JP2009198496A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 時間的に変化する電圧を印加することで特定の方向に振動させた圧電体に対して、
   外部から力を受けることで弾性変形して圧電体に力を伝える規制部材を、圧電体の振動に従って摺動するようにし、前記規制部材と圧電体との間に生じる摩擦力に応じて変化する前記圧電体のインピーダンスから、前記規制部材が外部から受けた力を検出することを特徴とする力検出方法。
2. 前記規制部材の圧電体に対向する面は、圧電体の振動方向に対して略平行であることを特徴とする請求項１記載の力検出方法。
3. 時間的に変化する電圧を印加することで特定の方向に振動する圧電体と、
   前記圧電体の表面に設けられ、前記圧電体に前記電圧を印加する一対の駆動電極と、
   外部から力を受けることで弾性変形して圧電体に力を伝える規制部材と、
   を有する圧電振動型力センサであって、
   前記規制部材は、前記圧電体に対して、圧電体の振動に従って摺動するように保持されており、
   前記電圧を印加して圧電体を振動させた状態で、前記規制部材と圧電体との間に生じた摩擦力に応じて変化する圧電体のインピーダンスを検出することで、前記規制部材が外部から受けた力を検出することを特徴とする圧電振動型力センサ。
4. 前記規制部材は、前記駆動電極を介して圧電体と対向するように設けられており、前記規制部材の圧電体に対向する面は、圧電体の振動方向に対して略平行であることを特徴とする請求項３記載の圧電振動型力センサ。
5. 前記規制部材の圧電体に対向する面に、前記駆動電極と接触し、前記圧電体のインピーダンスを検出するための引き出し電極が設けられたことを特徴とする請求項４に記載の圧電振動型力センサ。