JP2013201343A - 半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】MTJ素子の抵抗の増大およびばらつきを抑制し、信頼性および歩留まりを向上させることができる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板を備える。拡散層は、半導体基板に設けられている。第1の絶縁膜は、半導体基板の上方に設けられている。コンタクトプラグは、第1の絶縁膜を貫通して拡散層に電気的に接続されている。記憶素子は、コンタクトプラグおよび第1の絶縁膜上に積層された下部電極、第1の磁性体層、非磁性絶縁膜、および、第2の磁性体層を含む。側壁膜は、記憶素子の側面の少なくとも一部を被覆し、下部電極の材料の酸化物および第1の絶縁膜を含む。
【選択図】図3
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板を備える。拡散層は、半導体基板に設けられている。第1の絶縁膜は、半導体基板の上方に設けられている。コンタクトプラグは、第1の絶縁膜を貫通して拡散層に電気的に接続されている。記憶素子は、コンタクトプラグおよび第1の絶縁膜上に積層された下部電極、第1の磁性体層、非磁性絶縁膜、および、第2の磁性体層を含む。側壁膜は、記憶素子の側面の少なくとも一部を被覆し、下部電極の材料の酸化物および第1の絶縁膜を含む。
【選択図】図3
Description
本発明による実施形態は、半導体記憶装置およびその製造方法に関する。
抵抗変化型メモリの一つに磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM(Magnetic Random Access Memory))がある。スピン注入書込み方式のMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子は、2枚の強磁性層とこれらに挟まれた非磁性バリア層(絶縁薄膜)とからなる積層構造を有し、スピン偏極トンネル効果による磁気抵抗の変化によりデジタルデータを記憶する。
MRAMの製造工程において、MTJ素子をIBE法(Ion Beam Etching)で加工した後、大気中に曝すと、大気中の酸素および水によってMTJ素子の2枚の強磁性層と非磁性バリア層との界面近傍が不規則に酸化される。この酸化によって、MTJ素子の抵抗が増大し、かつ、ばらついてしまう。MTJ素子の抵抗の増大およびばらつきは、MRAM全体の信頼性および歩留まり低下を引き起こす。
MTJ素子の抵抗の増大およびばらつきを抑制し、信頼性および歩留まりを向上させることができる半導体記憶装置を提供する。
本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板を備える。拡散層は、半導体基板に設けられている。第1の絶縁膜は、半導体基板の上方に設けられている。コンタクトプラグは、第1の絶縁膜を貫通して拡散層に電気的に接続されている。記憶素子は、コンタクトプラグおよび第1の絶縁膜上に積層された下部電極、第1の磁性体層、非磁性絶縁膜、および、第2の磁性体層を含む。側壁膜は、記憶素子の側面の少なくとも一部を被覆し、下部電極の材料の酸化物および第1の絶縁膜を含む。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
以下の実施形態は、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM:magnetic random access memory)、抵抗ランダムアクセスメモリ(ReRAM:resistance random access memory)、相変化ランダムアクセスメモリ(PRAM:phase-change random access memory)、強誘電体メモリ(FeRAM:ferroelectoric random access memory)など様々な種類のメモリに用いることができる。以下の実施形態では、MRAMを抵抗変化型メモリの一例として説明する。