JP2013503049A - 精密エッジ仕上げのための装置及び方法 - Google Patents

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Abstract

仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程及び仕上げ前材料のエッジを機械加工領域内に置く工程を含む、仕上げ前材料のエッジを仕上げる方法が提供される。方法はさらに、除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程及び検知された位置に基づいて加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置を調節する工程を含む。一例において、少なくとも1つのセンサは誘導性センサであり、除去可能な感知層は強磁性材料である。

Description

関連出願の説明
本出願は2009年8月27日に出願された米国仮特許出願第61/237468号の優先権の恩典を主張する。
本発明は全般的には仕上げ前材料のエッジを仕上げるための方法に関する。特に、本発明は、仕上げ前材料に対する研削ホイールのような仕上デバイスの位置を調節する工程を含む、ガラスシートのようなガラス材料を仕上げるための方法に関する。本発明は、例えば、LCD基板に適するガラスシートのエッジの精密仕上げに有用である。
ガラスシートのような、仕上げ前シート材料の形成は様々な用途に望ましい。初期形成後、仕上げ前材料は、所望の周縁形状及びエッジ特性を有する最終製品を得るため、機械加工される必要があることが多い。好ましい特性を有するエッジを提供しながら一貫した機械加工を提供するため、仕上げ前材料のエッジを機械加工するための加工機を調節するための方法の提供が必要とされている。
本発明の課題は、シート材料の形成において、好ましい特性を有するエッジを提供しながら一貫した機械加工を提供するため、仕上げ前シート材料のエッジを機械加工するための加工機の調節方法を提供することにある。
以下に、詳細な説明において説明されるいくつかの態様例の基本的理解を提供するため、本開示の簡潔な要約を提示する。
本発明のいくつかの態様が本明細書に開示される、それぞれの態様が相互に重複することもあれば重複しないこともあることは当然である。したがって、1つの態様の一部が別の態様の範囲内に入ることがあり得るし、逆もあり得る。
それぞれの態様は多くの実施形態で説明され、そのような実施形態には1つ以上の特定の実施形態が含まれ得る。実施形態が相互に重複することもあれば重複しないこともあることは当然である。一実施形態の一部、またはその特定の実施形態が別の実施形態、またはその特定の実施形態の範囲内に入ることもあれば入らないこともあり得るし、逆もあり得る。
本開示の第1の態様は、仕上げ前材料のエッジを仕上げる、
仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程、
仕上げ前材料のエッジを機械加工領域内に置く工程、
除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程、及び
検知された位置に基づいて加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置を調節する工程、
を含む方法である。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、仕上げ前材料はガラスシートを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、仕上げ前材料は、最大でも700μm、最大でも500μm、最大でも300μm、最大でも100μm、さらには最大でも10μmのような、最大でも1000μmの厚さを有する、ガラスシートを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、除去可能な感知層は強磁性材料を含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、強磁性材料は強磁性テープを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、少なくとも1つのセンサは、それぞれが除去可能な感知層の対応する飛び飛びの位置を検知する、複数のセンサを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、少なくとも1つのセンサは少なくとも1つの誘導性センサを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、本方法は、
仕上げ前材料のエッジを、走行方向に沿い、機械加工領域を通して案内される工程、
をさらに含み、センサは走行方向に対して直交する軸に沿って除去可能な感知層の位置を検知する。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、非接触型素子が相対位置を調節する。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、非接触型素子は、仕上げ前材料のエッジを機械加工領域を通して案内しながら、相対位置を調節する。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、非接触型素子は、相対位置を調節するために仕上げ前材料に対して流体流を射出する、少なくとも1つの流体ベアリングを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、少なくとも1つの流体ベアリングは一対の対向流体ベアリングを含む。
