JP6817349B2 - 偏向器および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
円環状のコアと、
前記コアに30度の幅で巻回された第1コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第2コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第3コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第4コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第5コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第6コイルと、
を含み、
前記第1コイル、前記第2コイル、前記第3コイル、前記第4コイル、前記第5コイル、および前記第6コイルは、この順で配置され、
前記第1コイルと前記第2コイルの間隔、前記第2コイルと前記第3コイルの間隔、前記第3コイルと前記第4コイルの間隔、前記第4コイルと前記第5コイルの間隔、前記第5コイルと前記第6コイルの間隔、および前記第6コイルと前記第1コイルの間隔は、等しく、
前記第1コイルの励磁方向、前記第2コイルの励磁方向、および前記第3コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第4コイルの励磁方向、前記第5コイルの励磁方向、および前記第6コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第1コイルの励磁方向と前記第4コイルの励磁方向とは、反対方向であり、
前記第1コイルの起磁力、前記第3コイルの起磁力、前記第4コイルの起磁力、および前記第6コイルの起磁力は、等しく
前記第2コイルの起磁力、および前記第5コイルの起磁力は、等しく、
前記第2コイルの起磁力は、前記第1コイルの起磁力の2倍である。
上記の偏向器を含む。
1.1. 偏向器の構成
まず、第1実施形態に係る偏向器の構成について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る偏向器100の構成を示す図である。図1には、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。図1は、偏向器100をZ方向から見た平面図である。なお、Z軸は、コア2の中心軸Oに平行な軸である。
に、Z方向から見て、第1コイル11の一方の端部とコア2の中心軸Oとを結ぶ第1仮想直線L1と、第1コイル11の他方の端部とコア2の中心軸Oとを結ぶ第2仮想直線L2と、がなす角度は、30度である。言い換えると、Z方向から見て、第1コイル11の中心軸は、円弧の形状を有しており、当該円弧の中心角が30度である。
倍となる。
次に、偏向器100の動作を説明する。図3は、偏向器100の動作を説明するための図である。
Oと、を含む平面である。すなわち、第2仮想平面F2は、偏向磁場Bxの方向に垂直な平面である。
偏向器100は、例えば、以下の特徴を有する。
次に、第2実施形態に係る偏向器について、図面を参照しながら説明する。図4は、第2実施形態に係る偏向器200の構成を示す図である。以下、第2実施形態に係る偏向器
200において、第1実施形態に係る偏向器100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る偏向器について、図面を参照しながら説明する。図5は、第3実施形態に係る偏向器300の構成を示す図である。以下、第3実施形態に係る偏向器300において、第1実施形態に係る偏向器100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
た、第7コイル31、第8コイル32、第9コイル33、第10コイル34、第11コイル35、および第12コイル36が、第2コイル群302を構成している。
11コイル35は、第6コイル16および第1コイル11と重ならない。同様に、第1コイル11と第2コイル12の間に配置されている第12コイル36は、第1コイル11および第2コイル12と重ならない。
流電源である。
次に、偏向器300の動作を説明する。図7は、偏向器300の動作を説明するための図である。
偏向器300は、例えば、以下の特徴を有する。
、コイルの端末部分が、巻き線部分と重ならない。したがって、コイルの端末部分の処理が容易である。
次に、第4実施形態に係る偏向器について、図面を参照しながら説明する。図8は、第4実施形態に係る偏向器400の構成を示す図である。以下、第4実施形態に係る偏向器400において、第1実施形態に係る偏向器100、第2実施形態に係る偏向器200、第3実施形態に係る偏向器300の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第5実施形態に係る荷電粒子線装置について説明する。以下では、第5実施形態に係る荷電粒子線装置が透過電子顕微鏡である場合について説明する。
器200を含んでいてもよいし、偏向器300を含んでいてもよいし、偏向器400を含んでいてもよい。
施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (7)
- 円環状のコアと、
前記コアに30度の幅で巻回された第1コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第2コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第3コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第4コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第5コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第6コイルと、