MRAMは、トンネル磁気抵抗(TMR:tunneling magnetoresistive)効果を利用するMTJ(magnetic tunnel junction)素子を記憶素子として備え、このMTJ素子の磁化状態により情報を記憶するメモリである。データの書き換えは、スピン注入方式でよい。スピン注入方式は、磁化の向きが片方に偏極した電子をMTJ素子に流すことによって、MTJ素子の磁化を直接書き換える方式である。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に従ったMARMの構成を示すブロック図である。メモリセルアレイ11内には、複数のメモリセルMCがマトリクス状に二次元配置されている。各メモリセルMCは、MTJ素子およびセルトランジスタCTを含む。MTJ素子は、抵抗状態の変化によってデータを記憶し、電流によってデータを書き換え可能な磁気トンネル接合素子である。セルトランジスタCTは、MTJ素子に対応して設けられ、該対応するMTJ素子に電流を流すときに導通状態となるように構成されている。
図1は、第1の実施形態に従ったMARMの構成を示すブロック図である。メモリセルアレイ11内には、複数のメモリセルMCがマトリクス状に二次元配置されている。各メモリセルMCは、MTJ素子およびセルトランジスタCTを含む。MTJ素子は、抵抗状態の変化によってデータを記憶し、電流によってデータを書き換え可能な磁気トンネル接合素子である。セルトランジスタCTは、MTJ素子に対応して設けられ、該対応するMTJ素子に電流を流すときに導通状態となるように構成されている。
複数のワード線WLはロウ方向に、複数のビット線BLはカラム方向にそれぞれ互いに交差するように配線されている。隣接する2つのビット線BLは対を成しており、メモリセルMCは、ワード線WLとビット線対(例えば、第1のビット線BL1、第2のビット線BL2)との交点に対応して設けられている。各メモリセルMCのMTJ素子およびセルトランジスタは、ビット線対の間(例えば、BL1とBL2との間)に直列に接続されている。また、セルトランジスタCTのゲートはワード線WLに接続されている。
メモリセルアレイ11のビット線方向の両側には、センスアンプ12およびライトドライバ22が配置されている。センスアンプ12は、ビット線BLに接続されており、選択ワード線WLに接続されたメモリセルMCに流れる電流を検知することによって、メモリセルに格納されたデータを読み出す。ライトドライバ22は、ビット線BLに接続されており、選択ワード線WLに接続されたメモリセルMCに電流を流すことによってデータを書き込む。
メモリセルアレイ11のワード線方向の両側には、ロウデコーダ13およびワード線ドライバ21がそれぞれ配置されている。ワード線ドライバ21は、ワード線に接続されており、データ読出しまたはデータ書込みの際に選択ワード線WLに電圧を印加するように構成されている。
センスアンプ12またはライトドライバ22と外部入出力端子I/Oとの間のデータの授受は、データバス14及びI/Oバッファ15を介して行われる。
コントローラ16には、各種の外部制御信号、例えば、チップイネーブル信号/CE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、コマンドラッチイネーブル信号CLE、書き込みイネーブル信号/WE、及び読み出しイネーブル信号/REなどが入力される。コントローラ16は、これらの制御信号に基づいて、入出力端子I/Oから供給されるアドレスAddとコマンドComとを識別する。そして、コントローラ16は、アドレスAddを、アドレスレジスタ17を介してロウデコーダ13及びカラムデコーダ18に転送する。また、コントローラ16は、コマンドComをデコードする。センスアンプ12は、カラムデコーダ18によってデコードされたカラムアドレスに従って、ビット線に電圧を印加することができるように構成されている。ワード線ドライバ21は、ロウデコーダ13によってデコードされたロウアドレスに従って、選択ワード線WLに電圧を印加することができるように構成されている。
