JP2012251500A - クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル48と、クライオパネル48を収容するポンプ容器36とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置80において、圧力制御部94は、ポンプ容器36内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。真空度保持判定部92は、第1測定時刻と第2測定時刻におけるポンプ容器36内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。第1測定時刻は、ポンプ容器36内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められる。
【選択図】図2
Description
再生処理においては、クライオパネルの温度を上げて溜め込まれた気体をクライオパネルから液化または気化させて排気した後、クライオポンプを真空引きして真空度保持状態を判定する。その後、クライオパネルを極低温に冷却し、再びクライオポンプを使用可能となる。
この方法では、圧力上昇レートが所定値以下であれば、ガス離脱が十分なされたと判断し、クライオポンプの冷却運転を再開する。
この方法では、真空引き停止時、および真空保持検査時間経過時の二つの圧力値を比べることで、実質的に真空引き停止後の圧力の上昇速度を調べている。圧力上昇速度が大きいときは、真空度保持状態が良好でないといえる。
このように、上述の方法では真空度保持状態の判定が不正確となる場合があることを本発明者は認識した。
図1は、実施形態にかかるクライオポンプの再生処理1および立上処理2を示す。
再生処理1は、クライオポンプ内に溜め込まれた気体を液化または気化させる昇温処理3と、クライオパネル上に凝縮または吸着された気体の離脱を促進するために窒素などのパージ用気体(以下、「パージガス」ともいう)を導入するパージ処理と、パージガスや再気化した気体をクライオポンプの外部へ排出する排気処理5とを含む。パージ処理には、原則として毎回実施すべき基本パージ処理4と、その後、必要に応じて実施する追加パージ処理6がある。
図1の例においては、基本パージ処理4のあとに、排気処理5aおよび5bが実施され、追加パージ処理6の後に排気処理5cが実施される。本明細書において、個々の排気処理5a〜5cを総称して、単に「排気処理5」ともいう。
そして、真空到達時間判定52を開始してから所定の真空保持検査時間経過後の圧力測定値と初期値とを比較して、真空度保持状態を判定する。
図2は、実施形態にかかるクライオポンプシステム100を模式的に示す。クライオポンプシステム100は、クライオポンプ10、圧縮機34、パージガス供給装置60、粗引ポンプ70、およびクライオポンプ制御装置80を備える。クライオポンプ10は、例えばイオン注入装置やスパッタリング装置等の真空装置の真空チャンバに取り付けられ、真空チャンバ内部の真空度を所望のプロセスに要求されるレベルまで高めるために使用される。
クライオポンプ10は、ポンプ容器36と、放射シールド44と、クライオパネル48と、冷凍機20と、を含む。
粗引ポンプ70は、例えば、クライオポンプで排気を開始する前の準備段階としてポンプ容器36内を粗く真空引きするために用いられる。
ラフバルブ72を開き、かつ粗引ポンプ70を動作させることにより、粗引ポンプ70によってポンプ容器36の内部を真空引きできる。
クライオポンプ10の再生処理1は、クライオポンプ制御装置80により制御される。
クライオポンプ制御装置80は、昇温処理制御部82、パージ処理制御部84、および、排気処理制御部86を備える。
昇温処理制御部82は、クライオポンプ10内に備えられた温度センサ(図示せず)からポンプ容器36内の温度の測定値を取得し、再生温度に達したとき昇温処理3を終了する。
排気処理制御部86は、時刻管理部88、真空到達時間判定部90、真空度保持判定部92、および、圧力制御部94を備える。
基準圧力は、例えばクライオポンプ10の立上処理2が開始可能な圧力であり、この場合1〜50Pa程度である。
真空度到達計測時間内に基準圧力以下の圧力測定値が取得された場合、真空到達時間判定部90は真空度到達時間基準が満たされたと判定し、圧力制御部94は、ラフバルブ72を閉じて真空引きを停止する。
時刻管理部88は、真空度保持判定に用いる圧力値を測定する第1測定時刻と第2測定時刻とを定める。
第1測定時刻は、排気処理5において圧力制御部94が最初に基準圧力以下の圧力測定値を検知した時刻に真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して、実際に真空引きが停止される時刻に近くなるよう定められる。
時刻T0において圧力測定値a1が基準圧力以下P0となった後、一定時間間隔でa2からa5の計4回のポンプ容器36内の圧力値が取得されている。
すなわち、i番目の圧力測定値をa(i)で示すと、
a(n)−a(n−1)<0 (式1)
a(n+1)−a(n)>0 (式2)
の両方が成立する場合、a(n)が極小値であると判定し、圧力値a(n)の測定時刻を第1測定時刻と定める。ここで、nは2以上の自然数である。
a(n+2)−a(n+1)>0 (式3)
の成立を条件として、圧力値a(n)の測定時刻を第1測定時刻と定めてもよい。これにより、測定誤差等により一時的に極小になった場合などのノイズを除去して、より正確に圧力が極小となる時刻を検出できる。
この場合、(式2)に代えて、a(n+1)−a(n)が0以上であることを条件としてもよい。これにより、隣り合う測定値が同じ値となったような場合にも、圧力が極小となる個所を検出できる。
さらに、a(n+1)−a(n)が0である場合には、圧力値a(n)の測定時刻と圧力値a(n+1)の測定時刻の中間の時刻を第1測定時刻と定めてもよい。これにより、さらに正確に真空度保持状態を判定できる。
真空度保持判定53部は、第1測定時刻と第2測定時刻における圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。図3の例では、第1測定時刻T1における圧力測定値a3と、第2測定時刻T2における圧力測定値a6の差が、圧力変化許容範囲内であるか判定する。
真空度保持判定53において、第1測定時刻と第2測定時刻における圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内を超えている場合、真空度保持判定部92は真空度保持基準が満たされていないと判定する。この場合、再び排気処理5が実施される。
しかしながら、クライオパネル48に残留している気体の量が多かったり、離脱しにくい状態で付着している場合、排気処理5を何度も繰り返すよりも、追加パージ処理6を1回実施した方が、残留気体を早く排気できることも多い。
