JP2012042226A - 半導体装置およびその試験方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チップ間の接続を検査可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】第1電源ラインLVDD1と第2電源ラインLVDD2には、独立に電源電圧を供給可能となっている。バッファBUF1は、第1パッドP1ごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する第1パッドP1に接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能となっている。試験時には、検査対象のワイヤと接続される第1パッドP1および第2パッドP2がハイインピーダンスとされ、第1電源ラインLVDD1に電源電圧VDD1を、第2電源ラインLVDD2に接地電圧が供給される。テスト用パッドPTESTに対して試験電流ITESTが供給され、テスト用パッドPTESTの電圧が測定される。
【選択図】図2
【解決手段】第1電源ラインLVDD1と第2電源ラインLVDD2には、独立に電源電圧を供給可能となっている。バッファBUF1は、第1パッドP1ごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する第1パッドP1に接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能となっている。試験時には、検査対象のワイヤと接続される第1パッドP1および第2パッドP2がハイインピーダンスとされ、第1電源ラインLVDD1に電源電圧VDD1を、第2電源ラインLVDD2に接地電圧が供給される。テスト用パッドPTESTに対して試験電流ITESTが供給され、テスト用パッドPTESTの電圧が測定される。
【選択図】図2
Description
本発明は、マルチチップを有する半導体装置に関する。
近年、ひとつのパッケージ内に複数の半導体チップを搭載したマルチチップモジュールとも称される半導体装置が開発されている。複数の半導体チップは基板(基体)に実装され、ボンディングワイヤなどを介して接続された後に、樹脂によって封止される。封止後に、チップ間の電気的接続を検査する方式としては、以下のものが主流であった。
(1) X線撮影を行い、その画像から接続の有無を確認する。
(2) ファンクションテストを行い、チップ同士が接続されていることを確認する。
(1) X線撮影を行い、その画像から接続の有無を確認する。
(2) ファンクションテストを行い、チップ同士が接続されていることを確認する。
X線撮影を用いた検査では、電気的に確実に接続されているかどうかを判断することは難しい。またファンクションテストによる方法では、不良と判定された場合に、接続不良なのかチップ不良なのかを区別することができない。
本発明は係る状況に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的の一つは、チップ間の接続を検査可能な半導体装置の提供にある。
本発明のある態様は、第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置に関する。第1半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドと、少なくともひとつの第1パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、第1電源ラインと、第1接地ラインと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第1パッドに接続され、それぞれのアノードが第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する第1パッドに接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能な、少なくともひとつのバッファと、を備える。第2半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、第2電源ラインと、第2接地ラインと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第2パッドに接続され、それぞれのアノードが第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、を備える。第1電源ラインと第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能である。
第1電源ラインに電源電圧を、第2電源ラインに電源電圧より低い固定電圧、たとえば接地電圧を印加した状態で、テスト用端子に電流を供給することにより、テスト用端子には、接続手段の状態に応じた異なる電圧が発生する。したがってこの電圧にもとづいて接続手段を検査できる。
少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される接続手段が検査対象であるとき、ディスイネーブル状態となるよう構成されてもよい。
少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される接続手段が検査対象でないとき、電源電圧とは異なる固定電圧を出力するよう構成されてもよい。この場合、検査対象の接続手段が、別の接続手段とショートした状態を検出できる。
