線105を介して、TFT109のゲートに、ゲート信号を出力する。更に、ドライバ106は、ゲート信号が出力されたTFT109に、ソース線107を介して、映像信号の電圧を供給し、当該映像信号の電圧は、TFT109を介して、画素電極110に印加される。この際、画素電極110と共通電極111との間に電位差が生じる。
そして、ドライバ106が、当該電位差を制御することにより、画素電極110と共通電極111の間に挿入された液晶材料の液晶分子の配光を制御する。ここで、液晶材料には、バックライト103からの光が案内されていることから、上記のように液晶分子の配光等を制御することにより、バックライト103からの光の量を調節でき、結果として、画像を表示することができる。なお、TFT109に代わって上記修正用トランジスタ700を使用する場合の動作についても上記と同様であるので、説明を省略する。
図3は、修正用トランジスタ部について説明するための図である。具体的には、図3は図2に示した画素130周辺の概要を示す拡大図である。また、図4は、図3のIV―IV断面の概略を示し。図5は、図3のV−V断面の概略を示し、図6は、図3のVI−VI断面の概略を示す。なお、図3乃至5に示した構成は一例にすぎず、本実施の形態は当該図に示した構成に限られない。また、図3においては、説明を容易にするため、画素電極110については破線で示す。
図3に示すように、ゲート線105及びソース線107で囲まれた領域である画素領域内に、共通電極111及び画素電極110が配置されるとともに、後述する画素欠陥修正時に修正用トランジスタ700を形成する修正用トランジスタ部304が配置される。
図3に示すようにゲート線105は、ソース線107と交差する部分において開口部301を有する。そして、当該開口部301が形成される領域において、ソース線107は図中横方向に延伸するように形成され、TFT109のソース電極302と接続される。つまり、ソース電極302は、例えば、ソース線107の一部として形成される。
TFT109は、ゲート線105上に形成される。具体的には、図4に示すように、ゲート線105上に、ゲート絶縁膜401を介して半導体活性層402が配置され、当該半導体活性層402の上部に上記ソース電極302及びドレイン電極303が配置される。つまり、例えば、ゲート線105の一部がTFT109のゲート電極に相当する。なお、図4、5に示すように、ゲート線105は、例えば、共通電極111と同一の層で形成される下部層403上に形成される。また、上記共通電極111等は、例えば基板400上に形成される。
修正用トランジスタ部304は、TFT109に異常が生じた場合に、予備のTFT(修正用トランジスタ700)として機能させることができるように形成される。また、修正用トランジスタ部304は、図3に示すように、ゲート線105及びソース線107で囲まれた領域である画素領域内に配置される。また、図3及び図6に示すように、修正用トランジスタ部304は、主に、共通電極111の一部で形成されるゲート電極部601、半導体活性部602、ドレイン電極部603、ソース電極部604を含む。なお、図6に示すように、ソース電極部604は、後述するソース接続パッド605の上方まで延伸される。
修正用トランジスタ部304のゲート電極部601は、共通電極111の一部で形成される。言い換えれば、図3に示すように、TFT109近傍の、共通電極111の端部の一部が、ゲート電極部601に相当する。したがって、ゲート電極部601は、可視光に対して透過であり、例えば、共通電極111と同様に透明導電膜を用いて形成される。
修正用トランジスタ部304の半導体活性部602は、ゲート絶縁膜401を介して、ゲート電極部601上に形成される。当該半導体活性部602も可視光に対して透過であり、例えば、アモルファス酸化物半導体(TAOS:Transparent Amorphous Oxide Semiconductor)で形成される。
当該半導体活性部602上には、ドレイン電極部603及びソース電極部604が、形成される。ソース電極部604は、図6に示すように、ソース線107側に延伸され、その一部が断面からみて、ソース接続パッド605と重なるように形成される。また、ソース接続パッド605は、断面からみて、ソース線107の一部とも重なるように配置される。なお、当該ソース接続パッド605は、例えば、ゲート線105が形成される層と同一の層に形成される。また、ドレイン電極部603及びソース電極部604は、それぞれ導電層であって、例えば、Cu等の金属で形成される。
修正用トランジスタ部304のドレイン電極部603は、図3に示すように、TFT109側に延伸されるとともに、断面からみて、その一部が画素電極110から延伸して形成されたドレイン接続パッド305と重なるように配置される。なお、図3に示すように、当該ドレイン接続パッド305は、画素電極110の一部が延伸されて形成される。つまり、ドレイン接続パッド305は、画素電極110と電気的に接続される。また、ドレイン接続パッド305は、スルーホール306を介してTFT109のドレイン電極303と電気的に接続される。
