JP2013034046A - カメラモジュール、製造装置、及び製造方法 - Google Patents

カメラモジュール、製造装置、及び製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】カメラモジュールから、レンズの駆動を制御する。
【解決手段】撮像センサは、レンズにより集光された光を受光する受光面を有し、TSVは、受光面を有する、撮像センサの面に形成されて給電を行い、電極及びバンプは、TSVと、TSVからの給電に応じてレンズを駆動するアクチュエータに設けられた電極とを電気的に接続し、封止部材は、電極及びバンプを封止することにより形成される。本開示は、例えば、撮像センサを有するカメラモジュール等に適用できる。
【選択図】図１２

Description

本開示は、カメラモジュール、製造装置、及び製造方法に関し、特に、例えば、カメラモジュールから、レンズの駆動を制御できるようにしたカメラモジュール、製造装置、及び製造方法に関する。
例えば、TSV(through-silicon via)構造とされたセンサモジュールが存在する（例えば、特許文献１参照）。
図１は、TSV構造とされたセンサモジュール１の一例を示している。
このセンサモジュール１は、撮像素子（受光面）２１aが設けられた撮像センサ２１、撮像センサ２１に形成されたTSV（through-silicon via）２２a及び２２b、撮像センサ２１上に設けられた接着部２３a及び２３b、接着部２３a及び２３bを介して撮像センサ２１上に接着された透光性部材２４から構成される。
なお、TSV２２a及び２２bは、マザー基板と接続され、撮像センサ２１を貫通して撮像センサ２１上の撮像素子２１a等と接続される貫通電極である。TSV２２a及び２２bは、マザー基板からの電力を撮像素子２１aに供給したり、撮像素子２１aからの画像信号をマザー基板に供給するために用いられる。
特開２００３−１１６０６６号公報
ところで、センサモジュール１の透光性部材２４上に、複数のレンズを有するレンズユニットを設けるようにすれば、固定焦点型のカメラモジュールを構成することができる。
また、センサモジュール１におけるTSV２２a及び２２bと、レンズユニットを駆動させるためのアクチュエータを電気的に接続するようにして、レンズユニットを駆動できるようにすれば、カメラモジュールは、焦点を自動的に合焦させるオートフォーカスや、手振れを光学的に補正する手振れ補正の機能を有するものとなる。
しかしながら、センサモジュール１には、撮像センサ２１上に透光性部材２４が設けられているため、透光性部材２４の下に設けられるTSV２２a及び２２bと、透光性部材２４上に設けられるアクチュエータとを接続することができなかった。
本開示は、このような状況に鑑みてなされたものであり、カメラモジュールから、レンズの駆動を制御できるようにするものである。
本開示の第１の側面のカメラモジュールは、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサと、前記受光面を有する、前記撮像センサの面に形成され、給電を行う給電用電極と、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを電気的に接続する第１の導電性部材と、前記第１の導電性部材を封止することにより形成される第１の封止部材とを含むカメラモジュールである。
前記受光面を覆うように、前記撮像センサ上に設けられた透光性部材をさらに設けることができ、前記第１の導電性部材では、前記透光性部材を貫通して、前記給電用電極と前記駆動用電極とを電気的に接続することができる。
前記受光面を有する、前記撮像センサの面の背面に設けられた第２の導電性部材をさらに設けることができ、前記給電用電極は、前記撮像センサを貫通して前記第２の導電性部材とも電気的に接続されているようにすることができる。
前記駆動部を貫通して形成され、前記駆動用電極と接続される貫通電極をさらに設けることができ、前記第１の導電性部材では、前記給電用電極と前記駆動用電極とを、前記貫通電極を介して接続することができる。
本開示の第１の側面によれば、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極が形成され、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とが、第１の導電性部材により電気的に接続され、第１の封止部材により前記第１の導電性部材が封止されている。