本開示の第1の態様のいくつかの実施形態において、所定の位置及び強磁性材料の検知された位置に基づいてコントローラが相対位置を自動調節する。
本開示の第2の態様は、ガラスシートのエッジを仕上げる、
ガラスシートのエッジに沿って強磁性材料を施す工程、
ガラスシートのエッジを機械加工領域内に置く工程、
強磁性材料の位置を検知するために少なくとも1つの誘導性センサを用いる工程、及び
検知された位置に基づいて加工機とガラスシートのエッジの間の相対位置を調節する工程、
−相対位置はガラスシートに対して流体流を射出する少なくとも1つの流体ベアリングを用いて調節される、
を含む方法である。
本開示の第2の態様のいくつかの実施形態において、強磁性材料は強磁性テープを含む。
本開示の第2の態様のいくつかの実施形態において、本方法は、
ガラスシートのエッジを、走行方向に沿い、機械加工領域を通して案内する工程、
をさらに含み、走行方向に対して直交する軸に沿う強磁性材料の位置を少なくとも1つの誘導性センサが検知する。
本開示の第2の態様のいくつかの実施形態において、流体ベアリングは、ガラスシートのエッジを、機械加工領域を通して案内しながら、相対位置を調節する。
本開示の第3の態様は、仕上げ前材料のエッジを仕上げる、
仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程、
仕上げ前材料のエッジを機械加工領域内に置く工程、
除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程、
検知された位置に基づいて加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置を調節する工程、
仕上げ前材料のエッジを機械加工する工程、及び
感知層を除去する工程、
を含む方法である。
本開示の第3の態様のいくつかの実施形態において、除去可能な感知層は強磁性材料を含み、少なくとも1つのセンサは少なくとも1つの誘導性センサを含む。
本開示の第3の態様のいくつかの実施形態において、機械加工する工程は仕上げ前材料のエッジを機械加工するために研磨工具を用いる工程を含み、調節する工程は仕上げ前材料のエッジに対する研磨工具の位置を調節する工程を含む。
本開示の第3の態様のいくつかの実施形態において、機械加工する工程は仕上げ前材料のエッジを研磨する工程を含み、調節する工程は仕上げ前材料のエッジに対する研磨工具の位置を調節する工程を含む。
本開示の第4の態様において、仕上げ前材料のエッジを機械加工するために加工機を調節する方法は、仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程及び仕上げ前材料のエッジを機械加工領域内に置く工程を含む。本方法はさらに、除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程及び検知された位置に基づいて加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置を調節する工程を含む。
本開示の第5の態様において、ガラスシートのエッジを機械加工するために加工機を調節する工程は、ガラスシートのエッジに沿って強磁性材料を施す工程及びガラスシートのエッジを機械加工領域内に置く工程を含む。本方法はさらに、強磁性材料の位置を検知するために少なくとも1つの誘導性センサを用いる工程及び検知された位置に基づいて加工機とガラスシートのエッジの間の相対位置を調節する工程を含む。相対位置はガラスシートに対して流体流を射出する少なくとも1つの流体ベアリングを用いて調節される。
本開示の第6の態様において、仕上げ前材料のエッジを機械加工する方法は、仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程、仕上げ前材料のエッジを機械加工領域内に置く工程及び除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程を含む。本方法はさらに、検知された位置に基づいて加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置を調節する工程、仕上げ前材料のエッジを機械加工する工程及び感知層を除去する工程を含む。
本開示の様々な態様の1つ以上の実施形態は以下の利点の内の1つ以上を有する。検知する工程及び調節する工程の使用により、仕上げ前材料の精確な位置情報を得ることができ、その位置情報を研削ホイールのような仕上げ機能に適合された加工機コンポーネントに対する仕上げ前材料の位置の調節に用いて、エッジの精密エッジ仕上げを達成することができる。本プロセスは、ガラスシートのような薄いシート材料のしわ、反り、曲り及びその他の歪及び/またはその他の動きに順応して、一貫性及び再現性が高い動的エッジ仕上げを達成することができる。本プロセスは、厚さが、700μm未満、500μm未満、300μm未満、100μm未満、さらには約10μm未満であるような、最大でも1000μmである、ガラスシートのエッジ仕上げに特に有利である。
本発明のさらなる特徴及び利点は以下の詳細な説明に述べられ、ある程度は、当業者にはその既述から容易に明らかであろうし、あるいは記述及び添付される特許請求の範囲に説明され、また添付図面にも示されるように、本発明を実施することによって容易に認められるであろう。
