JP2011199661A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動デバイスは、基部と、該基部から第１の方向に延出するとともに、該第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられ、前記第１の方向および前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に屈曲振動する複数の振動腕とを備える振動体と、
前記振動体を収納するパッケージと、
前記基部に設けられ、固定材を介して前記振動体を前記パッケージに部分的に固定する固着部と、を有し、
前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、前記振動体の重心を通り前記第１の方向に延びる線分上もしくはその近傍に位置していることを特徴とする。

［適用例６］
本発明の振動デバイスでは、前記基部は、前記第３の方向を厚さ方向とする板状をなし、前記基部の一方の面には、前記固着部が設けられ、前記基部の他方の面上には、前記各振動腕を振動させるための電圧が印加される１対の電極のうちの少なくとも一方の電極が設けられていることが好ましい。
これにより、１つの固着部で振動体をパッケージに簡単に固定することができる。

［適用例１１］
本発明の振動デバイスでは、前記基部は、前記第３の方向を厚さ方向とする板状をなし、前記基部の一方の面には、前記固着部が設けられているとともに、前記各振動腕を振動させるための電圧が印加される１対の電極が前記第３の方向から見たときに前記線分付近に位置するように設けられ、
前記固定材は、導電性を有し、前記固定材を介して前記１対の電極に通電されることが好ましい。
これにより、ボンディングワイヤーを用いることなく、１対の電極に通電を行うことができる。そのため、振動デバイスの構成が簡単となる。

Claims (16)

1. 基部と、該基部から第１の方向に延出するとともに、該第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられ、前記第１の方向および前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に屈曲振動する複数の振動腕とを備える振動体と、
   前記振動体を収納するパッケージと、
   前記基部に設けられ、固定材を介して前記振動体を前記パッケージに部分的に固定する固着部と、を有し、
   前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、前記振動体の重心を通り前記第１の方向に延びる線分上もしくはその近傍に位置していることを特徴とする振動デバイス。
2. 前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、前記振動体の重心近傍に設けられている請求項１に記載の振動デバイス。
3. 前記振動体は、その重心が前記基部内に位置するように構成されている請求項２に記載の振動デバイス。
4. 前記基部は、その前記第３の方向での厚さが前記各振動腕の前記第３の方向での厚さよりも大きい部分を有する請求項３に記載の振動デバイス。
5. 前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、その中心が前記振動体の重心と一致するように設けられている請求項２ないし４のいずれかに記載の振動デバイス。
6. 前記基部は、前記第３の方向を厚さ方向とする板状をなし、前記基部の一方の面には、前記固着部が設けられ、前記基部の他方の面上には、前記各振動腕を振動させるための電圧が印加される１対の電極のうちの少なくとも一方の電極が設けられている請求項５に記載の振動デバイス。
7. 前記基部の他方の面上に設けられた前記電極は、前記第３の方向から見たときに、前記線分付近に位置するように設けられている請求項６に記載の振動デバイス。
8. 前記１対の電極は、それぞれ、前記基部の前記他方の面上に設けられている請求項６または７に記載の振動デバイス。
9. 前記１対の電極は、前記第３の方向から見たときに、前記線分上に沿って並ぶように設けられている請求項８に記載の振動デバイス。
10. 前記１対の電極のうち、一方の電極が前記基部の前記一方の面上に設けられ、他方の電極が前記基部の前記他方の面上に設けられ、
    前記固定材は、導電性を有し、前記固定材を介して前記他方の電極に通電される請求項６に記載の振動デバイス。
11. 前記基部は、前記第３の方向を厚さ方向とする板状をなし、前記基部の一方の面には、前記固着部が設けられているとともに、前記各振動腕を振動させるための電圧が印加される１対の電極が前記第３の方向から見たときに前記線分付近に位置するように設けられ、
    前記固定材は、導電性を有し、前記固定材を介して前記１対の電極に通電される請求項２ないし４のいずれかに記載の振動デバイス。
12. 前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、前記線分を介して対称となるように１対設けられている請求項１１に記載の振動デバイス。
13. 前記固着部は、前記第３の方向から見たときに、前記線分上に沿って並ぶように１対設けられている請求項１１に記載の振動デバイス。
14. 前記振動体は、３つの前記振動腕を備えており、
    前記３つの振動腕は、隣り合う２つの前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動するように構成されている請求項１ないし１３のいずれかに記載の振動デバイス。
15. 前記固着部の前記第２の方向での幅は、前記３つの振動腕のうちの外側の２つの振動腕の間の前記第２の方向での離間距離よりも小さい請求項１４に記載の振動デバイス。
16. 前記振動体は、前記振動腕上に設けられた第１の電極層と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層とを備え、前記第１の電極層と前記第２の電極層との間に通電することにより、前記圧電体層を伸縮させて、前記振動腕を振動させる圧電体素子を有する請求項１ないし１５のいずれかに記載の振動デバイス。