コントローラ16は、外部制御信号とコマンドに従って、データ読み出し、データ書き込み及び消去の各シーケンス制御を行う。内部電圧発生回路19は、各動作に必要な内部電圧(例えば、電源電圧より昇圧された電圧)を発生するために設けられている。この内部電圧発生回路19も、コントローラ16により制御され、昇圧動作を行い必要な電圧を発生する。
図2は、メモリセルMCの書込み動作を示す説明図である。TMR(tunneling magnetoresistive)効果を利用したMTJ素子は、2枚の強磁性層F,Pとこれらに挟まれた非磁性層(絶縁薄膜)Bとからなる積層構造を有し、スピン偏極トンネル効果による磁気抵抗の変化によりデジタルデータを記憶する。MTJ素子は、2枚の強磁性層F,Pの磁化配列によって、低抵抗状態と高抵抗状態とを取り得る。例えば、低抵抗状態をデータ“0”と定義し、高抵抗状態をデータ“1”と定義すれば、MTJ素子に1ビットデータを記録することができる。もちろん、低抵抗状態をデータ“1”と定義し、高抵抗状態をデータ“0”と定義してもよい。
例えば、MTJ素子は、固定層(Pin層)P、トンネル絶縁膜B、記録層(Free層)Fを順次積層して構成される。Pin層PおよびFree層Fは、強磁性体で構成されており、トンネル絶縁膜Bは、絶縁膜(例えば、Al2O3,MgO)からなる。Pin層Pは、磁化の向きが固定されている層であり、Free層Fは、磁化の向きが可変であり、その磁化の向きによってデータを記憶する。
書込み時に矢印A1の向きに反転閾値電極以上の電流を流すと、Pin層Pの磁化の向きに対してFree層Fのそれがアンチパラレル状態(AP状態)となり、高抵抗状態(データ“1”)となる。書込み時に矢印A2の向きに反転閾値電極以上の電流を流すと、Pin層PとFree層Fとのそれぞれの磁化の向きがパラレル状態(P状態)となり、低抵抗状態(データ“0”)となる。このように、MTJ素子は、電流の方向によって異なるデータを書き込むことができる。
尚、Pin層PとFree層Fとの位置関係は逆であってもよい。この場合、電流の方向も逆にすれば、上記のようにデータを書き込むことができる。
図3は、第1の実施形態に従ったMRAMのメモリセルMCの構成を示す断面図である。本実施形態によるMRAMは、半導体基板10と、半導体基板10上に形成されたセルトランジスタCTと、半導体基板10の上方に形成されたMTJ素子とを備えている。半導体基板10は、例えば、シリコン基板である。
セルトランジスタCTは、半導体基板10上に形成されたゲート絶縁膜15と、ゲート絶縁膜15上に形成されたゲート電極CGと、半導体基板10の表面に形成された拡散層20とを備える。ゲート絶縁膜15は、例えば、シリコン酸化膜またはシリコン酸化膜よりも誘電率の高い高誘電体材料を用いて形成される。
第1の絶縁膜としての層間絶縁膜30が半導体基板10およびセルトランジスタCTを被覆するように設けられている。層間絶縁膜30は、例えば、SiO2、SixNy、Al2O3、AlxOy(x<2、y≧3)、SiAlxOy、TiO2、ZrO2、または、これらの材料の2以上の組み合わせで形成された絶縁膜である。
コンタクトプラグ40が、層間絶縁膜30を貫通してセルトランジスタCTの一端の拡散層(ソースまたはドレイン)20に電気的に接続されている。コンタクトプラグ40は、例えば、タングステン等の導電性金属を用いて形成されている。バリアメタル45がコンタクトプラグ40と層間絶縁膜30との間に設けられていてもよい。バリアメタル45は、例えば、TiN等の導電性金属を用いて形成されている。
記憶素子としてのMTJ素子は、コンタクトプラグ40および層間絶縁膜30上に設けられている。MTJ素子は、下部電極LEと、第1の磁性体層としての記録層Fと、非磁性絶縁膜としてのトンネル絶縁膜Bと、第2の磁性体層としての固定層Pとを備える。