上述の全般的説明及び以下の詳細な説明が本発明の例示に過ぎず、特許請求されるような本発明の本質及び特質の理解に向けた概要または枠組みの提供が目的とされていることは当然である。
添付図面は本発明のさらに深い理解を提供するために含められ、本明細書に組み入れられて本明細書の一部をなす。
上記及びその他の態様は、添付図面を参照して以下の詳細な説明を読むと、一層良く理解される。
図1は、仕上げ前材料を機械加工するための加工機の一例及び加工機の外部に配置されている仕上げ前材料の略図である。 図2は、図1の線2-2に沿ってとられた、断面図である。 図3は、仕上げ前材料のエッジが機械加工領域内に置かれている、図2と同様の断面図である。 図4は、除去可能な感知層の位置を検知するためにセンサが用いられている、図3と同様の断面図である。 図5は、加工機と仕上げ前材料のエッジの間の相対位置が検知された位置に基づいて調節されている、図4と同様の断面図である。 図6は、仕上げ前材料のエッジが機械加工領域内に置かれている、加工機の別の例の略図である。
本明細書に用いられるように。語句「仕上げ」は、
研削、面取り、研磨、パターニング、切断、スコーリング、機械加工、材料除去、材料付加、等のような、機械的処理及び改変、
化学的研磨、イオン交換、エッチング、他の化学物質への暴露、等のような、化学的処理、
光照射、レーザアブレーション、等のような、光処理、及び
これらの組合せ、
を含むがこれらには限定されない材料の処理を意味するとされる。以下の、本開示の様々な態様及び実施形態の詳細な説明においては、機械加工に力点が置かれる。当業者は、本開示を読み、本開示の教示から恩恵を得ていれば、他のエッジ仕上げプロセスにも本発明を同様に適用できることを容易に理解するであろう。
実施形態例が示されている添付図面を参照して、以降で実施形態例をさらに十分に説明する。可能であれば必ず、図面を通して同じ参照数字が同じかまたは同様の要素を指して用いられる。しかし、本発明の態様は多くの異なる形態で具現化することができ、本明細書に述べられる実施形態に限定されると解されるべきではない。
本明細の方法例は、脆く、薄厚の仕上げ前材料に関わる。仕上げ前材料は広い範囲の厚さを有することができる。例えば、約600μm、約500μm、約400μm、約300μm、約200mμm、約100μmのような、約100μmから約1000μmをこえる範囲内の厚さTを有する薄ガラスシートを用いることができるが、他のさらに小さいかまたはさらに大きい厚さを別の例によって取り入れることができる。
上述したように、薄ガラスシートは極めて可撓性になる傾向を有し、エッジ仕上げ、加速または減速中に、たとえ小さくとも機械的応力にさらされると、しわ、反り、曲りまたはその他の歪を生じ易い。これは、LCD基板用ガラス板のような、高精度ガラスシートに必要な、再現性及び一貫性があって精密なエッジ仕上げに重大な問題を課す。LCD基板及びその他の光エレクトロニクスデバイスの仕上げられたエッジの品質は基板及び完成デバイスの強度に大きな影響を与える。研削ホイールのような仕上げデバイスに対するガラスシートの相対位置を動的に検出及び調節することができる本開示の方法の能力により、本発明の方法は特に、そのような薄ガラスシート、特に厚さが約500μm未満のガラスシートのエッジの仕上げに有利である。さらに、本発明の方法は特に、形状及び位置の変化を一層受け易い移動しているガラスシート、特に厚さが約500μm未満の移動しているガラスシートの仕上げに有利である。
仕上げ前材料には、透明であるか、半透明であるか、着色されているかまたはその他のタイプのような、ガラスを含めることができる。別の例において、仕上げ前材料には、ガラス及び高分子材を含む複合材のような、高分子材を含めることができる。別の例において、仕上げ前材料には、石英組成物、セラミックまたはガラスセラミックのような結晶性材料を含めることができる。仕上げ前材料は様々な用途に用いることができる。一例において、仕上げ前材料には、液晶ディスプレイ及びその他のディスプレイデバイスのような、ディスプレイアセンブリ用ガラスを含めることができる。例えば、図示されるように、LCDディスプレイ用途に使用するために構成されたガラスシート材料を含む、仕上げ前材料101を提供することができる。平板形、円筒形、円錐形、截頭円錐形またはその他の形状のような、広範な形状をもつ仕上げ前材料を形成することができる。
ここで図1を参照すれば、仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工するための一例の加工機103の略図が示されている。明解さのため、加工機103は仕上げ前材料101の様々なエッジを機械加工するように適合させることができるという了解の下で、1つのエッジ105だけの機械加工が本明細書で論じられる。例えば、仕上げ前材料101の上部エッジ及び底部エッジを同時に機械加工することができる。
仕上げ前材料101のエッジ105の機械加工には様々な手法を用いることができる。例えば、機械加工には、それぞれの結果が仕上げ前材料101のエッジ105の整形である、研削、スコーリング、エッチング、研磨または完全な割断を、単独でまたは組み合わせて、含めることができる。例えば、エッジ105の研削は、摩擦及び衝撃による破損への抵抗力を高めるために、また運送中の振動に耐える得る能力を高めるためにも、実施することができる。機械加工はエッジの実質的に全ての場所で実施することができる。あるいは、機械加工はエッジに沿う飛び飛びの場所で行うことができる。さらにまた、機械加工は連続的または断続的とすることができる。例えば、機械加工は、エッジに沿う、飛び飛びの場所または実質的に全ての場所において加えられる、断続的または連続的な作業を含むことができる。