本開示の第２の側面の製造装置は、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成部と、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続部と、前記第１の導電性部材を封止する封止部とを含む製造装置である。
本開示の第２の側面の製造方法は、カメラモジュールを製造する製造装置の製造方法であって、前記製造装置による、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成ステップと、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続ステップと、前記第１の導電性部材を封止する封止ステップとを含む製造方法である。
本開示の第２の側面によれば、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極が形成され、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続され、前記第１の導電性部材が封止される。
本開示の第１の側面によれば、カメラモジュールから、レンズの駆動を制御することが可能となる。
本開示の第２の側面によれば、レンズの駆動を制御することが可能なカメラモジュールを製造することが可能となる。
TSV構造とされたセンサモジュールの一例を示す図である。 本実施の形態であるカメラモジュールの断面図である。 TSV及び封止部材乃至アクチュエータの詳細な構成例を示す図である。 撮像センサの裏面の一例を示す図である。 撮像センサの表面の一例を示す図である。 透光性部材の上面図である。 アクチュエータを接着した場合の透光性部材の上面図である。 本実施の形態であるカメラモジュールの他の断面図である。 TSV及び封止部材乃至アクチュエータの詳細な構成例を示す他の図である。 アクチュエータを変形してレンズユニットを駆動させる場合の一例を示す図である。 カメラモジュールの他の構成例を示す断面図である。 TSV及び封止部材乃至アクチュエータの詳細な構成例を示すさらに他の図である。 アクチュエータの他の構成例を説明するための第１の図である。 アクチュエータの他の構成例を説明するための第２の図である。 アクチュエータの他の構成例を説明するための第３の図である。 アクチュエータのさらに他の構成例を説明するための図である。 カメラモジュールを製造する製造装置の構成例を示すブロック図である。 カメラモジュールを製造する製造処理を説明するためのフローチャートである。
以下、図面を参照して、本実施の形態について説明する。
[カメラモジュール４１の構成例]
図２は、本実施の形態であるカメラモジュール４１の構成例を示している。
なお、図２は、カメラモジュール４１を側面から見た場合の断面図である。また、図２において、図１と同様に構成される部分については同一の符号を付すようにしている。
すなわち、カメラモジュール４１は、撮像素子(受光面)２１aを有する撮像センサ２１、撮像センサ２１を貫通して形成されたTSV２２a及び２２bの他、封止部材６１a及び６１b、貫通電極６２a及び６２bが貫通して設けられた透光性部材６２、封止部材６３a及び６３b、アクチュエータ６４a及び６４b、並びにレンズユニット６５から構成される。
なお、このカメラモジュール４１は、直接、マザー基板上に実装可能なリフロー対応のカメラモジュールである。
したがって、図２において、撮像センサ２１の裏面（図中下側の面）には、マザー基板上に直接、撮像センサ２１を接続できるように、半球状のはんだ部２１c乃至２１fが設けられている。
なお、TSV２２a及び２２bは、はんだ部２１c乃至２１fと接続される。そして、TSV２２a及び２２bは、はんだ部２１c乃至２１fを介してマザー基板と接続され、撮像センサ２１を貫通して形成される貫通電極である。図２において、TSV２２a及び２２bは、マザー基板からの電力を、それぞれ、アクチュエータ６４a及び６４bに供給するために用いられる。また、図２において、図示は省略しているが、はんだ部２１c乃至２１fを介してマザー基板と接続され、撮像センサ２１を貫通して撮像素子２１aと接続されるTSVも存在する。このTSVは、マザー基板からの電力を撮像素子２１aに供給したり、撮像素子２１aからの画像信号をマザー基板に供給するために用いられる。撮像センサ２１に形成されるTSVについては、後述の図５等を参照して詳述する。
カメラモジュール４１は、リフロー対応とされることで、ソケットやFPC（Flexible Printed Circuits、フレキシブルプリント基板）を用いることなく、マザー基板に実装することが可能となるため、ソケットやFPCの分だけコストを削減できるようになる。