画素領域においては、共通電極111と対向するように画素電極110が配置される。具体的には、図4に示すように画素電極110は、図4下方から順に、ゲート絶縁膜401及び保護膜402を介して、共通電極111上方に配置される。また、図3及び4に示すように、画素電極110には、複数の矩形形状のスリット307が形成される。なお、当該スリット307の配置、大きさ、形状は、一例であって、本実施の形態は当該配置、大きさ、形状に限定されるものではない。
共通電極111には、図5に示すように、共通電極111上の一部に第1のゲート接続パッド501が形成される。そして、当該第1のゲート接続パッド501上には、ゲート絶縁膜401を介して、第2のゲート接続パッド502が配置される。当該第1のゲート接続パッド501は、ゲート線105と同一の層に形成され、第2のゲート接続パッド502は、ソース電極302やドレイン電極303と同一の層に形成される。また、図5に示すように、第2のゲート接続パッド502は、一方の端部がゲート線105と重なるように配置される。
次に、図7乃至9を用いて、本実施の形態における画素欠陥修正方法について説明する。なお、ここでは、図7に示したTFT109に欠陥が生じた場合を想定する。また、図7乃至9は、画素欠陥修正後における図3、図5及び図6にそれぞれ対応する。つまり、図7は、図3に画素欠陥修正方法を施した後を示す。また、図8は、図7のVIII−VIII断面の概略を示し、図9は、図7のIX−IX断面の概略を示す。
TFT109に欠陥が生じた場合、図7に示すように、修正用トランジスタ部304を共通電極111からレーザ加工により切り離す。具体的には、レーザ加工により修正用トランジスタ部304の周辺の共通電極111をレーザ加工により除去することにより、修正用トランジスタ部304を切り離す。
また、画素電極110とドレイン電極303とを接続する画素電極給電部308、ソース電極供給部309の一部をレーザ加工により除去する。ここで、画素電極供給部308とは、図7に示すように、画素電極110から延伸した部分で画素電極110とTFT109のドレイン電極303とを接続する部分に相当する。また、ソース電極供給部309とは、ソース線107からTFT109のソース電極302に延伸した部分で、下にゲート電極の開口部301が位置している部分に相当する。なお、図7においては、画素電極給電部308及びソース電極供給部309の一部について上記レーザ除去加工した部分を、それぞれ除去部701、702として示す。
これにより、ソース線107からの映像信号が、TFT109に入力されなくなるとともに、TFT109からの出力信号が、画素電極110に入力されなくなる。つまり、上記レーザ除去加工により、異常が発生したTFT109が画素電極110やソース線107から切り離される。なお、上記においては、ソース線107とTFT109との接続を除去部701にて切断すると共に、TFT109と画素電極110との接続を除去部702にて切断する場合について説明したが、本実施の形態は、これに限定されものではない。例えば、除去部701または除去部702のいずれか一方のみで電気的に切断してもよい。
また、図8に示すように第2のゲート接続パッド502のうち、ゲート線105及び第1のゲート接続パッド501が形成されている部分についてもレーザ加工することにより、ゲート線105と第2のゲート接続パッド502、及び、第1のゲート接続パッド501と第2のゲート接続パッド502をそれぞれ溶着する。なお、図7及び図8においては、当該溶着された部分を順に溶着部801、802として示す。これにより、修正用トランジスタ部304のゲート電極部601がゲート線105と電気的に接続される。
更に、図9に示すように、ソース電極部604及びソース線107のうち、ソース接続パッド605と重なる部分についてもレーザ加工することにより、ソース接続パッド605と、ソース電極部604及びソース線107が溶着する。これにより、ソース線107と修正用トランジスタ部304のソース電極部604とが、電気的に接続される。なお、図7及び図9においては、当該溶着部分についても順に、溶着部901、902として示す。
更に、断面図は省略するが、同様に、修正用トランジスタ部304のドレイン電極部603から延伸した部分のうちドレイン接続パッド305と重なる部分についても、図7に示すように、レーザ加工により画素電極110と溶着する。なお、図7においては、当該溶着部分を溶着部703として示す。これにより、画素電極110と修正用トランジスタ部304のドレイン電極603とが電気的に接続される。
上記のようなレーザ加工により、修正用トランジスタ部304から、TFT109の予備のTFT109として機能する修正用トランジスタ700が形成される。具体的には、上記のようなレーザ加工により、修正用トランジスタ部304のゲート電極部601は、修正用トランジスタ700のゲート電極(修正ゲート電極)となる。いいかえれば、修正ゲート電極は、上記修正方法を実施する前の共通電極111の一部に相当する。また、修正用トランジスタ部304のソース電極部604及びドレイン電極部603は、それぞれ、それぞれ修正用トランジスタ700のソース電極(修正ソース電極)及びドレイン電極(修正ドレイン電極)となる。