を含み、
前記第1コイル、前記第2コイル、前記第3コイル、前記第4コイル、前記第5コイル、および前記第6コイルは、この順で配置され、
前記第1コイルと前記第2コイルの間隔、前記第2コイルと前記第3コイルの間隔、前記第3コイルと前記第4コイルの間隔、前記第4コイルと前記第5コイルの間隔、前記第5コイルと前記第6コイルの間隔、および前記第6コイルと前記第1コイルの間隔は、等しく、
前記第1コイルの励磁方向、前記第2コイルの励磁方向、および前記第3コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第4コイルの励磁方向、前記第5コイルの励磁方向、および前記第6コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第1コイルの励磁方向と前記第4コイルの励磁方向とは、反対方向であり、
前記第1コイルの起磁力、前記第3コイルの起磁力、前記第4コイルの起磁力、および前記第6コイルの起磁力は、等しく
前記第2コイルの起磁力、および前記第5コイルの起磁力は、等しく、
前記第2コイルの起磁力は、前記第1コイルの起磁力の2倍である、偏向器。 - 請求項1において、
前記第1コイルの巻数、前記第2コイルの巻数、前記第3コイルの巻数、前記第4コイルの巻数、前記第5コイルの巻数、および前記第6コイルの巻数は、等しく、
前記第1コイルに流れる電流の大きさ、前記第3コイルに流れる電流の大きさ、前記第4コイルに流れる電流の大きさ、および前記第6コイルに流れる電流の大きさは、等しく、
前記第2コイルに流れる電流の大きさ、および前記第5コイルに流れる電流の大きさは、等しく、
前記第2コイルに流れる電流の大きさは、前記第1コイルに流れる電流の大きさの2倍である、偏向器。 - 請求項1において、
前記第1コイルの巻数、前記第3コイルの巻数、前記第4コイルの巻数、および前記第6コイルの巻数は、等しく、
前記第2コイルの巻数および前記第5コイルの巻数は、等しく、
前記第2コイルの巻数は、前記第1コイルの巻数の2倍であり、
前記第1コイルに流れる電流の大きさ、前記第2コイルに流れる電流の大きさ、前記第3コイルに流れる電流の大きさ、前記第4コイルに流れる電流の大きさ、前記第5コイルに流れる電流の大きさ、および前記第6コイルに流れる電流の大きさは、等しい、偏向器。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記コアに30度の幅で巻回された第7コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第8コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第9コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第10コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第11コイルと、
前記コアに30度の幅で巻回された第12コイルと、
を含み、
前記第1コイル、前記第12コイル、前記第2コイル、前記第7コイル、前記第3コイル、前記第8コイル、前記第4コイル、前記第9コイル、前記第5コイル、前記第10コイル、前記第6コイル、および前記第11コイルは、この順で配置され、
前記第7コイルと前記第8コイルの間隔、前記第8コイルと前記第9コイルの間隔、前記第9コイルと前記第10コイルの間隔、前記第10コイルと前記第11コイルの間隔、前記第11コイルと前記第12コイルの間隔、および前記第12コイルと前記第7コイルの間隔は、等しく、
前記第7コイルの励磁方向、前記第8コイルの励磁方向、および前記第9コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第10コイルの励磁方向、前記第11コイルの励磁方向、および前記第12コイルの励磁方向は、同じ方向であり、
前記第7コイルの励磁方向と前記第10コイルの励磁方向とは、反対方向であり、
前記第7コイルの起磁力、前記第9コイルの起磁力、前記第10コイルの起磁力、および前記第12コイルの起磁力は、等しく
前記第8コイルの起磁力、および前記第11コイルの起磁力は、等しく、
前記第8コイルの起磁力は、前記第7コイルの起磁力の2倍であり、
前記第1コイル、前記第2コイル、前記第3コイル、前記第4コイル、前記第5コイル、前記第6コイル、前記第7コイル、前記第8コイル、前記第9コイル、前記第10コイル、前記第11コイル、および前記第12コイルは、互いに重ならない、偏向器。 - 請求項4において、
前記第7コイルの巻数、前記第8コイルの巻数、前記第9コイルの巻数、前記第10コイルの巻数、前記第11コイルの巻数、および前記第12コイルの巻数は、等しく、
前記第7コイルに流れる電流の大きさ、前記第9コイルに流れる電流の大きさ、前記第10コイルに流れる電流の大きさ、および前記第12コイルに流れる電流の大きさは、等しく、
前記第8コイルに流れる電流の大きさ、および前記第11コイルに流れる電流の大きさは、等しく、
前記第8コイルに流れる電流の大きさは、前記第7コイルに流れる電流の大きさの2倍である、偏向器。 - 請求項4において、
前記第7コイルの巻数、前記第9コイルの巻数、前記第10コイルの巻数、および前記第12コイルの巻数は、等しく、
前記第8コイルの巻数および前記第11コイルの巻数は、等しく、
前記第8コイルの巻数は、前記第7コイルの巻数の2倍であり、
前記第7コイルに流れる電流の大きさ、前記第8コイルに流れる電流の大きさ、前記第9コイルに流れる電流の大きさ、前記第10コイルに流れる電流の大きさ、前記第11コイルに流れる電流の大きさ、および前記第12コイルに流れる電流の大きさは、等しい、偏向器。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の偏向器を含む、荷電粒子線装置。
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