JP2010181247A - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子30と、パターン素子30と投影レンズ22とビームスプリッタ40とを介して格子パターンを測定対象物60に投影する投影部と、測定対象物60に投影された格子パターンをビームスプリッタ40を介して撮像する撮像部70と、撮像部70によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部82とを有し、測定部82が、焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子30と、パターン素子30と投影レンズ22とビームスプリッタ40とを介して格子パターンを測定対象物60に投影する投影部と、測定対象物60に投影された格子パターンをビームスプリッタ40を介して撮像する撮像部70と、撮像部70によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部82とを有し、測定部82が、焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、本発明は、測定対象の形状を測定する形状測定装置及び形状測定方法に関する。
従来から、格子パターンを被測定対象に投影し、被測定対象上に投影された格子パターンにかかる画像のコントラストを検出して、基準位置から被測定対象までの距離を測定する形状測定装置が知られている。かかる技術として、例えば特開2007−155379号公報に開示される従来技術がある。
検出されたコントラストに基づき基準位置から被測定対象までの距離を測定する場合には、図2に示すようなコントラストと基準位置からの距離との関係をテーブル情報として持っておき、当該テーブル情報を参照して、検出されたコントラストに対応する距離を求める。しかしながら、図3に示すように1のコントラストcに対応する距離は2つ(d1、d2)あるため、従来の形状測定装置では、正の値を持つ範囲(基準位置より奥の範囲)又は負の値を持つ範囲(基準位置より手前の範囲)のいずれかを測定範囲としており、測定範囲が狭くなるといった問題点があった。
本発明は、以上のような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供することにある。
(1)本発明の形状測定装置は、
格子パターンを有するパターン素子と、
前記パターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部とを有し、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
格子パターンを有するパターン素子と、
前記パターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部とを有し、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
本発明によれば、焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき測定対象物の形状を測定することで、測定範囲を拡大することができる。
(2)また本発明に係る形状測定装置では、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
本発明によれば、焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき測定対象物の形状を測定することで、測定範囲を拡大することができる。
(3)また本発明に係る形状測定装置では、
前記測定部が、
検出された2つのコントラスト値の変化に基づいて、焦点位置からの方向を検出することを特徴とすることを特徴とする。
前記測定部が、
検出された2つのコントラスト値の変化に基づいて、焦点位置からの方向を検出することを特徴とすることを特徴とする。
本発明によれば、焦点位置(基準位置)より奥の範囲と、基準位置より手前の範囲の両方を測定範囲とすることができ、測定範囲を拡大することができる。
(4)また本発明に係る形状測定装置では、
前記パターン素子と前記投影レンズとの間に光学素子を備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
前記パターン素子と前記投影レンズとの間に光学素子を備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
(5)また本発明に係る形状測定装置では、
前記投影レンズとして焦点可変レンズを用いることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
前記投影レンズとして焦点可変レンズを用いることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
(6)また本発明に係る形状測定装置では、
