JP2013524254A - 流量計プローブ - Google Patents

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Abstract

本発明は、半導体またはセラミックサーミスタを利用する種々の流量測定装置に利用され得る流量計のためのプローブを提供する。本発明は、低い熱電導率を有する材料から作製された導管を流れる液体の流量を測定するための装置であって、導管の壁内に少なくとも部分的に配置され、壁の内面と実質的に並べられているプローブの一部である封入されたコンポーネントの表面を突出しているプローブを備え、そのプローブは、制御およびディスプレイユニットに作動可能に接続される、装置を含む。プローブはプリント基板(PCB)を備え、そのプリント基板(PCB)上に少なくとも2つのサーミスタが取り付けられ、上流のサーミスタはベースライン測定として機能し、間隔をあけた下流のサーミスタは自己発熱する。制御およびディスプレイユニットは、流量を示すために制御およびディスプレイユニットによって電気的に処理される信号を生成するためにサーミスタの電気抵抗を反復して測定する。
【選択図】図7

Description

本発明は流量計に関する。より具体的には、本発明は、半導体またはセラミックサーミスタを利用する種々の流量測定装置に利用され得る流量計のためのプローブを提供する。本明細書は電磁波に基づくもののような他の種類の流量計には関連しない。
温度感受性抵抗素子の応答の原理に基づいた熱流体流量測定技術は、公知であり、長年利用されてきている。現在、この種類の測定がなされ、その測定において、機器のプローブが、流体が流れる導管の内側または外側のいずれかに配置される。
導管の外側に検出要素を配置することによって流体の流量を測定するための装置が、特許文献1および特許文献2に記載されている。この種類の装置は、プローブが、測定される流体から保護されるという利点を有する。しかしながら、この種類のプローブは、特定の基板に基づいた検出チップの開発および生産を必要とする。導管の壁は熱に抵抗があるので、流体の流速の変化に対してセンサの応答の遅延を生じ、さらに、この種類の装置は、測定が開始し得るまで長い整定時間を必要とする。
導管内にプローブまたは検出要素を配置することによって流体の流量を測定するための装置は、多くの米国特許および特許出願に記載されている。例えば、特許文献3、特許文献4、特許文献5および特許文献6、特許文献7および特許文献8。このような従来技術のサーミスタに基づいた流量プローブは、金属管により覆われたリード線を有する直接または間接的に加熱されるサーミスタから構成される。気体流量測定においてさえセラミックサーミスタは、サーミスタ性能に悪影響を与える水蒸気を容易に吸収するので、管は、その管の外部の流体からサーミスタを分離する。液体流量を測定する場合、液体を、サーミスタまたはその電気回路と直接接触させることは防がれなければならない。
管の内部容積は、熱伝導性樹脂に封入された2つのワイヤを有するサーミスタを適合するのに十分大きくする必要がある。管は流体の流れに直接配置される。管内部のサーミスタは、管の外側を流れる流体によって運び出される熱の量に応答してその抵抗を変化させ、管の外側の流体温度と管の内側のサーミスタの温度との間の温度勾配に起因していくらかの時間の遅延を有する。
導管の外側に配置されたプローブより速い応答を提供するが、このようなサーミスタプローブは、多くの不都合な点を有する。従来技術のサーミスタプローブにおいて、サーミスタ本体は、サーミスタと、管の外側の媒体との間に温度勾配を生じさせるために流量測定の点から十分に離れた金属管の内側で分離される。さらに、流路の内側の管の存在は、導管内の流体の流れに対する障害物を構成するので、流路パターンおよび速度を変化させる。小さな導管内できれいでないまたは脂肪の多い液体の低い流速を測定する場合、導管を流れる流体の流量パターンおよび速度に対するその影響以外にプローブは、その露出された表面上の物質の蓄積で覆われ、測定の正確さに影響を与え、洗浄のために固定物を分解する必要を課す。最終的に、管を所定の位置に保持するために複雑な機械的固定具を必要とするので、このようサーミスタプローブの製造コストは比較的高くなる。