本発明の別の態様もまた、第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置に関する。第1半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドと、第1電源ラインと、第1接地ラインと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第1パッドに接続され、それぞれのアノードが第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、を備える。第2半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、少なくともひとつの第2パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、第2電源ラインと、第2接地ラインと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第2パッドに接続され、それぞれのアノードが第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、を備える。第1電源ラインと第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能である。
少なくともひとつの第2パッドのうち、少なくともひとつごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する第2パッドに接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能な、少なくともひとつのバッファをさらに備えてもよい。
少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される接続手段が検査対象であるとき、ディスイネーブル状態となるよう構成されてもよい。
少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される接続手段が検査対象でないとき、電源電圧とは異なる固定電圧を出力するよう構成されてもよい。
本発明のさらに別の態様は、第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置の試験方法に関する。第1半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドと、少なくともひとつの第1パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、第1電源ラインと、第1接地ラインと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第1パッドに接続され、それぞれのアノードが第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、を備える。第2半導体チップは、少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、第2電源ラインと、第2接地ラインと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第2パッドに接続され、それぞれのアノードが第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、を備える。第1電源ラインと第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能である。本方法は、検査対象の接続手段と接続される第1パッドおよび第2パッドをハイインピーダンスとした状態で、以下の処理が実行される。
1. 第1電源ラインに電源電圧を、第2電源ラインに電源電圧より低い固定電圧を供給する。
2. テスト用パッドに対して試験電流を供給する。
3. テスト用パッドの電圧を測定する。
1. 第1電源ラインに電源電圧を、第2電源ラインに電源電圧より低い固定電圧を供給する。
2. テスト用パッドに対して試験電流を供給する。
3. テスト用パッドの電圧を測定する。
各ステップは、検査対象でない接続手段と接続される第1パッドおよび第2パッドを電源電圧とは異なる電圧に固定した状態で実行されてもよい。
この場合、検査対象の接続手段が、別の接続手段とショートした状態を検出できる。
この場合、検査対象の接続手段が、別の接続手段とショートした状態を検出できる。
なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、あるいは本発明の表現を、方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明のある態様によれば、チップ間の接続を検査できる。
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
本明細書において、「部材Aが、部材Bと接続された状態」とは、部材Aと部材Bが物理的に直接的に接続される場合のほか、部材Aと部材Bが、電気的な接続状態に影響を及ぼさない他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
同様に、「部材Cが、部材Aと部材Bの間に設けられた状態」とは、部材Aと部材C、あるいは部材Bと部材Cが直接的に接続される場合のほか、電気的な接続状態に影響を及ぼさない他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
同様に、「部材Cが、部材Aと部材Bの間に設けられた状態」とは、部材Aと部材C、あるいは部材Bと部材Cが直接的に接続される場合のほか、電気的な接続状態に影響を及ぼさない他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
図1は、実施の形態に係る半導体装置100の構成を示す図である。半導体装置100は、基体10と、基体10の上にマウントされた第1半導体チップ12および第2半導体チップ14を備える。第1半導体チップ12および第2半導体チップ14にはそれぞれ、集積回路16、18が形成されている。第1半導体チップ12は複数のパッドP1を備え、第2半導体チップ14は複数のパッドP2を備える。第1半導体チップ12のパッドP1のいくつかは、ボンディングワイヤWを介して第2半導体チップ14のパッドP2と接続される。また第1半導体チップ12のパッドP1のいくつかと、第2半導体チップ14のパッドP2のいくつかは、ボンディングワイヤWを介して基体10に形成されたパッドP5と接続されている。パッドP5は、図示しないリードや裏面電極などの外部接続用端子と接続される。