図示される例において、加工機103は、仕上げ前材料101のエッジ105を受け入れて機械加工するための、少なくとも1つの機械加工領域107を備えることができる。図示されるように、加工機103は、仕上げ前材料101のエッジ105を研削するための研削ホイールのような、研磨工具109を備えることができる。図2に示される例において、研磨工具109は一般に、エッジ105を凸形プロファイル(図示せず)に機械加工するように、凹形加工プロファイル201をもつ円周作業エッジを有することができる。凹形加工プロファイル201は、半径が、約250μmから約350μmのような、厚さTの約1/2の凹形プロファイルをエッジ105が有するように、エッジ105を研削するために適合させることができるが、他の半径を別の例によって取り入れることができる。エッジ105は、面取り等のような、様々な別のプロファイルを有するように機械加工することもできる。さらにまたはあるいは、加工機103は仕上げ前材料101のエッジ105の磨きまたは清浄化のための仕上研磨ホイールのような、仕上研磨工具111を備えることができる。一例において、仕上研磨工具111は、検索作業後にエッジ105を磨くかまたは清浄にするため、研磨工具109の下流に配置することができる。
加工機103はさらに、走行方向Sに沿って機械加工領域107を通して仕上げ前材料101のエッジ105を案内するように適合された非接触型素子113を備えることができる。一例において、非接触型素子113には、仕上げ前材料101を横方向から支持するように適合された流体流を射出する1つ以上のノズル207,209をそれぞれが備える一対の流体ベアリング203,205のような、複数の素子を含めることができる。したがって、仕上げ前材料101は非接触型素子113と直接には接触しないが、代わりに流体流によって横方向から支持される。一例において、流体には水を含めることができる(すなわち水ベアリングとすることができる)が、様々な他の液体、気体、等を用いることができる。流体ベアリング203,205の対は対向関係に配置することができ、約2mmから約2.5mmのような、所定の、固定離間距離Dをとることができるが、様々な距離を考えることができる。図2に示されるように、流体ベアリング203,205は、仕上げ前材料101の片面または両面に同じかまたは変えることができる角度で力を加えるように、仕上げ前材料101の両側に配置することができる。流体ベアリング203,205は、機械加工作業を妨害しないように、研磨工具109及び/または仕上研磨工具111の概ね上方に配置することもできる。
加工機103はさらに、機械加工領域107を通して仕上げ前材料101のエッジ105を案内するように適合された、様々なその他の構造を備えることができる。例えば、加工機103は走行方向Sに沿う仕上げ前材料101の移動を容易にするための1つ以上のローラー115を備えることができる。仕上げ前材料101の移動は、底縁(例えばエッジ105)搬送とすることができる。機械加工中、機械加工されるべきエッジ105が底縁である場合に、流体ベアリング203,205は仕上げ前材料101の両面に対して横方向から支持を与えることができ、走行方向Sに沿って仕上げ前材料101を搬送するために真空チャック117を用いることができる。一例において、真空チャック117は、幅(高さ)を約75mmとすることができ、ほぼシートの長さに(例えば3.2mまで)拡がることができる。真空チャック117も仕上げ前材料101の片面または両面上に配置することができる。真空チャック117は、仕上げ前材料101の搬送に望まれる確度及び剛性を提供する、直線レール等の上を走行することができる。明解さのため、ローラー115及び真空チャック117は、図1及び6では簡略に示され、図2〜5には示されていない。
理解され得るであろうように、定位置装置構成によるガラス表面のエッジ研削は、研削されたエッジの変動を生じ得る。ガラスの低横剛性により、輸送中及び研削力印加中に、ガラスは反るか、曲がるかまたは撓み得る。そのような歪はエッジ研削における変動を生じさせることができ、ガラスとベアリング面の接触もおこさせて、いずれかのエッジにおいて表面損傷を生じさせ得る。実質的に一様な所望のエッジを与えるための、及び/またはガラスの曲りまたはその他のガラス位置変動に対処するための、仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工するために加工機103を調節する方法の例を次に説明する。
図2〜5を参照すれば、方法の一例は、仕上げ前材料101の位置を検知するために少なくとも1つのセンサ211を用いる工程及び検知された位置に基づいて加工機103と仕上げ前材料101のエッジ105の間の相対位置を調節する工程を含むことができる。一例において、単一のセンサ111を除去可能な感知層213の単一の位置を検知するために用いることができ、あるいは仕上げ前材料101が加工機103を通って移動しているときに除去可能な感知層213の複数の位置を検知するために複数回用いることさえもできる。別の例において、少なくとも1つのセンサは、それぞれが、対応する、除去可能な感知層213の飛び飛びの位置を検知する、複数のセンサ601,603,605,607(図6を見よ)を含むことができる。複数の除去可能な感知層(図示せず)を単一のセンサとともに、さらには複数のセンサとともに、用いることもできると考えられる。仕上げ前材料101は非接触型流体ベアリングから射出される流体によって加工機103内で横方向から支持されているから、センサ211は流体環境内で動作可能であるべきである。例えば、一対の流体ベアリング203,205が用いられる場合、センサ211は、仕上げ前材料101の一部または全てが、水のような、流体で覆われる場合に水環境において動作可能であるべきである。