米国特許出願公開第2004/0000196号明細書 米国特許出願公開第2003/0049877号明細書 米国特許第3,085,431号明細書 米国特許第4,028,689号明細書 米国特許第7,302,844号明細書 米国特許出願公開第2006/0080050号明細書 米国特許出願公開第2008/0080588号明細書 米国特許出願公開第2009/0071244号明細書
従って、本発明の目的の1つは、従来技術の流量計の不都合な点をなくし、迅速に応答できるプローブを提供することである。
本発明のさらなる目的は、メンテナンスを必要とせずに連続的に作動するプローブを提供することである。
本発明は、低い熱電導率を有する材料から作製された導管を流れる液体の流量を測定するための装置を提供することによって上記の目的を達成する。その装置は、前記導管の壁内に少なくとも部分的に配置され、前記壁の内面と実質的に並べられているプローブの一部である封入されたコンポーネントの表面を突出している、プローブを備え、前記プローブは制御およびディスプレイユニットに作動可能に接続され、前記プローブはプリント基板(PCB)を含み、前記プリント基板上に、少なくとも2つのサーミスタが取り付けられ、上流のサーミスタはベースライン測定として機能し、間隔をあけた下流の自己発熱サーミスタは、前記導管を流れる前記液体によって冷却される前記下流のサーミスタの表面から得られる温度の変化を測定し、
前記制御およびディスプレイユニットは、流量を示すために前記制御およびディスプレイユニットにより電気的に処理される信号を生成するために前記サーミスタの電気抵抗を反復して測定する。
本発明の好ましい実施形態において、前記装置の校正データを保存するためのメモリコンポーネントをさらに含む装置が提供される。
本発明のさらに好ましい実施形態において、流体(液体)と接触する前記サーミスタが、熱伝導性の電気的に絶縁された化合物中に封入される装置が提供される。
本発明の別の好ましい実施形態において、前記下流のサーミスタの自己発熱は重要な価値はなく、前記プローブは、前記下流のサーミスタに近接して熱的に近くに配置される加熱素子をさらに含み、前記下流のサーミスタは、1KΩ(25℃にて)より高い抵抗を有し、前記レジスタは100Ωより低い抵抗を有する、低電圧装置が提供される。
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記加熱素子は、前記サーミスタと同じPCBの表面に取り付けられ、共通に土台の銅製のはんだ付けパッドおよび前記熱伝導性の化合物により前記下流のサーミスタに隣接し、かつ熱的に結合される、低電圧装置が提供される。
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記加熱素子は、前記液体から離れた方向の前記PCBの表面に取り付けられ、フレキシブルなPCBの2つの表面を接続する共通の土台の銅製のはんだ付けパッドにより前記第2の下流のサーミスタに隣接し、かつ熱的に結合される、低電圧装置が提供される。
本発明のなおさらに好ましい実施形態において、前記プローブは、接続ケーブル、電子回路、および電磁トランスミッタ/レシーバを含む群の1つにより前記制御およびディスプレイユニットに作動可能に接続される、装置が提供される。
本発明の最も好ましい実施形態において、前記PCBはフレキシブルであり、コンポーネントは、表面取り付け技術により前記PCBに取り付けられる、装置が提供される。
プローブは多くの構造物で組み立てられてもよく、3つのモードのうちの1つまたはそれらの組み合わせで制御ユニットにより起動されてもよい。例えば、プローブに定電力を与え、流体(液体)とサーミスタの1つとの間の一定の温度差を維持し、またはサーミスタの1つにおいて検出される加熱素子から熱パルスを生成する(「飛行時間(time−of−flight)」)。次いで制御ユニットにおけるマイクロコントローラが、プローブから流量まで、流量に応じた信号に変換し、必要に応じて流体の累積量を計算する。
