JP2012104673A - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コイル部品100は、磁性セラミック材料からなる基板11と、基板11の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層12と、薄膜コイル層12の主面にめっきにより形成された肉厚なバンプ電極13a〜13dと、バンプ電極13a〜13dと共に薄膜コイル層12の表面に設けられた引き出し導体20,21と、バンプ電極13a〜13dの形成位置を除いた薄膜コイル層12の主面に形成された絶縁体層14とを備えている。薄膜コイル層12の表面において、引き出し導体20はバンプ電極13aと一体的に形成されており、引き出し導体21はバンプ電極13cと一体的に形成されている。
【選択図】図2
Description
2 薄膜コイル層
2a〜2d 絶縁層
3a,3b 磁性基板
5,6 スパイラル導体
5a,6a スパイラル導体の内周端
5b,6b スパイラル導体の外周端
7a〜7d 外部端子電極
8a,8b 引き出し導体
9a,9b コンタクトホール導体
10a,10b 側面
11 基板
12 薄膜コイル層
13 バンプ電極
13a〜13d バンプ電極
13e バンプ電極の側面
14 絶縁体層
15a〜15c 絶縁層
16,17 スパイラル導体
16a,17a スパイラル導体の内周端
16b,17b スパイラル導体の外周端
18,19 コンタクトホール導体
20,21 引き出し導体
24a,24b 端子電極
25 開口
26 磁性コア
31 下地導電膜
32 ドライフィルム層
33 フォトレジスト層
34 ドライフィルム層
100,200,300 コイル部品
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に設けられた薄膜コイル層と、
前記薄膜コイル層の表面に設けられた第1及び第2のバンプ電極と、
前記第1及び第2のバンプ電極と共に前記薄膜コイル層の表面に設けられ、前記第1のバンプ電極と一体的に形成された第1の引き出し導体と、
前記第1のバンプ電極と前記第2のバンプ電極との間に設けられた絶縁体層とを備え、
前記薄膜コイル層は、平面コイルパターンである第1のスパイラル導体を含み、
前記第1のバンプ電極は、前記第1の引き出し導体を介して前記第1のスパイラル導体の内周端に接続されており、
前記第2のバンプ電極は、前記第1のスパイラル導体の外周端に接続されていることを特徴とするコイル部品。 - 前記第1の引き出し導体の高さが前記第1のバンプ電極よりも低いことを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。
- 前記第1のバンプ電極と前記第2のバンプ電極の平面形状が互いに同一であることを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル部品。
- 前記薄膜コイル層の表面に設けられた第3及び第4のバンプ電極と、
前記第3及び第4のバンプ電極と共に前記薄膜コイル層の表面に設けられ、前記第3のバンプ電極と一体的に形成された第2の引き出し導体をさら備え、
前記薄膜コイル層は、前記第1のスパイラル導体と磁気結合する平面コイルパターンからなる第2のスパイラル導体をさらに含み、
前記絶縁体層は、前記第1乃至第4のバンプ電極間に設けられ、
前記第3のバンプ電極は、前記第2の引き出し導体を介して前記第2のスパイラル導体の内周端に接続されており、前記第4のバンプ電極は前記第2のスパイラル導体の外周端に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 基板上に平面コイルパターンであるスパイラル導体を含む薄膜コイル層を形成する工程と、
前記薄膜コイル層上にバンプ電極及び引き出し導体を形成する工程とを備え、
前記バンプ電極及び前記引き出し導体を形成する工程は、
前記薄膜コイル層の表面に下地導電膜を形成する工程と、
前記バンプ電極及び前記引き出し導体を形成すべき所定の領域を除いた第1の領域を第1のマスクで覆った後、前記バンプ電極を形成すべき領域内の前記下地導電膜を前記バンプ電極に適した所定の厚さまでめっき成長させて前記バンプ電極と前記引き出し導体とを同時に形成する工程を含むことを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 基板上に平面コイルパターンであるスパイラル導体を含む薄膜コイル層を形成する工程と、
前記薄膜コイル層上にバンプ電極及び引き出し導体を形成する工程とを備え、
前記バンプ電極及び前記引き出し導体を形成する工程は、
前記薄膜コイル層の表面に下地導電膜を形成する工程と、
前記バンプ電極及び前記引き出し導体を形成すべき所定の領域を除いた第1の領域を第1のマスクで覆った後、前記下地導電膜の露出部分を前記引き出し導体に適した所定の厚さまでめっき成長させて前記バンプ電極の下部と前記引き出し導体とを同時に形成する工程と、
前記バンプ電極を形成すべき所定の領域を除いた第2の領域を第2のマスクで覆った後、前記バンプ電極の下部を前記バンプ電極に適した所定の厚さまでさらにめっき成長させる工程を含むことを特徴とするコイル部品の製造方法。
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