本実施の形態によれば、表示装置100の一部の画素のTFT109に欠陥が生じた場合であっても、当該欠陥が生じたTFT109を切り離し、修正用トランジスタ700を形成することで、当該画素の欠陥を正常な画素に修正することができる。ここで、修正用トランジスタ700及び修正用トランジスタ部304は、画素領域に形成される。しかしながら、当該修正用トランジスタ700及び修正用トランジスタ部304を形成する修正ゲート電極やゲート電極部601、及び、半導体活性部602は、例えば、透明導電膜及びアモルファス酸化物半導体など、可視光を透過する透明材料で形成される。よって、画素領域における開口率の低下を防止することができる。
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
[第1の変形例]
次に、本発明の第1の変形例について説明する。本変形例においては、主に、修正用トランジスタ部304が形成される方向が、第1の実施形態と異なる。その他の点は、上記実施の形態と同様であり、同様である点については説明を省略する。
図10は、上記実施の形態の変形例について説明するための図である。具体的には、図10は、本変形例における修正用トランジスタ部304の周辺領域を拡大した上面の概略を示す。本変形例においては、図10に示すように、修正用トランジスタ部304のソース電極部604及びドレイン電極部603が、画素電極110のスリット307に沿って配置される。
具体的には、図10に示すように、例えば、画素電極110のスリット307が図10の横方向に略等間隔に配置され、当該スリット307のうち、もっともTFT109に近い位置のスリット307に沿ってソース電極部604及びドレイン電極部603が配置される。本実施の形態によれば、上記実施の形態と比べ、修正用トランジスタ部304を画素領域に配置した場合における影響を低減することができる。
本発明は、上記実施の形態及び本変形例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
[第2の変形例]
次に、本発明の第2の変形例について説明する。本変形例においては、主に、修正用トランジスタ部304のゲート電極部601とゲート線105、ソース電極部604とソース線107との接続につき、修正用配線121、124を用いる点が上記第1の変形例と異なる。その他の点は、上記第1の変形例や上記第1の実施形態と同様であり、同様である点については説明を省略する。
図11及び図12は、本発明の第2の変形例について説明するための図である。具体的には、図11は、本実施の形態における修正用トランジスタ部304周辺の一部の上面の概略を示す。また、図12は、図11において本変形例における画素欠陥修正方法を施した後の様子を示す。
図11に示すように、本変形例においては、第1の変形例と異なり、第1のゲート接続パッド501及び第2のゲート接続パッド502を設けず、また、ソース接続パッド605についても設けない。代わりに、TFT109に欠陥が生じた場合には、図12に示すように修正用配線121、124を用いて、ゲート電極部601とゲート線105、及び、ソース電極部604とソース線107を接続する。
具体的には、図12に示すように、ゲート線105及び共通電極111上に積層されたゲート絶縁膜401及び保護膜402にそれぞれコンタクトホール122を設ける。そして、当該コンタクトホール122が形成された部分を含めて、当該ゲート線105と当該共通電極111を接続する修正用配線121を積層する。
同様に、ソース線107上に積層された保護膜402及び修正用トランジスタ部304のソース電極部604に積層された保護膜402にそれぞれコンタクトホール123を設け、当該コンタクトホール123が形成された部分を含めて、当該ソース電極部604と当該ソース線107を接続する修正用配線124を積層する。修正用トランジスタ部304の共通電極111からの切り離しやTFT109の画素電極給電部308及びソース電極供給部309のレーザ除去等その他の画素欠陥修正方法については上記第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
本変形例によれば、上記実施の形態や第1の変形例と比較して、あらかじめ第1及び第2のゲート接続パッド501、502やソース接続パッド605を設けておく必要はない。つまり、画素欠陥が生じた場合に、TFT109を切り離すとともに、修正用配線121、122を用いて修正用トランジスタ700を形成し、当該修正用トランジスタ700を用いて当該画素を正常に動作させることができる。
本発明は、上記実施の形態及び第1及び第2の変形例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。例えば、上記第2の変形例においては、修正用トランジスタ部304の配置方向を上記第1の変形例と同様としたが、上記実施の形態で示したような配置やその他の配置を用いてもよい。