前記ビームスプリッタと前記撮像部との間に焦点可変レンズを備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
前記ビームスプリッタと前記撮像部との間に焦点可変レンズを備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする。
(7)また本発明に係る形状測定装置では、
前記測定部が、
焦点位置を変えた複数の前記撮像部によって撮像された複数の画像のコントラスト値を検出することを特徴とする。
前記測定部が、
焦点位置を変えた複数の前記撮像部によって撮像された複数の画像のコントラスト値を検出することを特徴とする。
(8)また本発明の形状測定方法は、
格子パターンを有するパターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影ステップと、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像ステップと、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定ステップとを含み、
前記測定ステップでは、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
格子パターンを有するパターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影ステップと、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像ステップと、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定ステップとを含み、
前記測定ステップでは、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。
以下、本実施形態について説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.構成
図1は、本実施形態の形状測定装置の構成の一例を示す図である。
図1は、本実施形態の形状測定装置の構成の一例を示す図である。
形状測定装置1は、投影系(投影部)を構成する光源10、コンデンサレンズ20、液晶格子30(パターン素子の一例)、第1の投影レンズ22、ビームスプリッタ40、第2の投影レンズ24と、観察系を構成する撮像部70と、制御装置80とを備える。
投影系を構成する各光学素子は、光軸AX1上に配置され、観察系を構成する各光学素子は、偏光ビームスプリッタ40において光軸AX1から直角に分岐する光軸AX2上に配置されている。
コンデンサレンズ20はハロゲンランプ等の光源10からの光を液晶格子30に照射するレンズである。
液晶格子30は、格子パターンを液晶により形成するパターン素子である。本実施形態の液晶格子30は、画素が縦方向に連続し、横方向に分離したパターン(横方向にピッチを持つパターン)で構成されている。また液晶格子30は、液晶ドライバを備え、外部からの制御信号により格子ピッチを変化させる制御、格子パターンの位相を変化させる制御、格子パターンの強度分布を変化させる制御を行うことができる。本実施形態では、図2に示すように、液晶格子30の格子パターンLPを、正弦波状の光強度分布をもつ格子パターンとしている。
第1の投影レンズ22、第2の投影レンズ24は、液晶格子30の格子パターンを測定対象物60に投影するためのレンズである。
ビームスプリッタ40は、入射ビームの一部を分離し、90°の角度をなす2つのビームとして出射するものであり、観察光を投影光の光軸AX1から分離するものである。
形状測定装置1の投影系は、液晶格子30、第1の投影レンズ22、ビームスプリッタ40、第2の投影レンズ24とを介して、図2に示すような格子パターンLPを測定対象物60に投影する。図1に示すように、第2の投影レンズ24からは平行光が出射され、測定対象物60の位置に関わらず倍率は一定である。このようにすると、コントラストの検出を容易に行うことができる。
撮像部70は、撮影レンズ72、CCDカメラ74を含み、測定対象物60上に投影された格子パターンLPを、第2の投影レンズ24、ビームスプリッタ40、撮影レンズ72とを介して撮像し、格子パターンLPにかかる画像を取得する。
制御装置80は、測定部82、制御部84、記憶部86を含む。測定部82や制御部84の機能は、各種プロセッサ(CPU、DSP等)のハードウェアや、記憶部86に格納されたプログラムにより実現できる。記憶部86は、測定部82や制御部84のワーク領域となるものであり、その機能は、RAMやROMなどにより実現できる。
制御部84は、液晶格子30の格子パターンを制御する。すなわち格子パターンを制御するための制御信号を生成して、生成した制御信号を液晶格子30の液晶ドライバに対して送信する処理を行う。また制御部84は、撮像部70を制御する処理を行う。