下部電極LEは、コンタクトプラグ40を介して拡散層20に電気的に接続されている。下部電極LEは、下層LE1と上層LE2との積層膜を用いて形成されている。下層LE1は、導電性であり、かつ、酸化すると絶縁性になる材料を用いて形成されている。これは、MTJ素子の側壁膜SWの一部である酸化物70を下部電極LEの材料の酸化物を用いて形成するためである。例えば、下層LE1の材料は、Ta、W、Ti、Al または、それらの窒化物、あるいは、これらの材料の複合膜である。上層LE2の材料は、酸化したときに絶縁性になる必要は必ずしもない。後述するように、サイドウォールSWのうちMTJ素子を直接被覆する酸化物70は、ほとんど下層LE1の材料の酸化物で形成されるからである。例えば、上層LE2の材料は、Ta、Pt、Ir、Ru、Pd、W、Ti、Al または、それらの窒化物、あるいは、これらの材料の複合膜である。また、後述するように、下部電極LEのエッチングにおいてイオンビームの照射方向を変更する時期を特定する。
記録層Fおよび固定層Pの材料は、例えば、Co、Fe、Ni、Pt、Fe、Pd、B、Ta、Dy、Tv、Cr等を含む磁性体材料である。トンネル絶縁膜Bの材料は、例えば、酸化マグネシウムを用いて形成されている。トンネル絶縁膜Bは記録層Fと固定層Pとの間の電流の流れを妨げないように非常に薄く形成されている。
シフト調整膜50が必要に応じてMTJ素子の上に設けられている。シフト調整膜50は導電性材料で形成されている。ハードマスク60がシフト調整膜50上に設けられている。ハードマスク60の材料は、例えば、例えば、SiO2、SiN、Ta、TiAlxNy、TaN、TiN、WN、W、Al2O3等の単層膜または積層膜である。ハードマスク60は、MTJ素子の上部と上部電極UEとを電気的に接続するために導電性材料を用いて形成されている。
側壁膜SWがMTJ素子の側面を被覆している。本実施形態において、側壁膜SWは、下層LE1の材料の酸化物70と層間絶縁膜30の材料80との積層膜で形成されている。上述の通り、下層LE1の材料は、酸化すると電気的に絶縁性となる材料で形成されている。従って、側壁膜SWは、全体として絶縁性を有する。
本実施形態において、側壁膜SWは、MTJ素子の側面全体を被覆している。しかし、側壁膜SWは、固定層Pとトンネル絶縁層Bとの界面およびトンネル絶縁層Bと記録層Fとの界面を被覆すればよい。従って、側壁膜SWは、MTJ素子の側面の少なくとも一部として固定層P、トンネル絶縁層Bおよび記録層Fの側面部分を被覆すればよい。
保護膜90が、マスク層60、側壁膜SWおよび層間絶縁膜30を被覆するように設けられている。即ち、保護膜90は、MTJ素子の側面において、側壁膜SWを被覆している。保護膜90は、例えば、シリコン窒化膜等の絶縁膜を用いて形成されている。
層間絶縁膜100が保護膜90を被覆するように設けられている。層間絶縁膜100およびハードマスク60上に上部電極UEが設けられている。層間絶縁膜110は、上部電極UEを被覆するように設けられている。層間絶縁膜100、110は、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜等の絶縁膜を用いて形成されている。上部電極UEの材料は、Ta、Pt、Ir、Ru、Pd、W、Ti、Al または、それらの窒化物、あるいは、これらの材料の複合膜である。
以上のような構成を有する本実施形態によるMRAMは、以下の製造方法により製造され得る。
図4から図8は、第1の実施形態によるMRAMの製造方法を示す断面図である。尚、図4から図8では、1つのメモリセルMCの製造方法のみを示すが、同一の半導体基板10上の多数のメモリセルMCは、図4から図8に示す方法と同様の方法で同時に形成され得る。
まず、半導体基板10上にセルトランジスタCTを形成する。セルトランジスタCTは、既知のトランジスタの形成方法で形成してよい。図4では、セルトランジスタCTの拡散層20、ゲート絶縁膜15およびゲート電極CGが表示されている。拡散層20は、半導体基板10の表面に形成されており、ソースまたはドレインのいずれかである。ゲート電極CGは、ゲート絶縁膜15上に形成されており、ゲート絶縁膜15によって半導体基板10から電気的に絶縁されている。
