JP2013110270A - 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板(2)を保持する基板保持手段(22)と、前記基板保持手段(22)で前記基板(2)を正常に保持したときに前記基板(2)の端縁部が存在する領域を撮影する撮影手段(25)と、前記撮影手段(25)で撮影した画像に基づいて前記基板保持手段(22)による前記基板(2)の保持状態を判断する制御手段(26)とを有することにした。
【選択図】図3
Description
2 基板
22 基板保持手段
25 撮影手段
26 制御手段
27 記憶媒体
54 カメラ
55 ライト
Claims (15)
- 基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段で前記基板を正常に保持したときに前記基板の端縁部が存在する領域を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段で撮影した画像に基づいて前記基板保持手段による前記基板の保持状態を判断する制御手段と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記撮影手段で撮影する領域は、前記基板保持手段に設けた前記基板を保持するための基板保持体を含む領域としたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記撮影手段は、1度の撮影で複数の前記基板保持体を含む領域を撮影することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記撮影手段で撮影された前記基板保持体の面積に基づいて前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記撮影手段で撮影された前記基板の端縁部と前記基板保持体の周囲に設けられたカップとの距離に基づいて前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記基板の端縁部と前記カップとの距離を予め定められた距離と比較して前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記基板の端縁部と前記カップとの距離を複数個所で計測し、それぞれの計測値同士を比較して前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 基板が正常に保持されたときに前記基板の端縁部が存在する領域を撮影し、撮影した画像に基づいて前記基板の保持状態を判断することを特徴とする基板処理方法。
- 前記基板を保持するための基板保持体を含む領域を撮影することを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
- 1度の撮影で複数の前記基板保持体を撮影することを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。
- 撮影された前記基板保持体の面積に基づいて前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の基板処理方法。
- 撮影された前記基板の端縁部と前記基板保持体の周囲に設けられたカップとの距離に基づいて前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記基板の端縁部と前記カップとの距離を予め定められた距離と比較して前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。
- 前記基板の端縁部と前記カップとの距離を複数個所で計測し、それぞれの計測値同士を比較して前記基板の保持状態を判断することを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。
- 撮影手段に、基板を保持する基板保持手段で前記基板を正常に保持したときに前記基板の端縁部が存在する領域を撮影させ、
制御手段に、前記撮影手段で撮影した画像に基づいて前記基板保持手段による前記基板の保持状態を判断させる、
ことを特徴とする基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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