JP2012058367A - 振動ミラー素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この振動ミラー素子100は、ミラー部1と、ミラー部1を駆動する駆動部4および5とを備え、駆動部4および5には、電圧の印加により駆動部4および5を変形させて駆動させるための駆動用電極44および54と、駆動部4および5の変形量を検出するための検出用電極45および55とがそれぞれ配置されている。
【選択図】図2
Description
まず、図1〜図6を参照して、本発明の一実施形態による振動ミラー素子100の構成について説明する。
次に、図11および図12を参照して、本発明の第2実施形態による振動ミラー素子300の構造について説明する。この第2実施形態では、上記第1実施形態と異なり、駆動部304および305の略全面に渡って、駆動用電極344および354をそれぞれ形成するとともに、駆動用電極344および354の上面上に、検知用電極374を含む検知部370および検知用電極384を含む検知部380をそれぞれ形成した例について説明する。
次に、図13および図14を参照して、本発明の第3実施形態による振動ミラー素子400の構造について説明する。この第3実施形態では、上記第2実施形態と異なり、駆動部404の基部40の下面上に検知用電極474を含む検知部470を形成するとともに、駆動部405の基部50の下面上に検知用電極484を含む検知部480を形成した例について説明する。
4、5、304、305、404、405、504、505、604、605、704、705、804、805 駆動部
42、52 下部電極(共通電極)
43、53 圧電体層(共通圧電体)
44、54、344、354 駆動用電極
45、55、374、384、474、484、545、555、645、655、745、755、845 検出用電極
100、300、400、500、600、700、800 振動ミラー素子
343、353 圧電体層(駆動用圧電体)
373、383、473、483 圧電体層(検知用圧電体)
Claims (6)
- ミラー部と、
前記ミラー部を駆動する駆動部とを備え、
前記駆動部には、電圧の印加により前記駆動部を変形させて駆動させるための駆動用電極と、前記駆動部の変形量を検出するための検出用電極とが配置されている、振動ミラー素子。 - 前記検出用電極は、前記駆動用電極の長手方向に沿って延びており、
前記検出用電極の長手方向における長さは、前記駆動用電極の長手方向における長さ未満である、請求項1に記載の振動ミラー素子。 - 前記検出用電極の長手方向における長さは、前記駆動用電極の長手方向における長さの半分以上である、請求項2に記載の振動ミラー素子。
- 前記駆動用電極と前記検出用電極とは、同一面上に配置されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動ミラー素子。
- 前記駆動部は、共通圧電体と、前記共通圧電体の一方面上に配置された共通電極とを含み、
前記駆動用電極は、前記共通圧電体の他方面上の第1領域に配置されているとともに、前記検出用電極は、前記共通圧電体の他方面上の前記第1領域とは異なる第2領域に配置されており、
前記駆動部では、前記共通電極と前記駆動用電極との間に電圧を印加することにより前記共通圧電体が変形されるように構成されており、
前記検出用電極は、前記共通圧電体の変形によって生じる前記共通電極との電位差を検出するように構成されている、請求項4に記載の振動ミラー素子。 - 前記駆動部は、前記駆動用電極に電圧が印加されることによって変形する駆動用圧電体と、前記駆動用圧電体の変形に伴って変形する検出用圧電体とを含み、
前記検出用電極は、前記検出用圧電体の変形によって生じる電圧を検出するように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動ミラー素子。
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