封止部材６１aは、撮像センサ２１と透光性部材６２との間に設けられ、TSV２２aと貫通電極６２aとを接続するための電極等を封止する樹脂等により構成される。
また、同様にして、封止部材６１bは、撮像センサ２１と透光性部材６２との間に設けられ、TSV２２bと貫通電極６２bとを接続するための電極等を封止する樹脂等により構成される。
透光性部材６２は、撮像素子２１aを覆うように、封止部材６１a及び６１bを介して撮像センサ２１上に接着される。また、透光性部材６２は、光を透過するガラス等の部材からなり、透光性部材６２を貫通して形成される貫通電極６２a及び６２bを有している。
カメラモジュール４１では、透光性部材６２に、貫通電極６２a及び６２bを形成するようにしているので、アクチュエータ６４a及び６４bに電力を供給（給電）するための電源供給エリアを、撮像センサ２１の法線方向（図中上方向）に設計できるようになる。
この場合、例えば、透光性部材６２を避けるようにして、電源供給エリアを設計する場合と比較して、カメラモジュール４１を小型化することが可能となる。
封止部材６３aは、透光性部材６２とアクチュエータ６４aとの間に設けられ、透光性部材６２が有する貫通電極６２aとアクチュエータ６４aの電極とを接続するための電極等を封止する樹脂等により構成される。
また、同様にして、封止部材６３bは、透光性部材６２とアクチュエータ６４bとの間に設けられ、透光性部材６２が有する貫通電極６２bとアクチュエータ６４bの電極とを接続するための電極等を封止する樹脂等により構成される。
アクチュエータ６４aは、封止部材６３aを介して透光性部材６２上に接着され、レンズユニット６５を支持する。また、アクチュエータ６４aは、TSV２２aから封止部材６１aで封止された電極、貫通電極６２a、封止部材６３aで封止された電極を介して供給される電力により駆動する。
また、同様にして、アクチュエータ６４bは、封止部材６３bを介して透光性部材６２上に接着され、レンズユニット６５を支持する。また、アクチュエータ６４bは、TSV２２bから封止部材６１bで封止された電極、貫通電極６２b、封止部材６３bで封止された電極を介して供給される電力により駆動する。
レンズユニット６５は、アクチュエータ６４a及び６４bにより支持されており、外部からの光を集光する複数のレンズにより構成される。
なお、カメラモジュール４１については、図２のときとは異なる方向から見たときの断面図を、後述する図８に示すようにして、さらに説明する。
[TSV２２b、及び封止部材６１b乃至アクチュエータ６４bの詳細な構成例]
次に、図３は、TSV２２b、及び封止部材６１b乃至アクチュエータ６４bの詳細な構成例を示している。
TSV２２bは、撮像センサ２１の裏面（図中下側の面）に接着され、はんだ部２１f等と接続される。また、TSV２２bは、撮像センサ２１を貫通する形で、撮像センサ２１上の電極８１と接続される。なお、はんだ部２１f等と電極８１とを電気的に接続させるために、図３に示されるような形状のTSV２２bを用いるようにしている。しかしながら、TSV２２bの形状は、これに限定されず、はんだ部２１f等と電極８１とを電気的に接続できれば、どのような形状であってもよい。
電極８１は、導電性のバンプ８２及び８３を介して、透光性部材６２が有する貫通電極６２bと接続される。なお、電極８１、バンプ８２及び８３は、封止部材６１bにより封止されている。
バンプ１０１は、透光性部材６２が有する貫通電極６２bと接続され、アクチュエータ６４bに設けられたシート状の電極１２２と接続される。なお、バンプ１０１は、封止部材６３bにより封止されている。また、シート状の電極１２２としては、例えばカーボン等が用いられる。
アクチュエータ６４bは、変形部１２１及びシート状の電極１２２等により構成されている。変形部１２１は、シート状の電極１２２に与えられる電流及び電圧に応じて変形し、これにより、レンズユニット６５を駆動（変形）させる。シート状の電極１２２は、変形部１２１の表面に接着される。
なお、TSV２２b、及び封止部材６１b乃至アクチュエータ６４bを、異なる方向から見た場合の断面図を、後述する図９に示すようにして、さらに説明する。
[撮像センサ２１の詳細]
次に、図４は、図２における撮像センサ２１の裏面の一例を示している。
図４に示されるように、撮像センサ２１の裏面において、その中央部分には、はんだ部２１c1乃至２１c3，２１d1乃至２１d3，２１e1乃至２１e3，２１f1乃至２１f3が設けられている。
また、撮像センサ２１の裏面において、左端部分にはTSV２２a1乃至２２a5が、右端部分にはTSV２２b1乃至２２b5が、上端部分にはTSV２２c1乃至２２c4が、下端部分にはTSV２２d1乃至２２d4が、それぞれ設けられている。
