JP7369071B2 - クライオポンプおよびクライオポンプの制御方法 - Google Patents
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Description
開弁差圧および設定圧力は、ゲージ圧で、例えば1気圧以内、または0.5気圧以内であってもよく、例えば0.2気圧から0.3気圧の範囲にあってもよい。
Claims (8)
- クライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内の圧力を測定し、測定圧力を示す時系列圧力データを生成する圧力センサと、
前記クライオポンプ容器に設けられ、制御により開閉可能であるとともに、前記クライオポンプ容器内外の差圧によって機械的に開きうるベントバルブと、
クライオポンプ再生中に、前記圧力センサからの前記時系列圧力データに基づいて前記測定圧力の低下または前記低下後の維持を前記測定圧力の安定化として検出し、前記測定圧力の安定化が検出された場合に前記ベントバルブを開くよう制御するコントローラと、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記コントローラは、前記クライオポンプを極低温から再生温度へと昇温している間に、前記時系列圧力データに基づいて前記測定圧力の安定化を検出し、前記測定圧力の安定化が検出された場合に前記ベントバルブを開くよう制御することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記コントローラは、前記測定圧力が圧力しきい値を超え且つ前記測定圧力の安定化が検出された場合に前記ベントバルブを開くよう制御することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記コントローラは、前記時系列圧力データから前記測定圧力の変化量を演算し、前記測定圧力の変化量を変化量しきい値と比較し、前記測定圧力の変化量が変化量しきい値未満の場合に前記ベントバルブを開くよう制御することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記コントローラは、前記測定圧力の安定化が検出された場合に、制御により前記ベントバルブを開く直前及び/または開弁後の前記測定圧力を前記時系列圧力データから取得し、取得された前記測定圧力に基づいて設定圧力を設定し、
前記コントローラは、前記測定圧力を前記設定圧力と比較し、前記測定圧力が前記設定圧力を超えるとき前記ベントバルブを開くよう制御することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。 - クライオポンプの制御方法であって、前記クライオポンプは、クライオポンプ容器と、圧力センサと、前記クライオポンプ容器に設けられ、制御により開閉可能であるとともに、前記クライオポンプ容器内外の差圧によって機械的に開きうるベントバルブと、を備え、前記制御方法は、
前記クライオポンプ容器内の圧力を測定し、測定圧力を示す時系列圧力データを生成するように、前記圧力センサを使用することと、
前記時系列圧力データに基づいて前記測定圧力の低下または前記低下後の維持を前記測定圧力の安定化として検出し、前記測定圧力の安定化が検出された場合に前記ベントバルブを開くよう制御することと、を備えることを特徴とする制御方法。 - クライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器内の圧力を測定し、測定圧力を示す時系列圧力データを生成する圧力センサと、
前記クライオポンプ容器に設けられ、制御により開閉可能であるとともに、前記クライオポンプ容器内外の差圧によって機械的に開きうるベントバルブと、
クライオポンプ再生中に、前記圧力センサからの前記時系列圧力データに基づいて前記測定圧力の変化量を演算し、前記測定圧力の変化量を変化量しきい値と比較し、前記測定圧力の変化量が変化量しきい値未満の場合に前記ベントバルブを開くよう制御するコントローラと、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - クライオポンプの制御方法であって、前記クライオポンプは、クライオポンプ容器と、圧力センサと、前記クライオポンプ容器に設けられ、制御により開閉可能であるとともに、前記クライオポンプ容器内外の差圧によって機械的に開きうるベントバルブと、を備え、前記制御方法は、
前記クライオポンプ容器内の圧力を測定し、測定圧力を示す時系列圧力データを生成するように、前記圧力センサを使用することと、
前記時系列圧力データに基づいて前記測定圧力の変化量を演算し、前記測定圧力の変化量を変化量しきい値と比較し、前記測定圧力の変化量が変化量しきい値未満の場合に前記ベントバルブを開くよう制御することと、を備えることを特徴とする制御方法。
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