JP2013518297A - 構成部材の熱膨張係数が調和し、交換可能なミラーを備える、低ウォブル及び大走査角の、トートバンド型レゾナントスキャナ - Google Patents
構成部材の熱膨張係数が調和し、交換可能なミラーを備える、低ウォブル及び大走査角の、トートバンド型レゾナントスキャナ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013518297A JP2013518297A JP2012550097A JP2012550097A JP2013518297A JP 2013518297 A JP2013518297 A JP 2013518297A JP 2012550097 A JP2012550097 A JP 2012550097A JP 2012550097 A JP2012550097 A JP 2012550097A JP 2013518297 A JP2013518297 A JP 2013518297A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- resonant scanner
- band type
- type resonant
- tote
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
長形帯状片(10)とサブアセンブリ(12)を含むトートバンド型レゾナントスキャナが開示される。長形帯状片は長手方向への長さと、長手方向に垂直な幅方向への幅と、幅方向と長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有し、厚さは幅より実質的に小さく、幅方向と長手方向は、帯状片の幅/長さ平面を規定する。サブアセンブリは、帯状片の一部に取り付けられ、2つの半分割部分(14、16)を含む。帯状片の熱膨張率は、ハウジング内のその取付構造のそれと同じである。
Description
本願は、2010年1月22日出願の米国仮特許出願第61/297,534号の優先権を主張し、その全文を引用によって本願に援用する。
本発明は一般に、レゾナントスキャナに関し、特に、スキャナ用の共振周波数を提供するために緊張状態に保持される、長い硬質の帯状片を含む、トートバンド型のレゾナントスキャナに関する。
従来のトートバンド型レゾナントスキャナには、一般に、さまざまな欠点がある。第一に、従来のトートバンド型レゾナントスキャナの多くは、使用中に特定の量の好ましくないウォブル(がたつき)が発生する。第二に、通常、帯状片がミラー取付構造および/または帯状片締着構造に取り付けられる箇所に、帯状片への応力が集中し、このような応力の集中が、これらの箇所における帯状片の不良の原因となりうる。
第三に、帯状片と負荷の組み合わせが固定されているため、ミラーの寸法または動作周波数を変更したい場合、通常、ミラー、使用されていればそのカウンタマス(カウンタウェイト)、帯状片、そして、しばしば構造全体を交換する必要があり、それによって製造および修理費用が増す。第四に、動作中の温度変化が、個々の構成要素の熱膨張率の違いによって、動作に大きなマイナスの影響を与えるかもしれず、これは付随的に装置の動作固有周波数を変化させることにつながる。
さらに、置かれた環境に由来する腐食もまた、動作にマイナスの影響を与える。たとえば、多くの従来のトートバンド型レゾナントスキャナでは、帯状片にクロックスプリングスチール(時計用のぜんまい鋼)が利用されているが、この材料は通常、使用中に錆や応力腐食割れを発生させ、その結果、帯状片が設計上の寿命よりずっと早く故障する。
したがって、少なくとも上記の欠点を回避し、または最小限に抑えるトートバンド型レゾナントスキャナが求められている。
ある実施形態によれば、本発明は、長形帯状片とサブアセンブリを含むトートバンド型レゾナントスキャナを提供する。長形帯状片は、長手方向への長さと、長手方向に垂直な幅方向への幅と、幅方向と長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有し、厚さは幅より実質的に小さく、幅方向と長手方向は帯状片の幅/長さ平面を規定する。サブアセンブリは、帯状片の一部に取り付けられ、少なくとも1つの取付構造を含む。
他の実施形態によれば、本発明は、長形帯状片とサブアセンブリとハウジングを含む、トートバンド型レゾナントスキャナを提供する。長形帯状片は、第一の熱膨張率を有する材料で形成される。サブアセンブリは、帯状片の一部に取り付けられ、2つの半分割部分で形成されて、半分割部分の間に帯状片が捕捉される。ハウジングは取付構造を含み、そこに帯状片がハウジング内において緊張状態で固定される。取付構造は、第二の熱膨張率を有する材料で形成され、第一の熱膨張率は、第二の熱膨張率と実質的に同じである。
他の実施形態によれば、本発明は、複数のミラーのいずれも使用でき、複数の動作周波数で使用できる、トートバンド型レゾナントスキャナを提供する。トートバンド型レゾナントスキャナは、長形帯状片とサブアセンブリを含む。長形帯状片は、長手方向への長さと、長手方向に垂直な幅方向への幅と、幅方向と長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有し、厚さは幅より実質的に小さく、幅方向と長手方向は帯状片の幅/長さ平面を規定する。サブアセンブリは、帯状片の一部に取り付けられ、2つの半分割部分で形成されて、半分割部分の間に帯状片が捕捉される。サブアセンブリは、サブアセンブリの両端に、ミラーとカウンタウェイトマスを取り付けてもよい取付機能部材を含み、帯状片の幅/長さ平面に実質的に平行な平面内に露出面を有する少なくとも1つの磁石を含む。
以下の説明は、添付の図面を参照するとさらに理解しやすいであろう。
図面は、例示の目的でのみ示されている。
上記の欠点の多くが、レゾナントスキャナそのものの設計の不備によるものであることがわかっており、さらに、このような欠点は、トートバンド型レゾナントスキャナの設計の改良によって縮小または排除しうることもわかっている。