図1では省略されるが、基体10、第1半導体チップ12および第2半導体チップ14は、不透明の樹脂によって封止されている。半導体装置100の製造後に、第1半導体チップ12と第2半導体チップ14間が、ボンディングワイヤWによって正常に接続されているかを確認することは困難である。接続検査が可能な半導体装置100の具体的な構成を説明する。
図2は、実施の形態に係る半導体装置100の構成を示す回路図である。図2には本発明に関連するブロックのみが示されており、その他のブロックは省略している。
第1半導体チップ12は、電気信号を入出力するために、第1接地パッドPGND1、第1電源パッドPVDD1、少なくともひとつの第1パッドP11〜P12、テスト用パッドPTESTを備える。図2では、2つの第1パッドP1が設けられる場合を示すが、その個数は任意である。
第1電源パッドPVDD1および第1接地パッドPGND1はそれぞれ、第1半導体チップ12に形成された第1電源ラインLVDD1および第1接地ラインLGND1と接続される。また第1電源パッドPVDD1および第1接地パッドPGND1はそれぞれ、ワイヤW2、W3を介して基体10に形成されたパッドP52、P53と接続される。
半導体装置100は、第1パッドP11〜P12ごとに設けられた第1ダイオードD11〜D12、第2ダイオードD21〜D22を備える。i番目の第1ダイオードD1iのカソードは、第1電源ラインLVDD1に接続され、そのアノードは、対応する第1パッドP1iに接続される。i番目の第2ダイオードD2iのカソードは、対応する第1パッドP1iに接続され、そのアノードは第1接地ラインLGND1に接続される。第1ダイオードD1、第2ダイオードD2は保護素子であり、サージなどから内部回路を保護するために設けられている。
出力バッファBUF11〜BUF12も、第1パッドP11〜P12ごとに設けられている。i番目の出力バッファBUF1iの出力端子は、対応する第1パッドP1iに接続される。各出力バッファBUF11〜BUF12は、いわゆる3ステートバッファであり、イネーブル状態においてハイレベルまたはローレベルを出力し、ディスイネーブル状態においてその出力がハイインピーダンスとなるように構成される。
テスト用パッドPTESTは、第1パッドP11〜P12のいずれかに、スイッチ20を介して選択的に接続される。またテスト用パッドPTESTは、ワイヤW4を介して基体10に形成されたパッドP54と接続される。
第1半導体チップ12は、制御部22を備える。制御部22は、スイッチ20の状態を制御するとともに、出力バッファBUF11〜BUF12の状態を制御する。制御部22については後述する。
第2半導体チップ14は、第2接地パッドPGND2、第2電源パッドPVDD2、少なくともひとつの第2パッドP21〜P22を備える。
第2電源パッドPVDD2および第2接地パッドPGND2はそれぞれ、第2半導体チップ14に形成された第2電源ラインLVDD2および第2接地ラインLGND2と接続される。また第2電源パッドPVDD2および第2接地パッドPGND2はそれぞれ、ワイヤW5、W6を介して基体10に形成されたパッドP55、P56と接続される。
第2パッドP21〜P22は、第1パッドP11〜P12ごとに設けられ、それぞれが対応する第1パッドP11〜P12に対して、チップ間接続ワイヤ(インターコネクトワイヤ、単にワイヤとも称する)W11、W12を介して接続される。第3ダイオードD31〜D32は、第2パッドP21〜P22ごとに設けられており、それぞれのカソードは第2電源ラインLVDD2に接続され、それぞれのアノードは対応する第2パッドP21〜P22に接続される。第4ダイオードD41〜D42も第2パッドP21〜P22ごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する第2パッドP21〜P22に接続され、それぞれのアノードが第2接地ラインLGND2に接続される。
第1半導体チップ12は、ワイヤW11を介して第2半導体チップ14に信号を伝送する。また第1半導体チップ12と第2半導体チップ14は、ワイヤW12を介して信号の双方向伝送を行う。もちろん、ワイヤW12を介して単方向伝送を行ってもよい。
第2パッドP21〜P22には、出力バッファBUF11〜BUF12からの信号を受けるための入力バッファBUF21〜BUF22が接続されている。また双方向伝送を行うために、第2半導体チップ14には出力バッファBUF3が設けられており、第1半導体チップ12には入力バッファBUF4が設けられる。
基体10に形成されるパッドP5は、外部接続端子11と接続されており、外部からの電気信号が入力可能となっている。また第1電源ラインLVDD1と第2電源ラインLVDD2には、独立に電源電圧Vdd1、Vdd2を供給可能となっている。
以上が半導体装置100の構成である。続いてその試験方法を説明する。
半導体装置100の製造(組み立て)が終了すると、出荷前に半導体装置100の試験が行われる。半導体装置100の試験項目のひとつとして、第1半導体チップ12と第2半導体チップ14の間の電気的な接続確認が行われる。
接続確認試験は、複数のチップ間接続ワイヤW11、W12について順に行われる。i番目のワイヤWiの接続試験を行うとき、制御部22はスイッチ20を制御し、テスト用パッドPTESTをi番目の第1パッドP1iへと接続する。
また制御部22は、検査対象のワイヤW1iと接続される第1パッドP1iおよび第2パッドP2iをハイインピーダンスとする。具体的には、i番目の出力バッファBUF1iをディスイネーブル状態とし、その出力端子をハイインピーダンスとする。
制御部22は、i番目以外の出力バッファBUF1をアクティブな状態とし、ローレベル(接地電圧VGND)を出力させる。
