JP2012031234A - フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 - Google Patents
フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012031234A JP2012031234A JP2010169559A JP2010169559A JP2012031234A JP 2012031234 A JP2012031234 A JP 2012031234A JP 2010169559 A JP2010169559 A JP 2010169559A JP 2010169559 A JP2010169559 A JP 2010169559A JP 2012031234 A JP2012031234 A JP 2012031234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- back surface
- semiconductor back
- semiconductor
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/62—Alcohols or phenols
- C08G59/621—Phenols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J163/00—Adhesives based on epoxy resins; Adhesives based on derivatives of epoxy resins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/38—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31511—Of epoxy ether
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/04—Processes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】被着体上にフリップチップ接続された半導体素子の裏面に形成するためのフリップチップ型半導体裏面用フィルム2であって、フリップチップ型半導体裏面用フィルムの熱硬化前の23℃における伸び率をAとし、フリップチップ型半導体裏面用フィルムの熱硬化前の23℃における引張貯蔵弾性率をBとしたときに、A/Bが1〜8×103(%/GPa)の範囲内であるフリップチップ型半導体裏面用フィルム2。
【選択図】図1
Description
フリップチップ型半導体裏面用フィルム(以下、「半導体裏面用フィルム」ともいう)2はフィルム状の形態を有している。半導体裏面用フィルム2は、半導体チップの裏面の幅に合わせて所定幅に切断して短冊状半導体裏面用フィルムとされて使用される。
<ゲル分率の測定方法>
半導体裏面用フィルムから約0.1gをサンプリングして精秤し(試料の重量)、該サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、約50mlのトルエン中に室温で1週間浸漬させる。その後、溶剤不溶分(メッシュ状シートの内容物)をトルエンから取り出し、130℃で約2時間乾燥させ、乾燥後の溶剤不溶分を秤量し(浸漬・乾燥後の重量)、下記式(a)よりゲル分率(重量%)を算出する。
ゲル分率(重量%)=[(浸漬・乾燥後の重量)/(試料の重量)]×100 (a)
セパレータ42としては、例えば、紙などの紙系基材;布、不織布、フェルト、ネットなどの繊維系基材;金属箔、金属板などの金属系基材;プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材;ゴムシートなどのゴム系基材;発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体[特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム(又はシート)同士の積層体など]等の適宜な薄葉体を用いることができる。本発明では、基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチック材における素材としては、例えば、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、エチレン−プロピレン共重合体等のオレフィン系樹脂;エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル(ランダム、交互)共重合体等のエチレンをモノマー成分とする共重合体;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル;アクリル系樹脂;ポリ塩化ビニル(PVC);ポリウレタン;ポリカーボネート;ポリフェニレンスルフィド(PPS);ポリアミド(ナイロン)、全芳香族ポリアミド(アラミド)等のアミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン(PEEK);ポリイミド;ポリエーテルイミド;ポリ塩化ビニリデン;ABS(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体);セルロース系樹脂;シリコーン樹脂;フッ素樹脂などが挙げられる。セパレータ42は単層であってもよく2種以上の複層でもよい。セパレータ42は、半導体装置製造用フィルム40の状態で半導体裏面用フィルム2とともに半導体素子の表面の形状に合わせて切断された後、半導体裏面用フィルム2とともに半導体素子に貼り着けられる。その後、リフロー工程の前、又は、後に、半導体裏面用フィルム2から剥離される。なお、セパレータ42の製造方法としては、従来公知の方法により形成することができる。
半導体裏面用フィルム2は、半導体裏面用フィルム2を形成する為の形成材料を剥離紙上に乾燥後の厚みが所定厚みとなる様に塗布し、更に所定条件下で乾燥することによって得られる。
また、半導体裏面用フィルム2は、その一方の面にセパレータ42が積層された半導体装置製造用フィルム40の形態とする場合には、以下のようにして製造することができる。この場合について、図1に示す半導体装置製造用フィルム40を例にして説明する。先ず、セパレータ42は、従来公知の製膜方法により製膜することができる。当該製膜方法としては、例えばカレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Tダイ押出法、共押出し法、ドライラミネート法等が例示できる。次に、必要に応じてセパレータ42の片面又は両面に離型剤を塗布する剥離処理を行う。
半導体ウエハとしては、公知乃至慣用の半導体ウエハであれば特に制限されず、各種素材の半導体ウエハから適宜選択して用いることができる。本発明では、半導体ウエハとしては、シリコンウエハを好適に用いることができる。
短冊状半導体裏面用フィルムは、半導体裏面用フィルム2を、所定幅に切断することにより得ることができる。このような切断には、例えば、スリッターや裁断装置を用いることができる。半導体裏面用フィルム2は、上述したように、熱硬化前の23℃における伸び率Aと、熱硬化前の23℃における引張貯蔵弾性率Bとの比、すなわち、A/Bが1〜8×103(%/GPa)の範囲内であるため、ある程度の硬さを有し、かつ、ある程度伸びる性質を有する。その結果、優れた幅精度で所定幅に切断することができる。なお、短冊状半導体裏面用フィルムは、セパレータ付の状態、すなわち、半導体装置製造用フィルム40の状態で所定幅に切断してもよく、短冊状半導体裏面用フィルム単体の状態で所定幅に切断してもよい。