特に、ウォブルは、少なくともその一因として、ミラーを帯状片の幅の次元に平行に取り付けることに起因することがわかっている。これは、そのように取り付けることによって、ミラーが、ミラーの望ましい傾きと直交する方向に過剰に傾くからである。その結果、処理された光が、望ましい曲折に対して垂直に反れるという、不快で不要な現象が生じる。これがウォブルである。ミラーを、帯状片の幅の次元の平面に対して垂直な平面内に取り付けることにより、このウォブルを回避できることがわかっている。
第二に、先行技術においては、帯状片の作動部分から帯状片の締着部分への推移が、応力の影響を受けやすい特徴をなるべく小さくするような方法でなされるための対策が講じられていない。これらの推移部分での応力は、設計によって最小限に抑えうることがわかっている。第三に、従来のスキャナの帯状片と負荷の組み合わせは固定されているため、ミラーの寸法または動作周波数を変更したい場合、ミラー、使用されていればそのカウンタマス、帯状片、そして、しばしば構造全体を交換する必要がある。これにより、製造および修理費用が増す。また、スキャナの全体的な寸法を変更することが要求されるため、スキャナファミリ(すなわち、それに属するすべてのものが、形状と適合性と機能の点で互換可能なもの)が開発されていない。この問題を回避するトートバンド型レゾナントスキャナを開発しうることがわかっている。
第四に、動作中の熱ドリフトは、同等の熱膨張率を有するように材料と設計を選択すれば回避しうることがわかっている。さらに、置かれた環境に起因する腐食と摩耗の影響もまた、材料と設計を適正に選択することによって回避しうることがわかっている。したがって、本発明の主目的は、1つのスキャナ設計モデルで、先行技術の上記のようないくつかの欠点に対処し、これらを是正することである。
図1は、本発明の実施形態によるトートバンド型レゾナントスキャナの帯状片10とサブアセンブリの例示的設計を示す。サブアセンブリは、帯状片10に取り付けられたミラー取付構造12を含む。ミラー取付構造12は、2つの半分割部分14,16を有し、これらは間に帯状片10を受けるように連結されている。半分割部分14,16は、ねじ22,24によって一体に固定される。ミラー取付構造12は、露出している端部18,20を持つ磁石19を有し、これらはそれぞれ、組み立てられた時に、スキャナユニットのコイル付近に位置付けられる。磁石は、たとえば短い寸法で分極された棒磁石であってもよく、各端部18,20がそれぞれN極とS極である。このような磁石の使用は、製造効率の向上のほかコスト削減にもつながり、質量も比較的小さくてすむ。ミラー取付構造12はまた、上面と下面にねじ山付の取付機能部材26(図3と図5に示される),28を有する。ミラーを取付機能部材の一方(たとえば26)に取り付けてもよく、その一方で、カウンタウェイトマスをもう一方の取付機能部材(たとえば28)に取り付けてもよい。
図2に示されているように、帯状片10は、一方の端部40に取付穴30,32を有し、もう一方の端部42には、取付穴34,36のほか、スキャナユニット(図7に示される)内に設置された時に、帯状片10の張力を調節できるようにする張力調節用開口部38を有する。取付穴34,36は各々、この調節に対応できるような形状(若干、楕円形)であってもよい。図3は、図2のサブアセンブリの上面図を示し、図4は、図2のサブアセンブリを右側から見た側面図を示す。図5は、図2の線5−5に沿って見た断面図を示し、この中では取付機能部材26,28が見えている。
図6に示されているように、帯状片10の中央領域44には、ミラー取付構造12のねじ22,24と係合する中央取付穴46,48がある。開口部50もまた、帯状片10の中央領域44の中央に設置され、端部18,20を有する磁石を受ける。開口部50はまた、中央領域44の幅広部分の有効質量を低減させる。
帯状片10は好ましくは、アスペクト比の大きな断面寸法、たとえば幅0.254センチ(0.100インチ)、厚さ0.0152センチ(0.006インチ)の、たとえばステンレススチールやベリリウム銅のような、耐応力性と耐食性の高い材料からなる、薄い平坦な帯状片である。帯状片は、図6に示されるような取付領域40,42,44を有する。帯状片の、領域40,44の間および領域42,44の間の領域52,54は、使用中、ねじり運動を受ける作動領域である。帯状片の中央に示されている取付ブロックの半分割部分14,16により、据え付けられた時に帯状片の中央部分は基本的に剛性となる。スキャナユニット内のフレームに支持され、バークランプとねじによりその位置に保持された時(図7と図8に示される)、端部もまた基本的に剛性である。
したがって、2つの長い、幅の狭い領域52,54がトートバンドの作動部分であり、推移特徴部(たとえば、60、62、64、66で示される丸み)によって剛性領域に連結され、これらの特徴部によって、幅が推移する領域はゆっくりと変化し、スムーズとなる。これに対して、従来のトートバンドスキャナでは一般に、方形の角状の推移領域が用いられる。丸み60、62、64、66により、応力の集中が推移部分で発生する傾向が縮小または排除され、それによって、先行技術におけるこれらの領域の割れや撓み不良の傾向が縮小または排除される。
前述のように、ミラーとそのそれぞれのカウンタマスは、取付構造12の両端に、ねじ山付取付機能部材26,28においてねじで取り付けられ、それによってこれらは、帯状片の幅の次元に対して垂直となる。従来のトートバンド型レゾナントスキャナでは、ミラー、磁石、取付ブロックおよび、使用されていればカウンタマスが、帯状片の幅の次元に平行に取り付けられる。帯状片の固有周波数とねじり運動を考えると、どちらの方法でも同じ周波数が提供される。しかしながら、帯状片10はまた、帯状片上に中心のある両方の垂直平面における共振運動の影響も受ける。