一例において、少なくとも1つのセンサ211は誘導性センサとすることができる。誘導性センサは、強磁性体のような、金属体をそれに触れずに検知する、近接電子センサである。一般に、誘導性センサは誘導性ループを有し、磁場を発生するために電流が与えられる。ループのインダクタンスは磁場内の材料によって変化し、金属は一般に他の材料より有効なインダクタであるから、金属の存在はループを通って流れている電流を大きくする。この変化は、金属体が検出されたときに信号を与えることができる、検知回路(図示せず)によって検出することができる。例えば、検知回路はセンサ211の一部とすることができ、あるいは、センサ211から離しておいて、センサ211から入力を受け取るように適合させることができる。したがって、磁場は一般に水のような流体の影響を受けないから、誘導性センサは流体が存在する場合の用途に特に有用であり得る。明解さのため、本明細書では少なくとも1つのセンサが誘導性センサである例が説明されるが、センサ211には、物理的接触型センサ、液圧センサまたは空気圧センサ、レーザセンサ、超音波センサ、容量性センサ及びまたはその他の同様のセンサのような、様々なその他の接触型または非接触型のセンサを含めることができると考えられる。
一例において、誘導性センサ211には、分解能が約2μmであり、測定範囲が約0〜10mmである、比較的高精度の小型センサを含めることができる。例えば、誘導性センサ211は、位置変位を示す出力を与えることができる、データ収集システムを介してセンサ出力を取り込むためにKeyenceモデルEX-V10コントローラに組み合わせることができる、Keyence誘導性変位センサモデルEX-422Vセンサヘッドとすることができる。
しかし、ガラスシートのような、いくつかの仕上げ前材料101は誘導性センサによる検出が可能な金属元素を含有していないであろう。したがって、本方法は仕上げ前材料101の一部分に除去可能な感知層213を施す工程を含むことができる。一例において、除去可能な感知層213は強磁性材料を含むことができる。例えば、強磁性材料には、接着剤等により仕上げ前材料101に除去可能な態様で施される強磁性テープを含めることができるが、様々なその他の除去可能な材料を用いることもできる。除去可能な感知層213は、仕上げ前材料101のエッジの長さまたは方向に沿って、例えば、エッジ上に、エッジに隣接して、エッジにかけて、またはエッジに平行に、施すことができる。例えば、図示されるように、除去可能な感知層213は仕上げ前材料101のエッジ105に沿う少なくとも一部分に施すことができる。
除去可能な感知層213はエッジ105に沿って実質的に連続して施すことができ、あるいはエッジ105に沿う飛び飛びの場所に施すことができる。例えば、図1に示されるように、除去可能な感知層213は仕上げ前材料101の一方の側面に沿って実質的に連続して、エッジ105から距離をおき、エッジ105に平行にして、施すことができる。強磁性テープは、テープの厚さが実質的に一様であって、擾乱または波しわがほとんど、例えば全く、ないことを保証するため、仕上げ前材料101が比較的乾いているときに、慎重に施されることが望ましい。テープとガラスの間の、波しわ、気泡、等のような、強磁性テープの乱れは測定誤差を生じさせ得るから、テープ厚の実質的一様性が仕上げ前材料101の位置を正確に検知するために望ましい。仕上げ前材料101の厚さT及び流体ベアリング203,205の間隔Dはいずれも、一般には、制御され、あらかじめ定められているから、除去可能な感知層213は加工機103に対する仕上げ前材料101の位置を正確に検知するために仕上げ前材料101の一部分(例えば一方の面)に施すだけとすることができる。さらに、流体ベアリング203,205によって流体が射出されるから、耐流体性の、除去可能な感知層213を用いることが有益であり得る。
図2にさらに示されるように、本方法例は仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工領域107内に置く工程さらに含むことができる。例えば、図示されるように、仕上げ前材料101は、機械加工領域107の概ね上方に配置することができ、矢印Pの方向に沿う移動によって機械加工領域107内に置くことができる。別の例において、仕上げ前材料101は、図1の矢印Sの方向に沿う、さらには様々なその他の方向に沿う、移動によって機械加工領域107内に置くことができる。
機械加工領域107内に置かれると、実質的に一様な所望のエッジを与えるため及び/またはガラスの曲り及びその他のガラス位置変動等に対処するため、仕上げ前材料101の位置を検知することができる。図3に示されるように、仕上げ前材料101のエッジ105は、研磨工具109の凹形加工プロファイル201と位置が合っていないことがあり得る。例えば、研磨工具109が流体ベアリング203,205の対の間の概ね中央に配置されている場合には、仕上げ前材料101が流体ベアリング203,205の内の一方に比較的近づけて配置され得る。仕上げ前材料101の第1の側面301と一方の流体ベアリング203の間の第1のオフセット距離dは、仕上げ前材料101の第2の側面303と他方の流体ベアリング205の間の第2のオフセット距離dと異なることがあり得る。調節がなされなければ、位置ずれしたプロファイルが研削によりエッジ105に形成されるであろう。