次に、ゲート電極CGを被覆するように、層間絶縁膜(Inter Layer Dielectric)30を堆積する。CMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用いて、層間絶縁膜30を平坦化する。
次に、リソグラフィ技術およびRIE(Reactive Ion Etching)法を用いて、層間絶縁膜30にコンタクトプラグ40用のコンタクトホールを形成する。そして、CVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いてコンタクトホールの内壁にバリアメタル45を堆積する。続いて、CVD法を用いて金属材料(例えば、タングステン)をコンタクトホール内に堆積する。これにより、層間絶縁膜30を貫通して拡散層20に電気的に接続されるコンタクトプラグ40が形成される。
次に、CMP法を用いて金属材料を平坦化し、隣接するコンタクトプラグ40を互いに電気的に分離する。コンタクトプラグ40は、拡散層20に接続され、かつ、ゲート電極CGから絶縁されるように形成される。
次に、スパッタ法等を用いて、層間絶縁膜30およびコンタクトプラグ40上に、下部電極LEの材料、記録層Fの材料、トンネル絶縁膜Bの材料、固定層Pの材料およびシフト調整層50の材料をこの順番で堆積する。下部電極LEは、下層LE1と上層LE2とを含む積層膜である。下部電極LEの材料は、後述するエッチング工程によってMTJ素子の側面に付着する。従って、下層LE1および上層LE2は、そのままの状態では導電性である。下層LE1は、酸化されると絶縁性になる材料である。尚、具体的な下部電極LE1、LE2の材料は、上述の通りであるが、MTJ素子の特性に応じて選択される。
次に、シフト調整層50の材料上に、ハードマスク60の材料を堆積する。続いて、リソグラフィ技術およびRIE法を用いて、ハードマスク60の材料をMTJ素子のレイアウトパターンに加工する。これにより、図4に示す構造が得られる。
ハードマスク60の材料は、例えば、SiO2、SiN、Ta、TiAlxNy、TaN、TiN、WN、W、Al2O3等の単層膜または積層膜である。ハードマスク60が単層膜の場合、ハードマスク60の材料は、図3に示す上部電極UEとして利用され得るように、導電性材料(例えば、Ta、TiAlxNy、TaN、WN、W、TiN)であることが好ましい。ハードマスク60が積層膜の場合、ハードマスク60の材料は、少なくともMTJ素子上に導電性材料を堆積し、その導電性材料の上に絶縁性材料(例えば、SiO2、SiN、Al2O3)を堆積する。ハードマスク60の絶縁性材料は、MTJ素子の加工時に除去される。
次に、図5に示すように、ハードマスク60をマスクとして用いて、シフト調整層50、固定層P、トンネル絶縁膜B、記録層F、および、上層LE2の各材料を、IBE法で連続的にエッチングする(第1のエッチング)。このとき、イオンビームは、半導体基板10の表面に対して垂直方向から約40度〜50度に傾斜した第1の方向DR1から照射される。例えば、第1の方向DR1は、半導体基板10の表面に対して垂直方向から約45度傾斜している。半導体基板10は、半導体基板10の表面に対して垂直方向を軸として回転しながら、イオンビームを受ける。
上層LE2の材料がエッチングされるときに、上層LE2の材料は、イオンビームによって反跳し、シフト調整層50、固定層Pおよびトンネル絶縁膜Bの側面に一旦、付着する。しかし、イオンビームが半導体基板10の表面に対して垂直方向から40度〜50度傾斜している場合、MTJ素子に対して横方向からのエッチング成分(サイドエッチング成分)が、上層LE2の材料をMTJ素子の側面から除去する。このため、上層LE2の材料は、MTJ素子の側面にほとんど付着しない。図5に示す129が、MTJ素子の側面に付着した上層LE2の材料である。この材料129は、MTJ素子の側面にわずかに付着するが、MTJ素子の固定層Pと規則層Fとの間を短絡するほど均一には付着していない。
