JP2012509572A5 - - Google Patents

Description

[00043] マスクＭＡと一致する対物面における照明の非均一性を減少するために、瞳ラスタ素子１５０に対するフィールドラスタ素子１１０の割り当ては、線１８０によって図２に示す割り当てとは異なりうる。

[00066] 図４に示すように、ディテクタ３０１の第１の光学面Ｓ１は、中間集光点ＩＦを、ＰＦＭフレーム、すなわち第２の光学面Ｓ２上に配置される２Ｄ ＰＤＳ３２５上に結像する複数のミラー３２０を含む。このようにすると、（コレクタに対する）プラズマＸおよびＹ位置決め、および剛体ＸおよびＹ位置決めによって決定される、中間集光点ＩＦにおける光分布のＸおよびＹ位置を測定することが可能となる。中間集光点ＩＦ周りの放射源モジュールＳＯの回転は、この回転下ではミラー３２０を横断する光線の経路が変化しないので検出されない。結果として、第２の分岐３１０を用いることによって、剛体ＸおよびＹ移動と、剛体ＲｙおよびＲｘ移動とを区別することができる。この第２の分岐３１０を用いて剛体ＸおよびＹ自由度に応じた変位の測定を行うために、１対のミラー‐ＰＳＤのみの使用で十分でありうる。ここでは、ミラー‐ＰＳＤ対とは、ミラーと、その上にミラーが中間集光点ＩＦの像を投影するＰＳＤとから構成される対である。プラズマＸおよびＹ位置も、少なくとも１つの追加のミラー‐ＰＳＤ対が用いられる場合に求めることができる。この場合、これらの２対は、図６に示すように垂直に向けられることが望ましい。図６は、このような２つのミラー‐ＰＳＤ対を示し、それぞれ、ミラー３２０ａと２Ｄ ＰＳＤ３２５ａ、および、ミラー３２０ｂと２Ｄ ＰＳＤ３２５ｂから構成される。図６に示すようなディテクタの配置によって、プラズマＸおよびＹ変位を測定する代替の方法を可能にする。

[00073] ２つのセンサが同じ像シフトを検出しない場合、このことはプラズマが移動したことを示す。既知の倍率を用いて、プラズマ移動（方向および大きさ）を計算することができる。この原理を図８ａ及び図８ｂに示し、また、この原理は１つのミラー‐ＰＳＤ対がＹＺ面内にあり、別のミラー‐ＰＳＤ対がＸＺ面にあると想定する。あらゆる他の直交する向きでは、サジタル移動およびメリジオナル移動への同様の分解を行うことができることは理解されよう。図６を参照すると、ミラー３２０ａ（簡単にするためだけにレンズとして概略的に示す）および２Ｄ ＰＳＤ３２５ａは共にＹＺ面内にあるミラー‐ＰＳＤ対を形成し、また、同様に、対のミラー３２０ｂ‐２Ｄ ＰＳＤ３２５ｂは共にＸＺ面内にあるミラー‐ＰＳＤ対を形成する。２Ｄ ＰＳＤ３２５ａはＹセンサと呼ばれ、２Ｄ ＰＳＤ３２５ｂはＸセンサと呼ばれる。図６に加えて、図８は、本発明の一実施形態にしたがって、剛体移動とプラズマ移動とを区別するために２つの直交するセンサ‐ミラー対を用いる検出スキームを概略的に示す。