次に、図５は、図２における撮像センサ２１の表面の一例を示している。
図５に示されるように、撮像センサ２１の表面において、その中央部分には、撮像素子２１aが設けられている。また、撮像センサ２１の表面において、左端部分にはTSV２２a1乃至２２a5が、右端部分にはTSV２２b1乃至２２b5が、下端部分にはTSV２２c1乃至２２c4が、上端部分にはTSV２２d1乃至２２d4が、それぞれ、貫通した形で設けられている。
なお、TSV２２a1乃至２２a5のうち、TSV２２a1及び２２a2が、アクチュエータ６４aを駆動させるための給電に用いられ、TSV２２b1乃至２２b5のうち、TSV２２b1及び２２b2が、アクチュエータ６４bを駆動させるための給電に用いられる。よって、図２のTSV２２aは、図５のTSV２２a1及び２２a2を表し、図２のTSV２２bは、図５のTSV２２b1及び２２b2を表すものとなる。
また、TSV２２c1乃至２２c4のうち、TSV２２c1及び２２c2が、後述するアクチュエータ６４cを駆動させるための給電に用いられ、TSV２２d1乃至２２d4のうち、TSV２２d1及び２２d2が、後述するアクチュエータ６４dを駆動させるための給電に用いられる。
なお、残りのTSV２２a3乃至２２a5、TSV２２b3乃至２２b5、TSV２２c3及び２２c4、並びにTSV２２d3及び２２d4については、例えば撮像素子２１aを駆動させるために用いられる。すなわち、例えば、TSV２２a3乃至２２a5、TSV２２b3乃至２２b5、TSV２２c3及び２２c4、並びにTSV２２d3及び２２d4は、撮像素子２１aに対する給電や画像信号の中継を行う。
[透光性部材６２の詳細]
次に、図６は、撮像センサ２１の表面に配置した透光性部材６２の上面図を示している。
透光性部材６２には、図６に示されるように、右上部分に封止部材６３bが設けられている。また、封止部材６３bには、バンプ１０１1が封止されており、バンプ１０１1は、間接的にTSV２２b1と接続されている。さらに、封止部材６３bには、バンプ１０１2が封止されており、バンプ１０１2は、間接的にTSV２２b2と接続されている。
なお、バンプ１０１1及びTSV２２b1と、バンプ１０１2及びTSV２２b2とは、それぞれ同様にして接続されている。
したがって、バンプ１０１1及び１０１2を、単にバンプ１０１と表し、TSV２２b1及び２２b2を、単にTSV２２bと表すこととすれば、図３に示したように、バンプ１０１は、透光性部材６２の貫通電極６２bと接続されている。そして、貫通電極６２bは、図３に示したように、封止部材６１bに封止されているバンプ８３、バンプ８２、及び電極８１を介して、TSV２２bと接続されている。
なお、図３は、図６に示される封止部材６３bを、図中上側から見た場合の断面図である。
また、透光性部材６２には、図６に示されるように、左下部分に封止部材６３aが、左上部分に封止部材６３dが、右下部分に封止部材６３cが設けられている。封止部材６３a，６３d，６３cは、ぞれぞれ、封止部材６３bと同様に構成されているため、それらの説明は省略する。
また、図７に示されるように、透光性部材６２上の封止部材６３a乃至６３dには、それぞれ、アクチュエータ６４a乃至６４dが接着される。そして、アクチュエータ６４a乃至６４dにより、レンズユニット６５が支持される。
次に、図８は、図６において、図中右側からカメラモジュール４１を見た場合の断面である。なお、上述した図２は、図６において、図中上側からカメラモジュール４１を見た場合の断面図を示している。
次に、図９は、図８に示されるTSV２２b1及び２２b2、並びに封止部材６１b乃至アクチュエータ６４bの詳細な構成例を示している。
TSV２２b1及び２２b2は、それぞれ、図３に示したように構成される。なお、図９では、TSV２２b1及び２２b2をそれぞれ区別するために、TSV２２b、電極８１、バンプ８２、バンプ８３、貫通電極６２b、及びバンプ１０１に下付きの番号を付すようにしている。
また、図９において、バンプ１０１1は、アクチュエータ６４bに設けられたシート状の電極１２２1と接続され、バンプ１０１2は、アクチュエータ６４bに設けられたシート状の電極１２２2と接続されている。
カメラモジュール４１では、電極１２２1及び電極１２２2を介して変形部１２１に電流及び電圧を与えるようにして、アクチュエータ６４b（の変形部１２１）を、図１０に示されるように変形させる。これにより、レンズユニット６５を駆動させることができる。
なお、アクチュエータ６４bは、図１０に示されるように、シート状の電極１２２1の一部分のみが、レンズユニット６５と接着されている。また、アクチュエータ６４bは、図１０に示されるように、シート状の電極１２２1の他の一部分、及びシート状の電極１２２2の一部分が、封止部材６３bと接着されている。