フレキシブルなPCBの使用は、電気部品の各々を配線するための必要性およびそれらの必要な位置に電気部品を位置決めするためのさらなる機械的固定具の必要性を排除する。そうするための特定の基板に基づいた検出チップを開発する必要性もまた排除し、それにより、市販の特別あつらえでない電気部品も使用できる。フレキシブルなプリント基板はまた、フレキシブルなPCBをオーバーモールドするためのポリマーまたはエラストマー製の導管の設計を可能にする。
非常に小さな熱質量により特徴付けられる、SMDコンポーネントの使用は、コンポーネントの急速な加熱および冷却を可能にするので、流量変化に迅速に応答する。本発明の開発の目的に関して、SMDサーミスタは、プローブ14の製造プロセスの間に少しの変化が生じるので、また、プローブにおける各々の電子部品は本質的に異なるので、装置の校正は最適な精度を必要とされる。メモリコンポーネント36(例えばEPROM)が校正データを保存するために使用されてもよい。校正データはプローブにおけるコンポーネントの実際の抵抗温度データを表す。
本発明をここで、本発明の例示的な好ましい実施形態によって表される添付の図面を参照してさらに記載する。構造的な詳細はその基本的な理解に必要な範囲のみを示す。図面と共に記載される例により、本発明のさらなる形態をどのように具現化できるかが当業者に明らかとなるだろう。
本発明に係る装置の好ましい実施形態の詳細でない概略図である。 流導管の壁に配置されるサーミスタを示す詳細な断面図である。 EPROMチップを含むプローブの概略的な立面図である。 流導管の壁に配置される封入されたサーミスタを示す詳細な断面図である。 サーミスタおよび加熱素子の両方を示す詳細な断面図である。 加熱素子がPCBの対向(反対)面に見られることを除いて図5と同じである。 プローブならびに制御およびディスプレイユニットが無線周波数リンクにより相互接続されている、装置の実施形態の詳細でない概略図である。 ユーザが選択した時間の間、プローブを通過する流体の容積を記録するために配置される制御およびディスプレイユニットの概略図である。
導管12を通過する液体の流体の流速を測定するための装置10が図1において見られ、導管12は好ましくは、低い熱伝導率を有する材料から作製される。
図2により明確に見られるように、プローブ14は導管12の壁内に部分的に配置される。封入されたサーミスタ20、22の突出している表面16は、プローブ14の一部であり、導管12の内面24と実質的に並んでいる。
プローブ14は制御およびディスプレイユニット26にケーブル18により作動可能に接続される。プローブ14はプリント基板(PCB)28を備え、その上に2つのサーミスタ20、22が取り付けられる。上流のサーミスタ20はベースライン測定として機能するのに対して、間隔をあけた下流の自己発熱サーミスタ22は、導管を流れる液体30により冷却される下流のサーミスタの表面から得られる温度の変化を測定するように機能する。冷却効果は、流量が多い場合、より大きく、下流のサーミスタ22は、流れがない状況と比べてその電気抵抗を変化させる。変化の方向は、サーミスタがNTCかまたはPCT種類かどうかに依存する。いずれが使用されてもよい。
制御およびディスプレイユニット32は、サーミスタ20、22の電気抵抗を繰り返し測定する。これらの値は、流速を示すために制御およびディスプレイユニット32により受信される信号を生成するために電気的に処理される。図面の残りを参照すると、同じ参照番号は同じ部分を識別するために使用されている。
ここで図3を参照すると、装置の校正データを保存するために、例示したようにプローブ34に必要に応じて配置され得るか、または図1に見られる制御およびディスプレイユニット26に配置され得るメモリコンポーネント36をさらに備える装置のプローブ34が見られる。