また、上記実施の形態及び第1及び第2の変形例においては、修正用トランジスタ部304のソース電極部604(修正ソース電極)及びドレイン電極部603(修正ドレイン電極)については、例えばCu等の透明でない金属で形成する場合を想定したが、ソース電極部604及びドレイン電極部603についても透明導電膜など透明な材料を用いて形成してもよい。また、TFT109のソース電極302及びドレイン電極303についても透明導電膜など透明な材料を用いて形成してもよいし、TFT109の半導体活性層402についても上記可視光を透過する材料(例えば、アモルファス酸化物半導体)を用いてもよい。更に、上記においては、一例として液晶表示装置について説明したが、例えば、有機EL素子、無機EL素子、FED(Field-Emission Device)等、その他の発光素子を用いた表示装置に適用してもよい。また、上記においては、修正用トランジスタ700のゲート電極部601とゲート線109との接続が容易になるように、修正用トランジスタ部304が形成される共通電極111の端部がゲート線109に向かって延伸した矩形領域を設けたが、当該矩形領域の形状は上記に限られず、ゲート電極部601とゲート線109が接続される限り、当該矩形領域を設けなくてもよいし、異なる形状の領域であってもよい。なお、特許請求の範囲における半導体層は、例えば半導体活性部602に相当し、2の導電層は、例えばドレイン電極部603及びソース電極部604に相当する。また、特許請求の範囲におけるデータ線は、例えばソース線107に相当する。
100 表示装置、101 フィルタ基板、102 TFT基板、103 バックライト、104 シフトレジスタ回路、105 ゲート線、106 ドライバ、107 ソース線、108 コモン信号線、109 TFT、110 画素電極、111 コモン電極、121、124 修正用配線、122、123 コンタクトホール、130 画素、301 開口部、302 ソース電極、303 ドレイン電極、304 修正用トランジスタ部、305 ドレイン接続パッド、306 スルーホール、307 スリット、308 画素電極給電部、309 ソース電極供給部、401 ゲート絶縁膜、402 保護膜、501 第1のゲート接続パッド、502 第2のゲート接続パッド、601 ゲート電極部、602 半導体活性部、603 ドレイン電極部、604 ソース電極部、605 ソース接続パッド、700 修正用トランジスタ、701、702 除去部、801、802、901、902 溶着部。

Claims (11)

  1. 複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、
    前記複数の画素のうち一部または全部の画素は、
    トランジスタと、
    前記トランジスタに接続された画素電極と、
    該画素電極に対向して配置された共通電極と、
    前記共通電極の一部で形成されるとともに可視光に対して透過であるゲート電極部と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極を形成するドレイン電極部、及び、ソース電極を形成するソース電極部と、を含む修正用トランジスタ部と、
    を含むことを特徴とする表示装置。
  2. 対応する前記データ線を前記画素電極から切り離し、
    前記各修正用トランジスタ部は、前記ゲート電極部を前記共通電極から切り離すとともに、対応する前記ゲート線と接続し、かつ、前記ソース電極部及びドレイン電極部をそれぞれ対応する前記複数のデータ線及び画素電極と接続することにより、前記画素を駆動する修正用トランジスタを形成することを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記修正用トランジスタ部は、更に、
    前記ソース電極部を対応する前記データ線に接続するソース接続パッドと、
    前記ゲート電極部を対応する前記ゲート線に接続するゲート接続パッドと、
    を含むことを特徴とする請求項2記載の表示装置。
  4. 前記ソース接続パッドは、前記ゲート線と同一の層で形成されるとともに、前記ゲート接続パッドは、前記ドレイン電極部及び前記ソース電極部と同一の層で形成されることを特徴とする請求項3記載の表示装置。
  5. 前記修正用トランジスタは、
    前記ゲート電極部を対応する前記ゲート線と接続するゲート配線部と、
    前記ソース電極部を対応する前記データ線に接続するデータ配線部と、
    を含むことを特徴とする請求項2記載の表示装置。
  6. 前記画素電極は、複数の開口部を有し、
    前記修正用トランジスタ部の電極部は、前記開口部に沿って配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の表示装置。
  7. 前記各トランジスタは、対応する前記各ゲート配線に重ねて設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の表示装置。
  8. 前記半導体活性部は、アモルファス酸化物半導体で形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の表示装置。
  9. 複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、前記複数の画素のうち一部又は全部の画素が、トランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、該画素電極に対向して配置された共通電極と、前記共通電極の一部で形成されるとともに可視光に対して透過であるゲート電極部と、可視光に対して透過である半導体活性部と、ドレイン電極を形成するドレイン電極部、及び、ソース電極を形成するソース電極部と、を含む修正用トランジスタ部と、を含む表示装置の画素欠陥修正方法において、
    対応する前記データ線を前記画素電極から切り離すステップと、