帯状片の硬さは、厚さの次元においてより、幅の次元において非常に大きいため、厚さの次元における共振からの不可避的な小さな運動は、幅の次元におけるそれらの運動よりはるかに大きい。その結果、ミラーを幅の次元に平行に取り付けた場合、ミラー面における不要な運動の振幅は非常に大きい。この運動はほとんど、望まれる傾斜運動に対して垂直な方向へミラーが傾くように見え、一般にこれはウォブルと呼ばれる。ミラーが幅の次元に対して垂直であれば、この方向への撓みの硬さは非常に大きくなり、ウォブルの運動はわずかな数値まで低減されるか、完全に除去される。これで、他の垂直運動は、傾きではなくミラーの回転のように見え、通常、これは重要ではない。
図7と図8は、本発明の実施形態によるトートバンド型レゾナントスキャナの例示的な上面等角図および側面等角図を示し、図9と図10は、図7と図8のトートバンド型レゾナントスキャナの例示的な上面図と底面図を示す。特に、ミラー面71を有するミラー70は、スキャナハウジング74内のミラー取付構造12の一方の端(たとえば、機能部材26)に取り付けられ、カウンタウェイトマス72は、ハウジング74内のミラー取付構造12のもう一方の端(たとえば、機能部材28)に取り付けられる。ハウジング74は、ねじ84、86、88、90によって一体に保持される2つのハウジング部分80,82によって形成される。帯状片10の取付穴30,32は、ねじ92,94によってハウジング部分80に固定され、帯状片10の取付穴34,36は、ねじ96,98によってハウジング部分80に固定される。張力調節用開口部38は露出し、それによって、(ねじ96,98を緩めると)帯状片10の張力を調節できる。
図11にさらに示されているように、ハウジング74はまた、対向するコイル100,102(図13に示される)が位置付けられてもよい開口部を有する。図12は、帯状片が撓んでいる間のミラー70を示しており、ミラー70の面71が見えている。図13は、図12の線13−13に沿って見た断面図を示し、図13と図14に示されているように、2つのコイル100,102がハウジングの対向する面の穴の中に取り付けられ、磁石19は、前述のような可動構造に取り付けられる。図14に示されているように、レゾナントスキャナの残りの要素はすべて同じままとしながら、図13のミラー70とカウンタウェイトマス72の代わりに、異なるミラー110と異なるカウンタウェイトマス112を用いてもよい。これにより、同じスキャナユニットを使って、スキャナファミリ全体を提供することができる。
したがって、本発明によるレゾナントスキャナサのサブアセンブリとスキャナでは、さまざまなミラー/周波数のバージョン、たとえば、固有共振周波数50Hzで動作する直径20mmのミラーや、固有共振周波数200Hzで動作する直径8mmのミラー等を得ることができる。どちらのスキャナも、ミラーそのものおよびそのそれぞれのカウンタマスを除き、同じ部品から構成される。両方とも、0度から52度の走査角度(光学角、ピークトゥーピーク)で動作する。交換可能なミラーは取付構造12の一方の端に単純にねじで固定され、その一方で、それぞれのカウンタマスは、取付構造12のもう一方の端にねじで固定される。
取付部14,16は、アルミニウム等の軽量な材料で形成されてもよく、帯状片の撓みおよび磁石19を支持する役割を果たす。帯状片の端は、ステンレススチールのバーとねじによってフレームに締着される。調節用開口部38が突端部分に形成され、帯状片用テンションレバー(図示せず)の取付点の役割を果たし、組立中に帯状片を緊張させて、所望の正確な固有周波数が得られるようにする。
組立工程では、帯状片の端部40をしっかりと、また引っ張り端42をぴったりと、ただしきつくないように締着し、ウェイトをテンションレバー(図示せず)から吊り下げる。このウェイトは、その重量にレバーアーム比を乗じたものが帯状片10に必要な力となる時に、所望の張力が得られるように選択される。次に、固有周波数を測定し、これが許容範囲内であれば、締付ねじを完全に締め、ウェイトとレバーを取り外す。当初は固有共振周波数が許容範囲内にない場合は、ウェイトを必要に応じて支点に向かって、または支点とは反対側にスライドさせ、固有周波数が許容範囲内になるまでこれを繰り返し、その後、締付ねじを完全に締めて、帯状片を必要な張力で支持する。もちろん、帯状片とフレーム部品は、ベリリウム銅等、適合する熱膨張率の他の材料で作製することも可能である。
図15と図16は、本発明の他の実施形態によるトートバンド型レゾナントスキャナの例示的な上面等角図および側面等角図を示し、図17と図18は、図15と16のトートバンド型レゾナントスキャナの例示的な上面図と底面図を示す。特に、ミラー面171を有するミラー170が、スキャナハウジング174の中のミラー取付構造の一方の端に取り付けられ、カウンタウェイトマスが、ハウジング174の中のミラー取付構造のもう一方の端に取り付けられ、これは前の実施形態について上で述べたとおりである。
ハウジング174は、ねじ184,186,188,190によって一体に保持される2つのハウジング部分180,182によって形成される。(図1〜図6の)帯状片10の取付穴30,32は、ねじ192,194によってハウジング部分180に固定され、(図1〜図6の)帯状片10の取付穴34,36は、ねじ196,198によってハウジング部分180に固定される。ハウジング174はまた、対向するコイル(たとえば、その一方は200で、もう一方は図示されていない)を取り付けてもよい開口部を有し、これは前の実施形態に関して上で述べたとおりである。前述のように、ミラー取付部分は、アルミニウム等の軽量材料で形成してもよく、帯状片の撓みのほか磁石(たとえば、前述の19)を支持する役割を果たす。帯状片の端は、ステンレススチールのバーとねじによってフレームに締着される。
張力調節用開口部138が露出しており、帯状片の張力を(ねじ196,198を緩めると)調節することができる。特に、図15〜図18の実施形態によれば、ハウジング部分180は、撓みの長さと引っ張りの方向に沿った取付フレームのコンプライアンスを提供する弾性ヒンジ204を有する。弾性ヒンジ204は、調節中の撓みの平面性がなるべく変化しないように、できるだけ弾性帯状片の近くに設置する。ねじ206は、ハウジング部分180の調節可能部分208に設置され、帯状片はねじ196,198によって調節可能部分208に取り付けられる。図15〜図18に示される実施形態はまた、モータを制御し、位置フィードバック信号を受信するための連結ワイヤ212を含む。
