JP2013149797A - 半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体パッケージ10を構成する再配線基板14は、半導体チップとオーバーラップするオーバーラップ領域28と、該オーバーラップ領域を除く領域である周辺領域30と、を有する。また、再配線基板における半導体チップ搭載面と反対の裏面14bには、外部接続用の電極16が配置されており、所定ピッチで連なった複数の電極の群として、オーバーラップ領域に配置された電極を少なくとも含む中央電極群38と、周辺領域に配置された電極のみを含む周辺電極群40と、を有する。そして、再配線基板は、中央電極群の配置領域と周辺電極群との配置領域の間の電極が配置されていない非配置領域42に、半導体チップ、再配線基板、及び封止樹脂の線膨張係数差に基づく応力を緩和する応力緩和部44を有している。
【選択図】図2
Description
半導体チップと、
一面に、半導体チップが実装された再配線基板と、
再配線基板における一面と反対の裏面に所定ピッチを有して配置され、基板に接続される外部接続用の複数の電極と、
再配線基板の一面上に配置され、半導体チップと再配線基板との電気的な接続部を少なくとも封止する封止樹脂と、を備え、
再配線基板は、半導体チップとオーバーラップするオーバーラップ領域と、該オーバーラップ領域を除く領域である周辺領域と、を有し、
所定ピッチで連なった複数の電極の群として、オーバーラップ領域に配置された電極を少なくとも含む中央電極群と、周辺領域に配置された電極のみを含む周辺電極群と、を有する半導体パッケージであって、
再配線基板は、中央電極群の配置領域と周辺電極群との配置領域の間の電極が配置されていない非配置領域に、半導体チップ、再配線基板、及び封止樹脂の線膨張係数差に基づく応力を緩和する応力緩和部を有することを特徴とする。
応力緩和部は、非配置領域のうち、周辺領域の部分に設けられることが好ましい。
応力緩和部として、再配線基板を一面から裏面にわたって貫通しつつ空洞とされた貫通部を有する構成としても良い。
再配線基板は、半導体チップのパッドと電極とを電気的に中継する配線部を有し、
貫通部は、配線部とオーバーラップしない位置に設けられていることが好ましい。
貫通部の一面側開口端は、再配線基板の一面に設けられたソルダレジストにより閉塞されていると良い。
周辺電極群は、オーバーラップ領域を取り囲むように複数の電極が配置されてなる環状群を少なくとも1重分有し、
複数の貫通部が、オーバーラップ領域を取り囲むように形成されると良い。
応力緩和部として、裏面に凹部が設けられることで、再配線基板の他の部分よりも厚さが薄くされた薄肉部を有しても良い。
薄肉部は、オーバーラップ領域を取り囲むように環状に形成されると良い。
先ず、図1〜図5を用いて、半導体パッケージ10の概略構成を説明する。
本実施形態において、上記実施形態に示した半導体パッケージ10と共通する部分についての説明は割愛する。第1実施形態では、半導体パッケージ10を構成する再配線基板14が、応力緩和部として貫通孔44を有する例を示した。
本実施形態において、上記実施形態に示した半導体パッケージ10と共通する部分についての説明は割愛する。上記実施形態では、半導体パッケージ10を構成する再配線基板14が、応力緩和部として貫通部(貫通孔44又はスリット46)を有する例を示した。
14b・・・裏面、16・・・はんだボール(電極)、18・・・封止樹脂、28・・・オーバーラップ領域、30・・・周辺領域、38・・・中央ボール群(中央電極群)、40・・・周辺ボール群(周辺電極群)、42・・・非配置領域、44・・・貫通孔(応力緩和部、貫通部)
Claims (9)
- 半導体チップと、
一面に、前記半導体チップが実装された再配線基板と、
前記再配線基板における一面と反対の裏面に所定ピッチを有して配置され、基板に接続される外部接続用の複数の電極と、
前記再配線基板の一面上に配置され、前記半導体チップと前記再配線基板との電気的な接続部を少なくとも封止する封止樹脂と、を備え、
前記再配線基板は、前記半導体チップとオーバーラップするオーバーラップ領域と、該オーバーラップ領域を除く領域である周辺領域と、を有し、
前記所定ピッチで連なった複数の前記電極の群として、前記オーバーラップ領域に配置された電極を少なくとも含む中央電極群と、前記周辺領域に配置された電極のみを含む周辺電極群と、を有する半導体パッケージであって、
前記再配線基板は、前記中央電極群の配置領域と前記周辺電極群との配置領域の間の前記電極の配置されていない非配置領域に、前記半導体チップ、前記再配線基板、及び前記封止樹脂の線膨張係数差に基づく応力を緩和する応力緩和部を有することを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記応力緩和部は、前記非配置領域のうち、前記周辺領域の部分に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記応力緩和部として、前記再配線基板を一面から裏面にわたって貫通しつつ空洞とされた貫通部を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体パッケージ。
- 前記再配線基板は、前記半導体チップのパッドと前記電極とを電気的に中継する配線部を有し、
前記貫通部は、前記配線部とオーバーラップしない位置に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の半導体パッケージ。 - 前記貫通部の一面側開口端は、前記再配線基板の一面に設けられたソルダレジストにより閉塞されていることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の半導体パッケージ。
- 前記周辺電極群は、前記オーバーラップ領域を取り囲むように複数の前記電極が配置されてなる環状群を少なくとも1重分有し、
複数の前記貫通部が、前記オーバーラップ領域を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項3〜5いずれか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記応力緩和部として、前記裏面に凹部が設けられ、前記再配線基板の他の部分よりも厚さの薄い薄肉部を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体パッケージ。
- 前記周辺電極群は、前記オーバーラップ領域を取り囲むように複数の前記電極が配置されてなる環状群を少なくとも1重分有し、
前記薄肉部が、前記オーバーラップ領域を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。 - 前記薄肉部は、前記オーバーラップ領域を取り囲むように環状に形成されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージ。
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