本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について、図2及び図3を参照しながら以下に説明する。図2及び図3は、図1に示した半導体装置製造用フィルムを用いた場合の半導体装置の製造方法を示す断面模式図である。
先ず、図2(a)で示されるように、基材31上に粘着剤層32が設けられた従来公知のダイシングテープ3に半導体ウエハ4を貼着して、これを固定する(マウント工程)。なお、ダイシングテープ3は、半導体ウエハ4の裏面に貼着される。半導体ウエハ4の裏面とは、回路面とは反対側の面(非回路面、非電極形成面などとも称される)を意味する。貼着方法は特に限定されないが、圧着による方法が好ましい。圧着は、通常、圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行われる。
次に、図2(b)で示されるように、半導体ウエハ4のダイシングを行う。これにより、半導体ウエハ4を所定のサイズに切断して個片化(小片化)し、半導体チップ5を製造する。ダイシングは、例えば、半導体ウエハ4の回路面側から常法に従い行われる。また、本工程では、例えば、ダイシングテープ3まで切込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式等を採用できる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
ダイシングテープ3に接着固定された半導体チップ5を回収する為に、図2(c)で示されるように、半導体チップ5のピックアップを行って、半導体チップ5をダイシングテープ3より剥離させる。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の半導体チップ5をダイシングテープ3の基材31側からニードルによって突き上げ、突き上げられた半導体チップ5をピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。
ピックアップした半導体チップ5は、図2(d)で示されるように、基板等の被着体に、フリップチップボンディング方式(フリップチップ実装方式)により固定させる。具体的には、半導体チップ5を、半導体チップ5の回路面(表面、回路パターン形成面、電極形成面などとも称される)が被着体6と対向する形態で、被着体6に常法に従い固定させる。例えば、半導体チップ5の回路面側に形成されているバンプ51を、被着体6の接続パッドに被着された接合用の導電材(半田など)61に接触させて押圧しながら導電材を溶融させることにより、半導体チップ5と被着体6との電気的導通を確保し、半導体チップ5を被着体6に固定させることができる(フリップチップボンディング工程)。このとき、半導体チップ5と被着体6との間には空隙が形成されており、その空隙間距離は、一般的に30μm〜300μm程度である。尚、半導体チップ5を被着体6上にフリップチップボンディング(フリップチップ接続)した後は、半導体チップ5と被着体6との対向面や間隙を洗浄し、該間隙に封止材(封止樹脂など)を充填させて封止することが重要である。
<フリップチップ型半導体裏面用フィルムの作製>
エポキシ樹脂(商品名「HP4032D」DIC株式会社製):100部に対して、フェノキシ樹脂(商品名「EP4250」JER株式会社製):40部、フェノール樹脂(商品名「MEH−8000」明和化成株式会社製):129部、球状シリカ(商品名「SO−25R」株式会社アドマテックス製):1137部、染料(商品名「OIL BLACK BS」オリエント化学工業株式会社製):14部、硬化触媒1部(商品名「2PHZ−PW」四国化成製)をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が23.6重量%となる樹脂組成物の溶液(「樹脂組成物溶液A」と称する場合がある)を調製した。
<フリップチップ型半導体裏面用フィルムの作製>
アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー(商品名「パラクロンW−197CM」根上工業株式会社製):100部に対して、エポキシ樹脂(商品名「エピコート1004」JER株式会社製):48部、フェノール樹脂(商品名「ミレックスXLC−4L」三井化学株式会社製):55部、球状シリカ(商品名「SO−25R」株式会社アドマテックス製):135部、染料1(商品名「OIL GREEN 502」オリエント化学工業株式会社製):5部、染料2(商品名「OIL BLACK BS」オリエント化学工業株式会社製):5部をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が23.6重量%となる樹脂組成物の溶液(「樹脂組成物溶液B」と称する場合がある)を調製した。
<フリップチップ型半導体裏面用フィルムの作製>
アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー(商品名「パラクロンW−197CM」根上工業株式会社製):100部に対して、エポキシ樹脂(商品名「エピコート1004」JER株式会社製):12部、フェノール樹脂(商品名「ミレックスXLC−4L」三井化学株式会社製):13部、球状シリカ(商品名「SO−25R」株式会社アドマテックス製):180部、染料1(商品名「OIL GREEN 502」オリエント化学工業株式会社製):5部、染料2(商品名「OIL BLACK BS」オリエント化学工業株式会社製):5部をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が23.6重量%となる樹脂組成物の溶液(「樹脂組成物溶液C」と称する場合がある)を調製した。
<フリップチップ型半導体裏面用フィルムの作製>
アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー(商品名「パラクロンW−197CM」根上工業株式会社製):100部に対して、エポキシ樹脂(商品名「エピコート1004」JER株式会社製):113部、フェノール樹脂(商品名「ミレックスXLC−4L」三井化学株式会社製):121部、球状シリカ(商品名「SO−25R」株式会社アドマテックス製):246部、染料1(商品名「OIL GREEN 502」オリエント化学工業株式会社製):5部、染料2(商品名「OIL BLACK BS」オリエント化学工業株式会社製):5部をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が23.6重量%となる樹脂組成物の溶液(「樹脂組成物溶液D」と称する場合がある)を調製した。
実施例1〜3及び比較例1で作製したフリップチップ型半導体裏面用フィルムについて、引張貯蔵弾性率、伸び率、スリット性を、下記の評価又は測定方法により評価又は測定した。評価又は測定結果は表1に併記した。
フリップチップ型半導体裏面用フィルムの熱硬化前の23℃における引張貯蔵弾性率Bは、フリップチップ型半導体裏面用フィルムを単体で作製し、レオメトリック社製の動的粘弾性測定装置「Solid Analyzer RS A2」を用いて測定した。測定用サンプルは、サンプル幅:10mm、サンプル長さ:22.5mm、サンプル厚さ:0.2mmとした。測定条件は、引張モードにて、周波数:1Hz、昇温速度:10℃/分、窒素雰囲気下、23℃とした。
フリップチップ型半導体裏面用フィルムの伸び率Aは、フリップチップ型半導体裏面用フィルムを単体で作製し、レオメトリック社製の動的粘弾性測定装置「Solid Analyzer RS A2」を用いて測定した。測定用サンプルは、サンプル幅:10mm、サンプル長さ:20mm、サンプル厚さ:0.2mmとした。測定は、上記動的粘弾性測定装置を用いて上下チャック間距離が10mmとなるようにサンプルを挟み、引張速度:50mm/sにて行い、得られた破断点伸び率の値を伸び率Aとした。
各実施例及び比較例に係るフリップチップ型半導体裏面用フィルムを用いて、スリッターにて9mm幅に切断し、短冊状のウエハ裏面保護フィルムを作製した。スリッターの切断条件は、20m/minとした。
(スリット性の評価基準)
○:スリット後のフリップチップ型半導体裏面用フィルムの端面に欠け、又は、割れが発生しなかった。
×:スリット後のフリップチップ型半導体裏面用フィルムの端面に欠け、又は、割れが発生した。
4 半導体ウエハ
40 半導体装置製造用フィルム
42 セパレータ
5 半導体チップ
51 半導体チップ5の回路面側に形成されているバンプ
6 被着体
61 被着体6の接続パッドに被着された接合用の導電材
Claims (5)
- 被着体上にフリップチップ接続された半導体素子の裏面に形成するためのフリップチップ型半導体裏面用フィルムであって、
前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムの熱硬化前の23℃における伸び率をA(%)とし、前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムの熱硬化前の23℃における引張貯蔵弾性率をB(GPa)としたときに、A/Bが1〜8×103(%/GPa)の範囲内であることを特徴とするフリップチップ型半導体裏面用フィルム。 - 前記引張貯蔵弾性率は、0.01〜4.0GPaの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のフリップチップ型半導体裏面用フィルム。
- 前記フリップチップ型半導体裏面用フィルムは、エポキシ樹脂とフェノール樹脂とを含有しており、
前記エポキシ樹脂と前記フェノール樹脂との合計が、フリップチップ型半導体裏面用フィルムの全樹脂成分に対して、5〜90重量%の範囲内であり、
前記エポキシ樹脂及び前記フェノール樹脂は、融点が25℃以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフリップチップ型半導体裏面用フィルム。 - 請求項1〜3のいずれか1に記載のフリップチップ型半導体裏面用フィルムを所定幅に切断して短冊状半導体裏面用フィルムを得る工程を具備することを特徴とする短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法。
- 請求項4に記載の短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法により製造された短冊状半導体裏面用フィルムを用いて製造されたものであることを特徴とするフリップチップ型半導体装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010169559A JP5066231B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 |
CN201110212301.7A CN102382585B (zh) | 2010-07-28 | 2011-07-27 | 倒装芯片型半导体背面用膜、半导体背面用条状膜的生产方法和倒装芯片型半导体器件 |
KR1020110074649A KR101563765B1 (ko) | 2010-07-28 | 2011-07-27 | 플립 칩형 반도체 이면용 필름, 단책상 반도체 이면용 필름의 제조방법, 및 플립 칩형 반도체 장치 |
US13/191,574 US20120028050A1 (en) | 2010-07-28 | 2011-07-27 | Film for flip chip type semiconductor back surface, process for producing strip film for semiconductor back surface, and flip chip type semiconductor device |
TW100126854A TWI408205B (zh) | 2010-07-28 | 2011-07-28 | 覆晶型半導體背面用膜、半導體背面用剝離膜之製造方法及覆晶型半導體裝置 |
US16/059,750 US20180346640A1 (en) | 2010-07-28 | 2018-08-09 | Film for flip chip type semiconductor back surface, process for producing strip film for semiconductor back surface, and flip chip type semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010169559A JP5066231B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012031234A true JP2012031234A (ja) | 2012-02-16 |
JP5066231B2 JP5066231B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=45527041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010169559A Expired - Fee Related JP5066231B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20120028050A1 (ja) |
JP (1) | JP5066231B2 (ja) |
KR (1) | KR101563765B1 (ja) |
CN (1) | CN102382585B (ja) |
TW (1) | TWI408205B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014083872A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | リンテック株式会社 | チップ用樹脂膜形成用シート及び半導体装置の製造方法 |
WO2014168074A1 (ja) * | 2013-04-09 | 2014-10-16 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造に用いられる接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
JP2016141749A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用シート、及び保護膜形成用複合シート |
JP2016225496A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 日東電工株式会社 | 半導体裏面用フィルム及びその用途 |
JP2017118119A (ja) * | 2017-01-19 | 2017-06-29 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造に用いられる接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6273875B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-02-07 | デクセリアルズ株式会社 | 異方性導電フィルム及びその製造方法 |
JP2017177315A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | デクセリアルズ株式会社 | 接着フィルムの切断方法、接着フィルム、及び巻装体 |
JP6422462B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2018-11-14 | 古河電気工業株式会社 | 電子デバイスパッケージ用テープ |
TWI731986B (zh) * | 2016-06-29 | 2021-07-01 | 日商迪愛生股份有限公司 | 苯酚酚醛清漆樹脂、硬化性樹脂組成物及其硬化物 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004214288A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
JP2007158026A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008166451A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ保護用フィルム |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5147732B2 (ja) * | 1973-08-07 | 1976-12-16 | ||
CN1143373C (zh) * | 1998-07-01 | 2004-03-24 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置及其制造方法、电路基板和电子装置 |
US6469275B2 (en) * | 1999-01-20 | 2002-10-22 | Lsp Technologies, Inc | Oblique angle laser shock processing |
US20020005374A1 (en) * | 2000-02-15 | 2002-01-17 | Bearden Roby | Heavy feed upgrading based on solvent deasphalting followed by slurry hydroprocessing of asphalt from solvent deasphalting (fcb-0009) |
WO2004039885A1 (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Mitsui Chemicals, Inc. | 液晶シール剤組成物及びそれを用いた液晶表示パネルの製造方法 |
KR101204197B1 (ko) * | 2003-06-06 | 2012-11-26 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착시트, 다이싱 테이프 일체형 접착시트 및 반도체장치의 제조방법 |
JP2005015527A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Fujitsu Ltd | 封止樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置とその製造方法 |
JP4876451B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2012-02-15 | 日立化成工業株式会社 | 接着シート |
JP2007250970A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体素子裏面保護用フィルム及びそれを用いた半導体装置とその製造法 |
JP2009049400A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-03-05 | Nitto Denko Corp | 熱硬化型ダイボンドフィルム |
MY151971A (en) * | 2007-11-08 | 2014-07-31 | Hitachi Chemical Co Ltd | Adhesive sheet for semiconductor, and dacing tape integrated adhesive sheet for semiconductor |
JP5136641B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-02-06 | 株式会社村田製作所 | 圧電ファン及び圧電ファンを用いた空冷装置 |
JP2009283925A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-12-03 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシングテープ一体型接着シート、ダイシングテープ一体型接着シートの製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2010074136A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-04-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
KR20110011410A (ko) * | 2009-07-28 | 2011-02-08 | 삼성전자주식회사 | 온도에 따라 선형적으로 넓은 범위로 가변되는 센싱 신호를 출력할 수 있는 디스플레이 드라이버 장치의 온도 센서 및 이를 구비하는 디스플레이 드라이버 장치 |
-
2010
- 2010-07-28 JP JP2010169559A patent/JP5066231B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-27 KR KR1020110074649A patent/KR101563765B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-07-27 US US13/191,574 patent/US20120028050A1/en not_active Abandoned
- 2011-07-27 CN CN201110212301.7A patent/CN102382585B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-28 TW TW100126854A patent/TWI408205B/zh not_active IP Right Cessation
-
2018
- 2018-08-09 US US16/059,750 patent/US20180346640A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004214288A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
JP2007158026A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008166451A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チップ保護用フィルム |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014083872A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | リンテック株式会社 | チップ用樹脂膜形成用シート及び半導体装置の製造方法 |
KR20150092101A (ko) * | 2012-11-30 | 2015-08-12 | 린텍 가부시키가이샤 | 칩용 수지막 형성용 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JPWO2014083872A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-01-05 | リンテック株式会社 | チップ用樹脂膜形成用シート及び半導体装置の製造方法 |