ねじ206を締めると、調節可能部分が弾性ヒンジ204の周囲で旋回し、これによって帯状片は伸びる(緊張状態となる)。ねじ206を緩めると、調節可能部分は弾性ヒンジ204の周囲で旋回して元に戻り、これによって帯状片が弛緩する(緊張が軽減する)。ねじ192,194をその本締めトルクまで締めることを含む組立工程の後で、ねじ196,198を、たとえば0.14Nm(2in−oz)等の低いトルクまで締めることによって、取付ブロック210をぴったりと、ただしきつくない状態に調節する。次に、ねじ206を締めてスキャナの周波数を微調節して、振動の固有周波数が許容範囲内となるようにし、ねじ196,198をその本締めトルクまで締める。ねじ206を締めている間に所望の周波数を超えた場合は、単純にねじの方向を逆転させて、弾性帯状片を弛ませ、調節工程を繰り返してよい。前述のように、帯状片とフレーム部品は、ベリリウム銅等、適合する熱膨張率のさまざまな材料で形成してよい。
上記の実施形態の各々によれば、コイルの一方は駆動コイルとして機能し、もう一方は速度ピックアップコイルとして機能して、電気サーボドライバ(図示せず)に速度フィードバックを供給する。走査に要する時間がすべての走査角度について同じであることは、調和運動の特徴である。その結果、運動速度を角度に比例して増大させなければならない。速度コイルは磁石の一方の端の磁界と相互作用し、その中に、磁石の瞬間速度に比例する電圧が誘起される。それゆえ、このコイルの中に正弦波電流が発生し、これは磁石(および、ひいてはミラー)の運動と位相ロックされ、その振幅は速度に比例し、速度自体は走査角度の振幅に比例するため、走査振幅を設定し、維持するための忠実なフィードバック制御信号を供給する。
もう一方のコイルは、スキャナを駆動するために使用される。スキャナは、その固有周波数で動作するため、Qが非常に高く、したがって、駆動コイルはシステム内の損失を補うだけでよい。一般に、レゾナントスキャナのサーボドライブは自励発振する。すなわち、小さなパルスが供給されるとスキャナの運動が開始し、速度信号が増幅されて、駆動コイルにフィードバックされる。このようにして、スキャナは常にその固有周波数で駆動され、駆動信号はフィードバック信号とまったく同じであるため、ミラーの運動と駆動電圧との間が位相ロックされる。すでに指摘したように、速度コイルの振幅を使って走査振幅が設定、維持される。これは一般に、補正済みの速度信号を基準電圧のそれと比較することによって行われる。
スキャナの全体的な大きさは、形状と適合性と機能の面で互換的であり、ミラーの大きさと動作周波数によって区別されるスキャナからなる特定のファミリの中で最も大きい直径に合わせられる。ミラーとそれに関連するカウンタマスを除き、スキャナの部品は、異なるタイプのスキャナの各々について同じであってもよい。他の実施形態において、スキャナの動作特性を変更するために、たとえば帯状片の厚さおよび/または長形帯状片を作製するための材料を変えることによって、長形帯状片そのものを交換してもよい。
したがって、当業者にとっては当然のことながら、直径20mmの大きさから直径8mmの大きさまでの間および、直径8mm以下の大きさおよび直径20mm以上の大きさで、ミラー/帯状片/周波数の組み合わせは無限に提供できる。特定のファミリの中のミラーの大きさの極限値は、上限が、各用途における必要性から望まれる不確定の寿命およびそれ以下の所望の寿命に合わせて選択される特定の撓み設計の疲労応力限界によって限定され、下限が、ミラーの質量の負荷が追加されていないトートバンド/取付ブロック/磁石のアセンブリの動作の固有周波数によって限定される。また、このようなスキャナのファミリは無限にあり、各ファミリは所望の最大のミラー径に合わせられる。
このように、本発明は先行技術の欠陥のすべてに対処し、これらを改善することがわかる。第一に、ミラーを帯状片の幅の次元に対して垂直に取り付けることによって、ウォブルが縮小または排除される。第二に、帯状片の締着された領域と作動領域の間の推移がスムーズであり、寸法がゆっくりと変化するため、応力の集中がなくなる。第三に、すべて同じ形状と適合性と機能を有し、ミラーとカウンタマス以外は全部品を共有する、幅広い範囲の大きさと周波数に対応するミラーファミリが提供される。第四に、構成材料が熱膨張率の点で適合し、したがって熱ドリフトが縮小または排除される。さらに、帯状片は応力腐食に対する耐性が高いものとして選択される材料で構成されるため、腐食による不良もまた削減または排除される。
当業者にとっては当然のことながら、本発明の真の主旨と範囲から逸脱することなく、上述の実施形態にさまざまな改変や変更を加えることができる。
Claims (20)
- トートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
長手方向への長さと、前記長手方向に垂直な幅方向への幅と、前記幅方向と前記長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有する長形帯状片であって、前記厚さが前記幅より実質的に小さく、前記幅方向と長手方向が帯状片の幅/長さ平面を規定する長形帯状片と、
前記帯状片の一部に取り付けられたサブアセンブリであって、ミラーが、前記ミラーのミラー面が前記帯状片の幅/長さ平面と平行でない平面内に位置付けられるようにそこに取り付けられる少なくとも1つの取付構造を含むサブアセンブリと、
