JP2013137197A - レーザ式厚さ測定システム、及びその校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ式厚さ測定装置1、2は、予め定める間隔Ldで設定し、第1のレーザ式厚さ測定装置が、厚さ基準板で厚さ校正処理を実行し、移動方向の下流側に置かれる他方の第2のレーザ式厚さ測定装置が、測定処理を実行中に動作モード設定部が第1のレーザ式厚さ測定装置に「測定」を設定し、さらに、第2のレーザ式厚さ測定装置に「厚さ補正」処理開始を指令し、第1の厚さ測定値を移動方向に間隔に対応する位置まで遅延し、第1の厚さ測定値と自身の第2の厚さ測定値との差を補正値として求め、第2のレーザ式厚さ測定装置の測定を中断することなく厚さ補正を実行するようにしたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、このレーザ式厚さ測定装置200は(1)式に示す様に、レーザ距離計11及びレーザ距離計12を固定するC型フレーム15の腕部15T、15B間の距離Loが、周囲温度の変化によって変動すると、この変動分そのものが測定誤差となる問題があるため、距離Loの変動を抑えるためにC型フレーム構造や材質の改良がなされ、また、従来から各種の温度ドリフトの補正方法が実施されている。
これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
3 動作モード設定部
4 速度検出器
5 被測定物
5c 厚さ基準板
11、12 レーザ距離計
13 厚さ測定部
13a 補正演算部
14 位置設定部
15 C型フレーム
15T 上部腕部
15B 下部腕部
100 レーザ式厚さ測定システム
Claims (2)
- 一対のレーザ式厚さ測定装置と、前記レーザ式厚さ測定装置の動作モードを設定する動作モード設定部と、前記レーザ式厚さ測定装置が測定する被測定物の移動速度を測定する速度検出器と、を備えるレーザ式厚さ測定システムであって、
前記レーザ式厚さ測定装置は、移動する前記被測定物の上下を挟む腕部を有するC型フレームと、前記腕部の上下に対向して配置された1対のレーザ距離計と、前記レーザ距離計の距離出力に基づいて厚さを求める厚さ測定部と、前記動作モード設定部で設定された動作モードに基づいて、前記C型フレームを測定位置及び校正位置に設定する位置設定部と、を備え、
前記一対のレーザ式厚さ測定装置は、前記被測定物の移動方向に対して予め定める間隔で設けられ、
前記動作モード設定部は、移動方向の上流側に置かれる一方の第1のレーザ式厚さ測定装置を、予め設定される校正周期で厚さ校正を実行する「校正」モード設定信号を送り、
前記第1のレーザ式厚さ測定装置は、前記「校正」モードに基づいて、当該第1のレーザ式厚さ測定装置を、校正位置に移動させ、予め設定される厚さ基準板で厚さ校正処理を実行し、
前記動作モード設定部は、移動方向の下流側に置かれる他方の第2のレーザ式厚さ測定装置に被測定物の厚さ測定を指令する「測定」モード設定信号を送り、
前記第2のレーザ式厚さ測定装置は、予め設定される測定位置で前記被測定物の厚さを連続して測定処理を実行し、
前記動作モード設定部は、前記第1のレーザ式厚さ測定装置に対して「測定」モード設定信号を送り、前記第1のレーザ式厚さ測定装置から測定位置に位置設定を完了した位置設定完了信号を受信して、前記第2のレーザ式厚さ測定装置に「厚さ補正」処理開始信号を送り、
前記第2のレーザ式厚さ測定装置の前記厚さ測定部は、前記「厚さ補正」処理開始信号を受信すると、測定位置に置かれた前記第1のレーザ厚さ計の第1の厚さ測定値と、前記速度検出器から前記被測定物の移動速度と、を受信して、前記第1の厚さ測定値を前記被測定物の移動方向に、前記間隔に対応する位置まで遅延(トラッキング)し、当該第1の厚さ測定値と自身の第2の厚さ測定値との差を補正値として求め、前記第2のレーザ式厚さ測定装置が測定を中断することなく、測定中に前記第2の厚さ測定値を補正するようにしたことを特徴とするレーザ式厚さ測定システム。 - 一対のレーザ式厚さ測定装置と、前記レーザ式厚さ測定装置の動作モードを設定する動作モード設定部と、前記レーザ式厚さ測定装置が測定する被測定物の移動速度を測定する速度検出器と、を備えるレーザ式厚さ測定システムの厚さ校正方法であって、
前記一対のレーザ式厚さ測定装置は、前記被測定物の移動方向に対して予め定める間隔で設定され、
前記動作モード設定部は、移動方向の上流側に置かれる一方の第1のレーザ式厚さ測定装置を予め定める校正周期で「校正」を設定するステップと、
前記第1のレーザ式厚さ測定装置が、予め設定される校正位置に自身を移動させ、予め設定される厚さ基準板で厚さ校正処理を実行するステップと、
前記動作モード設定部は、移動方向の下流側に置かれる他方の第2のレーザ式厚さ測定装置に「測定」を設定するステップと、
第2のレーザ式厚さ測定装置は、前記被測定物の厚さを連続して測定処理を実行するステップと、
前記動作モード設定部は、前記第1のレーザ式厚さ測定装置に「測定」を設定し、前記第1のレーザ式厚さ測定装置から測定位置に設定された測定位置設定完了信号を受信して、前記第2のレーザ式厚さ測定装置に「厚さ補正」処理開始を指令するステップと、
前記第2のレーザ式厚さ測定装置は、前記「厚さ補正」処理開始信号を受信すると、測定位置に置かれた前記第1のレーザ式厚さ測定装置の第1の厚さ測定値と前記速度検出器から前記被測定物の移動速度を受信して、前記第1の厚さ測定値を移動方向に前記間隔に対応する位置まで遅延し、当該第1の厚さ測定値と自身の第2の厚さ測定値との差を補正値として求め、前記第2の厚さ測定値を測定中に補正するステップと、
を備え、測定を中断することなく第2の厚さ測定装置の補正を実行するようにしたことを特徴とするレーザ式厚さ測定システムの校正方法。
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