JP5936374B2 - 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム - Google Patents
圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5936374B2 JP5936374B2 JP2012019708A JP2012019708A JP5936374B2 JP 5936374 B2 JP5936374 B2 JP 5936374B2 JP 2012019708 A JP2012019708 A JP 2012019708A JP 2012019708 A JP2012019708 A JP 2012019708A JP 5936374 B2 JP5936374 B2 JP 5936374B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force sensor
- substrate
- vibrating body
- hole
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 71
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 49
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
- G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/02—Sensing devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/22—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
- G01L5/226—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S901/00—Robots
- Y10S901/46—Sensing device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
本発明の第1実施形態に係る力センサ1について、図1から図4を参照しながら説明する。図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る力センサ1をロボット指10に実装した状態を模式的に示す断面図である。図1(b)は、図1(a)に示す力センサ1のダンピング部材6を取り外した状態を示す断面図である。図2(a)は、第1実施形態に係る力センサ1の保持部材5の他の形態を示す図である。図2(b)は、第1実施形態に係る力センサ1を模式的に示す分解斜視図である。図2(c)は、第1実施形態に係る力センサ1の振動体3の他の形態を示す平面図である。図3は、第1実施形態に係る力センサ1を用いた力センサ装置の回路ブロック図を模式的に示す図である。図4は、第1実施形態に係る力センサ1に加えられる外力と出力電圧との関係を示す図である。
次に、本発明の第2実施形態に係る力センサ1Aについて、図5を参照しながら説明する。図5(a)は、第2実施形態に係る力センサ1Aをロボット指10に実装した状態を模式的に示す断面図である。図5(b)は、図5(a)に示す力センサ1Aのダンピング部材6を取り外した状態を模式的に示す断面図である。
次に、本発明の第3実施形態に係る力センサ1Bについて、図6を参照しながら説明する。図6(a)は、第3実施形態に係る力センサ1Bをロボット指10に実装した状態を模式的に示す断面図である。図6(b)は、図6(a)に示す力センサ1Bのダンピング部材6を取り外した状態を模式的に示す断面図である。
次に、本発明の第4実施形態に係る力センサ1Cについて、図7及び図8を参照しながら説明する。図7は、第4実施形態に係る力センサ1Cを模式的に示す断面図である。図8は、図7に示す力センサ1Cの分解斜視図である。
次に、本発明の第5実施形態に係る力センサ及びロボットハンドについて、図10を参照しながら説明する。図10は、第5実施形態に係る力センサ及びロボットハンド80を模式的に示す図である。
次に、本発明の第6実施形態に係る力センサ及びロボットハンド並びにアーム部としてのロボットアームについて、図11を参照しながら説明する。図11は、第6実施形態に係る力センサ及びロボットハンド80並びにロボットアーム81を模式的に示す図である。
2 圧電振動型力ユニット
3 振動体
4 基板
5 保持部材(保持部)
6 ダンピング部材(弾性部材)
7 信号電極
10 ロボット指
11 インピーダンス
12 可変周波数発信器
30 圧電体
31 第1駆動電極(一対の駆動電極)
32 第2駆動電極(一対の駆動電極)
50 当接部
51 連結軸(軸部材)
52 遊嵌部
70 第1信号電極
71 第2信号電極
80 ロボットハンド
81 ロボットアーム(アーム部)
83 ワーク
Claims (9)
- 中空貫通孔を有する環状の圧電体及び該圧電体の両面に取り付けられた一対の駆動電極を有し、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加することにより前記圧電体の拡がり方向に振動する振動体と、
前記振動体の一方側の面に当接する基板と、
前記振動体の他方側の面に接触して配設された弾性部材と、
前記中空貫通孔よりも大きく形成され前記振動体の前記他方側の面に当接する当接部と、前記基板に係着され、前記振動体が半径方向に振動可能な状態で前記振動体の位置決めを行なうと共に、前記振動体が振動方向に移動することを規制する遊嵌部と、を有する保持部と、
前記一対の駆動電極に交流電圧を印加する一対の信号電極と、を備えた、
ことを特徴とする圧電振動型力センサ。 - 前記当接部は、前記振動体の外周よりも小さい、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記遊嵌部は、前記振動体の振動方向と交差する方向に形成される第1貫通孔を有し、
前記基板は、前記第1貫通孔と同方向に形成される第2貫通孔を有し、
前記保持部は、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔を挿通すると共に、一端が前記当接部と連結され、他端部が前記基板と係着される軸部材を有する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記軸部材の他端部は、前記基板の前記第2貫通孔を貫通させて折り曲げられることにより前記基板と係着される、
ことを特徴とする請求項3に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記第2貫通孔には前記軸部材の他端部と前記基板とを圧着させる圧入部材が配設されており、
前記軸部材の他端部は、前記圧入部材を介して前記基板と係着される、
ことを特徴とする請求項3に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記遊嵌部は絶縁材料により形成され、前記当接部及び前記軸部材は、導電性材料により形成されており、