を備えることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記ミラー面が、前記帯状片の幅/長さ平面に垂直なミラー面平内に位置付けられることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記サブアセンブリは、2つの半分割部分で形成され、前記半分割部分の間で前記帯状片を捕捉することを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片がハウジング内で、前記ハウジング内の取付構造において緊張状態に固定され、前記帯状片と取付構造が各々、実質的に同じ熱膨張率を有する材料で形成されることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片および前記サブアセンブリが同じ材料で形成されることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片が、前記帯状片がスキャナハウジングに固定される少なくとも1つの固定領域と、少なくとも1つの作動領域と、を含み、前記固定領域と前記作動領域の間の応力集中を軽減させる少なくとも1つの推移特徴部が設けられていることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項1に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片とサブアセンブリが、各種の異なるミラーとともに、異なる周波数で使用しうることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - トートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
第一の熱膨張率を有する材料で形成される長形帯状片と、
前記帯状片の一部に取り付けられたサブアセンブリであって、2つの半分割部分で形成され、前記半分割部分の間に前記帯状片を捕捉するサブアセンブリと、
取付構造を含むハウジングであって、前記帯状片が前記ハウジング内で前記取付構造に緊張状態に固定され、前記取付構造が第二の熱膨張率を有する材料で形成され、前記第一の熱膨張率が前記第二の熱膨張率と実質的に同じであるハウジングと、
を備えることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項8に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片と前記サブアセンブリが同じ材料で形成されることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項8に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片が、前記帯状片がスキャナハウジングに固定される少なくとも1つの固定領域と、少なくとも1つの作動領域と、を含み、前記固定領域と前記作動領域の間の応力集中を軽減させる少なくとも1つの推移特徴部が設けられていることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項10に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記推移特徴部が丸みの付いた角部を含むことを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項8に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記ハウジングが、弾性ヒンジと、前記長形帯状片上の張力を調節する調節手段と、をさらに含むことを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項8に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記長形帯状片が、長手方向への長さと、前記長手方向に垂直な幅方向への幅と、前記幅方向と前記長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有し、前記厚さが前記幅より実質的に小さく、前記幅方向と長手方向が帯状片の幅/長さ平面を規定し、
前記サブアセンブリが少なくとも1つの取付構造を含み、そこにミラーが、前記ミラーのミラー面が前記帯状片の幅/長さ平面と平行でない平面内に位置付けられるように取り付けられてもよいことを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項13に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記ミラー面が前記帯状片平面に垂直な平面内に位置付けられることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項13に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記バンドとサブアセンブリが、各種の異なるミラーとともに、異なる周波数で使用しうることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 複数のミラーのいずれとも使用でき、複数の動作周波数で使用できるトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記トートバンド型レゾナントスキャナが、長手方向への長さと、前記長手方向に垂直な幅方向への幅と、前記幅方向と前記長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有する長形帯状片であって、前記厚さが前記幅より実質的に小さく、前記幅方向と長手方向が帯状片の幅/長さ平面を規定する長形帯状片と、
前記帯状片の一部に取り付けられたサブアセンブリであって、前記サブアセンブリが2つの半分割部分で形成され、前記半分割部分の間で前記帯状片を捕捉し、前記サブアセンブリの両端の、ミラーとカウンタウェイトマスを取り付けうる取付機能部材を含み、前記帯状片の幅/長さ平面に実質的に平行な平面内において露出面を有する少なくとも1つの磁石を含むサブアセンブリと、