これらのことは、アクチュエータ６４a，６４c及び６４dについても同様である。
また、例えば、カメラモジュール４１では、図１０に示されるようにして、レンズユニット６５を駆動（移動）させるようにしたので、焦点を自動的に合焦させるオートフォーカスや、手振れを光学的に補正する手振れ補正の機能を有するものとなる。
ところで、本実施の形態では、例えば、TSV２２bを、アクチュエータ６４bの電極１２２と間接的に接続できるように、透光性部材６２に貫通電極６２bを設けるようにした。
しかしながら、その他、例えば、TSV２２bを、アクチュエータ６４bの電極１２２と接続できるように、図１１に示されるように、透光性部材６２を省くようにして構成することもできる。
なお、透光性部材６２を省くように構成した場合には、図１２に示されるように、アクチュエータ６４bの電極１２２1と、封止部材６１bで封止されたバンプ８３1が直接に接続される。また、アクチュエータ６４の電極１２２2と、封止部材６１bで封止されたバンプ８３2が直接に接続される。
図１１及び図１２に示したように、透光性部材６２を省くようにすれば、カメラモジュール４１の高さをより低くすることができるので、カメラモジュール４１をより小型化することが可能となる。
ところで、カメラモジュール４１では、撮像素子２１aで覆われる、撮像センサ２１の面に、貫通電極を形成するようにして、その貫通電極により、撮像素子２１aと撮像センサ２１とを電気的に接続させるようにすることができる。この場合、例えば、撮像素子２１aと撮像センサ２１とを、ワイヤボンディングにより電気的に接続する場合と比較して、撮像センサ２１の大きさ（撮像センサ２１の表面の面積）を小とすることができる。よって、カメラモジュール４１を、さらに小型化することができる。このことは、図２乃至図１０に示したカメラモジュール４１、並びに図１１及び図１２に示したカメラモジュール４１のいずれにも言える。
また、透光性部材６２を省くようにすれば、撮像センサ２１の撮像素子２１aに入射される光が、透光性部材６２により屈折されたり反射等されることがなくなるので、撮像素子２１aにおいて生成される画像に、フレアやゴースト等が生じることがなくなり、より高画質の画像を生成することができるようになる。
さらに、本実施の形態では、アクチュエータ６４bにおいて、図９に示したように、変形部１２１の下部分（図９の下側）にまで、シート状の電極１２２1を覆うようにして、バンプ１０１1と接続できるようにした。
しかしながら、その他、例えば、図１３及び図１４に示されるように、変形部１２１に、変形部１２１の上部分（図９の上部分）を覆うシート状の電極１２２1と接続される貫通電極１８１を設けるようにして、シート状の電極１２２1を、その貫通電極１８１を介してバンプ１０１1と接続するように構成したアクチュエータ１６１bを形成してもよい。なお、アクチュエータ１６１bと同様にして、アクチュエータ１６１a，１６１c,１６１dも形成される。
この場合、図１５に示されるように、貫通電極１８１は、その周囲が絶縁体２０１及び２０２で覆われた状態で、変形部１２１を貫通して形成される。そして、貫通電極１８１の一方が、シート状の電極１２２1と接続され、他方が、バンプ１０１1と接続される。
アクチュエータを、図１３乃至図１５のように構成した場合には、変形部１２１の下部分（図９の下側）にまで、シート状の電極１２２1を覆う必要がなく、変形部１２１の両面（図１５の上下に存在する面）にのみ、シート状の電極を形成すればよいので、変形部１２１に、シート状の電極を形成する処理が容易になる。
また、本実施の形態では、例えば、図９に示したように、直方体状のアクチュエータ６２bを用いるようにしている。これは、例えば、アクチュエータとされる比較的大きな板状の材料（シート状の電極と変形部からなる材料）を、金型等で直方体状に打ち抜くという比較的、容易な加工で、直方体状のアクチュエータを製造できることによる。この場合、アクチュエータ６２bの製造コストを抑えることができる。
なお、図１１及び図１２に示したように、透光性部材６２を省くように構成した場合でも、アクチュエータを図１３乃至図１５のようにすることができる。この場合、貫通電極１８１とバンプ８３1とが直接に接続されることとなる。
また、アクチュエータの形状は、直方体状のものに限定されない。すなわち、例えば、図１６に示されるように、半円状のアクチュエータ２２１bを採用することができる。
このアクチュエータ２２１bは、半円状の変形部２４１、並びに、変形部２４１の側面を覆うシート状の電極２４２1及び２４２2から構成される。アクチュエータ２２１bでは、電極２４２1及び２４２2に電流及び電圧が与えられることにより、変形部２４１が変形して、レンズユニット６５を上下方向に駆動（移動）させる。