上層LE2の材料と下層LE1の材料とが互いに異なるので、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer)等のEPD(End Point Detector)を用いて、上層LE2と下層LE1との境界を検出する。下層LE1の材料が検出された後、イオンビームは、半導体基板10の表面に対して垂直方向から0〜30度傾斜した第2の方向から照射される(第2のエッチング)。これにより、図6に示すように、下層LE1の材料がIBE法によってエッチングされる。下層LE1の材料は第2の方向RD2からイオンビームを受けて、固定層P、トンネル絶縁膜Bおよび記録層Fの側面へ反跳する。ここで、第2の方向DR2は、第1の方向DR1よりも半導体基板10の表面に対して垂直方向に近い。従って、MTJ素子に対するサイドエッチングが少ないので、MTJ素子の側面に付着した下層LE1の材料は除去されずにMTJ素子の側面を被覆するように残る。即ち、実質的に下層LE1の材料のみが固定層P、トンネル絶縁膜Bおよび記録層Fの側面(MTJ素子の側面)を被覆するように付着する。図6に示す130がMTJ素子の側面を被覆する下層LE1の材料である。
このように、下部電極LE(上層LE2および下層LE1)は、第1の方向DR1からのイオンビームおよび第2の方向DR2からのイオンビームによってエッチングされる。これにより、図6に示すように、固定層P、トンネル絶縁膜Bおよび記録層Fの各側面は、下層LE1の材料によって被覆される。
下層LE1の材料130は、導電性を有する。従って、このままでは、MTJ素子の側面において電流がリークしてしまう。そこで、IBE法による下部電極LEの材料のエッチング後、半導体基板10をエッチング装置から一旦大気中に搬出し、酸化処理装置へ移動させる。そして、酸化処理装置内において、下層LE1の材料130を酸化する。これにより、図7に示すように絶縁性の酸化物70が側壁膜SWの一部としてMTJ素子の側面に形成される。ここで、酸化工程は、例えば、50度の低温雰囲気中において酸素プラズマ処理によって実行される。酸化条件は、MTJ素子の側壁に堆積された 下層LE1の材料130およびその膜厚により調整される。
次に、ハードマスク60をマスクとして用いて、層間絶縁膜30の材料を、IBE法でエッチングする(第3のエッチング)。このとき、イオンビームは、半導体基板10の表面に対して垂直方向から0〜30度傾斜した第3の方向DR3から照射される。尚、第3の方向DR3は、第2の方向DR2と同一方向でもよい。イオンビームは、層間絶縁膜30に照射されることによって層間絶縁膜30の材料をMTJ素子の側面にある下部電極の材料の酸化物70へ反跳させる。これにより、図8に示すように、MTJ素子の側面において酸化物70上に層間絶縁膜30の材料80(以下、絶縁膜80ともいう)が堆積される。酸化物70および絶縁膜80は、側壁膜SWを形成する。ここで、層間絶縁膜30および絶縁膜80の材料は、例えば、SiO2、SixNy、Al2O3、AlxOy(x<2、y≧3)、SiAlxOy、TiO2、ZrO2、または、これらの材料の2以上の組み合わせで形成された絶縁膜である。これにより、層間絶縁膜30および絶縁膜80は、その後の工程において発生する水素、水、酸素、あるいは、大気中にある水、酸素からMTJ素子を保護する役目を果たす。
次に、ALD(Atomic Layer Deposition)法を用いて、保護膜90をMTJ素子、層間絶縁膜30およびハードマスク60上に堆積する。これにより、図3に示すように、保護膜90は、MTJ素子の側面において側壁膜SWの絶縁膜80を被覆する。保護膜90は、例えば、シリコン窒化膜等の絶縁膜を用いて形成されている。これにより、保護膜90は、水素、水、酸素からMTJ素子をより効果的に保護する。
その後、図3に示す層間絶縁膜100、110の堆積後、CMP法を用いてハードマスク60を露出させる。ハードマスク60上に上部電極UEを形成する。さらに、その他の配線(図示せず)を形成する。これにより、本実施形態によるMRAMが完成する。