前記一対の信号電極は、前記振動体の一方側の面が当接する前記基板の表面に取り付けられ前記振動体の一方側の面の駆動電極と接触する第1信号電極と、前記基板の裏面に取り付けられ前記軸部材の他端部と接触して、前記軸部材を介して前記振動体の他方側の面の駆動電極に通電する第2信号電極と、を有する、
ことを特徴とする請求項3記載の圧電振動型力センサ。 - 前記基板は、前記第2貫通孔と並列に形成された第3貫通孔を有し、
導電性材料により形成され一端が前記第1信号電極に接続された引込軸と、前記基板の裏面で前記第2信号電極と並列配置され、前記第3貫通孔を貫通する前記引込軸に接触して前記第1信号電極に通電する第3信号電極と、を備えた、
ことを特徴とする請求項6に記載の圧電振動型力センサ。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の圧電振動型力センサを、ロボット指を備えたロボットハンドに設けた、
ことを特徴とするロボットハンド。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の圧電振動型力センサを、アーム部を有するロボットアームに設けた、
ことを特徴とするロボットアーム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019708A JP5936374B2 (ja) | 2011-02-15 | 2012-02-01 | 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム |
US13/369,254 US8887582B2 (en) | 2011-02-15 | 2012-02-08 | Piezoelectric vibration type force sensor and robot apparatus |
EP12154873.9A EP2490002A3 (en) | 2011-02-15 | 2012-02-10 | Piezoelectric vibration type force sensor and robot apparatus |
KR1020120014699A KR101467626B1 (ko) | 2011-02-15 | 2012-02-14 | 압전 진동형 힘 센서 및 로봇 장치 |
CN201210034199.0A CN102645292B (zh) | 2011-02-15 | 2012-02-15 | 压电振动型力传感器和机器人装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011029737 | 2011-02-15 | ||
JP2011029737 | 2011-02-15 | ||
JP2012019708A JP5936374B2 (ja) | 2011-02-15 | 2012-02-01 | 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012185153A JP2012185153A (ja) | 2012-09-27 |
JP2012185153A5 JP2012185153A5 (ja) | 2015-03-19 |
JP5936374B2 true JP5936374B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=45607037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012019708A Expired - Fee Related JP5936374B2 (ja) | 2011-02-15 | 2012-02-01 | 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8887582B2 (ja) |
EP (1) | EP2490002A3 (ja) |
JP (1) | JP5936374B2 (ja) |
KR (1) | KR101467626B1 (ja) |
CN (1) | CN102645292B (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5742415B2 (ja) * | 2011-04-14 | 2015-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、力検出装置およびロボット |
JP6051678B2 (ja) * | 2012-08-22 | 2016-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット |
US11738248B2 (en) | 2012-11-27 | 2023-08-29 | Group One Limited | Tennis net tension system including service let indication feature |
US10272307B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-04-30 | Group One Limited | Tennis net tension system including service let indication feature |
CN103994845B (zh) * | 2013-02-19 | 2019-09-10 | 精工爱普生株式会社 | 力检测装置、机械手、以及移动体 |
JP6163900B2 (ja) * | 2013-06-13 | 2017-07-19 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置およびロボット |
JP6125938B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-05-10 | 上田日本無線株式会社 | 測定対象物の圧力変化を圧電振動子を用いて検知する方法 |
JP6235262B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-11-22 | 上田日本無線株式会社 | 表面にて圧力変化を起こす物体の圧力変化の測定方法 |
JP6335460B2 (ja) | 2013-09-26 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | ロボットシステムの制御装置及び指令値生成方法、並びにロボットシステムの制御方法 |
US9705069B2 (en) * | 2013-10-31 | 2017-07-11 | Seiko Epson Corporation | Sensor device, force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus, electronic component inspecting apparatus, and component machining apparatus |