必然的に、電子部品のいずれかのバッチにおける各々の電子部品は、通常、部品に記される公称値からいくらかの偏差を有するので、プローブ34の製造プロセスの間、わずかの変化が生じる。この装置の校正は、出荷前に必要な精度を与えることを必要とされる工場で実施される。これは、好適にはEPROM種類であり得る、メモリコンポーネント36の一次タスクである。校正データは、各々の特定のプローブに使用され、プローブ自体と組み合わせられる特定のコンポーネントの実際の抵抗温度関係を表す。
図4は、この図において見られる20の方のサーミスタが、導管12により運ばれる流体30に露出される、プローブの詳細を示す。見られるサーミスタ20は、熱伝導性の電気的に絶縁された保護化合物38に封入される。通常、熱の良導体は電気も通すことが知られているが、本発明の要件を満たす特別なエポキシおよびシリコン接着剤の生成はこの目的のために商業的に利用可能である。
図5に見られるのは、典型的に15ボルト未満である、低電圧装置40の一部である。本発明の実施形態において、下流のサーミスタ42の自己加熱は重要な価値はない。しかしながら、本開示において、加熱は、下流のサーミスタ42に近接して熱的に近くに配置される電気抵抗器コンポーネント44により提供される。本開示において、下流のサーミスタ42は1kΩ(25℃にて)より高い抵抗を有し、レジスタ44は100Ωより低い抵抗を有する。
レジスタ44は、下流のサーミスタ42に隣接して、共通の土台である銅製のはんだ付けパッド50、および熱伝導性の化合物38により熱的に結合した、サーミスタ42、48と同じPCB28の面46に取り付けられる。非常に小さな熱質量により特徴付けられる、SMDコンポーネントの使用により、コンポーネントの急速な加熱および冷却、それによる流量変化に対する迅速な応答が可能となる。本発明のプロトタイプの開発の目的のために、使用されるSMDサーミスタは、4050Kおよび4700Kの対応するB2550値を有する、0603および0402サイズの33KΩ(Murata Electronics North AmericaのPN NCP18WB333J03RB)または47KΩ(Panasonic−ECGのPNs ERT−J0EV473JまたはERT−J1VV473J)NTCサーミスタであった。使用されるレジスタは、0805サイズの10Ωまたは20Ω、250mWレジスタ(それぞれ、Rohm SemiconductorのPNs ESR10EZPJ100およびESR10EZPJ200)であった。
ここで図6を参照すると、プローブ54を示すさらなる流量計の詳細を示す。発熱レジスタ58は流体30から離れた方向のPCB60の表面56に取り付けられる。レジスタ58は、フレキシブルな回路基板60の2つの表面56、66を接続する共通の土台の銅製はんだ付けパッド64により第2の下流のサーミスタ62に隣接して配置され、熱的に結合される。
図7は、プローブ70が、電磁トランスミッタ/レシーバ76によって制御およびディスプレイユニット72に作動可能に接続される、装置68の実施形態を示す。この構成は、制御およびディスプレイユニット72を位置決めするのに十分な自由度を与えるが、電源としてバッテリ78を含むことをプローブは必要としない。
図8は、制御およびディスプレイユニット82もまた、流量を積分し、計算し、表示するように装置80がプログラムされている任意選択の構成を示す。導管を通過する流量は、ユーザが制御およびディスプレイユニット82上の「流量を計算する」ボタン84を押すことにより選択された時間から開始して計算され、表示される。代替として、計算は、「開始」条件を既定することによって、ソフトウェアを用いて、自動的に開始してもよい。
電源インレットケーブル86はユニット82の端部に見られる。ユーザは、追加データ、例えばキーボード88を使用することにより、移動する流体を後で識別するために「酢酸、バッチ739」を入力してもよい。
記載した本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲の意味の範囲内で全ての実施形態を含むことを意図する。上述の例は本発明の有用な形態を示すが、その範囲を限定するものとみなされるべきではなく、当業者は、本発明のさらなる変形および修飾が添付の特許請求の範囲の意味から逸脱せずに容易になされ得ることを理解するだろう。