測定部82は、撮像部70によって撮像された画像の各画素のコントラスト値を位相シフト法により検出する。具体的には、液晶格子30の格子パターンの位相をπ/2(1/4ピッチ)ずつシフトさせて撮像した4枚の画像の各画素の4つの輝度により各画素のコントラスト値を求めることができる。ここで、位相シフト量を0、π/2、π、3π/2としたときの1点(1画素)における輝度をそれぞれI0、I1、I2、I3とすると、任意の画素(x,y)におけるコントラスト値γ(x,y)は、次式により求めることができる。
また測定部82は、検出したコントラスト値に基づき基準位置SPから測定対象物60までの距離Dを各画素について測定し、測定対象物の3次元形状を測定する。なお、基準位置SPは、投影される格子パターンLPが結像する位置である。具体的には、図3に示すような、コントラストと基準位置SPからの距離Dとの関係を、テーブル情報として記憶部86に記憶しておき、当該テーブル情報を参照して、検出したコントラスト値に対応する距離Dを求める。
ここで、図3に示すように、1つのコントラスト値cには2つの距離d1、d2が対応するため、検出した1つのコントラスト値からでは、距離Dが正の値であるのか負の値であるのか(基準位置SPより奥であるのか手前であるのか)を決定することができない。
そこで本実施形態では、焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき基準位置SPから測定対象物60までの距離Dを測定する。すなわち、検出された2つのコントラスト値の変化に基づいて、焦点位置(基準位置SP)からの方向を検出する。
例えば、図1に示すように、光軸AX1上の液晶格子30と第1の投影レンズ22との間に光学素子50を出し入れすることにより、焦点位置を変化させる。ここでは光学素子50として平行平面ガラスを用いる。光学素子50を光軸AX1上に配置しない場合(光学素子50を実線で描かれた位置に配置した場合)には、投影系の焦点位置は第1の焦点位置FP1となり、光学素子50を光軸AX1上に配置した場合(光学素子50を点線で描かれた位置に配置した場合)には、光学素子50の屈折率と厚さにより、投影系の焦点位置は、光源10から見て手前側に移動し、第2の焦点位置FP2となる。なお第1の焦点位置FP1と基準位置SPは一致している。光学素子50の光軸AX1上への出し入れは、手動で行うようにしてもよいし、光学素子50を機械的に水平移動、回転移動等することにより光学素子50を出し入れするようにしてもよい。
そして、投影系の焦点位置を第1の焦点位置FP1(基準位置SP)とした場合に検出されたコントラスト値と、投影系の焦点位置を第2の焦点位置FP2とした場合に検出されたコントラスト値の変化に基づいて、基準位置SPからの距離Dが正の値であるか負の値であるのかを検出する。
図4に示す曲線CV1は、焦点位置を第1の焦点位置FP1とした場合の、コントラストと距離Dとの関係を示す曲線であり、曲線CV2は、焦点位置を第2の焦点位置FP2とした場合の、コントラストと距離Dとの関係を示す曲線である。図1に示すように、第2の焦点位置FP2は第2の焦点位置FP1よりも手前に位置するため、曲線CV2のピークは曲線CV1のピークよりも手前に位置する。
ここで、基準位置SPより手前である距離d1においては、焦点位置を第1の焦点位置FP1から第2の焦点位置FP2へと変化させると、コントラスト値がcからc1となりコントラストが高くなる。一方、基準位置SPより奥である距離d2においては、焦点位置を第1の焦点位置FP1から第2の焦点位置FP2へと変化させると、コントラスト値がcからc2となりコントラストが低くなる。すなわち焦点位置を第1の焦点位置FP1から第2の焦点位置FP2へと変化させた場合に、コントラストが向上した場合には距離Dが負の値であることがわかり、コントラストが低下した場合には距離Dが正の値であることがわかる。すなわち検出したコントラスト値cに対応する距離がd1であるのかd2であるのかを決定することができる。
このように本実施形態によれば、検出された2つのコントラスト値の変化に基づいて、基準位置SPからの方向を検出することにより、基準位置SPからの距離Dが正の値を持つ範囲と距離Dが負の範囲を持つ範囲の両方を測定範囲とすることができ、測定範囲を拡大することができる。また本実施形態では、焦点位置を変化させた場合のコントラストの変化(低下したか向上したか)のみを求めているため、焦点位置を第1の焦点位置FP1から第2の焦点位置FP2へと正確に変化させる必要はない。従って光学素子50の厚さ精度には誤差があってもよく、部品公差を大きくすることができる。
なお、図1に示す構成では、光学素子50(平行平面ガラス)を光軸AX1上に配置することにより、第2の投影レンズ24から出射される光が平行光ではなくなり倍率(投影倍率)が変化する。
