JP6412735B2 - 光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置 - Google Patents
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Description
t=Ds−(dt+db) ・・・・・・(1)
t’=Ds-(dt-Δd+db) ・・・・・(2)
となる。
Δd=(Δdr+Δdl)/2 ・・・・・(3)
t=t’+Δd
=Ds-(dt-Δd+db)-Δd
=Ds-(dt+db) ・・・・・(4)
xl=Ws-xr ・・・・・(5)
であるので、
Δdxl=(Δdr-Δdl)×xl/(xl+xr) ・・・・・(6)
を演算により求め、更に、上下方向の変位Δd(距離が減少するので厚さが増加する方向の変位)を、下記式で求める。
Δd=Δdl+Δdxl ・・・・・(7)
cosθ=xl/(xl2+Δdxl2)1/2 ・・・・・(8)
Δdθ=td’(1-cosθ) ・・・・・(9)
t=t’+(-Δd+Δdθ) ・・・・・(10)
2T、2B ガイドレール部
3T、3B ガイドレール駆動部
4 レーザビーム投光部
4a レーザビームコリメータ
4b ビームスプリッタ
5R、5L 位置変位検出器
11 厚さ演算部
13 厚さ測定位置制御部
15 位置演算部
16 厚さ補正演算部
20 門型フレーム
21、22 断熱カバー
30 被測定物
50 検出部
60 制御部
100 光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置
Claims (4)
- 被測定物との距離を求める一対の光学式距離検出器を、水平方向に移動する被測定物の鉛直方向に対向して設けて、前記被測定物の表面及び裏面と、予め設定される前記光学式距離検出器の鉛直方向の夫々の基準位置との間の距離を求めて前記被測定物の厚さを求める光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置であって、
前記光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置は、検出部と制御部とを備え、
前記検出部は、前記被測定物に跨り、当該被測定物の幅方向の厚さ測定位置で、前記光学式距離検出器を鉛直方向に対向して支持する門型フレームと、
両端部を前記門型フレームの支柱に固定し、表面側に設ける前記光学式距離検出器を、前記被測定物の幅方向の前記厚さ測定位置に移動する上部ガイドレールと、両端部を前記門型フレームの支柱に固定し、裏面側に設ける前記光学式距離検出器を、前記厚さ測定位置に移動する下部ガイドレールと、
前記上部ガイドレールに固定され、レーザビームを前記被測定物の表面に照射してその反射光の位置から距離を求める表面側の前記光学式距離検出器と、前記下部ガイドレールに固定され、レーザビームを前記被測定物の裏面に照射してその反射光の位置から距離を求める裏面側の前記光学式距離検出器と、
表面側の前記光学式距離検出器の光学基盤と一体で固定されるレーザビーム投光器と、前記門型フレームの左右の支柱に固定され、当該レーザビーム投光器から水平軸方向に照射されたレーザビームを当該レーザビームと直交する平面上で受光し、当該レーザビームの受光位置を検出する一対のレーザビーム位置検出器と、を備え、
前記制御部は、表面側の前記光学式距離検出器、及び裏面側の前記光学式距離検出器の出力、から、予め設定された前記基準位置との間の距離を求め、予め作成された厚さ校正テーブルを参照して厚さを求める厚さ演算部と、
前記一対のレーザビーム位置検出器の出力から、表面側の前記光学式距離検出器の前記基準位置との間の距離変位と、鉛直方向に対する角度変位による前記基準位置との間の距離変位とを、予め校正された位置校正テーブルを参照して求める位置演算部と、
前記上部及び下部のガイドレールを駆動して表面側の前記光学式距離検出器と、裏面側の前記光学式距離検出器と、を前記厚さ測定位置に移動する厚さ測定位置制御部と、
前記位置演算部で求めた前記光学式距離検出器の基準位置に対する距離変位を参照して前記厚さ演算部が求めた厚さ出力を補正する厚さ補正演算部と、
を備えるようにしたことを特徴とする光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置。 - 前記レーザビーム投光器は、レーザビームコリメータと、レーザビームスプリッタとを備え、前記レーザビームコリメータは、前記レーザビームを鉛直方向から、1本、または、2本を生成し、前記レーザビームスプリッタは、前記レーザビームを水平軸の異なる方向に照射するようにした請求項1に記載の光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置。
- 前記レーザビーム位置検出器は、ラインスキャン型CCDカメラ、または、エリアスキャン型CCDカメラであることを特徴とする請求項1に記載の光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置。
- 前記被測定物が赤熱された鋼板の場合は、前記検出部と前記被測定物との光学空間を除く、当該被測定物の周囲を断熱する断熱カバーで覆うようにするとともに、前記門型フレームの周囲を含む検出部の周囲を、外気に対して断熱する断熱カバーで覆うようにした請求項1に記載の光学式距離検出器を用いた厚さ測定装置。
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