Claims (10)

  1. 低い熱伝導率を有する材料から作製された導管を通過する液体の流量を測定するための装置であって、前記装置は、
    前記導管の壁内に少なくとも部分的に配置され、前記壁の内面と実質的に並べられているプローブの一部である封入されたコンポーネントの表面を突出している、プローブを備え、
    前記プローブは制御およびディスプレイユニットに作動可能に接続され、前記プローブはプリント基板(PCB)を含み、前記プリント基板上に、少なくとも2つのサーミスタが取り付けられ、上流のサーミスタはベースライン測定として機能し、間隔をあけた下流の自己発熱サーミスタは、前記導管を流れる前記液体によって冷却される前記下流のサーミスタの表面から得られる温度の変化を測定し、
    前記制御およびディスプレイユニットは、流量を示すために前記制御およびディスプレイユニットにより電気的に処理される信号を生成するために前記サーミスタの電気抵抗を反復して測定する、装置。
  2. 前記装置の校正データを保存するためのメモリコンポーネントをさらに含む、請求項1に記載の装置。
  3. 前記液体と接触する前記サーミスタが、熱伝導性の電気的に絶縁された化合物中に封入される、請求項1に記載の装置。
  4. 前記下流のサーミスタの自己発熱は重要な価値はなく、前記プローブは、前記下流のサーミスタに近接して熱的に近くに配置される加熱素子をさらに含み、前記下流のサーミスタは、1KΩ(25℃にて)より高い抵抗を有し、前記レジスタは100Ωより低い抵抗を有する、請求項1に記載の装置。
  5. 前記加熱素子は、前記サーミスタと同じPCBの表面に取り付けられ、共通の土台の銅製のはんだ付けパッドおよび熱伝導性の化合物により前記下流のサーミスタに隣接し、かつ熱的に結合される、請求項4に記載の装置。
  6. 前記加熱素子は、前記液体から離れた方向の前記PCBの表面に取り付けられ、PCBの2つの表面を接続する共通の土台の銅製のはんだ付けパッドにより前記第2の下流のサーミスタに隣接し、かつ熱的に結合される、請求項4に記載の装置。
  7. 前記プローブは、接続ケーブル、電子回路、および電磁トランスミッタ/レシーバを含む群の1つにより前記制御およびディスプレイユニットに作動可能に接続される、請求項1に記載の装置。
  8. 前記制御およびディスプレイユニットは、ユーザが前記制御およびディスプレイユニット上の「流量を計算する」ボタンを押すことにより選択される時間から開始して流量を積分し、計算し、表示するように配置される、請求項1に記載の装置。
  9. 前記制御およびディスプレイユニットは、「開始」条件を既定することにより、ソフトウェアを用いて、自動的に開始して流量を積分し、計算し、表示するように配置される、請求項1に記載の装置。
  10. 前記基板面は、フレキシブルであり、コンポーネントは、表面取り付け技術により前記基板に取り付けられる、請求項1に記載の装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015046328A1 (ja) * 2013-09-27 2015-04-02 林泰正 熱式流速・流量センサの製造方法及び熱式流速・流量センサ
WO2018105753A3 (ja) * 2017-05-08 2018-08-09 株式会社村田製作所 センサ基板、風速測定装置および風量測定装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL204752A (en) * 2010-03-25 2015-08-31 Vasa Applied Technologies Ltd METHOD AND DEVICE FOR MEASURING BODY LIQUID FLOWS IN SECTION
KR101660226B1 (ko) * 2014-10-31 2016-09-28 주식회사 골든룰 열식 질량 유량계
GB2553681B (en) 2015-01-07 2019-06-26 Homeserve Plc Flow detection device
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
CA2982794C (en) 2015-04-15 2023-10-10 The Johns Hopkins University System and urine sensing devices for and method of monitoring kidney function
KR101765079B1 (ko) * 2016-01-12 2017-08-04 서울대학교산학협력단 식물의 수액 흐름 측정용 마이크로 니들 프로브 및 이를 구비한 수액 흐름 측정 장치
WO2017123000A1 (ko) 2016-01-12 2017-07-20 서울대학교 산학협력단 식물의 수액 흐름 측정용 마이크로 니들 프로브 및 이를 구비한 수액 흐름 측정 장치
US11014148B2 (en) * 2016-09-23 2021-05-25 Afc-Holcroft, Llc Method for measuring and continuously monitoring the heat transfer characteristics of a fluid in a system
CH713267A1 (de) * 2016-12-21 2018-06-29 Greenteg Ag Sensoreinheit für ein tragbares Computersystem und Integration der Sensoreinheit in das Gehäuse des Computersystems.
DE102017120941A1 (de) 2017-09-11 2019-03-14 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Thermisches Durchflussmessgerät
CN109343123A (zh) * 2018-12-14 2019-02-15 北京瀚卫高新技术有限公司 一种水流检测装置
WO2020131557A1 (en) * 2018-12-20 2020-06-25 Edwards Lifesciences Corporation Thermal mass fluid flow sensor
US10908006B2 (en) * 2019-02-19 2021-02-02 Siargo Ltd. Method for forming micromachined liquid flow sensor
US11473952B2 (en) * 2020-04-03 2022-10-18 William Peter Bernardi Method and sensor for detecting flow rates in corrosive liquid