図4に移れば、本方法は除去可能な感知層213の位置を検知するために少なくとも1つのセンサ211を用いる工程をさらに含むことができる。例えば、磁場401の発生によって強磁性材料の位置を検知するために少なくとも1つの誘導性センサ211を用いることができる。磁場内の除去可能な感知層213の存在はセンサ211のインダクタンスを変化させ得る。この変化はセンサ211に結合された、センサ211と除去可能な感知層213の間の位置変位を示す信号を与えることができる、検知回路(図示せず)によって検出することができる。例えば、センサ211と除去可能な感知層213の間の検知された距離に基づくことができる、一方の流体ベアリング203と隣接側面301の間の距離を検知するために、センサ211を用いることができる。
除去可能な感知層213の厚さはあらかじめ定められているであろうから、及び/またはセンサ211は一方の流体ベアリング203に対して様々に配置され得るから、センサ211の出力は、一方の流体ベアリング203と隣接する側面301の正確なオフセット距離測定値dを提供するため、例えば所定の適切な変数によって、較正することができる。一例において、較正手順は、センサ211を除去可能な感知層213に向ける工程及び、除去可能な感知層213が仕上げ前材料101に接して配置されている状態での、フルスケール及び半スケールにおける3点方式を用いる工程を含むことができる。読み値が記録され、センサ211によって与えられる生渦電流場データをセンサ211と仕上げ前材料111の間の距離に変換するために用いられる。したがって、例えば、一組のマスターシートに関する較正及び測定が完了すると、走行方向に垂直な方向での誤差を補償するようにシステムをプログラムすることができる。
除去可能な感知層213の位置を検知する工程は、静的(すなわち仕上げ前材料101が加工機103に対して静止している)態様で、あるいは動的(すなわち仕上げ前材料101が加工機103に対して移動している)態様で、実施することができる。除去可能な感知層213の位置を検知する工程はさらに、静的態様に続いて動的態様でも、または逆順でも、実施することができる。例えば、図4に示されるように、本方法は、矢印Sの走行方向に沿い、仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工領域107を通して案内する(図1を見よ)工程を含むことができ、センサ211は矢印Sの走行方向に概ね直交する軸(すなわちZ軸)に沿う除去可能な感知層213の位置を検知することができる。
さらにまたはあるいは、除去可能な感知層213の位置を検知する工程は、乾燥条件または湿潤条件の下で実施することができる。例えば、図4に示されるように、検知する工程は、流体ベアリング203,205が仕上げ前材料101を加工機103内に支持するため、それぞれ流体流403,405を射出している間に実施することができる。誘導センサ211によって発生される磁場は一般に流体流403,405に不感であるから、仕上げ前材料101の位置を検知する工程が流体によって影響されることはない。
次に図5に移れば、本方法は、検知された位置に基づいて加工機103と仕上げ前材料101のエッジ105の間の相対位置を調節する工程を含むことができる。例えば、仕上げ前材料101のエッジ105の位置を研磨工具109の凹形加工プロファイル201に合わせるために、加工機103と仕上げ前材料101の間の相対位置を調節することができる。
一般に、流体ベアリング203,205の総間隔Dは、第1のオフセット距離(すなわち仕上げ前材料101の第1の側面301と一方の流体ベアリング203の間の距離)、仕上げ前材料101の厚さT及び第2のオフセット距離(すなわち仕上げ前材料101の第2の側面302と他方の流体ベアリング205の間の距離)の総和に等しくすることができる。一例において、研磨工具109が流体ベアリング203,205の対の間の概ね中央に配置され、厚さTが概ね変化しない場合に、第1の調節されたオフセット距離dが第2の調節されたオフセット距離dに概ね等しくなるまで、加工機103と仕上げ前材料101のエッジ105の間の相対位置を調節することができる。したがって、除去可能な感知層213の位置は一方の側だけから検知することができるが、様々なその他の測定値をとることもできる。また、加工機103の様々なコンポーネントの形状寸法に依存して、研磨工具109(またはその他の工具等)が流体ベアリング203,205の間の概ね中央に配置されていない場合のような、加工機103と仕上げ前材料103の間の様々なその他の仕様に対して相対調節を実施することができる。
相対調節は様々な態様で実施することができる。一例において、機械加工領域107を通る仕上げ前材料101のエッジ105を研削している間のように、非接触型素子113が相対位置を調節することができる。例えば、流体ベアリング203,205の少なくとも一方が仕上げ前材料101に対して流体流を射出して、相対位置を調節することができる。それぞれの流体流403,405によって与えられる支持力を様々な態様で個々に調節し、よって仕上げ前材料101のエッジ105の位置を研磨工具109(またはその他の工具等)に合わせることができる。流体流403,405は、圧力、質量流量、体積流量、散布パターン、方向、及び/またはその他の特性の調節によるような、様々な態様で個々に調節することができる。別の例において、流体ベアリング203,205が複数の流体ノズル207,209(図4を見よ)を有する場合、複数のノズル207,209の内の少なくとも1つを作動させるか、停止させるかまたは調節することによって正味の流体流403,405を実効的に調節することができる。
