JP2011515325A - 低角度で軸を離れた炭化ケイ素基板上でのエピタキシャル成長、及び、それによって作られた半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
エピ研磨(epi ready)して用意されたSi−面を有する、底面からほぼ2°軸を離れて切断された3インチ、350μmの10の4H SiC基板が用いられた。エピタキシャル成長は、このような基板上で行われた。
Claims (20)
- チャンバ内において少なくとも1400℃の第1温度まで単結晶SiC基板を加熱する工程と、
キャリアガス、シリコン含有ガス、及び、炭素含有ガスを前記チャンバに取り入れる工程と、及び、
前記SiC基板の表面上のSiC層をエピタキシャル成長させる工程とを備え、
前記SiC基板が少なくとも30℃/分の速度で前記第1温度まで加熱され、
前記SiC基板の前記表面が、基板材料の底面に対して1°から3°の角度で傾斜していることを特徴とする方法。 - 前記第1温度が1570℃から1575℃までであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記キャリアガスがH2であり、前記シリコン含有ガスがSiH4であり、及び、前記炭素含有ガスがC3H8であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記H2ガスが流速50−75slmで前記チャンバに取り入れられ、前記SiH4ガスが流速30−40sccmで前記チャンバに取り入れられ、及び、前記C3H8が、流速15−20sccmで前記チャンバに取り入れられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- HClガスが、エピタキシャル成長の間、前記チャンバ内に取り入れられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- エピタキシャル成長の間の前記チャンバ内の圧力が、90乃至110mbarであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記SiC基板の前記表面が、前記基板材料の(0001)面に対して、1°から3°の角度で傾斜することを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記基板が4H SiC基板であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記SiC基板の前記表面が、前記基板材料の前記(0001)面に対して、[1120]の方向の1つに対して1°から3°の角度で傾斜することを特徴とする請求項7記載の方法。
- 前記シリコン含有ガス、及び、前記炭素含有ガスは、エピタキシャル成長の間、前記チャンバ内における炭素のシリコンに対する原子比率が、1.4対1.6となるように、前記チャンバに取り入れられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記基板及びエピタキシャル成長層の総欠陥数が、40cm−2未満(<40cm−2)であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 光学プロフィロメータで測定される前記エピタキシャル成長層の平均的な表面粗度が、15オングストローム以下であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記SiC基板上でエピタキシャル成長した前記SiC層上において、1以上のさらなるSiC層をエピタキシャル成長させる工程をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記キャリアガス、前記シリコン含有ガス、及び、前記炭素含有ガスは、それぞれ、エピタキシャル成長の間、一定の流速で前記チャンバに取り入れられ、及び、前記ガスの各々の前記一定の流速は、任意のガスを前記チャンバに取り入れる10分以内に確立されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記一定の流速は、エピタキシャル成長の間、わずか5%しか変わらないことを特徴とする請求項14記載の方法。
- 前記ガスの各々の前記一定の流速は、前記ガスのいずれかを前記チャンバに取り入れる6分以内に確立されることを特徴とする請求項14記載の方法。
- 請求項1記載の方法によって作られることを特徴とする半導体素子。
- 請求項13記載の方法によって作られることを特徴とする半導体素子。
- チャンバ内において少なくとも1400℃の第1温度まで単結晶SiC基板を加熱する工程と、
キャリアガス、シリコン含有ガス、及び、炭素含有ガスを前記チャンバに取り入れる工程と、及び、
前記SiC基板の表面上のSiC層をエピタキシャル成長させる工程とを備え、
前記SiC基板の前記表面が、基板材料の底面に対して1°から3°の角度で傾斜しており、
前記キャリアガス、前記シリコン含有ガス、及び、前記炭素含有ガスは、それぞれ、エピタキシャル成長の間、一定の流速で前記チャンバに取り入れられ、及び、
前記ガスの各々の前記一定の流速は、前記ガスのいずれかを前記チャンバに取り入れる10分以内に確立されることを特徴とする方法。 - 前記一定の流速は、エピタキシャル成長の間、わずか5%しか変わらないことを特徴とする請求項18記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/055,725 US8221546B2 (en) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | Epitaxial growth on low degree off-axis SiC substrates and semiconductor devices made thereby |
US12/055,725 | 2008-03-26 | ||
PCT/US2009/036882 WO2009120505A1 (en) | 2008-03-26 | 2009-03-12 | Epitaxial growth on low degree off-axis silicon carbide substrates and semiconductor devices made thereby |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011515325A true JP2011515325A (ja) | 2011-05-19 |
JP5632360B2 JP5632360B2 (ja) | 2014-11-26 |
Family
ID=41114279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011501892A Expired - Fee Related JP5632360B2 (ja) | 2008-03-26 | 2009-03-12 | 低角度で軸を離れた炭化ケイ素基板上でのエピタキシャル成長、及び、それによって作られた半導体素子 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8221546B2 (ja) |
EP (1) | EP2271794A4 (ja) |
JP (1) | JP5632360B2 (ja) |
KR (1) | KR20100139068A (ja) |
CN (1) | CN102037164B (ja) |
AU (1) | AU2009228841A1 (ja) |
CA (1) | CA2718757A1 (ja) |
TW (1) | TW201005136A (ja) |
WO (1) | WO2009120505A1 (ja) |
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- 2008-03-26 US US12/055,725 patent/US8221546B2/en active Active
-
2009
- 2009-03-12 KR KR1020107023746A patent/KR20100139068A/ko active IP Right Grant
- 2009-03-12 CN CN200980118597.7A patent/CN102037164B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-12 CA CA2718757A patent/CA2718757A1/en not_active Abandoned
- 2009-03-12 AU AU2009228841A patent/AU2009228841A1/en not_active Abandoned
- 2009-03-12 WO PCT/US2009/036882 patent/WO2009120505A1/en active Application Filing
- 2009-03-12 EP EP20090724153 patent/EP2271794A4/en not_active Withdrawn
- 2009-03-12 JP JP2011501892A patent/JP5632360B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-19 TW TW098108906A patent/TW201005136A/zh unknown
-
2012
- 2012-06-15 US US13/524,274 patent/US8591651B2/en active Active
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US20090242899A1 (en) | 2009-10-01 |
TW201005136A (en) | 2010-02-01 |
JP5632360B2 (ja) | 2014-11-26 |
WO2009120505A1 (en) | 2009-10-01 |
AU2009228841A1 (en) | 2009-10-01 |
US8591651B2 (en) | 2013-11-26 |
US8221546B2 (en) | 2012-07-17 |
KR20100139068A (ko) | 2010-12-31 |
US20120248463A1 (en) | 2012-10-04 |
EP2271794A4 (en) | 2011-07-27 |
EP2271794A1 (en) | 2011-01-12 |
CA2718757A1 (en) | 2009-10-01 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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