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6134424U (ja) * 1984-07-31 1986-03-03 愛知時計電機株式会社 発電式水道メ−タ
JPH0199108A (ja) * 1987-10-12 1989-04-18 Yamada Mitsue 制御装置
JPH04116464A (ja) * 1990-09-06 1992-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流速センサ
JP2002122454A (ja) * 2000-10-17 2002-04-26 Yamatake Corp フローセンサ
JP2003028692A (ja) * 2001-07-18 2003-01-29 Nikkiso Co Ltd 流量測定方法および装置
WO2009154112A1 (ja) * 2008-06-20 2009-12-23 株式会社キーエンス 2線式電磁流量計

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3085431A (en) 1959-12-28 1963-04-16 Gen Electric Flow measuring apparatus
DE2447617C3 (de) 1974-10-05 1980-09-04 Ellenberger & Poensgen Gmbh, 8503 Altdorf Kalorimetrischer Strömungswächter
US4830022A (en) * 1987-07-27 1989-05-16 Medical Engineering And Development, Inc. Animal monitoring system
NL9001755A (nl) * 1990-08-02 1992-03-02 Optische Ind De Oude Delft Nv Endoscopische aftastinrichting.
US5190048A (en) * 1991-09-17 1993-03-02 Healthdyne, Inc. Thermistor airflow sensor assembly
US5551283A (en) * 1993-08-10 1996-09-03 Ricoh Seiki Company, Ltd. Atmosphere measuring device and flow sensor
KR100441305B1 (ko) * 1997-11-21 2004-07-23 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 유량검지유닛, 유체온도 검지유닛과, 이를 구비한 유량센서, 온도센서 및 유량검출장치
US6813944B2 (en) 2000-05-04 2004-11-09 Sensirion Ag Flow sensor
KR20040097136A (ko) * 2002-03-20 2004-11-17 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 유량 측정 방법 및 유량계, 그것에 사용하는 유량 측정부패키지 및 그것을 사용한 유량 측정 유닛, 그리고유량계를 사용한 배관 누출 검사장치
EP1351039A1 (en) 2002-04-03 2003-10-08 Sensirion AG Flow sensor and method for producing the same
DE10251701B4 (de) 2002-11-06 2006-05-04 Siemens Ag Messelement zur Bestimmung einer Strömungsgeschwindigkeit
ITTO20030210A1 (it) 2003-03-21 2004-09-22 Ist Trentino Di Cultura Procedimento e apparecchiatura per la determinazione del grado alcolico di una soluzione idroalcolica.
NL1025617C2 (nl) * 2003-05-13 2004-11-18 Berkin Bv Massadebietmeter.
FR2857448B1 (fr) * 2003-07-08 2005-12-02 Pompes Salmson Sa Detecteur et procede de detection de debit par dissipation thermique
IL157354A0 (en) * 2003-08-12 2004-02-19 Apparatus for determining the amount of milk breast-fed to a baby
US7181963B2 (en) * 2004-06-30 2007-02-27 Codman & Shurtleff, Inc Thermal flow sensor having streamlined packaging
US7321833B2 (en) 2004-10-13 2008-01-22 Emerson Electric Co. Fluid flow rate sensor
US7333899B2 (en) 2004-10-13 2008-02-19 Therm-O-Disc, Incorporated Fluid flow rate sensor and method of operation
JP5080020B2 (ja) * 2006-04-13 2012-11-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量センサ
JP4341651B2 (ja) * 2006-07-28 2009-10-07 株式会社日立製作所 熱式ガス流量計
US7347092B1 (en) 2006-09-28 2008-03-25 Delphi Technologies, Inc. Apparatus and method for fluid flow measurement
EP2037234A1 (en) 2007-09-14 2009-03-18 General Electric Company Fluid detector
US8215157B2 (en) * 2007-10-04 2012-07-10 Baxter International Inc. System and method for measuring liquid viscosity in a fluid delivery system
US8594953B2 (en) * 2011-03-09 2013-11-26 ClearWater Tech, LLC Intelligent gas flow sensor probe

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6134424U (ja) * 1984-07-31 1986-03-03 愛知時計電機株式会社 発電式水道メ−タ
JPH0199108A (ja) * 1987-10-12 1989-04-18 Yamada Mitsue 制御装置
JPH04116464A (ja) * 1990-09-06 1992-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流速センサ
JP2002122454A (ja) * 2000-10-17 2002-04-26 Yamatake Corp フローセンサ
JP2003028692A (ja) * 2001-07-18 2003-01-29 Nikkiso Co Ltd 流量測定方法および装置
WO2009154112A1 (ja) * 2008-06-20 2009-12-23 株式会社キーエンス 2線式電磁流量計

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015046328A1 (ja) * 2013-09-27 2015-04-02 林泰正 熱式流速・流量センサの製造方法及び熱式流速・流量センサ
JP2015068659A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 林 泰正 熱式流速・流量センサの製造方法及び熱式流速・流量センサ
KR101786741B1 (ko) * 2013-09-27 2017-10-18 야수마사 하야시 열식 유속·유량센서의 제조방법 및 열식 유속·유량센서
WO2018105753A3 (ja) * 2017-05-08 2018-08-09 株式会社村田製作所 センサ基板、風速測定装置および風量測定装置

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