この状態において、テスト用パッドPTESTに接続される外部接続端子11には、電流源および電圧計が接続される。またテスト用パッドPTESTが設けられた第1半導体チップ12側の第1電源ラインLVDD1には、電源電圧VDD1が供給され、反対側の第2半導体チップ14側の第2電源ラインLVDD2には、接地電圧VGND(0V)が供給される。
図3(a)〜(c)は、図2の半導体装置100の試験工程における等価回路図である。図3(a)は、接続が正常な場合、図3(b)はワイヤがオープン異常の場合、図3(c)は隣接するワイヤと接触したショート異常の場合を示す。各図において、1番目のチップ間接続ワイヤW11が検査対象の場合を示す。
図3(a)に示すように、ワイヤW11が正常に接続されているとき、テスト用パッドPTESTに供給される定電流ITESTは、第1パッドP11、ワイヤW11、第2パッドP21、第3ダイオードD31を介して第2電源ラインLVDD2に流れる。第2電源ラインLVDD2には接地電圧(0V)が供給されているため、このときのテスト用パッドPTESTの電位を測定すると、
VTEST=Vf
が得られる。ここでVfは第3ダイオードD3の順方向電圧である。
VTEST=Vf
が得られる。ここでVfは第3ダイオードD3の順方向電圧である。
図3(b)に示すように、ワイヤW11が断線しているとき、あるいはワイヤW11第1パッドP11や第2パッドP21に対して電気的に接続されていないとき、テスト用パッドPTESTに供給される定電流ITESTは、第1パッドP11および第1ダイオードD11を介して第1電源ラインLVDD1に流れる。第1電源ラインLVDD1には、電源電圧VDD1が供給されているため、このときのテスト用パッドPTESTの電位は、
VTEST=Vf+VDD1
となる。ここでVfは第1ダイオードD1の順方向電圧である。
VTEST=Vf+VDD1
となる。ここでVfは第1ダイオードD1の順方向電圧である。
つまり、テスト用パッドPTESTの電圧を測定することにより、ワイヤW11が正常かあるいは異常かを判別することができる。
図3(c)に示すように、ワイヤW11がワイヤW12と接触しているとき、テスト用パッドPTESTの電位は、第1パッドP12の電位と等しくなる。出力バッファBUF12はローレベルの0Vを出力しているため、テスト用パッドPTESTの電位は、0Vとなる。
したがって、図2の半導体装置100によれば、ワイヤW11の他のワイヤW12とのショートも検出することができる。
図4は、変形例に係る半導体装置100aの構成を示す回路図である。図4の半導体装置100aについて、図2の半導体装置100との相違点を中心に説明する。図2の半導体装置100では、送信側の第1半導体チップ12にテスト用パッドPTESTが設けられたが、図4の半導体装置100aでは、受信側の第2半導体チップ14にテスト用パッドPTESTが設けられる。
テスト用パッドPTESTと同様に、スイッチ20a、制御部22aも第2半導体チップ14側に設けられる。制御部22aは、スイッチ20aを制御し、テスト用パッドPTESTを第2パッドP21〜P22のうち、検査対象のワイヤW1に対応付けられるひとつと接続する。
以上が半導体装置100aの構成である。続いてその試験方法を説明する。
接続確認試験は、複数のチップ間接続ワイヤW11、W12について順に行われる。i番目のワイヤWiの接続試験を行うとき、制御部22aはスイッチ20aを制御し、テスト用パッドPTESTをi番目の第2パッドP2iへと接続する。また制御部22aは、i番目の第2パッドP2iに対して信号を出力するバッファが存在する場合には、そのバッファをディスイネーブル状態とする。制御部22aは、i番目以外の第2パッドP2に信号を出力するバッファが存在する場合には、そのバッファをアクティブな状態とし、ローレベル(接地電圧VGND)を出力させる。
この状態において、テスト用パッドPTESTに接続される外部接続端子11には、電流源および電圧計が接続される。またテスト用パッドPTESTが設けられた第2半導体チップ14側の第2電源ラインLVDD2には、電源電圧VDD2が供給され、反対側の第1半導体チップ12側の第1電源ラインLVDD1には、接地電圧VGND(0V)が供給される。
1番目のチップ間接続ワイヤW11を検査する場合について具体的に説明する。
ワイヤW11が正常に接続されているとき、テスト用パッドPTESTに供給される定電流ITESTは、第2パッドP21、ワイヤW11、第1パッドP11、第1ダイオードD11を介して第1電源ラインLVDD1に流れる。第1電源ラインLVDD1には接地電圧(0V)が供給されているため、このときのテスト用パッドPTESTの電位を測定すると、
VTEST=Vf
が得られる。ここでVfは第1ダイオードD1の順方向電圧である。
ワイヤW11が正常に接続されているとき、テスト用パッドPTESTに供給される定電流ITESTは、第2パッドP21、ワイヤW11、第1パッドP11、第1ダイオードD11を介して第1電源ラインLVDD1に流れる。第1電源ラインLVDD1には接地電圧(0V)が供給されているため、このときのテスト用パッドPTESTの電位を測定すると、
VTEST=Vf
が得られる。ここでVfは第1ダイオードD1の順方向電圧である。
ワイヤW11が断線しているとき、あるいはワイヤW11第1パッドP11や第2パッドP21に対して電気的に接続されていないとき、テスト用パッドPTESTに供給される定電流ITESTは、第2パッドP21および第3ダイオードD31を介して第2電源ラインLVDD2に流れる。第2電源ラインLVDD2には、電源電圧VDD2が供給されているため、このときのテスト用パッドPTESTの電位は、
VTEST=Vf+VDD2
となる。ここでVfは第3ダイオードD3の順方向電圧である。
VTEST=Vf+VDD2
となる。ここでVfは第3ダイオードD3の順方向電圧である。
つまり、テスト用パッドPTESTを第2半導体チップ14側に設けた場合も、テスト用パッドPTESTの電圧を測定することにより、ワイヤW11が正常かあるいは異常かを判別することができる。
テスト用パッドPTESTが設けられる第2半導体チップ14には、第2パッドP2ごとにバッファを設けることが望ましい。これらのバッファは、その出力端子が第2パッドと接続され、出力電圧をローレベルとするイネーブル状態と、その出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能である。双方向通信を行うチャンネルについては、出力バッファBUF3がその機能を果たす。双方向通信を行わないチャンネルについては、試験用にバッファBUF5を設ければよい。
ワイヤW11がワイヤW12と接触しているとき、テスト用パッドPTESTの電位は、第2パッドP22の電位と等しくなる。出力バッファBUF3はローレベルの0Vを出力しているため、テスト用パッドPTESTの電位は、0Vとなる。
したがって、第2半導体チップ14が、第2パッドP2ごとのバッファBUF3、BUF5を備える場合には、隣接するワイヤW1間のショートを検出することができる。なお、ワイヤW1間のショートを検出する必要が無い場合には、これらのバッファBUF3、BUF5は不要である。
以上、本発明について、実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、こうした変形例について説明する。
多くの半導体装置では、あるワイヤを経由して第1半導体チップ12から第2半導体チップ14に信号が伝送され、別のワイヤを経由して第2半導体チップ14から第1半導体チップ12に信号が伝送される場合もある。このような半導体装置では、テスト用パッドPTESTを、第1半導体チップ12と第2半導体チップ14の両方に設けてもよい。
また実施の形態では、第1パッドP1と第2パッドP2がボンディングワイヤで接続される場合を説明したが、第1パッドP1や第2パッドP2間の接続手段はそれには限定されない。たとえば接続手段は、基体10上に形成された配線であってもよいし、はんだボールであってもよく、本発明は任意の接続手段の検査に利用できる。
また実施の形態では、第1半導体チップ12および第2半導体チップ14が基体10に実装される場合を説明したが、本発明はそれに限定されない。たとえば第1半導体チップ12の上に第2半導体チップ14が実装される、もしくはその逆のチップオンチップ構造であってもよい。
実施の形態にもとづき、具体的な語句を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。
P1…第1パッド、PGND1…第1接地パッド、PVDD1…第1電源パッド、LGND1…第1接地ライン、LVDD1…第1電源ライン、D1…第1ダイオード、BUF1…出力バッファ、PTEST…テスト用パッド、P2…第2パッド、PGND2…第2接地パッド、PVDD2…第2電源パッド、LGND2…第2接地ライン、LVDD2…第2電源ライン、D2…第2ダイオード、BUF2…入力バッファ、D3…第3ダイオード、BUF3…出力バッファ、D4…第4ダイオード、BUF4…入力バッファ、10…基体、12…第1半導体チップ、14…第2半導体チップ、16…集積回路、18…集積回路、20…スイッチ、22…制御部、100…半導体装置。
Claims (9)
- 第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置であって、
前記第1半導体チップは、
少なくともひとつの第1パッドと、
前記少なくともひとつの第1パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、
第1電源ラインと、
第1接地ラインと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第1パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する前記第1パッドに接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能な、少なくともひとつのバッファと、
を備え、
前記第2半導体チップは、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する前記第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、
第2電源ラインと、
第2接地ラインと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第2パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、
を備え、
前記第1電源ラインと前記第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能であることを特徴とする半導体装置。 - 前記少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される前記接続手段が検査対象であるとき、ディスイネーブル状態となるよう構成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される前記接続手段が検査対象でないとき、電源電圧とは異なる固定電圧を出力するよう構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置であって、
前記第1半導体チップは、
少なくともひとつの第1パッドと、
第1電源ラインと、
第1接地ラインと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第1パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、
を備え、