なお、この場合、電極２４２1には、L字型電極２６１を介してバンプ１０１2が接続され、電極２４２2には、バンプ１０１1が接続される。
また、図１６では、図面が煩雑になるのを避けるために、バンプ１０１1及び１０１2を封止する封止部材等の図示を省略している。
[カメラモジュール４１を製造する製造装置３０１の構成例]
次に、図１７は、カメラモジュール４１を製造する製造装置３０１の構成例を示している。
この製造装置３０１は、形成部３２１、接続部３２２、封止部３２３、レンズユニット接着部３２４、制御部３２５、記憶部３２６、及び操作部３２７から構成される。なお、図１７において、実線で示される矢印は、信号線を表しており、点線で示される矢印は、制御線を表している。
形成部３２１は、撮像センサ２１に、TSV２２a乃至２２dを形成する。また、形成部３２１は、リフロー対応のカメラモジュール４１を製造するために、撮像センサ２１の裏面（受光面を有する面とは反対の面）に、はんだ部２１c乃至２１fを形成する。
形成部３２１は、透光性部材６２に、貫通電極６２a乃至６２dを形成する。すなわち、例えば、形成部３２１は、透光性部材６２に対して、貫通電極６２a乃至６２dを形成すべき箇所に、サンドブラストやドリル等で、貫通穴を形成し、形成した貫通穴に、貫通電極としての金属ピンを埋め込むようにする。
その他、例えば、形成部３２１は、透光性部材６２に形成された貫通穴の内側に対して、めっき処理を施すようにして、めっき処理で用いた金属で貫通穴を埋めるようにして、貫通穴に貫通電極を形成するようにしてもよい。
接続部３２２は、撮像センサ２１に形成したTSV２２a乃至２２dと、透光性部材６２に形成した貫通電極６２a乃至６２dとを、それぞれ、バンプ等により電気的に接続して、撮像センサ２１上に、透光性部材６２を接着する。
なお、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとは、バンプ等を介して接続する際に、NCF(Non Conductive Film)やACF(Anisotropic Conductive Film)等の接着剤を用いることができる。なお、接着剤を用いる場合には、接着部分を加圧及び過熱することにより、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとを、バンプ等を介して接続することができる。
この場合、バンプは、接着剤を加圧する際に排除し易いAu Bump（銅製のバンプ）とすることが望ましい。
さらに、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとは、バンプ等を介することなく、直接に、NCFやACF等の接着剤を用いて接着するようにしてもよい。
接続部３２２は、貫通電極６２a乃至６２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極とを、それぞれ、バンプ等により電気的に接続する。すなわち、例えば、接続部３２２は、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとを接続する場合と同様にして、貫通電極６２a乃至６２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極とを接続する。
封止部３２３は、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとの接続に用いたバンプ等を、封止部材により封止する。これにより、撮像センサ２１上に、例えば封止部材６１bが形成される。
また、封止部３２３は、貫通電極６２a乃至６２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極との接続に用いたバンプ等を、封止部材により封止する。これにより、撮像センサ２１上に、例えば封止部材６３bが形成される。
レンズユニット接着部３２４は、アクチュエータ６４a乃至６４dを、レンズユニット６５と接着する。
制御部３２５は、例えば、CPU（central processing unit）等により構成されており、操作部３２７からの操作信号にしたがって、形成部３２１、接続部３２２、封止部３２３、及びレンズユニット接着部３２４を制御する。
記憶部３２６は、例えばハードディスク等であり、制御部３２５により実行される制御用プログラムを予め記憶している。また、記憶部３２６は、制御部３２５により書き込みが指示されたデータを書き込み（記憶し）、読み出しが指示されたデータを読み出す。なお、制御用プログラムは、例えば、インターネット等のネットワークを介して更新したり、新たな制御用プログラムを記録した記録媒体を用いて更新することができる。