JP6252241B2 (ja) | 2014-02-27 | 2017-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、およびロボット |
KR102177156B1 (ko) | 2014-03-10 | 2020-11-10 | 삼성전자주식회사 | 로봇 및 그를 구비한 기판 처리 장치 |
JP2015184005A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、およびロボット |
KR101685800B1 (ko) * | 2015-04-10 | 2016-12-13 | 성균관대학교산학협력단 | 다축 힘 센서 및 이를 이용한 다축 힘을 감지할 수 있는 집게 |
US10580605B2 (en) | 2015-11-23 | 2020-03-03 | University Of Utah Research Foundation | Very low power microelectromechanical devices for the internet of everything |
US10110757B2 (en) * | 2016-02-16 | 2018-10-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Printing apparatus and notification method of printing apparatus abnormality in a printing apparatus |
CN105522586B (zh) * | 2016-02-22 | 2018-01-12 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 半导体机器人末端执行机构 |
CN107627315A (zh) * | 2016-07-18 | 2018-01-26 | 广明光电股份有限公司 | 机器手臂的力/力矩感测器 |
JP6862762B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2021-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出センサー、力覚センサーおよびロボット |
JP6874513B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置およびロボット |
CN209072302U (zh) * | 2018-08-03 | 2019-07-05 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 振动电机 |
JP6812510B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2021-01-13 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ及びそれを有する電子機器 |
CN110138372B (zh) | 2019-04-25 | 2021-04-09 | 华为技术有限公司 | 触压按键组件、控制电路和电子设备 |
DE102020216234A1 (de) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | Contitech Antriebssysteme Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung von mechanischen Normalspannungen in einem Elastomerbauteil sowie Normalspannungssensor hierfür |
TWI824320B (zh) * | 2021-10-18 | 2023-12-01 | 國立中山大學 | 力量感測裝置及其感測器、壓電元件 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5278473A (en) | 1975-12-24 | 1977-07-01 | Rhythm Watch Co | Time informing circuit for electronic clock |
JPS5926267Y2 (ja) * | 1979-10-22 | 1984-07-31 | 株式会社トキメック | 型内圧センサ用増巾装置 |
JPS6071909A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Nissan Motor Co Ltd | ジヤイロ |
US4546658A (en) * | 1984-02-24 | 1985-10-15 | General Electric Company | Piezoelectric force/pressure sensor |
NL8501908A (nl) * | 1985-07-03 | 1987-02-02 | Tno | Tastsensor. |
US4956578A (en) * | 1987-07-28 | 1990-09-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface conduction electron-emitting device |
JP2622842B2 (ja) * | 1987-10-12 | 1997-06-25 | キヤノン株式会社 | 電子線画像表示装置および電子線画像表示装置の偏向方法 |
DE3777187D1 (en) * | 1987-11-09 | 1992-04-09 | Vibro Meter Ag | Accelerometer. |
JPH06103234B2 (ja) * | 1988-04-11 | 1994-12-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電型圧力センサ |
JP2630988B2 (ja) * | 1988-05-26 | 1997-07-16 | キヤノン株式会社 | 電子線発生装置 |
JP3072795B2 (ja) * | 1991-10-08 | 2000-08-07 | キヤノン株式会社 | 電子放出素子と該素子を用いた電子線発生装置及び画像形成装置 |
CA2112180C (en) * | 1992-12-28 | 1999-06-01 | Yoshikazu Banno | Electron source and manufacture method of same, and image forming device and manufacture method of same |
US6157137A (en) * | 1993-01-28 | 2000-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-electron beam source with driving circuit for preventing voltage spikes |