さらにまたはあるいは、流体ベアリンク203,205のいずれかまたはいずれも、少なくとも1つの変位軸(すなわち、X軸、Y軸、Z軸)に沿う変位及び/または少なくとも1つの回転軸(すなわち、ヨーイング軸、ピッチング軸、ローリング軸)に沿う角度調節のような、様々な態様で物理的に調節することができる。さらにまたはあるいは、研磨工具109,仕上研磨工具111,等のようなその他の機械素子のいずれかまたは全てを、少なくとも1つの変位軸(すなわち、X軸、Y軸、Z軸)に沿う変位及び/または少なくとも1つの回転軸(すなわち、ヨーイング軸、ピッチング軸、ローリング軸)に沿う角度調節のような、様々な態様で物理的に調節することもできる。
除去可能な感知層213の位置を検知する工程及び、その後の、加工機103とエッジ105の相対位置を調節する工程は、所望の最終目標が達成されるまで、反復態様で実施することができると考えられる。例えば、検知する工程及び調節する工程は、除去可能な感知層213の検知された位置が所定の閾を達成するまで、及び/または所定の範囲内に入るまで、実施することができる。一例において、検知する工程及び調節する工程は、仕上げ前材料101の一方の側面との間の検知された第1のオフセット距離dが所定の閾距離を達成するまで、及び/または所定の距離範囲内に入るまで、実施することができる(図3を見よ)。別の例において、検知する工程及び調節する工程は、第1の調節されたオフセット距離dが第2の調節されたオフセット距離dに概ね等しくなるまで、実施することができる(図5を見よ)。検知する工程及び調節する工程は、除去可能な感知層213の1つの部分を、さらには複数の部分も、検知している単一のセンサ211に基づいて、あるいは、除去可能な感知層213の1つの部分を、さらには複数の部分も、それぞれが検知している複数のセンサ601,603,605,607に基づいてさえ、反復態様で実施することができる。さらにまたはあるいは、検知する工程及び調節する工程は、単一のセンサ211または複数のセンサ601,603,605,607を用いて検知された少なくとも2つの位置の比較に基づいて、反復態様で実施することができる。一例において、検知する工程及び調節する工程は、複数のセンサの内の2つ601,603の間の検知された位置の比較が所定の閾を達成するまで、及び/または所定の範囲内に入るまで、反復態様で実施することができる。
所望の調節がなされると、仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工する方法は、仕上げ前材料101のエッジを機械加工する工程及び引き続いて仕上げ前材料101から感知層213を除去する工程を含むことができる。除去可能な感知層213の除去後に仕上げ前材料101を清浄にするために様々な後処理工程を実施することもできる。したがって、機械加工する工程が、例えば、仕上げ前材料101のエッジ105を機械加工するために研磨工具109を用いる工程または仕上げ前材料101のエッジ105を磨くための仕上研磨工具111を用いる工程を含む場合、調節する工程は、仕上げ前材料101のエッジ105に対する研磨工具109及び/または仕上研磨工具111の位置を調節する工程を含む。
除去可能な感知層213の位置を検知する工程及びその後の加工機103とエッジ105の相対位置を調節する工程は少なくとも1回で、例えば一度にまたは複数回で、実施することができる。一例において、調節する工程は、例えば、試験サンプル仕上げ前材料101に、また生産仕上げ前材料101であっても、一回で実施することができる。次いで様々な連続生産数の仕上げ前材料101を機械加工することができる。調節する工程は、所定の数の生産単位及び/または所定の長さの時間、等の後に確度をチェックするために反復することができる。別の例において、調節する工程は仕上げ前材料101のそれぞれの生産単位について実施することができる。例えば、仕上げ前材料101は初期研削中に第1の変位を受け、次いで、主研削及び/または最終研削中に新しい平衡位置に安定する前に第2の変位を受け得る。
さらにまたはあるいは、加工機103と仕上げ前材料101のエッジ105の間の相対位置を調節する工程は、手動態様または半自動態様で、さらには全自動態様でも、実施することができる。一例において、加工機103の調節は、除去可能な感知層213の1つ以上の検知された位置に基づいて、加工機103の1つ以上の素子を手作業で調節することによって実施することができる。別の実施形態において、図6に示されるように、加工機103の調節は、単発で、さらには連続態様でも、自動的に実施することができる。例えばコントローラ609が、例えば強磁性材料213の所定の位置及び検知された位置に基づいて、相対位置を自動的に調節することができる。別の例において、小さな変動は許容するため、検知された位置が所定の閾距離をこえないかまたは所定の距離範囲から外れない限り、補正調節を行わないようにコントローラ609を構成することができる。コントローラ609は、研磨工具109,仕上研磨工具111,流体ベアリング203,205,1つ以上のセンサ211,601,603,605,607、等のいずれかまたは全てのような、いかなる数の要素との無線通信または有線通信もできるように構成することができる。