最適な要追加パージ基準回数は、クライオポンプ10の使用条件、排気する気体の種類などによって異なるため、経験則ないし実験により要追加パージ基準回数を定めてもよい。
図4は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1および、その後の立上処理2を示す。
まず、昇温処理制御部82が昇温処理3を実施し(S10)、続いてパージ処理制御部84が基本パージ処理4を実施する(S12)。
真空度条件が満たされる場合(S16のY)、排気処理5は終了する。そして、冷凍機20が冷却運転を開始し、クライオパネル48を再冷却する(S18)。冷却処理7が完了すると、クライオポンプ10の真空排気運転の再開が可能となる。
圧力制御部94は、パージガスや、パージ処理によって再気化した気体をクライオポンプ10の外部へ排出するために、ラフバルブ72を開け、粗引ポンプ70によってポンプ容器36内の真空引きを開始する(S30)。
真空到達時間判定部90は、真空引き開始から所定の真空度到達計測時間内に基準圧力まで真空引きできたか判定する真空到達時間判定52を行う(S32)。
時刻管理部88は、真空度保持判定53に用いる圧力値を測定する第1測定時刻と第2測定時刻を定める(S36)。圧力制御部94は、第1測定時刻と第2測定時刻におけるポンプ容器36内の圧力測定値を取得し(S38)、真空度保持判定部92は、それら圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する(S40)。
排気処理5の連続実施回数が、要追加パージ基準回数に達していない場合(S42のN)、パージ処理制御部84は追加パージ処理6を実施しないことを決定し、排気処理制御部86は再び排気処理5を実施する(S30)。
一方、排気処理5の連続実施回数が、要追加パージ基準回数に達している場合(S42のY)、パージ処理制御部84は追加パージ処理6を実施する(S20)。
気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプのポンプ容器内の圧力変化が許容範囲かどうかを判定する方法において、
圧力変化をみるための基準となる圧力の初期値として、真空引きを停止させる目標圧力ではなく、真空引きの停止後さらに低下した圧力を採用することを特徴とする圧力変化判定方法。
図6は、クライオポンプシステム100の変形例を示す。既述の構成要素には図6においても同じ符号を付し、説明は省略する。
クライオポンプシステム100は、複数のクライオポンプ10、クライオポンプ制御装置80、および、粗引ポンプ70を備える。複数のクライオポンプ10と粗引ポンプ70とは、ラフ排気管74で接続される。
各クライオポンプ10における粗引ポンプ70による実効排気速度は、粗引ポンプ70の排気能力と、ラフ排気管74内を流れる気体のコンダクタンス等により定まる。特に低圧力下では、実効排気速度に対する配管長や配管径の影響が大きい。
従来のように、真空度保持判定53の際の圧力初期値として基準圧力を採用した場合、特に粗引ポンプ70との間の配管長が短いクライオポンプ10について誤判定するケースが増えると考えられる。
時刻管理部88は、各クライオポンプ10について、別個に真空引きの動作遅延に関する補正時間、第1測定時刻および第2測定時刻を定める。
これにより、複数のクライオポンプ10を備えるクライオポンプシステム100において、配置等、各クライオポンプ10によって異なる条件を反映させて、より正確に真空度保持判定53を実施できる。
Claims (5)
- 気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置であって、
前記ポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる圧力制御部と、
第1測定時刻とそれより後の第2測定時刻を定める時刻管理部と、
第1測定時刻と第2測定時刻における前記ポンプ容器内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する真空度保持判定部と、
を備え、
第1測定時刻は、前記ポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められることを特徴とするクライオポンプ制御装置。 - 前記時刻管理部は、前記圧力制御部が真空引きを停止させた後、複数回取得される前記ポンプ容器内の圧力測定値を比較し、極小となる圧力が測定された時刻を第1測定時刻と定めることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ制御装置。
- それぞれが気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える複数のクライオポンプと、
前記ポンプ容器内を真空引きする粗引ポンプと、
前記複数のクライオポンプの排気処理を制御する制御装置とを備えるクライオポンプシステムであって、
前記制御装置は、排気処理中のクライオポンプについて個別に、
そのポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる圧力制御部と、
第1測定時刻とそれより後の第2測定時刻を定める時刻管理部と、
第1測定時刻と第2測定時刻における前記ポンプ容器内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する真空度保持判定部とを備え、
第1測定時刻は、前記ポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められることを特徴とするクライオポンプシステム。 - 気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプの真空度保持判定方法であって、
前記ポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きの停止を指示するステップと、
第1測定時刻とそれより後の第2測定時刻を定めるステップと、
第1測定時刻と第2測定時刻における前記ポンプ容器内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定するステップと、
を備え、
第1測定時刻は、前記ポンプ容器内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められることを特徴とする真空度保持判定方法。 - 前記測定時刻を定めるステップは、真空引き停止指示後、複数回取得される前記ポンプ容器内の圧力測定値を比較し、極小となる圧力が測定された時刻を第1測定時刻と定めることを特徴とする請求項4に記載の方法。
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