本実施形態によるMRAMの側壁膜SWは、下部電極LEのうち下層LE1の材料の酸化物70および層間絶縁膜30の材料から成る絶縁膜80を用いて形成されている。従って、側壁膜SWは、IBE法によるMTJ素子の加工工程においてMTJ素子の側面に付着する堆積物をそのまま利用することができる。即ち、本実施形態によるMRAMは、側壁膜SWを形成する工程を個別に実行することなく、側壁膜SWを形成することができる。その結果、本実施形態のMRAMは、製造コストが低く、信頼性が高い。また、MTJ素子の特性が改善するので、歩留まりを向上させることができる。
下部電極LEのうち上層LE2の材料は、MTJ素子の側面にほとんど付着していない。よって、上層LE2の材料は、酸化しても導電性を有する材料であってもよい。
本実施形態によるMRAMの製造方法では、MTJ素子の側面に堆積された下層LE1の材料を酸化するときに、半導体基板10を一旦大気中に搬出する。このとき、MTJ素子の側面は、下層LE1の材料によって被覆されている。従って、MTJ素子の側面は、大気に曝されることなく、制御不能な酸化は生じない。
また、MTJ素子の側面が下層LE1の材料によって被覆されていることによって、下層LE1の材料の酸化時に、半導体基板10を大気中に搬出することができる。これは、下部電極LEのエッチング工程および下層LE1の材料の酸化工程を同一チャンバ内で実行する必要がないことを意味する。つまり、これらのエッチング工程および酸化工程は、insitu処理である必要はない。よって、本実施形態よるMRAMは、新たな半導体製造装置を導入することなく、個別に配置された既存のエッチング装置および酸化処理装置を利用して製造することができる。その結果、本実施形態によるMRAMは、低コストで製造することができる。
MTJ素子の側面を被覆する下層LE1の材料は、上述の通り、低温プラズマ酸化法によって酸化される。低温プラズマ酸化法は、酸化を良好に制御することができる。従って、本実施形態によれば、MTJ素子の抵抗のばらつきを抑制し、歩留まりを向上させることができる。
層間絶縁膜30の材料としてシリコン窒化膜を採用した場合、絶縁膜80は、シリコン窒化膜になる。シリコン窒化膜は、水素、酸素、水の拡散を効果的に抑制する。従って、層間絶縁膜30の材料としてシリコン窒化膜を採用すれば、絶縁膜80は、MTJ素子を効果的に保護することができる。
尚、酸化物70および絶縁膜80から成る側壁膜SWが充分にMTJ素子を保護することができれば、保護膜90は、MTJ素子の側面を被覆する必要はない。この場合、保護膜90は、省略可能である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
MC・・・メモリセル、CT・・・セルトランジスタ、10・・・半導体基板、15・・・ゲート絶縁膜、CG・・・ゲート電極、20・・・拡散層、30・・・層間絶縁膜、45・・・バリアメタル、40・・・コンタクトプラグ、MTJ・・・MTJ素子、LE・・・下部電極、LE1・・・下層、LE2・・・上層、F・・・記録層、B・・・トンネル絶縁膜、P・・・固定層、SW・・・側壁膜、50・・・シフト調整膜、60・・・ハードマスク、70・・・酸化物、80・・・絶縁膜、90・・・保護膜、100、110・・・層間絶縁膜、UE・・・上部電極
Claims (10)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた拡散層と、
前記半導体基板の上方に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜を貫通して前記拡散層に電気的に接続されたコンタクトプラグと、
前記コンタクトプラグおよび前記第1の絶縁膜上に積層された下部電極、第1の磁性体層、非磁性絶縁膜、および、第2の磁性体層を含む記憶素子と、
前記記憶素子の側面の少なくとも一部を被覆し、前記下部電極の材料の酸化物および前記第1の絶縁膜の積層膜から成る側壁膜と、
前記記憶素子の側面において前記側壁膜をさらに被覆する保護膜とを備え、
前記下部電極の材料は導電性材料であり、該下部電極の材料の酸化物は絶縁性材料であることを特徴とする半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた拡散層と、