そこで、図5に示すように、光学素子50と第1の投影レンズ22との間に第3の投影レンズ26を配置して、液晶格子30及び光学素子50に平行光を入射させるように構成してもよい。このようにすると、光学素子50を光軸AX1上に配置した場合でも配置しない場合のいずれにおいても、第2の投影レンズ24から出射される光を平行光とすることができ、倍率を変化させずに焦点位置のみを変化させることができる。なお、図5に示す構成では、光学素子50を光軸AX1上に配置しない場合には、投影系の焦点位置は第1の焦点位置FP1(基準位置SP)となり、光学素子50を光軸AX1上に配置した場合には、投影系の焦点位置は、図1に示す構成とは異なり、光源10から見て奥側に位置する第2の焦点位置FP2となる。
また、図6に示すように、光学素子50として、所定の曲率半径で湾曲した曲面ガラスを用いるようにしても、倍率を変化させずに焦点位置のみを変化させることができる。このとき、第1の投影レンズ22と曲面ガラス間の距離を曲面ガラスの曲率半径とする。
また、図1、図5に示す形状測定装置1において、液晶格子30と第1の投影レンズ22との間に光学素子50を配置することに代えて、第1の投影レンズ22として図7(A)に示すような焦点可変レンズFLを用いて、この焦点可変レンズFLの厚さを変化させることにより、投影系の焦点位置を変化させるようにしてもよい。焦点可変レンズとしては、例えば封入した液体を外部から加圧もしくは減圧して焦点位置を変化させるものや、封入した液体の屈折率を変化させるもの、静電力を利用するもの等がある。
また、図1、図5に示す形状測定装置1において、液晶格子30と第1の投影レンズ22との間に光学素子50を出し入れすることに代えて、光学素子50として図7(B)に示すような厚さが可変な平行平面光学素子PPを、液晶格子30と第1の投影レンズ22との間に配置し、この平行平面光学素子PPの厚さを変化させることにより、投影系の焦点位置を変化させるようにしてもよい。
なお、焦点可変レンズFL又は平行平面光学素子PPの厚みを大きくすると、投影系の焦点位置は光源10から見て手前側に変化し(焦点距離が短くなる)、焦点可変レンズFL又は平行平面光学素子PPの厚みを小さくすると、投影系の焦点位置は光源10から見て奥側に変化する(焦点距離が長くなる)。焦点可変レンズFL又は平行平面光学素子PPを用いると、自由に焦点位置を変化させることができる。
また、光学素子50の出し入れや、第1の投影レンズ22の厚みを変化させることに代えて、形状測定装置1を光軸AX1方向に移動させることにより、焦点位置を変化させてもよい。また、測定対象物60を光軸AX1方向に移動させることにより、焦点位置を変化させてもよい。
2.本実施形態の処理
次に、本実施形態の処理の一例について図8のフローチャートを用いて説明する。
次に、本実施形態の処理の一例について図8のフローチャートを用いて説明する。
まず、焦点位置を第1の焦点位置FP1(基準位置SP)に設定する(ステップS10)。すなわち、図1、図5、図6に示す構成において、光学素子50を光軸AX1から外れた位置に配置する。また第1の投影レンズ26として可変焦点レンズFLを用いる場合や、光学素子50として平行平面光学素子PPを用いる場合には、焦点位置が第1の焦点位置FP1となるように、可変焦点レンズFL又は平行平面光学素子PPの厚さを制御する。
次に、液晶格子30の格子パターンの位相をシフトしつつ、格子パターンが投影された測定対象物60の画像を撮像し(ステップS12)、撮像した画像の第1のコントラスト値C1を検出する(ステップS14)。
次に、焦点位置を第2の焦点位置FP2に設定する(ステップS16)。すなわち、図1、図5、図6に示す構成において、光学素子50を光軸AX1上に配置する。また第1の投影レンズ26として可変焦点レンズFLを用いる場合や、光学素子50として平行平面光学素子PPを用いる場合には、焦点位置が第2の焦点位置FP2となるように、可変焦点レンズFL又は平行平面光学素子PPの厚さを制御する。
次に、液晶格子30の格子パターンの位相をシフトしつつ、格子パターンが投影された測定対象物60の画像を撮像し(ステップS18)、撮像した画像の第2のコントラスト値C2を検出する(ステップS20)。
次に、ステップ14において検出した第1のコントラスト値C1とステップS20において検出した第2のコントラスト値C2を比較し、C1<C2である場合には(S22の「Y」)、コントラストと基準位置SPからの距離Dとの関係を格納するテーブルを参照して、第1のコントラスト値C1に対応する距離D(負の値)を求める(ステップ24)。
またC1>C2である場合には(S22の「N」)、第1のコントラスト値C1に対応する距離D(正の値)を求める(ステップ26)。
なお、図6に示す構成においては、第2の焦点位置FP2が第1の焦点位置FP1(基準位置SP)よりも奥側に位置するため、ステップ22において、C1<C2である場合には、正の値である距離Dを求め、C1>C2である場合には、負の値である距離Dを求める。
3.変形例
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
例えば、本実施形態では、投影系の焦点位置を変化させる場合について説明したが、観察系の焦点位置を変化させるようにしてもよい。
