JP2013223003A - Da変換装置及びそれを用いた電子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電流出力のDA変換器11と、DA変換器の出力電流に応じた電圧を発生させる低電圧動作の高速オペアンプ12と、高速オペアンプの出力端子に接続された高電圧動作するバッファーアンプ13とを設けたDA変換装置10において、DA変換器及び高速オペアンプの駆動用の電源として、電源系統から分離された正及び負のフローティング電源14a、14bを設ける。さらに、このフローティング電源の電位の中点の部分をバッファーアンプの出力端子に接続することで、DA変換器と高速オペアンプとがバッファーアンプの出力電圧を中心に動作するようにした。
【選択図】図2
Description
図2は、第1実施形態に係るDA変換装置の回路図である。
図4は、第2実施形態に係るDA変換装置の回路図である。
図6は、第3実施形態に係るDA変換装置の回路図である。なお、図6のDA変換装置30において、図4のDA変換装置20と同様の構成については同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図7は、第4実施形態に係る電子ビーム露光装置のブロック図である。
Claims (7)
- 電流出力型のDA変換器と、
非反転入力端子が前記DA変換器に接続され、反転入力端子が外部へ出力信号を出力する外部出力部に接続され、前記DA変換器の出力電流に応じた電圧を前記外部出力部に発生させるオペアンプと、
前記オペアンプの出力端子に接続されたバッファーアンプと、
前記DA変換器及び前記オペアンプに正及び負の電源電圧を供給するとともに、前記正及び負の電源電圧の中点の部分が前記バッファーアンプの出力端子と接続されたフローティング電源と、
を備えることを特徴とするDA変換装置。 - 前記バッファーアンプに正及び負の電源電圧を供給する電源装置を更に備え、
前記バッファーアンプの電源装置の電源電圧の絶対値は、前記フローティング電源の電源電圧の絶対値よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のDA変換装置。 - 前記バッファーアンプの電源装置の接地配線と前記非反転入力端子との間に接続された抵抗器を更に有することを特徴とする請求項2に記載のDA変換装置。
- 前記電源装置の接地配線と前記フローティング電源の正の電圧を出力する部分との間に直列に接続された第1抵抗器及び第2抵抗器と、
前記バッファーアンプの出力端子と前記中点との間に直列に接続された第3抵抗器及び第4抵抗器と、を更に備え、
前記オペアンプの非反転入力端子は前記DA変換装置の出力端子と、前記第1抵抗器及び第2抵抗器の間と、に接続され、
前記オペアンプの反転入力端子は前記第3抵抗器及び第4抵抗器の間に接続されていることを特徴とする請求項2に記載のDA変換装置。 - 前記外部出力部は、前記バッファーアンプの出力端子と接続されていることを特徴とする請求項4に記載のDA変換装置。
- 前記外部出力部は、前記オペアンプの出力端子と接続されていることを特徴とする請求項4に記載のDA変換装置。
- 電子ビームを放出する電子銃と、
前記電子ビームを偏向させる静電偏向器と、
前記静電偏向器に印加する電圧を制御する制御部と、
を備えた電子ビーム露光装置であって、前記制御部は、
電流出力型のDA変換器と、非反転入力端子が前記DA変換器に接続され、反転入力端子が外部へ出力信号を出力する外部出力部に接続され、前記DA変換器の出力電流に応じた電圧を前記外部出力部に発生させるオペアンプと、前記オペアンプの出力端子に接続されたバッファーアンプと、前記DA変換器及び前記オペアンプに正及び負の電源電圧を供給するとともに、前記正及び負の電源電圧の中点の部分が前記バッファーアンプの出力端子と接続されたフローティング電源と、を備えたDA変換装置を、
有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
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