操作部３２７は、操作者により操作されるボタン等により構成されており、操作者により操作され、その操作に対応した操作信号を、制御部３２５に供給する。例えば、操作者が、操作部３２７を用いて、カメラモジュール４１の製造を指示するユーザ操作等を行ったことに対応して、製造装置３０１においてカメラモジュール４１の製造が開始される。
[カメラモジュール４１の製造方法]
次に、図１８のフローチャートを参照して、図２乃至図１０に示したカメラモジュール４１を製造する製造方法を説明する。
この製造処理は、例えば、操作者が、製造装置３０１の操作部３２７を用いて、カメラモジュール４１の製造を指示する指示操作を行ったときに開始される。このとき、操作部３２７は、操作者からの指示操作に対応する操作信号を、制御部３２５に供給する。制御部３２５は、操作部３２７からの操作信号に基づいて、形成部３２１、接続部３２２、封止部３２３、及びレンズユニット配置部３２４を制御して、カメラモジュール４１を製造させる。
すなわち、ステップＳ１において、形成部３２１は、撮像センサ２１に、TSV２２a乃至２２dを形成する。また、形成部３２１は、リフロー対応のカメラモジュール４１を製造するために、撮像センサ２１の裏面（受光面を有する面とは反対の面）に、はんだ部２１c乃至２１fを形成する。
ステップＳ２において、形成部３２１は、透光性部材６２に、貫通電極６２a乃至６２dを形成する。
ステップＳ３において、接続部３２２は、撮像センサ２１に形成したTSV２２a乃至２２dと、透光性部材６２に形成した貫通電極６２a乃至６２dとを、それぞれ、バンプ等により電気的に接続して、撮像センサ２１上に、透光性部材６２を接着する。
ステップＳ４において、封止部３２３は、TSV２２a乃至２２dと貫通電極６２a乃至６２dとの接続に用いたバンプ等を、封止部材により封止する。これにより、撮像センサ２１上に、例えば封止部材６１bが形成される。
ステップＳ５において、接続部３２２は、貫通電極６２a乃至６２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極とを、それぞれ、バンプ等により接続する。
ステップＳ６において、封止部３２３は、貫通電極６２a乃至６２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極との接続に用いたバンプ等を、封止部材により封止する。これにより、透光性部材６２上に、例えば封止部材６３bが形成される。
ステップＳ７において、レンズユニット接着部３２４は、アクチュエータ６４a乃至６４dを、レンズユニット６５と接着する。以上で、製造処理は終了される。
なお、透光性部材６２を設けないように構成する場合には、ステップＳ２の処理をスキップし、ステップＳ３において、接続部３２２は、撮像センサ２１に形成したTSV２２a乃至２２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極とを、それぞれ、バンプ等により接続する。
そして、ステップＳ４において、封止部３２３は、TSV２２a乃至２２dと、アクチュエータ６４a乃至６４dそれぞれのシート状の電極と貫通電極６２a乃至６２dとの接続に用いたバンプ等を、封止部材により封止する。
その後、ステップＳ５及びステップＳ６をスキップして、ステップＳ７において、レンズユニット接着部３２４は、アクチュエータ６４a乃至６４dを、レンズユニット６５と接着することとなる。
なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
（１）レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサと、前記受光面を有する、前記撮像センサの面に形成され、給電を行う給電用電極と、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを電気的に接続する第１の導電性部材と、前記第１の導電性部材を封止することにより形成される第１の封止部材とを含むカメラモジュールである。
（２）前記受光面を覆うように、前記撮像センサ上に設けられた透光性部材をさらに含み、前記第１の導電性部材は、前記透光性部材を貫通して、前記給電用電極と前記駆動用電極とを電気的に接続する前記（１）に記載のカメラモジュール。
（３）前記受光面を有する、前記撮像センサの面の背面に設けられた第２の導電性部材をさらに含み、前記給電用電極は、前記撮像センサを貫通して前記第２の導電性部材とも電気的に接続されている前記（１）又は（２）に記載のカメラモジュール。