コントローラ609は、上述した要素のいずれかまたは全てにまたは上述した要素のいずれかまたは全てから、検知された位置データ、調節データ、等のような、様々なタイプの情報を送り、及び/または受け取るように構成することができる。例えば、コントローラ609は、1つ以上のセンサ211,601,603,605,607から検知された位置データを受け取ることができ、研磨工具109,仕上研磨工具111,流体ベアリング203,205、等のいずれかまたは全てに調節データ(すなわち、調節コマンド)を送ることができる。別の例において、コントローラ609は可動素子及び/または可調素子のいずれかまたは全てから基準位置データを受け取ることができる。コントローラ609は検知及び加工機103の調節を、単発または連続、反復、半自動または全自動で、実施することができる。コントローラ609は、例えばローラー115及び/または真空チャック117、等によるように、加工機103を通る仕上げ前材料101の移動を制御することさえできる。例えば、仕上げ前材料101が加工機103の特定の部分に、加工機103に入ったかまたは加工機103から出たときのような、移動した時点を判定するために、1つ以上のセンサ211,601,603,605,607を用いることができる。
コントローラ609は電子コントローラとすることができ、プロセッサを備えることができる。コントローラ609は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、デジタルシグナルプロセッサ(DSP)、特定用途集積回路(ASIC)、ディスクリートロジック回路、等の内の1つ以上を備えることができる。コントローラ609はさらにメモリを備えることができ、本明細書に説明される機能をコントローラ609に提供させるプログラム命令を格納することができる。メモリには、リードオンリメモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、電気的消去可能プログラマブルROM(EEROM)、フラッシュメモリ、等のような、1つ以上の、揮発性媒体、不揮発性媒体、磁気媒体、光媒体または電気媒体を含めることができる。コントローラ609はさらに、コントローラへの様々なアナログ入力を処理するために、1つ以上のアナログ-デジタル(A/D)コンバータを備えることができる。コントローラ609はエンジン制御ユニット(ECU)に組み込むこともできる。より明瞭な信号を提供し、データ信号内の雑音を低減するため、例えば排除するために、信号処理及び/または線路絶縁を用いることができる。
特許請求される本発明の精神及び範囲を逸脱せずに様々な改変及び変形がなされ得ることが当業者には明らかであろう。
101 仕上げ前材料
103 加工機
105 仕上げ前材料のエッジ
107 機械加工領域
109 研磨工具
111 仕上研磨工具
113 非接触型素子
115 ローラー
117 真空チャック
201 凹形加工プロファイル
203,205 流体ベアリング
207,209 ノズル
211,601,603,605,607 センサ
213 感知層
301,303 仕上げ前材料の側面
401 磁場
403,405 流体流
609 コントローラ

Claims (8)

  1. 仕上げ前材料のエッジを仕上げる方法において、
    前記仕上げ前材料の一部分に除去可能な感知層を施す工程、
    前記仕上げ前材料の前記エッジを機械加工領域内に置く工程、
    前記除去可能な感知層の位置を検知するために少なくとも1つのセンサを用いる工程、及び
    前記検知された位置に基づいて加工機と前記仕上げ前材料の前記エッジの間の相対位置を調節する工程、
    を含むことを特徴とする方法。
  2. 前記除去可能な感知層が強磁性材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 前記強磁性材料が強磁性テープを含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
  4. 前記少なくとも1つのセンサが、それぞれが前記除去可能な検知層の対応する飛び飛びの位置を検知する、複数のセンサを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
  5. 前記仕上げ前材料の前記エッジを走行方向に沿って前記機械加工領域を通して案内する工程をさらに含み、前記センサが前記走行方向に対して直交する軸に沿う前記除去可能な感知層の前記位置を検知することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
  6. 前記相対位置を非接触型素子が調節することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
  7. 前記非接触型素子が、前記仕上げ前材料の前記エッジを、前記機械加工領域を通して案内しながら、前記相対位置を調節することを特徴とする請求項6に記載の方法。
  8. コントローラが所定の位置と前記強磁性体材料の前記検知された位置に基づいて前記相対位置を自動調節することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
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