を備えることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項16に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片がハウジング内で、前記ハウジング内の取付構造において緊張状態に固定され、前記帯状片と取付構造が各々、実質的に同じ熱膨張率を有する材料で形成されることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項16に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片と前記取付構造が同じ材料で形成されることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項16に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記帯状片が、前記帯状片がスキャナハウジングに固定される少なくとも1つの固定領域と、少なくとも1つの作動領域と、を含み、前記固定領域と前記作動領域の間の応力集中を軽減させる少なくとも1つの推移特徴部が設けられていることを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。 - 請求項19に記載のトートバンド型レゾナントスキャナにおいて、
前記スキャナハウジングが、弾性ヒンジと、前記長形帯状片上の張力を調節するための調節手段と、をさらに含むことを特徴とするトートバンド型レゾナントスキャナ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US29753410P | 2010-01-22 | 2010-01-22 | |
US61/297,534 | 2010-01-22 | ||
PCT/US2011/021788 WO2011091093A1 (en) | 2010-01-22 | 2011-01-20 | Low wobble wide scan angle taut-band resonant scanners with matched coefficients of thermal expansion and interchangeable mirrors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013518297A true JP2013518297A (ja) | 2013-05-20 |
Family
ID=43902919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012550097A Pending JP2013518297A (ja) | 2010-01-22 | 2011-01-20 | 構成部材の熱膨張係数が調和し、交換可能なミラーを備える、低ウォブル及び大走査角の、トートバンド型レゾナントスキャナ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8654423B2 (ja) |
EP (1) | EP2526453A1 (ja) |
JP (1) | JP2013518297A (ja) |
KR (1) | KR20120120497A (ja) |
CN (1) | CN102884473A (ja) |
WO (1) | WO2011091093A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017015459A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社ミツトヨ | 光プローブ、及び測定装置 |
CN113759541A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-12-07 | 船井电机株式会社 | 振动元件 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2461184B1 (de) * | 2010-12-03 | 2015-07-08 | Agfa HealthCare N.V. | Vorrichtung und Verfahren zum Auslesen von in einer Speicheleuchtstoffschicht gespeicherten Röntgeninformationen |
JP6260019B2 (ja) * | 2012-11-09 | 2018-01-17 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材、微小機械装置、微小機械装置の製造方法、揺動制御装置及び揺動制御方法 |
FR3102901B1 (fr) | 2019-11-05 | 2021-10-15 | Tu Yang | Résonateur électromécanique présentant des modes de résonance secondaires décalés. |
CN112532009B (zh) * | 2020-09-16 | 2024-03-15 | 常州富兴机电有限公司 | 一种新型微特电机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370825A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動ミラ−装置 |
JPH03287222A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-17 | Ricoh Co Ltd | トラッキングミラーアクチュエータ装置 |
JPH09146033A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
JPH11231251A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Toshiba Corp | ミラー回転駆動装置およびそれを用いたマルチビーム走査装置 |