例えば図9に示すように、ビームスプリッタ40と撮像部70との間に焦点可変レンズ28を配置し、焦点可変レンズ28の厚さを変化させることにより、観察系の焦点位置を変化させるようにしてもよい。なお図9に示す例では、焦点可変レンズ28と撮像部70との間にリレーレンズ29を配置し、焦点可変レンズ28を観察系の第1の瞳に配置している。
また図10に示すように、焦点位置を変えた第1及び第2の撮像部70、76によって撮像された2つの画像のそれぞれのコントラスト値に基づき基準位置SPからの距離Dを測定するようにしてもよい。図10に示す例では、第1のビームスプリッタ40と第1の撮像部70との間に、第2のビームスプリッタ42を配置することにより、第1及び第2の撮像部70、76が、格子パターンが投影された測定対象物60の画像を撮像するように構成している。ここで、第2の撮像部76を構成する撮影レンズ77、CCDカメラ78は、第2のビームスプリッタ42において光軸AX2から直角に分岐する光軸AX3上に配置されている。
図10に示す例では、第1及び第2の撮像部70、76はそれぞれ焦点位置が異なり、例えば第1の撮像部70については、基準位置SPにおいて焦点が合うように焦点位置を設定し、第2の撮像部76については、光源10から見て基準位置SPの手前側又は奥側において焦点が合うように焦点位置を設定する。そして、第1の撮像部70によって撮像された画像のコントラスト値C1と第2の撮像部70によって撮像された画像のコントラスト値C2とを比較し、比較結果に基づき基準位置SPからの距離Dが正の値であるか負の値であるのかを検出する。
なお図10に示す例では、第1の投影レンズ22、撮影レンズ72、77の瞳位置を一致させているが、図11に示すように、第1のビームスプリッタ40と第2のビームスプリッタとの間に凹レンズ52を設置することにより、撮影レンズ72、77の瞳位置を遠くにするようにしてもよい。
このように、焦点位置を変えた第1及び第2の撮像部70、76によって撮像するように構成すると、焦点位置を変えて撮像された2つの画像を同時に取得することができ、1つの撮像部によって撮像する場合に比べて測定時間を短縮することができる。
1 形状測定装置、10 光源、20 コンデンサレンズ、22 第1の投影レンズ、24 第2の投影レンズ、28 焦点可変レンズ、30 液晶格子、40 ビームスプリッタ、50 光学素子、60 測定対象物、70 撮像部、72 撮影レンズ、74 CCDカメラ、80制御装置、82 測定部、84 制御部、86 記憶部
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定方法。
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定方法。
Claims (8)
- 格子パターンを有するパターン素子と、
前記パターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部とを有し、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1において、
前記測定部が、
焦点位置を変化させて撮像された2つの画像のコントラスト値を検出し、検出された2つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項2において、
前記測定部が、
検出された2つのコントラスト値の変化に基づいて、焦点位置からの方向を検出することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記パターン素子と前記投影レンズとの間に光学素子を備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記投影レンズとして焦点可変レンズを用いることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記ビームスプリッタと前記撮像部との間に焦点可変レンズを備えることにより、前記焦点位置を変化させることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記測定部が、
焦点位置を変えた複数の前記撮像部によって撮像された複数の画像のコントラスト値を検出することを特徴とする形状測定装置。 - 格子パターンを有するパターン素子と投影レンズとビームスプリッタとを介して前記格子パターンを測定対象物に投影する投影ステップと、
前記測定対象物に投影された格子パターンを前記ビームスプリッタを介して撮像する撮像ステップと、
前記撮像部によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定ステップとを含み、
前記測定ステップでは、
焦点位置を変化させて撮像された複数の画像のコントラスト値を検出し、検出された複数のコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする形状測定方法。
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