JPH0719975A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-20 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 圧力センサチップ、触覚センサ、および触覚センサの製造方法 |
CA2135458C (en) * | 1993-11-09 | 2000-05-09 | Yuji Kasanuki | Image display apparatus |
JP3025249B2 (ja) * | 1997-12-03 | 2000-03-27 | キヤノン株式会社 | 素子の駆動装置及び素子の駆動方法及び画像形成装置 |
JP3388176B2 (ja) | 1998-03-27 | 2003-03-17 | 日本碍子株式会社 | 圧電センサ装置とそれを用いた電気的定数変化の検出方法 |
JP2001349900A (ja) | 1999-12-28 | 2001-12-21 | Fujitsu Ltd | 加速度センサ及び加速度センサ装置 |
JP2003130740A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-08 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電センサおよびその製造方法 |
JP2007057395A (ja) | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
JP2008039626A (ja) | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Epson Toyocom Corp | 圧力検出装置 |
JP4677493B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2011-04-27 | キヤノン株式会社 | 圧電振動型力センサ |
JP2010131743A (ja) | 2008-10-30 | 2010-06-17 | Canon Inc | 力覚センサを内蔵した把持装置 |
WO2011145713A1 (en) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Force control robot |
-
2012
- 2012-02-01 JP JP2012019708A patent/JP5936374B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-08 US US13/369,254 patent/US8887582B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-10 EP EP12154873.9A patent/EP2490002A3/en not_active Withdrawn
- 2012-02-14 KR KR1020120014699A patent/KR101467626B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-15 CN CN201210034199.0A patent/CN102645292B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102645292B (zh) | 2014-11-12 |
EP2490002A2 (en) | 2012-08-22 |
EP2490002A3 (en) | 2015-12-23 |
CN102645292A (zh) | 2012-08-22 |
US8887582B2 (en) | 2014-11-18 |
US20120204656A1 (en) | 2012-08-16 |
JP2012185153A (ja) | 2012-09-27 |
KR20120093779A (ko) | 2012-08-23 |
KR101467626B1 (ko) | 2014-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5936374B2 (ja) | 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム | |
JP4677493B2 (ja) | 圧電振動型力センサ | |
JP6494404B2 (ja) | 振動型駆動装置、画像形成装置、位置決めステージ及び医用システム | |
JP2009139187A (ja) | トルク測定装置 | |
JP2023026457A (ja) | 変位ベースの力/トルク検出を行なうユニボディ屈曲構造 | |
US8302481B2 (en) | Self-supporting and self-aligning vibration excitator | |
JP6961383B2 (ja) | 振動型アクチュエータ | |
JP6215081B2 (ja) | 角度測定装置 | |
JP7204455B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、雲台、および電子機器 | |
JP2012132759A (ja) | 回転計、トルクセンサ及び駆動装置 | |
JP5884456B2 (ja) | 介在センサー、およびロボット | |
CN113043071B (zh) | 可感测低频力与高频力的力感测装置 | |
CN111146907B (zh) | 驱动装置和检测装置 | |
JP5964760B2 (ja) | 超音波疲労試験機および超音波疲労試験機用ホーン | |
JP6184063B2 (ja) | 振動波駆動装置および電子機器 | |
EP1857220A1 (en) | Arrangement for active vibration damping | |
JP2012057999A (ja) | 歪センサ | |
JPH09145497A (ja) | トルクセンサ | |
JP6988367B2 (ja) | 物理量センサ | |
JP2015035909A (ja) | 振動アクチュエータ | |
WO2019220516A1 (ja) | アクチュエータおよびトルクセンサユニット | |
JP2023068229A (ja) | 駆動装置及びロボット | |
JP2021072759A (ja) | 振動型アクチュエータ、雲台、および電子機器 | |
JP2011127942A (ja) | 角速度センサ | |
JP2009250955A (ja) | 慣性力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150202 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160510 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5936374 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |