JP6985602B2 - 光走査装置及び光走査装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、実施の形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、実施の形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
次に、光走査装置1000の光走査部100について説明する。図3は、実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。
図7は本実施の形態に係る光走査装置の光走査部の製造方法の工程の一例を示す断面図である。まず、例えば、垂直駆動源領域RA、水平駆動源領域RB、及び圧電センサ領域RCにおいて、SOI基板10の表面に熱酸化膜11を形成し、熱酸化膜11の上層に、PVD(Physical Vapor Deposition)法により下部電極12を形成し、さらにCSD(Chemical Solution Deposition)法により下層圧電薄膜13を形成する。下層圧電薄膜13の上層に、PVD法により中部電極14を形成し、さらにCSD法により上層圧電薄膜15を形成する。上層圧電薄膜15の上層に、PVD法により上部電極16と被覆膜(カウンタ膜)17を形成する。下層圧電薄膜13、上層圧電薄膜15はPZT等の圧電薄膜である。下部電極12、中部電極14、上部電極16は導電材料からなる導電層である。
11 熱酸化膜
12 下部電極
13、13A,13B 下層圧電薄膜
13C 圧電薄膜
14、14A,14B 中部電極
14AT、14BT 端子
14C 上部電極
15、15A、15B 上層圧電薄膜
16,16A、16B 上部電極
17、17A 被覆膜(カウンタ膜)
100 光走査部
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
130A、130B 捻れ梁
140A、140B 連結梁
150A、150B 水平駆動梁
151A、151B 水平駆動源
160 可動枠
161 ミラー支持体
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171A1、171A2、171A3、171A4、171A5、171A6 垂直駆動源
171B1、171B2、171B3,171B4,171B5,171B6 垂直駆動源
171X1、171X2、171X3、171X4、171X5 折り返し部
171Y1、171Y2、171Y3、171Y4、171Y5 折り返し部
180 固定枠
190A、190B 端子群
191、192、195、196 圧電センサ
200 セラミックパッケージ
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (9)
- 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持するミラー支持部と、
前記ミラー支持部の両側に配置されて前記ミラー支持部を揺動可能に接続される一対の駆動梁と、
前記駆動梁に設けられ、複数の圧電薄膜の積層体を含み、前記ミラー支持部を揺動させる駆動源と、
前記駆動梁あるいは前記駆動源に連結する連結梁に形成され、前記複数の圧電薄膜より少ない層数の圧電薄膜を含む圧電センサと
を有する光走査装置。 - 前記ミラー支持部の外周に設けられた可動枠と、
前記ミラー支持部に接続されて前記ミラー支持部を揺動可能にする捻れ梁と、をさらに有し、
前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の内周に接続し、かつ、連結梁を介して前記捻れ梁に接続された一対の第1の駆動梁を有し、
前記圧電センサとして、前記連結梁に形成された第1の圧電センサを有する
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記ミラー支持部の外周に設けられた可動枠を有し、
前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の外周及び固定枠に接続された一対の第2の駆動梁を有し、
前記圧電センサとして、前記第2の駆動梁に形成された第2の圧電センサを有する
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の外周及び固定枠に接続された一対の第2の駆動梁を有し、
前記圧電センサとして、前記第2の駆動梁に形成された第2の圧電センサを有する
請求項2に記載の光走査装置。 - 前記第2の駆動梁は、所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁を有し、隣接する前記梁の端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の形状である
請求項4に記載の光走査装置。 - 光反射面を有するミラーと、前記ミラーを支持するミラー支持部と、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記ミラー支持部を揺動可能に接続される一対の駆動梁と、前記駆動梁に設けられ、複数の圧電薄膜の積層体を含み、前記ミラー支持部を揺動させる駆動源と、前記駆動梁あるいは前記駆動源に連結する連結梁に形成され、前記複数の圧電薄膜より少ない層数の圧電薄膜を含む圧電センサとを有する光走査装置を製造するために、
支持層、埋め込み層及び活性層を有するSOI基板の駆動源形成領域及び圧電センサ形成領域において、第1導電層、第1圧電薄膜、第2導電層、第2圧電薄膜、及び第3導電層を、順に積層する工程と、
前記圧電センサ形成領域において、前記第3導電層及び前記第2圧電薄膜を除去して、前記第1導電層、前記第1圧電薄膜、及び前記第2導電層が積層してなる圧電センサを形成する工程と、
前記駆動源形成領域において、前記駆動源形成領域の一部における前記第3導電層及び前記第2圧電薄膜を除去して駆動源端子を形成し、第1導電層、第1圧電薄膜、第2導電層、第2圧電薄膜、及び第3導電層が積層してなる駆動源を形成する工程と
を有する光走査装置の製造方法。 - 前記光走査装置が、前記ミラー支持部の外周に設けられた可動枠と、前記ミラー支持部に接続されて前記ミラー支持部を揺動可能にする捻れ梁と、をさらに有し、前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の内周に接続し、かつ、連結梁を介して前記捻れ梁に接続された一対の第1の駆動梁を有し、
前記圧電センサ形成領域において、前記第3導電層及び前記第2圧電薄膜を除去して、前記第1導電層、前記第1圧電薄膜、及び前記第2導電層が積層してなる圧電センサを形成する工程により、前記連結梁に第1の圧電センサを形成する
請求項6に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記光走査装置が、前記ミラー支持部の外周に設けられた可動枠を有し、前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の外周及び固定枠に接続された一対の第2の駆動梁を有し、
前記圧電センサ形成領域において、前記第3導電層及び前記第2圧電薄膜を除去して、前記第1導電層、前記第1圧電薄膜、及び前記第2導電層が積層してなる圧電センサを形成する工程により、前記第2の駆動梁に第2の圧電センサを形成する
請求項6に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記光走査装置が、前記駆動梁として、前記ミラー支持部の両側に配置されて前記可動枠の外周及び固定枠に接続された一対の第2の駆動梁を有し、
前記圧電センサ形成領域において、前記第3導電層及び前記第2圧電薄膜を除去して、前記第1導電層、前記第1圧電薄膜、及び前記第2導電層が積層してなる圧電センサを形成する工程により、前記第2の駆動梁に第2の圧電センサを形成する
請求項7に記載の光走査装置の製造方法。
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