前記半導体基板の上方に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜を貫通して前記拡散層に電気的に接続されたコンタクトプラグと、
前記コンタクトプラグおよび前記第1の絶縁膜上に積層された下部電極、第1の磁性体層、非磁性絶縁膜、および、第2の磁性体層を含む記憶素子と、
前記記憶素子の側面の少なくとも一部を被覆し、前記下部電極の材料の酸化物および前記第1の絶縁膜を含む側壁膜とを備えた半導体記憶装置。 - 前記記憶素子の側面において前記側壁膜を被覆する保護膜をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記側壁膜は、前記下部電極の材料の酸化物および前記第1の絶縁膜からなる積層膜であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体記憶装置。
- 前記下部電極は、導電性材料を用いて形成された上層と、導電性でありかつ酸化すると絶縁性になる材料を用いて形成された下層とを含み、
前記側壁膜は、前記下層の材料の酸化物および前記第1の絶縁膜の積層膜から成ることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 半導体基板に拡散層を形成し、
前記半導体基板上に第1の絶縁膜を形成し、
前記第1の絶縁膜を貫通して前記拡散層に電気的に接続されたコンタクトプラグを形成し、
前記コンタクトプラグおよび前記第1の絶縁膜上に下部電極、第1の磁性体層、非磁性体層、および、第2の磁性体層の各材料を積層し、
前記第2の磁性体層の材料上にマスク材料を堆積し、
前記マスク材料を加工し、
前記マスク材料をマスクとして用いて前記第2の磁性体層、前記非磁性体層、前記第1の磁性体層、および、前記下部電極の各材料をエッチングして記憶素子を形成し、
前記下部電極の材料のエッチングによって前記記憶素子の側面の少なくとも一部に堆積された前記下部電極の材料を酸化して酸化膜を形成し、
前記第1の絶縁膜をさらにエッチングすることによって、前記記憶素子の側面にある前記酸化膜に前記第1の絶縁膜の材料を堆積することを具備する半導体記憶装置の製造方法。 - 前記下部電極は、導電性材料を用いて形成された上層と、導電性でありかつ酸化すると絶縁性になる材料を用いて形成された下層とを含み、
前記第2の磁性体層、前記非磁性体層、前記第1の磁性体層、および、前記下部電極の各材料のエッチングは、
前記半導体基板の表面に対して垂直方向から傾斜した第1の方向からイオンビームを照射することによって前記第2の磁性体層、前記非磁性体層、前記第1の磁性体層の各材料、および、前記下部電極の材料の前記上層を加工し、
前記第1の方向よりも前記半導体基板の表面に対して垂直方向に近い第2の方向からイオンビームを前記下部電極の材料の前記下層に照射することによって、該下層の材料を前記第2の磁性体層、前記非磁性体層および前記第1の磁性体層の各側面へ付着させることを具備することを特徴とする請求項6に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記下部電極の前記上層の材料と前記下層の材料とは互いに異なることを特徴とする請求項7に記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記下部電極の材料の酸化は、前記下部電極の材料のエッチング後、前記半導体基板をエッチング装置から一旦大気中に搬出し、酸化処理装置へ移動させて実行することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜のエッチングは、
イオンビームを前記第1の絶縁膜に照射することによって前記第1の絶縁膜の材料を前記記憶素子の側面にある前記下部電極の材料の酸化膜へ付着させることを具備することを特徴とする請求項6から請求項9のいずれかに記載の半導体記憶装置の製造方法。
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