JP2008111882A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
JP2009222900A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 捩り梁、光走査装置および画像形成装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4686363A (en) * | 1986-01-21 | 1987-08-11 | Printware, Inc. | Self-resonant scanner biasing system |
US4990808A (en) * | 1987-02-17 | 1991-02-05 | General Scanning, Inc. | Symmetrical resonant scanner and drive |
JP2711158B2 (ja) * | 1989-11-13 | 1998-02-10 | 富士写真フイルム株式会社 | 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器 |
US5528411A (en) * | 1993-05-03 | 1996-06-18 | General Scanning Inc. | Resonant scanner |
CA2111934C (en) * | 1993-05-14 | 2005-06-28 | Simon Bard | Scanner module for symbol scanning system |
US5694237A (en) * | 1996-09-25 | 1997-12-02 | University Of Washington | Position detection of mechanical resonant scanner mirror |
US5982528A (en) * | 1998-01-20 | 1999-11-09 | University Of Washington | Optical scanner having piezoelectric drive |
US6525310B2 (en) * | 1999-08-05 | 2003-02-25 | Microvision, Inc. | Frequency tunable resonant scanner |
US6285489B1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-09-04 | Microvision Inc. | Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms |
US6924476B2 (en) * | 2002-11-25 | 2005-08-02 | Microvision, Inc. | Resonant beam scanner with raster pinch compensation |
US6245590B1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-06-12 | Microvision Inc. | Frequency tunable resonant scanner and method of making |
US7516896B2 (en) * | 1999-08-05 | 2009-04-14 | Microvision, Inc. | Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms |
US6882462B2 (en) * | 2002-11-01 | 2005-04-19 | Microvision, Inc. | Resonant scanner with asymmetric mass distribution |
JP3862623B2 (ja) * | 2002-07-05 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
KR100940206B1 (ko) * | 2003-10-24 | 2010-02-10 | 삼성전자주식회사 | 주파수 변조 가능한 공진형 스캐너 |
KR20050043423A (ko) * | 2003-11-06 | 2005-05-11 | 삼성전자주식회사 | 주파수 변조 가능한 공진형 스캐너 |
WO2006088779A1 (en) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Texas Instruments Incorporated | Deflection control for resonant scanning mirror |
US7414503B1 (en) * | 2007-11-02 | 2008-08-19 | Texas Instruments Incorporated | Torsional hinged device with improved coupling between a magnet mounted to said device and an electrical coil |
-
2011
- 2011-01-20 EP EP11703307A patent/EP2526453A1/en not_active Withdrawn
- 2011-01-20 CN CN2011800108203A patent/CN102884473A/zh active Pending
- 2011-01-20 WO PCT/US2011/021788 patent/WO2011091093A1/en active Application Filing