    前記ゲート電極部を前記共通電極から切り離すステップと、
    前記ゲート電極部を前記ゲート線と接続するステップと、
    前記ソース電極部をそれぞれ対応する前記複数のデータ線と接続するステップと、
    前記ドレイン電極部をそれぞれ対応する前記画素電極と接続するステップと、
    を含むことを特徴とする画素欠陥修正方法。
  10. 複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、
    前記複数の画素のうち一部または全部の画素は、
    トランジスタと、
    前記トランジスタに接続された画素電極と、
    該画素電極に対向して配置された共通電極と、
    前記共通電極と前記画素電極の間の一部に形成された可視光に対して透過である半導体層と、
    前記半導体層上に形成された2の導電層と、
    を含むことを特徴とする表示装置。
  11. 複数のゲート線と複数のデータ線によりマトリクス状に区画されるとともに、前記複数のゲート線及び複数のデータ線に接続された複数の画素を含む表示装置であって、
    前記複数の画素のうち一部の画素は、
    画素電極と、
    前記画素電極に対向して配置された共通電極と、
    前記画素電極に接続された修正用トランジスタと、を含み、
    前記修正用トランジスタは、
    前記共通電極と同一層および同一材料で形成されたゲート電極と、
    可視光に対して透過である半導体活性部と、
    ドレイン電極と、
    ソース電極と、
    を含むことを特徴とする表示装置。
JP2012155954A 2012-07-11 2012-07-11 表示装置及び画素欠陥修正方法 Active JP5971849B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012155954A JP5971849B2 (ja) 2012-07-11 2012-07-11 表示装置及び画素欠陥修正方法
US13/938,893 US20140014962A1 (en) 2012-07-11 2013-07-10 Display device and pixel defect correcting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012155954A JP5971849B2 (ja) 2012-07-11 2012-07-11 表示装置及び画素欠陥修正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014017456A true JP2014017456A (ja) 2014-01-30
JP5971849B2 JP5971849B2 (ja) 2016-08-17

Family

ID=49913213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012155954A Active JP5971849B2 (ja) 2012-07-11 2012-07-11 表示装置及び画素欠陥修正方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20140014962A1 (ja)
JP (1) JP5971849B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021502689A (ja) * 2017-09-29 2021-01-28 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. アレイ基板、表示装置およびアレイ基板の製造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150030907A (ko) * 2013-09-13 2015-03-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판의 제조 방법, 표시 패널 및 이를 포함하는 표시 장치
KR102498604B1 (ko) * 2015-07-22 2023-02-10 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
CN105425433B (zh) * 2015-11-10 2018-10-30 深圳市华星光电技术有限公司 具有亮点缺陷的像素的修复方法、阵列基板及液晶面板
JP2019169660A (ja) * 2018-03-26 2019-10-03 三菱電機株式会社 薄膜トランジスタ基板、表示装置、および、薄膜トランジスタ基板の製造方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61121034A (ja) * 1984-11-16 1986-06-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜トランジスタアレイ
JPH1172805A (ja) * 1997-06-25 1999-03-16 Victor Co Of Japan Ltd 表示用マトリクス基板及びその製造方法、表示用マトリクス 回路
