JP5808691B2 - クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 - Google Patents
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- 1段ステージと、1段ステージより低温に冷却される2段ステージと、を備える冷凍機と、
前記1段ステージにより冷却される1段パネルと、前記2段ステージにより冷却される2段パネルと、を備えるクライオパネルと、
前記1段パネル及び前記2段パネルの少なくとも一方に設けられているパネル温度センサと、
前記1段ステージ及び前記2段ステージの少なくとも一方に設けられているステージ温度センサと、
前記ステージ温度センサの測定温度に基づく真空排気と、前記クライオパネルの昇温工程を含む再生と、を制御し、前記パネル温度センサの測定温度を専ら前記再生において使用するよう構成されている制御部と、を備え、
前記制御部は、前記パネル温度センサの測定温度に基づいて前記昇温工程を完了することを特徴とするクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記クライオパネルの昇温のために前記冷凍機の昇温運転を制御し、該昇温運転中に前記ステージ温度センサの測定温度を監視し、
前記制御部は、前記ステージ温度センサの測定温度が警告温度に到達したとき前記冷凍機の昇温運転を中止することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 前記パネル温度センサは、前記昇温工程における昇温目標温度を含む測定可能温度域を有し、該測定可能温度域は前記真空排気における前記クライオパネルの冷却目標温度より高い温度範囲であることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記1段パネルにおいて伝熱経路の末端部に設けられている1段パネル温度センサと、前記2段パネルにおいて伝熱経路の末端部に設けられている2段パネル温度センサと、を備え、
前記制御部は、1段パネル温度センサの測定温度が1段パネル目標温度に達し、かつ2段パネル温度センサの測定温度が2段パネル目標温度に達したときに前記昇温工程を完了することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記クライオパネルは、前記昇温工程において前記1段パネルが前記2段パネルよりも遅れて昇温目標温度に到達するよう構成されており、
前記パネル温度センサは、少なくとも前記1段パネルに設けられており、
前記制御部は、前記1段パネルの測定温度に基づいて前記昇温工程を完了することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記クライオパネルは、前記昇温工程において前記2段パネルが前記1段パネルよりも遅れて昇温目標温度に到達するよう構成されており、
前記パネル温度センサは、少なくとも前記2段パネルに設けられており、
前記制御部は、前記2段パネルの測定温度に基づいて前記昇温工程を完了することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - クライオポンプの再生方法であって、
ステージ温度センサの測定温度に基づき真空排気を制御することと、
クライオパネルの昇温工程を含む再生を制御することと、を含み、
前記昇温工程は、パネル温度センサの測定温度に基づいて前記昇温工程を完了することを含み、前記パネル温度センサの測定温度は専ら前記再生において使用されることを特徴とする方法。
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