- 2011-01-20 US US13/009,939 patent/US8654423B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-20 JP JP2012550097A patent/JP2013518297A/ja active Pending
- 2011-01-20 KR KR1020127021291A patent/KR20120120497A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370825A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動ミラ−装置 |
JPH03287222A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-17 | Ricoh Co Ltd | トラッキングミラーアクチュエータ装置 |
JPH09146033A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 |
JPH11231251A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Toshiba Corp | ミラー回転駆動装置およびそれを用いたマルチビーム走査装置 |
JP2008111882A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
JP2009222900A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Ricoh Co Ltd | 捩り梁、光走査装置および画像形成装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017015459A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社ミツトヨ | 光プローブ、及び測定装置 |
CN113759541A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-12-07 | 船井电机株式会社 | 振动元件 |
US11921283B2 (en) | 2020-06-03 | 2024-03-05 | Funai Electric Co., Ltd. | Vibrating element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120120497A (ko) | 2012-11-01 |
US8654423B2 (en) | 2014-02-18 |
WO2011091093A1 (en) | 2011-07-28 |
US20110181932A1 (en) | 2011-07-28 |
CN102884473A (zh) | 2013-01-16 |
EP2526453A1 (en) | 2012-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013518297A (ja) | 構成部材の熱膨張係数が調和し、交換可能なミラーを備える、低ウォブル及び大走査角の、トートバンド型レゾナントスキャナ | |
JP5172677B2 (ja) | 機械的振動エネルギを電気エネルギに変換するための電気機械的発電機 | |
US5557444A (en) | Miniature optical scanner for a two axis scanning system | |
CN203786442U (zh) | 带防抖功能的透镜驱动装置 | |
US6392776B1 (en) | Optical scanner | |
JP5363317B2 (ja) | 電子歯ブラシ器の節バネ組立体 | |
JP5840383B2 (ja) | コリオリ流量センサ | |
US4044283A (en) | Electromechanical resonator | |
JP2579101B2 (ja) | 磁気変換手段の位置を保持しかつ変化させるための装着体 | |
KR100723917B1 (ko) | Vcm 액츄에이터 및 그 틸트 보정방법 | |
US4913281A (en) | Adjustable self-aligning spring system for vibratory material feeders | |
CN110726984B (zh) | 一种振镜和激光雷达 | |
EP3966923A1 (en) | Drive unit and method for operating a drive unit | |
JP4849497B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP4407046B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP5614478B2 (ja) | ミラーチルトアクチュエーター | |
JP2010237273A (ja) | ミラーチルトアクチュエーター | |
JP2007135266A (ja) | 球面超音波モータ | |
JPH03150733A (ja) | 回転鏡装置 | |
JPH045608B2 (ja) | ||
JP4667869B2 (ja) | 小型電気器具における振動運動を生成するための駆動機構 | |
TW201245794A (en) | Adjustable lens mount for a strip lens | |
JPH064079Y2 (ja) | 圧電ファン | |
JP3231477U (ja) | パラソルスタンド | |
JP2002014298A (ja) | 光スキャナ及び2次元スキャンシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140603 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141028 |