JP2005043639A (ja) * 2003-07-22 2005-02-17 Nec Kagoshima Ltd スイッチング素子アレイ基板、それを用いたアクティブマトリクス型表示装置およびその修復方法
JP2007073311A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Canon Inc 発光素子
JP2007101896A (ja) * 2005-10-04 2007-04-19 Lg Philips Lcd Co Ltd 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法
JP2009157366A (ja) * 2007-12-03 2009-07-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置の作製方法
JP2009251353A (ja) * 2008-04-08 2009-10-29 Hitachi Displays Ltd アクティブマトリクス型表示装置
JP2010145667A (ja) * 2008-12-18 2010-07-01 Ips Alpha Technology Ltd 液晶表示装置及びその点欠陥修正方法
JP2010191107A (ja) * 2009-02-17 2010-09-02 Videocon Global Ltd 液晶表示装置及びその製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5102361A (en) * 1989-01-23 1992-04-07 Sharp Kabushiki Kaisha Method for the manufacture of active matrix display apparatuses
US5062690A (en) * 1989-06-30 1991-11-05 General Electric Company Liquid crystal display with redundant FETS and redundant crossovers connected by laser-fusible links
US6104450A (en) * 1996-11-07 2000-08-15 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device, and methods of manufacturing and driving same
JP4001712B2 (ja) * 2000-03-29 2007-10-31 シャープ株式会社 液晶表示装置の欠陥修復方法
JP4498043B2 (ja) * 2004-07-20 2010-07-07 シャープ株式会社 液晶表示装置、液晶表示装置のリペア方法及び液晶表示装置の駆動方法
TWI333587B (en) * 2006-09-15 2010-11-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Pixel structure and repair method thereof
TW200935147A (en) * 2008-02-14 2009-08-16 Ind Tech Res Inst Horizontal-switching flexible liquid crystal displays and fabrication methods thereof
JP5540517B2 (ja) * 2008-02-22 2014-07-02 凸版印刷株式会社 画像表示装置
JP5122654B2 (ja) * 2008-11-19 2013-01-16 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、液晶表示パネル、液晶表示装置、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶表示パネルの製造方法、及び、液晶表示パネルの駆動方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61121034A (ja) * 1984-11-16 1986-06-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜トランジスタアレイ
JPH1172805A (ja) * 1997-06-25 1999-03-16 Victor Co Of Japan Ltd 表示用マトリクス基板及びその製造方法、表示用マトリクス 回路
JP2005043639A (ja) * 2003-07-22 2005-02-17 Nec Kagoshima Ltd スイッチング素子アレイ基板、それを用いたアクティブマトリクス型表示装置およびその修復方法
JP2007073311A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Canon Inc 発光素子
JP2007101896A (ja) * 2005-10-04 2007-04-19 Lg Philips Lcd Co Ltd 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法