（４）前記駆動部を貫通して形成され、前記駆動用電極と接続される貫通電極をさらに含み、前記第１の導電性部材は、前記給電用電極と前記駆動用電極とを、前記貫通電極を介して接続する前記（１）又は（２）に記載のカメラモジュール。
（５）レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成部と、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続部と、前記第１の導電性部材を封止する封止部とを含む製造装置。
（６）カメラモジュールを製造する製造装置の製造方法において、前記製造装置による、レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成ステップと、前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続ステップと、前記第１の導電性部材を封止する封止ステップとを含む製造方法。
なお、本明細書において、上述した一連の処理を記述するステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的あるいは個別に実行される処理をも含むものである。
また、本開示の実施の形態は、上述した本実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
２１ 撮像センサ， ２１a 撮像素子， ２２a乃至２２d TSV， ６１a乃至６１d 封止部材， ６２ 透光性部材， ６２a乃至６２d 貫通電極， ６３a乃至６３d 封止部材， ６４a乃至６４d アクチュエータ， ６５ レンズユニット６５， ８１ 電極， ８２，８３，１０１ バンプ， １２１ 変形部， １２２ 電極， １６１a乃至１６１d アクチュエータ， １８１ 貫通電極， ２０１，２０２ 絶縁体， ２２１b アクチュエータ， ２４１ 変形部， ２４２ 電極， ２６１ L字型電極， ３０１ 製造装置， ３２１ 形成部， ３３２２ 接続部， ３２３ 封止部， ３２４ レンズユニット接着部， ３２５ 制御部， ３２６ 記憶部， ３２７ 操作部

Claims (6)

  1. レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサと、
    前記受光面を有する、前記撮像センサの面に形成され、給電を行う給電用電極と、
    前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを電気的に接続する第１の導電性部材と、
    前記第１の導電性部材を封止することにより形成される第１の封止部材と
    を含むカメラモジュール。
  2. 前記受光面を覆うように、前記撮像センサ上に設けられた透光性部材をさらに含み、
    前記第１の導電性部材は、前記透光性部材を貫通して、前記給電用電極と前記駆動用電極とを電気的に接続する
    請求項１に記載のカメラモジュール。
  3. 前記受光面を有する、前記撮像センサの面の背面に設けられた第２の導電性部材をさらに含み、
    前記給電用電極は、前記撮像センサを貫通して前記第２の導電性部材とも電気的に接続されている
    請求項１に記載のカメラモジュール。
  4. 前記駆動部を貫通して形成され、前記駆動用電極と接続される貫通電極をさらに含み、
    前記第１の導電性部材は、前記給電用電極と前記駆動用電極とを、前記貫通電極を介して接続する
    請求項１に記載のカメラモジュール。
  5. レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成部と、
    前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続部と、
    前記第１の導電性部材を封止する封止部と
    を含む製造装置。
  6. カメラモジュールを製造する製造装置の製造方法において、
    前記製造装置による、
    レンズにより集光された光を受光する受光面を有する撮像センサの、前記受光面を有する面に、給電を行う給電用電極を形成する形成ステップと、
    前記給電用電極と、前記給電に応じて前記レンズを駆動する駆動部に設けられた駆動用電極とを、第１の導電性部材により接続させる接続ステップと、
    前記第１の導電性部材を封止する封止ステップと
    を含む製造方法。
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