前記第2半導体チップは、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する前記第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、
前記少なくともひとつの第2パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、
第2電源ラインと、
第2接地ラインと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第2パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、
を備え、
前記第1電源ラインと前記第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能であることを特徴とする半導体装置。 - 前記少なくともひとつの第2パッドのうち、少なくともひとつごとに設けられ、それぞれの出力端子が対応する前記第2パッドに接続され、信号を出力するイネーブル状態と、出力がハイインピーダンスとなるディスイネーブル状態が切りかえ可能な、少なくともひとつのバッファをさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される前記接続手段が検査対象であるとき、ディスイネーブル状態となるよう構成されることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記少なくともひとつのバッファは、その出力端子に接続される前記接続手段が検査対象でないとき、電源電圧とは異なる固定電圧を出力するよう構成されることを特徴とする請求項5または6に記載の半導体装置。
- 第1半導体チップと第2半導体チップを備える半導体装置の試験方法であって、
前記第1半導体チップは、
少なくともひとつの第1パッドと、
前記少なくともひとつの第1パッドのいずれかに選択的に接続されるテスト用パッドと、
第1電源ラインと、
第1接地ラインと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第1電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第1パッドに接続される、少なくともひとつの第1ダイオードと、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第1パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第1接地ラインに接続される、少なくともひとつの第2ダイオードと、
を備え、
前記第2半導体チップは、
前記少なくともひとつの第1パッドごとに設けられ、それぞれが対応する前記第1パッドと接続手段を介して接続される、少なくともひとつの第2パッドと、
第2電源ラインと、
第2接地ラインと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが前記第2電源ラインに接続され、それぞれのアノードが対応する前記第2パッドに接続された、少なくともひとつの第3ダイオードと、
前記少なくともひとつの第2パッドごとに設けられ、それぞれのカソードが対応する前記第2パッドに接続され、それぞれのアノードが前記第2接地ラインに接続された、少なくともひとつの第4ダイオードと、
を備え、
前記第1電源ラインと前記第2電源ラインに独立に電源電圧を供給可能であり、
本方法は、
検査対象の接続手段と接続される前記第1パッドおよび前記第2パッドをハイインピーダンスとした状態で実行される、
前記第1電源ラインに電源電圧を、前記第2電源ラインに前記電源電圧より低い固定電圧を供給するステップと、
前記テスト用パッドに対して試験電流を供給するステップと、
前記テスト用パッドの電圧を測定するステップと、
を備えることを特徴とする試験方法。 - 前記各ステップは、検査対象でない前記接続手段と接続される前記第1パッドおよび前記第2パッドを前記電源電圧と異なる電圧に固定した状態で実行されることを特徴とする請求項8に記載の試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010181062A JP2012042226A (ja) | 2010-08-12 | 2010-08-12 | 半導体装置およびその試験方法 |
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Family
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Family Applications (1)
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JP2010181062A Pending JP2012042226A (ja) | 2010-08-12 | 2010-08-12 | 半導体装置およびその試験方法 |
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JP2017026463A (ja) * | 2015-07-22 | 2017-02-02 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
JP2020008444A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | 株式会社東芝 | 配線オープン検出回路 |
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2010
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JP7241482B2 (ja) | 2018-07-10 | 2023-03-17 | 株式会社東芝 | 配線オープン検出回路 |
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