JP2009157366A (ja) * 2007-12-03 2009-07-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置の作製方法
JP2009251353A (ja) * 2008-04-08 2009-10-29 Hitachi Displays Ltd アクティブマトリクス型表示装置
JP2010145667A (ja) * 2008-12-18 2010-07-01 Ips Alpha Technology Ltd 液晶表示装置及びその点欠陥修正方法
JP2010191107A (ja) * 2009-02-17 2010-09-02 Videocon Global Ltd 液晶表示装置及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021502689A (ja) * 2017-09-29 2021-01-28 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. アレイ基板、表示装置およびアレイ基板の製造方法
US11233106B2 (en) 2017-09-29 2022-01-25 Boe Technology Group Co., Ltd. Array substrate, display apparatus, and method of fabricating array substrate
JP7079548B2 (ja) 2017-09-29 2022-06-02 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 アレイ基板、表示装置およびアレイ基板の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5971849B2 (ja) 2016-08-17
US20140014962A1 (en) 2014-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4288303B2 (ja) アクティブマトリクス基板、表示装置、液晶表示装置およびテレビジョン装置
JP5149967B2 (ja) 表示装置
JP4105210B2 (ja) アクティブマトリクス基板、表示装置および画素欠陥修正方法
JP5971849B2 (ja) 表示装置及び画素欠陥修正方法
JP2008165237A (ja) 表示基板、それを含む液晶表示装置及びそのリペア方法
JP5179337B2 (ja) 液晶表示装置及びその点欠陥修正方法
JP2013083679A (ja) 表示装置
JP2007292879A (ja) 液晶表示装置
US9977302B2 (en) Display device comprising a first common wiring portion having a width larger than a width of a second common wiring portion
JP4393550B2 (ja) アクティブマトリクス基板及びその画素欠陥修正方法
JP4943452B2 (ja) 液晶パネル、液晶表示装置、テレビジョン受像機
US10191342B2 (en) Display panel
JP5302101B2 (ja) 表示装置
JP5216874B2 (ja) 表示装置及びその製造方法、並びにアクティブマトリクス基板
JP2008089646A (ja) 表示装置
WO2016103475A1 (ja) 表示装置及び表示装置の製造方法
JP2011022414A (ja) アクティブマトリクス表示装置
JP6265807B2 (ja) 液晶表示装置
WO2016132434A1 (ja) 回路装置、表示装置、及び配線修正方法
JP2010097100A (ja) 表示装置及びその製造方法
WO2018020643A1 (ja) 液晶パネル及び表示装置
JP2010181482A (ja) アクティブマトリクス基板及びその製造方法並びに表示装置
JP2019184669A (ja) 液晶パネルおよび液晶表示装置
JP2013174894A (ja) 表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150417

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160411

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160419

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160616

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160705

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160711

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5971849

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350