KR102140470B1 (ko) * | 2012-11-30 | 2020-08-03 | 린텍 가부시키가이샤 | 칩용 수지막 형성용 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
WO2014168074A1 (ja) * | 2013-04-09 | 2014-10-16 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造に用いられる接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
JP2014204084A (ja) * | 2013-04-09 | 2014-10-27 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造に用いられる接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
US9620403B2 (en) | 2013-04-09 | 2017-04-11 | Nitto Denko Corporation | Adhesive sheet used in manufacture of semiconductor device, adhesive sheet integrated with dicing tape, semiconductor device, and method of manufacturing semiconductor device |
JP2016141749A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用シート、及び保護膜形成用複合シート |
JP2016225496A (ja) * | 2015-06-01 | 2016-12-28 | 日東電工株式会社 | 半導体裏面用フィルム及びその用途 |
JP2017118119A (ja) * | 2017-01-19 | 2017-06-29 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造に用いられる接着シート、ダイシングテープ一体型接着シート、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI408205B (zh) | 2013-09-11 |
TW201207082A (en) | 2012-02-16 |
KR101563765B1 (ko) | 2015-10-27 |
US20120028050A1 (en) | 2012-02-02 |
US20180346640A1 (en) | 2018-12-06 |
CN102382585A (zh) | 2012-03-21 |
KR20120062606A (ko) | 2012-06-14 |
CN102382585B (zh) | 2015-11-25 |
JP5066231B2 (ja) | 2012-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5419226B2 (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム及びその用途 | |
JP5681374B2 (ja) | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム | |
JP5501938B2 (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム | |
JP5439264B2 (ja) | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム | |
JP5456441B2 (ja) | ダイシングテープ一体型ウエハ裏面保護フィルム | |
JP5066231B2 (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム、短冊状半導体裏面用フィルムの製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 | |
JP5546985B2 (ja) | 半導体装置製造用フィルム、半導体装置製造用フィルムの製造方法、及び、半導体装置の製造方法。 | |
JP6272729B2 (ja) | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP5456642B2 (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム | |
JP2010199541A (ja) | ダイシングテープ一体型ウエハ裏面保護フィルム | |
JP2011151362A (ja) | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム | |
JP2010199543A (ja) | ダイシングテープ一体型ウエハ裏面保護フィルム | |
JP5592811B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5705354B2 (ja) | ダイシングテープ一体型ウエハ裏面保護フィルム | |
JP2013149737A (ja) | フリップチップ型半導体装置の製造方法 | |
JP2016213236A (ja) | 半導体装置用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP2012033554A (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム、ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム、半導体装置の製造方法、及び、フリップチップ型半導体装置 | |
JP2013021270A (ja) | 半導体装置製造用フィルム | |
JP5636471B2 (ja) | フリップチップ型半導体裏面用フィルム及びその用途 | |
JP5978333B2 (ja) | ダイシングテープ一体型ウエハ裏面保護フィルム | |
JP5927249B2 (ja) | 半導体装置製造用フィルムを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP2018148218A (ja) | 半導体装置用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP6387047B2 (ja) | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP5612747B2 (ja) | 半導体装置製造用フィルム、半導体装置製造用フィルムの製造方法、及び、半導体装置の製造方法。 | |
JP2017123488A (ja) | 半導体装置用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120411 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120411 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120731 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |